JPS59198352A - 超音波顕微鏡 - Google Patents

超音波顕微鏡

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JPS59198352A
JPS59198352A JP58072897A JP7289783A JPS59198352A JP S59198352 A JPS59198352 A JP S59198352A JP 58072897 A JP58072897 A JP 58072897A JP 7289783 A JP7289783 A JP 7289783A JP S59198352 A JPS59198352 A JP S59198352A
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JP
Japan
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sample
water
microscope
lens
ring
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JP58072897A
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JPH0324624B2 (ja
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Kunio Harada
邦男 原田
Sumio Yamaguchi
山口　純男
Hiroshi Kanda
浩 神田
Kiyoshi Ishikawa
潔 石川
Yuzuru Oji
譲 大路
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Priority to GB08410533A priority patent/GB2140249B/en
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Priority to US06/603,937 priority patent/US4563900A/en
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Publication of JPH0324624B2 publication Critical patent/JPH0324624B2/ja
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    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
    • G01H3/10—Amplitude; Power
    • G01H3/12—Amplitude; Power by electric means
    • G01H3/125—Amplitude; Power by electric means for representing acoustic field distribution

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  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は音波顕微鏡、特に音波伝搬媒体の保持手段を具
備した音波顕微鏡に関する。
〔発明の背景〕
最初に音波顕微鏡の動作原理を第１図を用いて簡単に説
明する。まずパルス発振器１によシミ気信号を発生する
。電気信号は球面レンズ２上簡に設けた圧電薄膜３によ
シ超音波４に変換される。
超音波は球面レンズ内部を進み球面部２′で絞られて試
料５に焦点を結ぶ。試料に当った超音波は試料面や内部
で反射し、試料の情報を持った超音波のエコーとなシ同
じ経路を逆にたどって圧電薄膜３に至シ電気信号に変換
される。そしてこの信号をモニター６上の２次現画面に
するために、前記の動作を繰返しなからＸ、Ｙステージ
７．７′によシ試料を水平方向に少しずつ高速でスキャ
ンしていく。この時媒質８は、超音波を外へ逃がさず球
面レンズと試料の間を効率良く伝搬する働きをする。
従来の超音波顕微鏡の媒質（例えば水）８は、第１図や
第２図の様に表面張力でレンズ２と試料５の間に保持さ
れていた。また、給排水は第２図のように注射器９を用
い手作業で給水し、エアーで吹き飛ばして排水する方法
で行っていた。この方法によると次の様な欠点がある。
１、超音波顕微鏡の原理上、試料５をスキャンする詩宗
８がはじき飛ばされて水切れを起すことがある。
音波顕微鏡によシ試料を観察する場合、倍率を低くして
広い範囲を観察する時の方が試料をスキャンする幅が大
きく、試料と球面レンズの相対速度も太きい。水切れは
このような時に発生しやすい。
２、給水は手作業であるため、注射器９の針先９′で試
料５に傷を付ける心配がある。
３、排水時にエアーで吹き飛ばされた水８が飛び散って
、試料や周辺機構部を汚染する。
４、試料５の交換や、試料上の観察する場所を変える時
の移動に伴う給排水が煩わしい。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、音波顕微鏡に不可欠な音波伝搬の媒質
−となる液体（例えば水）を安定に保持する手段と、供
給及び排出容易にする手段を具備した音波顕微鏡を提供
することにある。
〔発明の概要〕
本発明は試料と球面レンズ間の表面張力に毛細管現象に
よる保持力を加えることを特徴とする。
〔発明の実施例〕 以下、本発明の一実施例を第３図によシ説明する。第３
図は、本発明による超音波顕微鏡の一部分である。球面
レンズ２の周辺には、わずかなすきま１０を設けるため
に例えばステンレス製のリング１１が配置されている。
リング１１には供給１２と排出１３のボートがあシ、そ
れぞれ、給水用の水が入シわずかな圧力が加ったタンク
１４と、真空発生器１５に接続されている。また、リン
グ１１は試料５との間にもわずかなすきま１０′が得ら
れる寸法構造になっておシ、球面レンズ２とリング１１
のすきま１０、リング１１と試料５のすきま１０′には
、毛細管現象によシ水８が浸透し、安定に保持される。
これを自動給排水するには、まず給水の場合、タンク１
４と供給ポート１２の間に配置された電磁弁１６を開け
ば、タンク１４内の圧力と毛細管現象が効率良く作用し
、容易に適量だけ供給することができる。また、排水の
場合は、排出ボート１３に接続された真空発生器１５に
、エアー源１７からの圧縮空気を電磁弁１８を開くこと
によって供給すれば、すきま１０．１０’内の水は、真
空によってきれいに吸い取ることができる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、媒質の保持、供給、排出を効率良く行
うことができるので、次のような種々の効果がある。
１、毛細管現象により水を安定に保持できるため、水の
切れがなく連続観察ができる。
２、従来のように給排水を手作業で行う必要がないので
試料に傷を付ける心配がない。
３、真空発生器によシ容易に吸取って排水することがで
きるので水が飛び散らず、試料や周辺機構部を汚染する
ことがない。
４、給排水が容易に行えるようになったため、ウェハ上
のチップ等を観察する場合に、試料の自動ステップ送シ
に合せて自動給排水ができる。
５、媒質を安定に保持できるようになったため、媒質に
アルコール等の揮発性の媒質を使う場合も長時間安定に
観察ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、超音波顕微鏡の原理を説明する図、第２図は
、超音波顕微鏡の音響レンズ周辺の拡大図、第３図は、
本発明による一実施例の要部の縦−面である。 １・・・パルス発振器、２・・・球面レンズ、３・・・
球面部、　　　。 ４・・・超音波、５・・・試料、６・・・モニター、７
・・・Ｘステージ、７′・・・Ｘステージ、８・・・媒
質（水）、９゜・・・注射器、９′・・・注射針、１０
・・・すきま、１０′・・・すきま、１１・・・リング
、１２・・・供給ボート、１３・・・排出ポート、１４
・・・タンク、１５・・・真空発生器、１６・・・電磁
弁、１７・・・エアー源、１８・・・電第　１　図 第　２　図 第　３　図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 音響レンズによって音波を所定試料を照射し、上記試料
    からのしよう乱音波を映像化する音波顕微鏡において、
    上記レンズがその周辺に配置されたリングを有し、上記
    リングと試料の間に毛細管現象によって音波伝搬媒体と
    なる液体を保持することを特徴とする〃剖凰駿彫Ｕ支。
JP58072897A 1983-04-27 1983-04-27 超音波顕微鏡 Granted JPS59198352A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58072897A JPS59198352A (ja) 1983-04-27 1983-04-27 超音波顕微鏡
GB08410533A GB2140249B (en) 1983-04-27 1984-04-25 Acoustic microscope
DE3415618A DE3415618C2 (de) 1983-04-27 1984-04-26 Akustisches Mikroskop
US06/603,937 US4563900A (en) 1983-04-27 1984-04-26 Acoustic microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58072897A JPS59198352A (ja) 1983-04-27 1983-04-27 超音波顕微鏡

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59198352A true JPS59198352A (ja) 1984-11-10
JPH0324624B2 JPH0324624B2 (ja) 1991-04-03

Family

ID=13502596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58072897A Granted JPS59198352A (ja) 1983-04-27 1983-04-27 超音波顕微鏡

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4563900A (ja)
JP (1) JPS59198352A (ja)
DE (1) DE3415618C2 (ja)
GB (1) GB2140249B (ja)

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Also Published As

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DE3415618A1 (de) 1984-10-31
US4563900A (en) 1986-01-14
JPH0324624B2 (ja) 1991-04-03
GB2140249A (en) 1984-11-21
GB2140249B (en) 1987-02-25
DE3415618C2 (de) 1986-04-24
GB8410533D0 (en) 1984-05-31

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