JPH03237607A - 薄膜磁気ヘッドの検査方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドの検査方法Info
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- JPH03237607A JPH03237607A JP3414190A JP3414190A JPH03237607A JP H03237607 A JPH03237607 A JP H03237607A JP 3414190 A JP3414190 A JP 3414190A JP 3414190 A JP3414190 A JP 3414190A JP H03237607 A JPH03237607 A JP H03237607A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は薄膜磁気ヘッドの検査方法に関し、特に浮上面
に対する磁極の段差測定方法に関する。
に対する磁極の段差測定方法に関する。
従来、この種の薄膜ヘッドは高硬度のセラミック基板上
に下部磁極、ギャップ、コイル及び上部磁極をスパッタ
およびめっき等の手法を用いて順次積層しながら多数の
電磁変換素子（以下、素子という）を同時に形成する。
に下部磁極、ギャップ、コイル及び上部磁極をスパッタ
およびめっき等の手法を用いて順次積層しながら多数の
電磁変換素子（以下、素子という）を同時に形成する。
その後、機械加工工程において、切断、研削及びラップ
等の工法を用いてスライダが形成される。しかしながら
、素子はスライダの端部に形成されているため、ラップ
加工において゛だれ”が生じ易く、また、磁極部は金属
で形成されているため、浮上面に対する段差が大きくな
り易い。なお、最近の高密度化、低浮上量化の動向に伴
い、この段差は極力小さく安定していることが望ましく
、そのため、従来はラップ後の浮上面を接触型の表面粗
さ計を用いて段差を測定していた。
等の工法を用いてスライダが形成される。しかしながら
、素子はスライダの端部に形成されているため、ラップ
加工において゛だれ”が生じ易く、また、磁極部は金属
で形成されているため、浮上面に対する段差が大きくな
り易い。なお、最近の高密度化、低浮上量化の動向に伴
い、この段差は極力小さく安定していることが望ましく
、そのため、従来はラップ後の浮上面を接触型の表面粗
さ計を用いて段差を測定していた。
上述した従来の薄膜磁気ヘッドの検査方法では、最近の
高密度化、すなわち、狭トラツク化に伴って表面粗さ計
の測定子を狭い磁極の上に位置させることができず、そ
のために磁極の段差を正確に測定することが困難になっ
てきた。
高密度化、すなわち、狭トラツク化に伴って表面粗さ計
の測定子を狭い磁極の上に位置させることができず、そ
のために磁極の段差を正確に測定することが困難になっ
てきた。
本発明の薄膜磁気ヘッドの検査方法は、基板上に下部磁
極、ギャップ、コイル及び上部磁極を順次積層して複数
個の電磁変換素子を形成した薄膜磁気ヘッドの検査方法
において、前記複数個の電磁変換素子の内、所定の磁極
幅より広く形成された少なくとも１個の電磁変換素子を
用いて前記下部磁極及び前記上部磁極の計測を行うこと
を特徴とする。
極、ギャップ、コイル及び上部磁極を順次積層して複数
個の電磁変換素子を形成した薄膜磁気ヘッドの検査方法
において、前記複数個の電磁変換素子の内、所定の磁極
幅より広く形成された少なくとも１個の電磁変換素子を
用いて前記下部磁極及び前記上部磁極の計測を行うこと
を特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）は本発明の検査方法を実現するための薄膜
磁気ヘッドを示す平面図である。
磁気ヘッドを示す平面図である。
第１図（ｂ）及び同図（Ｃ）は第１図（ａ）の素子をそ
れぞれ示す部分拡大図である。第１図（ａ）において、
薄膜磁気ヘッドは高硬度なアルミナチタンカーバイト基
板１上に上下磁極３．ギャップ、コイル４及びアルミナ
保護膜５をスパッタおよびめっき等の手法を用いて積層
し、複数の素子２を同時に形成される。
れぞれ示す部分拡大図である。第１図（ａ）において、
薄膜磁気ヘッドは高硬度なアルミナチタンカーバイト基
板１上に上下磁極３．ギャップ、コイル４及びアルミナ
保護膜５をスパッタおよびめっき等の手法を用いて積層
し、複数の素子２を同時に形成される。
ここで、例えば、１列の素子２のうち両端の２個の素子
２ａにおいて、第１図（ｂ）に示すように上下の磁極３
の幅Ｗ１は、第１図（ｃ）に示す他の通常の素子２ｂの
上下の磁極幅ｗ２に比べて十分広く形成されている。最
近の薄膜ヘッドの磁極幅Ｗ１は約１２〜１３μｍであり
、この場合、素子２ａの磁極幅Ｗ２は２５μｍ程度が適
当である。そして、この後機械加工工程において、切断
、研削及びラップ等の工法を用いてスライダが形成され
る。
２ａにおいて、第１図（ｂ）に示すように上下の磁極３
の幅Ｗ１は、第１図（ｃ）に示す他の通常の素子２ｂの
上下の磁極幅ｗ２に比べて十分広く形成されている。最
近の薄膜ヘッドの磁極幅Ｗ１は約１２〜１３μｍであり
、この場合、素子２ａの磁極幅Ｗ２は２５μｍ程度が適
当である。そして、この後機械加工工程において、切断
、研削及びラップ等の工法を用いてスライダが形成され
る。
第２図（ａ）及び同図（ｂ）は本発明の一実施例を説明
する部分斜視図である。第２図（ａ）において、スライ
ダ６は表面粗さ計の測定子７が矢印の方向に進行して浮
上面８に対する上下磁極３の段差を測定される。ここで
、第２図（ａ）と同図（ｂ）とを比較すれば理解できる
ように、第２図（ｂ）では、測定子７の先端部に対して
上下磁極３の幅が非常に小さく、測定子７を上下磁極３
を通過させるように位置決めすることは極めて困難であ
り、逆に第２図（ａ）の磁極３に対しては容易である。
する部分斜視図である。第２図（ａ）において、スライ
ダ６は表面粗さ計の測定子７が矢印の方向に進行して浮
上面８に対する上下磁極３の段差を測定される。ここで
、第２図（ａ）と同図（ｂ）とを比較すれば理解できる
ように、第２図（ｂ）では、測定子７の先端部に対して
上下磁極３の幅が非常に小さく、測定子７を上下磁極３
を通過させるように位置決めすることは極めて困難であ
り、逆に第２図（ａ）の磁極３に対しては容易である。
なお、幅広な磁極を有する素子２ａを若干数だけ基板内
に形成しても、通常、スライダ当り２個の素子を持って
いるため、実際に電磁変換に利用する素子はスライダ当
り１個である。したがって、生産性を低下させるような
ことはない。
に形成しても、通常、スライダ当り２個の素子を持って
いるため、実際に電磁変換に利用する素子はスライダ当
り１個である。したがって、生産性を低下させるような
ことはない。
以上説明したように本発明は、スライダ加工後に浮上面
に対する磁極の段差を測定する際、広い磁極幅を有する
スライダを測定することにより、正確な磁極の段差を再
現性良く測定できるという効果がある。
に対する磁極の段差を測定する際、広い磁極幅を有する
スライダを測定することにより、正確な磁極の段差を再
現性良く測定できるという効果がある。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を実現するため薄膜磁
気ヘッドを示す平面図、第１図（ｂ）及び同図（ｃ）は
第１図（ａ）の素子をそれぞれ示す部分拡大図、第２図
（ａ＞及び同図（ｂ）は本発明の一実施例を説明する部
分斜視図である。 １・・・基板、２・・・素子、２ａ・・・磁極幅の広い
素子、２ｂ・・・磁極幅の狭い通常素子、３・・・上下
磁極、４・・・コイル、５・・・アルミナ保護膜、６・
・・スライダ、７・・・測定子、８・・・浮上面。
気ヘッドを示す平面図、第１図（ｂ）及び同図（ｃ）は
第１図（ａ）の素子をそれぞれ示す部分拡大図、第２図
（ａ＞及び同図（ｂ）は本発明の一実施例を説明する部
分斜視図である。 １・・・基板、２・・・素子、２ａ・・・磁極幅の広い
素子、２ｂ・・・磁極幅の狭い通常素子、３・・・上下
磁極、４・・・コイル、５・・・アルミナ保護膜、６・
・・スライダ、７・・・測定子、８・・・浮上面。
Claims (1)
- 基板上に下部磁極、ギャップ、コイル及び上部磁極を順
次積層して複数個の電磁変換素子を形成した薄膜磁気ヘ
ッドの検査方法において、前記複数個の電磁変換素子の
内、所定の磁極幅より広く形成された少なくとも１個の
電磁変換素子を用いて前記下部磁極及び前記上部磁極の
計測を行うことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの検査方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3414190A JPH03237607A (ja) | 1990-02-14 | 1990-02-14 | 薄膜磁気ヘッドの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3414190A JPH03237607A (ja) | 1990-02-14 | 1990-02-14 | 薄膜磁気ヘッドの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03237607A true JPH03237607A (ja) | 1991-10-23 |
Family
ID=12405935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3414190A Pending JPH03237607A (ja) | 1990-02-14 | 1990-02-14 | 薄膜磁気ヘッドの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03237607A (ja) |
-
1990
- 1990-02-14 JP JP3414190A patent/JPH03237607A/ja active Pending
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