JPH0323526Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0323526Y2 JPH0323526Y2 JP1983117215U JP11721583U JPH0323526Y2 JP H0323526 Y2 JPH0323526 Y2 JP H0323526Y2 JP 1983117215 U JP1983117215 U JP 1983117215U JP 11721583 U JP11721583 U JP 11721583U JP H0323526 Y2 JPH0323526 Y2 JP H0323526Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- linear position
- phase
- scale
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
技術分野
この考案は可変磁気抵抗型の直線位置検出器に
関し、特にコイルに対して相対的に直線移動可能
な目盛部に複数の磁性体目盛を所定間隔で繰返し
形成してなるものにおいて、この磁性体目盛を磁
性体被膜によつて形成したことに関する。
関し、特にコイルに対して相対的に直線移動可能
な目盛部に複数の磁性体目盛を所定間隔で繰返し
形成してなるものにおいて、この磁性体目盛を磁
性体被膜によつて形成したことに関する。
従来技術
可変磁気抵抗型の直線位置検出器として差動ト
ランスが従来からよく知られている。しかし、従
来から知られた差動トランスには磁性体コアは１
つしかなく、測定可能範囲が微小長に限られてい
た。これに対して、実願昭57−32127号明細書に
示された「位相シフト型直線位置検出装置」にお
いては、磁性体コアを所定間隔で複数個設け、各
コア毎に周期的な磁気抵抗変化を得るようにし、
測定可能範囲を拡大することが提案されている。
しかし、この先行出願に示されたものにおいて
は、複数の円筒状の磁性体コアと非磁性体スペー
サを交互に配置してロツド状のコア体を組立てる
ようになつているため、部品点数が多く、加工及
び組立てに手間がかかり、比較的コスト高になる
傾向にあつた。
ランスが従来からよく知られている。しかし、従
来から知られた差動トランスには磁性体コアは１
つしかなく、測定可能範囲が微小長に限られてい
た。これに対して、実願昭57−32127号明細書に
示された「位相シフト型直線位置検出装置」にお
いては、磁性体コアを所定間隔で複数個設け、各
コア毎に周期的な磁気抵抗変化を得るようにし、
測定可能範囲を拡大することが提案されている。
しかし、この先行出願に示されたものにおいて
は、複数の円筒状の磁性体コアと非磁性体スペー
サを交互に配置してロツド状のコア体を組立てる
ようになつているため、部品点数が多く、加工及
び組立てに手間がかかり、比較的コスト高になる
傾向にあつた。
考案の目的
この考案は上述の欠点を除去するためになされ
たもので、磁性体コアの構造を改良することによ
り加工及び組立てを容易にした可変磁気抵抗型直
線位置検出器を提供しようとするものである。
たもので、磁性体コアの構造を改良することによ
り加工及び組立てを容易にした可変磁気抵抗型直
線位置検出器を提供しようとするものである。
考案の構成
この考案に係る可変磁気抵抗型直線位置検出器
は、直線変位方向に所定間隔で離隔して設けられ
た複数の１次コイル及び２次コイルを有するコイ
ル部と、このコイル部に対して相対的に直線変位
可能であり、非磁性体ベースの表面に磁性体被膜
から成る複数の磁性体目盛を直線変位方向に沿つ
て所定間隔で繰返し形成してなる目盛部と、前記
１次コイルの各々を位相のずれた複数の基準交流
信号によつて個別に励磁し、これにより前記コイ
ル部に対する前記目盛部の相対的直線位置に応じ
て、該基準交流信号を前記磁性体目盛の繰返しピ
ツチの１周期内での相対的直線位置に従つて電気
的に位相シフトした出力が前記２次コイルから得
られるようにする回路とを具えるものである。
は、直線変位方向に所定間隔で離隔して設けられ
た複数の１次コイル及び２次コイルを有するコイ
ル部と、このコイル部に対して相対的に直線変位
可能であり、非磁性体ベースの表面に磁性体被膜
から成る複数の磁性体目盛を直線変位方向に沿つ
て所定間隔で繰返し形成してなる目盛部と、前記
１次コイルの各々を位相のずれた複数の基準交流
信号によつて個別に励磁し、これにより前記コイ
ル部に対する前記目盛部の相対的直線位置に応じ
て、該基準交流信号を前記磁性体目盛の繰返しピ
ツチの１周期内での相対的直線位置に従つて電気
的に位相シフトした出力が前記２次コイルから得
られるようにする回路とを具えるものである。
この考案によれば、目盛部において、磁性体被
膜から成る複数の磁性体目盛が非磁性体ベースの
表面に形成されることを特徴としている。磁性体
被膜の形成は、複数の円筒状コアとスペーサを交
互に配置して組立てる場合に比べて、かるかに少
ない工程数及び部品数で実現することができるの
で、目盛部の加工及び組立（すなわち製造）が容
易となり、コストを下げることができるようにな
る。磁性体被膜は、めつき、又は、スパツタリン
グ、蒸着、液体急冷凍法、印刷、塗布、等様々な
金属被膜形成技術を選択的に適用して、形成する
ことが可能である。尚、この考案でいう磁性体被
膜とは、磁性金属のみから成るものに限らず、他
の物質との混合物又は非金属の強磁性体被膜であ
つてもよい。
膜から成る複数の磁性体目盛が非磁性体ベースの
表面に形成されることを特徴としている。磁性体
被膜の形成は、複数の円筒状コアとスペーサを交
互に配置して組立てる場合に比べて、かるかに少
ない工程数及び部品数で実現することができるの
で、目盛部の加工及び組立（すなわち製造）が容
易となり、コストを下げることができるようにな
る。磁性体被膜は、めつき、又は、スパツタリン
グ、蒸着、液体急冷凍法、印刷、塗布、等様々な
金属被膜形成技術を選択的に適用して、形成する
ことが可能である。尚、この考案でいう磁性体被
膜とは、磁性金属のみから成るものに限らず、他
の物質との混合物又は非金属の強磁性体被膜であ
つてもよい。
実施例
以下この考案の一実施例を添付図面に従い詳細
に説明する。
に説明する。
第１図において、コイル部１は、軸方向にずれ
た所定の配置で配設された４個の１次コイル２，
３，４，５と、これに対応して設けられた２次コ
イル６，７，８，９とをケーシング１０内に収納
して成るものである。目盛部に相当するロツド部
１１は、磁性体目盛に相当するリング状の磁性体
コア１１ａをを所定間隔で複数具備しており、コ
イル部１のコイル空間に同心的に挿入され、この
コイル部１に対して相対的に直線移動可能となつ
ている。ロツド部１１の芯は非磁性体ロツド１１
ｂから成つており、上述の複数のリング状の磁性
体コア１１ａは、この非磁性体ロツド１１ｂの周
囲に形成した磁性体被膜から成つている。ロツド
部１１の最外周面を滑らかにするために、その最
外周は非磁性被膜１１ｃによつて被覆されてい
る。尚、第１図において、非磁性体ロツド１１ｂ
のみ側面図で示し、他は断面図で示している。
た所定の配置で配設された４個の１次コイル２，
３，４，５と、これに対応して設けられた２次コ
イル６，７，８，９とをケーシング１０内に収納
して成るものである。目盛部に相当するロツド部
１１は、磁性体目盛に相当するリング状の磁性体
コア１１ａをを所定間隔で複数具備しており、コ
イル部１のコイル空間に同心的に挿入され、この
コイル部１に対して相対的に直線移動可能となつ
ている。ロツド部１１の芯は非磁性体ロツド１１
ｂから成つており、上述の複数のリング状の磁性
体コア１１ａは、この非磁性体ロツド１１ｂの周
囲に形成した磁性体被膜から成つている。ロツド
部１１の最外周面を滑らかにするために、その最
外周は非磁性被膜１１ｃによつて被覆されてい
る。尚、第１図において、非磁性体ロツド１１ｂ
のみ側面図で示し、他は断面図で示している。
一例として、リング状磁性体コア１１ａに相当
する複数のリング状磁性体被膜は、「めつき」に
よつて非磁性体ロツド１１ｂの周囲に複数同時に
形成することができる。この磁性体コア１１ａの
めつきが完了した後、銅又はハードクローム等の
非磁性金属めつきを施すことにより最外周の非磁
性被膜１１ｃを形成する。この場合、非磁性体ロ
ツド１１ｂの周面は滑らかであり、リング状の磁
性金属めつきによりリング状磁性体コア１１ａは
ロツド１１ｂの表面に盛り上がつて被膜を成し、
その上からの非磁性金属めつきによつて各コア１
１ａ間の空間に非磁性被膜が満たされ且つロツド
部１１の最外周全面に非磁性被膜１１ｃが形成さ
れる。
する複数のリング状磁性体被膜は、「めつき」に
よつて非磁性体ロツド１１ｂの周囲に複数同時に
形成することができる。この磁性体コア１１ａの
めつきが完了した後、銅又はハードクローム等の
非磁性金属めつきを施すことにより最外周の非磁
性被膜１１ｃを形成する。この場合、非磁性体ロ
ツド１１ｂの周面は滑らかであり、リング状の磁
性金属めつきによりリング状磁性体コア１１ａは
ロツド１１ｂの表面に盛り上がつて被膜を成し、
その上からの非磁性金属めつきによつて各コア１
１ａ間の空間に非磁性被膜が満たされ且つロツド
部１１の最外周全面に非磁性被膜１１ｃが形成さ
れる。
第２図ａ，ｂ，ｃはロツド部１１の別の製造手
順を示す図で、この場合は、まず、非磁性体ロツ
ド１１ｂの全周面に磁性金属めつき１１a′を施し
（ａ参照）、次にその上からリング状磁性体コア１
１ａの予定位置に対応してエツチングレジスト物
質１２をリング状に塗布し（ｂ参照）、その状態
でエツチングを施し、最終的にｃに示すようなリ
ング状磁性体コア１１ａを得る。その後、クロー
ムめつき等により非磁性被膜１１ｃを形成する。
順を示す図で、この場合は、まず、非磁性体ロツ
ド１１ｂの全周面に磁性金属めつき１１a′を施し
（ａ参照）、次にその上からリング状磁性体コア１
１ａの予定位置に対応してエツチングレジスト物
質１２をリング状に塗布し（ｂ参照）、その状態
でエツチングを施し、最終的にｃに示すようなリ
ング状磁性体コア１１ａを得る。その後、クロー
ムめつき等により非磁性被膜１１ｃを形成する。
第３図ａ，ｂはロツド部１１の別の構成例を製
造手順に従つて示す図で、非磁性体ロツド１１
b′にはその周面に所定間隔のリング状の凹凸が形
成されている。この場合は、まず、非磁性体ロツ
ド１１b′の全周面に磁性金属めつき１１a′を施し
（ａ参照）、次にロツド１１b′の凸部の高さまでめ
つき１１a′を削り取り、リング状凹部を埋めるよ
うにリング状の磁性体被膜１１ａを形成する（ｂ
参照）。最外周の非磁性被膜１１ｃは特に形成し
なくてもよいが、必要に応じてこの非磁性被膜１
１ｃをクロームめつき等により形成するようにし
てもよい。
造手順に従つて示す図で、非磁性体ロツド１１
b′にはその周面に所定間隔のリング状の凹凸が形
成されている。この場合は、まず、非磁性体ロツ
ド１１b′の全周面に磁性金属めつき１１a′を施し
（ａ参照）、次にロツド１１b′の凸部の高さまでめ
つき１１a′を削り取り、リング状凹部を埋めるよ
うにリング状の磁性体被膜１１ａを形成する（ｂ
参照）。最外周の非磁性被膜１１ｃは特に形成し
なくてもよいが、必要に応じてこの非磁性被膜１
１ｃをクロームめつき等により形成するようにし
てもよい。
一例として、各リング状磁性体コア１１ａの長
さ（幅）は「Ｐ／２」（Ｐは任意）であり、相互の間 隔も「Ｐ／２」であり、コア配列の１ピツチ間隔は 「Ｐ」となつている。この実施例において、コイ
ルは４つの相で動作するように設けられている。
これらの相を便宜上Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄなる符号を用
いて区別する。ロツド部１１の磁性体コア１１ａ
の位置に応じて各相Ａ〜Ｄに生じるリラクタンス
が90度づつずれるようになつており、例えばＡ相
をコサイン相とすると、Ｂ相はサイン相、Ｃ相は
マイナスコサイン相、Ｄ相はマイナスサイン相、
となるようになつている。第１図の実施例では、
各相Ａ〜Ｄ毎に個別に１次コイル２〜５及び２次
コイル６〜９が設けられている。各相Ａ〜Ｄの２
次コイル６〜９は各々に対応する１次コイル２〜
５の外側に夫々巻かれている。各コイルの長さは
リング状磁性体コア１１ａの長さにほぼ等しく、
「Ｐ／２」である。第１図の例では、Ａ相のコイル ２，６とＣ相のコイル３，７とが隣合つて設けら
れており、Ｂ相のコイル４，８とＤ相のコイル
５，９も隣合つて設けられている。また、Ａ相と
Ｂ相またはＣ相とＤ相のコイルの間隔は「Ｐ（ｎ
±１／４）」（ｎは任意の自然数）である。この構成 によつて、ロツド部１１（詳しくは磁性体コア）
の直線変位に応じて各相Ａ〜Ｄにおける磁気回路
のリラクタンスが変化し、しかもそのリラクタン
ス変化の位相は各相毎に90度づつずれる（従つて
Ａ相とＣ相では180度ずれ、Ｂ相とＤ相とでも180
度ずれる）ようになつている。１次コイル２〜５
及び２次コイル６〜９の結線形式は第４図のよう
にする。第４図は、Ａ相とＣ相の１次コイル２及
び３を正弦信号sinωtによつて互いに逆相で励磁
し、２次コイル６及び７の出力を同相で加算する
ようにした結線形式を示すものである。Ｂ相とＤ
相も上述と同様に、１次コイル４，５を余弦信号
cosωtで逆相励磁し、２次コイル８，９の出力を
同相加算する。２次コイルの出力は最終的に加算
され、出力信号Ｙを得る。一方、これに限らず、
Ａ相とＣ相の１次コイル２，３を正弦信号sinωt
によつて同相で励磁し、２次コイル６，７を逆相
接続し、Ｂ相とＤ相の１次コイル４，５を余弦信
号cosωtによつて同相で励磁し、２次コイル８，
９を逆相接続し、最終的に２次コイル出力を加算
するようにしてもよい。
さ（幅）は「Ｐ／２」（Ｐは任意）であり、相互の間 隔も「Ｐ／２」であり、コア配列の１ピツチ間隔は 「Ｐ」となつている。この実施例において、コイ
ルは４つの相で動作するように設けられている。
これらの相を便宜上Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄなる符号を用
いて区別する。ロツド部１１の磁性体コア１１ａ
の位置に応じて各相Ａ〜Ｄに生じるリラクタンス
が90度づつずれるようになつており、例えばＡ相
をコサイン相とすると、Ｂ相はサイン相、Ｃ相は
マイナスコサイン相、Ｄ相はマイナスサイン相、
となるようになつている。第１図の実施例では、
各相Ａ〜Ｄ毎に個別に１次コイル２〜５及び２次
コイル６〜９が設けられている。各相Ａ〜Ｄの２
次コイル６〜９は各々に対応する１次コイル２〜
５の外側に夫々巻かれている。各コイルの長さは
リング状磁性体コア１１ａの長さにほぼ等しく、
「Ｐ／２」である。第１図の例では、Ａ相のコイル ２，６とＣ相のコイル３，７とが隣合つて設けら
れており、Ｂ相のコイル４，８とＤ相のコイル
５，９も隣合つて設けられている。また、Ａ相と
Ｂ相またはＣ相とＤ相のコイルの間隔は「Ｐ（ｎ
±１／４）」（ｎは任意の自然数）である。この構成 によつて、ロツド部１１（詳しくは磁性体コア）
の直線変位に応じて各相Ａ〜Ｄにおける磁気回路
のリラクタンスが変化し、しかもそのリラクタン
ス変化の位相は各相毎に90度づつずれる（従つて
Ａ相とＣ相では180度ずれ、Ｂ相とＤ相とでも180
度ずれる）ようになつている。１次コイル２〜５
及び２次コイル６〜９の結線形式は第４図のよう
にする。第４図は、Ａ相とＣ相の１次コイル２及
び３を正弦信号sinωtによつて互いに逆相で励磁
し、２次コイル６及び７の出力を同相で加算する
ようにした結線形式を示すものである。Ｂ相とＤ
相も上述と同様に、１次コイル４，５を余弦信号
cosωtで逆相励磁し、２次コイル８，９の出力を
同相加算する。２次コイルの出力は最終的に加算
され、出力信号Ｙを得る。一方、これに限らず、
Ａ相とＣ相の１次コイル２，３を正弦信号sinωt
によつて同相で励磁し、２次コイル６，７を逆相
接続し、Ｂ相とＤ相の１次コイル４，５を余弦信
号cosωtによつて同相で励磁し、２次コイル８，
９を逆相接続し、最終的に２次コイル出力を加算
するようにしてもよい。
第４図の結線形式は要するに次のように表現で
きる。すなわち、リラクタンス変化が180度ずれ
た２つの相（ＡとＣあるいはＢとＤ）を互いに逆
相で動作させ、かつ、リラクタンス変化が90度ず
れた２つの対（ＡとＣの対とＢとＤの対）の一方
を正弦信号sinωtによつて励磁し、他方を余弦信
号cosωtによつて励磁する。換言すれば、２つの
対（ＡとＣの対及びＢとＤの対）は、そのリラク
タンス変化の位相が90度ずれた２つの差動トラン
スと同じものであり、そのリラクタンス変化の位
相ずれに応じた電気的位相ずれを有する２種類の
交流信号（sinωt，cosωt）によつて各々を個別
に励磁するのである。Ａ，Ｃ相の対とＢ，Ｄ相の
対の２次コイル出力を加算したものが出力信号Ｙ
となる。この出力信号Ｙは、ロツド部１１におけ
るリング状磁性体コア１１ａの直線位置に応じた
位相角φだけ基準交流信号（sinωtまたはconωt）
を位相シフトしたものとなる。その理由は、各相
Ａ〜Ｄのリラクタンスが90度づつずれており、か
つ一方の対（Ａ，Ｃ）と他方の対（Ｂ，Ｄ）の励
磁信号の電気的位相が90度ずれているためであ
る。この点を略式で示すと次の通じである。
きる。すなわち、リラクタンス変化が180度ずれ
た２つの相（ＡとＣあるいはＢとＤ）を互いに逆
相で動作させ、かつ、リラクタンス変化が90度ず
れた２つの対（ＡとＣの対とＢとＤの対）の一方
を正弦信号sinωtによつて励磁し、他方を余弦信
号cosωtによつて励磁する。換言すれば、２つの
対（ＡとＣの対及びＢとＤの対）は、そのリラク
タンス変化の位相が90度ずれた２つの差動トラン
スと同じものであり、そのリラクタンス変化の位
相ずれに応じた電気的位相ずれを有する２種類の
交流信号（sinωt，cosωt）によつて各々を個別
に励磁するのである。Ａ，Ｃ相の対とＢ，Ｄ相の
対の２次コイル出力を加算したものが出力信号Ｙ
となる。この出力信号Ｙは、ロツド部１１におけ
るリング状磁性体コア１１ａの直線位置に応じた
位相角φだけ基準交流信号（sinωtまたはconωt）
を位相シフトしたものとなる。その理由は、各相
Ａ〜Ｄのリラクタンスが90度づつずれており、か
つ一方の対（Ａ，Ｃ）と他方の対（Ｂ，Ｄ）の励
磁信号の電気的位相が90度ずれているためであ
る。この点を略式で示すと次の通じである。
すなわち、１つの磁性体コア１１ａの直線位置
に対応する位相をφとすると、直線位置に応じた
リラクタンス変化の関数は、Ａ相がcosφ、Ｂ相
がsinφ、Ｃ相が−cosφ、Ｄ相が−sinφなる略式
で示すことができる。Ａ相とＣ相を正弦信号
sinωtによつて互いに逆相で動作させ、かつＢ相
とＤ相を余弦信号cosωtによつて互いに逆相で動
作させ、その結果生じた２次コイル出力を加算的
に合成するので、出力信号Ｙは次のような略式で
実質的に表現することができる。
に対応する位相をφとすると、直線位置に応じた
リラクタンス変化の関数は、Ａ相がcosφ、Ｂ相
がsinφ、Ｃ相が−cosφ、Ｄ相が−sinφなる略式
で示すことができる。Ａ相とＣ相を正弦信号
sinωtによつて互いに逆相で動作させ、かつＢ相
とＤ相を余弦信号cosωtによつて互いに逆相で動
作させ、その結果生じた２次コイル出力を加算的
に合成するので、出力信号Ｙは次のような略式で
実質的に表現することができる。
Ｙ＝sinωtcosφ−（−sinωtcosφ）
＋cosωtsinφ−（−cosωtsinφ）
＝2sinωtcosφ＋2cosωtsinφ
＝2sin（ωt＋φ）
上記式で便宜的に「２」と示された係数を諸種
の条件に応じて定まる定数Ｋで置換えると、 Ｙ＝Ksin（ωt＋φ） と表現できる。ここで、リラクタンス変化の位相
φは磁性体コア１１ａの直線位置ｌに所定の比例
係数（または関数）に従つつ比例しているので、
出力信号Ｙにおける基準信号sinωt（または
cosωt）からの位相ずれφを測定することにより
直線位置ｌを検出することができる。ただし、位
相ずれ量φが全角2πのとき、直線位置ｌは前述
の距離Ｐに相当する。すなわち、信号Ｙにおける
電気的位相ずれ量φによれば、距離Ｐの範囲内で
のアブソリユートな直線位置が検出できるのであ
る。距離Ｐを越えてアブソリユートな直線位置を
求めたい場合は、適宜任意の手段（この検出精度
は距離Ｐを１単位とする粗いものでよい）を併設
してロツド部１１における個々の磁性体コア１１
ａの絶対番地を求め、この各コア１１ａの絶対番
地と上述の位相ずれφにもとづく直線位置検出値
との組合せを用いればよい。電気的位相ずれφの
測定によれば、距離Ｐの範囲のアブソリユート直
線位置をかなりの高分解度で精度よく割出すこと
ができる。また、特願昭57−188865号に示された
ように、１ピツチＰの長さが異なる複数の検出器
を用いてＰを越えるアブソリユート直線位置を求
めることもできる。
の条件に応じて定まる定数Ｋで置換えると、 Ｙ＝Ksin（ωt＋φ） と表現できる。ここで、リラクタンス変化の位相
φは磁性体コア１１ａの直線位置ｌに所定の比例
係数（または関数）に従つつ比例しているので、
出力信号Ｙにおける基準信号sinωt（または
cosωt）からの位相ずれφを測定することにより
直線位置ｌを検出することができる。ただし、位
相ずれ量φが全角2πのとき、直線位置ｌは前述
の距離Ｐに相当する。すなわち、信号Ｙにおける
電気的位相ずれ量φによれば、距離Ｐの範囲内で
のアブソリユートな直線位置が検出できるのであ
る。距離Ｐを越えてアブソリユートな直線位置を
求めたい場合は、適宜任意の手段（この検出精度
は距離Ｐを１単位とする粗いものでよい）を併設
してロツド部１１における個々の磁性体コア１１
ａの絶対番地を求め、この各コア１１ａの絶対番
地と上述の位相ずれφにもとづく直線位置検出値
との組合せを用いればよい。電気的位相ずれφの
測定によれば、距離Ｐの範囲のアブソリユート直
線位置をかなりの高分解度で精度よく割出すこと
ができる。また、特願昭57−188865号に示された
ように、１ピツチＰの長さが異なる複数の検出器
を用いてＰを越えるアブソリユート直線位置を求
めることもできる。
出力信号Ｙと基準交流信号sinωt（または
cosωt）との位相ずれφを求めるための手段は適
宜に構成できる。特に図示しないが、基準交流信
号sinωtと出力信号Ｙ＝Ksin（ωt＋φ）との所定
位相角（例えば０度）の時間差分をカウンタでカ
ウントすることにより位相ずれφをデイジタル量
で求めることができ、また、この時間差分を積分
することにより位相ずれφをアナログ量で求める
こともできる。
cosωt）との位相ずれφを求めるための手段は適
宜に構成できる。特に図示しないが、基準交流信
号sinωtと出力信号Ｙ＝Ksin（ωt＋φ）との所定
位相角（例えば０度）の時間差分をカウンタでカ
ウントすることにより位相ずれφをデイジタル量
で求めることができ、また、この時間差分を積分
することにより位相ずれφをアナログ量で求める
こともできる。
勿論、ロツド部１１の最外周の非磁性被膜１１
ｃは本考案の必須事項ではなく、省略することが
可能である。
ｃは本考案の必須事項ではなく、省略することが
可能である。
考案の効果
以上の通りこの考案によれば、磁性体目盛を磁
性体被膜によつて形成するようにしたので、部品
点数と製造工程数を少なくすることができ、製造
コストを下げることができる。
性体被膜によつて形成するようにしたので、部品
点数と製造工程数を少なくすることができ、製造
コストを下げることができる。
第１図はこの考案の一実施例を示す軸方向断面
図、第２図は第１図におけるロツド部のリング状
磁性体コアの形成例を示す図、第３図はロツド部
の別の構成例をリング状磁性体コアの形成手順に
従つて示す図、第４図は第１図におけるコイルの
結線形式の一例を示す回路図、である。 １……コイル部、２〜５……１次コイル、６〜
９……２次コイル、１０……ケーシング、１１…
…ロツド部、１１ａ……リング状磁性体コア、１
１ｂ，１１b′……非磁性体ロツド、１１ｃ……非
磁性被膜、１１a′……磁性金属被膜、１２……エ
ツチングレジスト物質。
図、第２図は第１図におけるロツド部のリング状
磁性体コアの形成例を示す図、第３図はロツド部
の別の構成例をリング状磁性体コアの形成手順に
従つて示す図、第４図は第１図におけるコイルの
結線形式の一例を示す回路図、である。 １……コイル部、２〜５……１次コイル、６〜
９……２次コイル、１０……ケーシング、１１…
…ロツド部、１１ａ……リング状磁性体コア、１
１ｂ，１１b′……非磁性体ロツド、１１ｃ……非
磁性被膜、１１a′……磁性金属被膜、１２……エ
ツチングレジスト物質。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 直線変位方向に所定間隔で離隔して設けられ
た複数の１次コイル及び２次コイルを有するコ
イル部と、 このコイル部に対して相対的に直線変位可能
であり、非磁性体ベースの表面に磁性体被膜か
ら成る複数の磁性体目盛を直線変位方向に沿つ
て所定間隔で繰返し形成してなる目盛部と、 前記１次コイルの各々を位相のずれた複数の
基準交流信号によつて個別に励磁し、これによ
り前記コイル部に対する前記目盛部の相対的直
線位置に応じて、該基準交流信号を前記磁性体
目盛の繰返しビツチの１周期内での相対的直線
位置に従つて電気的に位相シフトした出力が前
記２次コイルから得られるようにする回路と を具える可変磁気抵抗型直線位置検出装置。 ２ 前記磁性体被膜が、めつきによつて形成され
たものである実用新案登録請求の範囲第１項記
載の可変磁気抵抗型直線位置検出装置。 ３ 前記磁性体被膜が、滑らかな面を持つ前記非
磁性体ベースの表面に形成されたものである実
用新案登録請求の範囲第１項又は第２項記載の
可変磁気抵抗型直線位置検出装置。 ４ 前記磁性体被膜が、目盛のパターンに対応す
る所定の凹凸が表面に形成された前記非磁性体
ベースの凸部を埋めるように形成されたもので
ある実用新案登録請求の範囲第１項又は第２項
記載の可変磁気抵抗型直線位置検出装置。 ５ 前記磁性体被膜が形成された前記目盛部の最
外周が非磁性被膜によつて被覆されている実用
新案登録請求の範囲第３項又は第４項記載の可
変磁気抵抗型直線位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11721583U JPS6027306U (ja) | 1983-07-29 | 1983-07-29 | 可変磁気抵抗型直線位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11721583U JPS6027306U (ja) | 1983-07-29 | 1983-07-29 | 可変磁気抵抗型直線位置検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6027306U JPS6027306U (ja) | 1985-02-23 |
| JPH0323526Y2 true JPH0323526Y2 (ja) | 1991-05-22 |
Family
ID=30269911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11721583U Granted JPS6027306U (ja) | 1983-07-29 | 1983-07-29 | 可変磁気抵抗型直線位置検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6027306U (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5745912A (en) * | 1980-09-02 | 1982-03-16 | Takagi Kogyo Kk | Differential transformer |
| JPS5841368B2 (ja) * | 1981-03-28 | 1983-09-12 | 株式会社 拓和 | ロツドの位置検出装置 |
-
1983
- 1983-07-29 JP JP11721583U patent/JPS6027306U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6027306U (ja) | 1985-02-23 |
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