JPH03246862A - 電子顕微鏡等のｘ線分析装置 - Google Patents
電子顕微鏡等のｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPH03246862A JPH03246862A JP2042461A JP4246190A JPH03246862A JP H03246862 A JPH03246862 A JP H03246862A JP 2042461 A JP2042461 A JP 2042461A JP 4246190 A JP4246190 A JP 4246190A JP H03246862 A JPH03246862 A JP H03246862A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- electron microscope
- detectors
- sample
- detector
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子顕微鏡等（電顕と略す）の非分散形Ｘ線Ｅ
ＤＸ分析装置に関する。
ＤＸ分析装置に関する。
従来、電顕にＥＤＸ検出器を２ヶ取付ける事が行われて
いる。この目的は、検出目的に応じて、検出器を使い分
ける方式で、両者の検出器はそれぞれ違っている。第２
図は従来例で、５は検出素子の面積が５０ｍ＋＋２のＢ
ｅ膜窓のＥＤＸ検出器、５′は超薄膜窓で１０ＹｒＩｒ
１２の検出素子を持ったＥＤＸ検出器の例である。５′
は軽元素の検出が可能であるが、検出感度が足らない。
いる。この目的は、検出目的に応じて、検出器を使い分
ける方式で、両者の検出器はそれぞれ違っている。第２
図は従来例で、５は検出素子の面積が５０ｍ＋＋２のＢ
ｅ膜窓のＥＤＸ検出器、５′は超薄膜窓で１０ＹｒＩｒ
１２の検出素子を持ったＥＤＸ検出器の例である。５′
は軽元素の検出が可能であるが、検出感度が足らない。
５では、軽元素の検出はできないが、検出感度は良い。
元素分析に於いては、必ずしも軽元素の検出は必要でな
いが、検出感度がほしい時、検出器５を使用する。どち
らの検出器を使うかは、スイッチ１２により選択する。
いが、検出感度がほしい時、検出器５を使用する。どち
らの検出器を使うかは、スイッチ１２により選択する。
検出器、５と５′の検出した信号を同時に取込むことは
なく、従って、検出感度は、それぞれの検出器によって
決まる。
なく、従って、検出感度は、それぞれの検出器によって
決まる。
電顕等に於いて、検鏡しようとする試料に１局部的に照
射された電子線により、試料から発生する試料構成元素
に固有の特性Ｘ線を非分散形Ｘ線（ＥＤＸ）検出器を用
いて検出して、試料の構成元素を同定することができる
が、この際、試料がら発生するＸ線を極く一部しか検出
していないと云う本質的な感度に対する欠点がある。検
出感度向上のため、検出素子を試料にできるだけ近づけ
るとか、検出素子の面積を大きくする等の工夫が従来か
らなされてきた。検出素子の面積をあまり大きくすると
、検出分解能を劣化させる問題があり、現状では素子の
面積は、５０ｍｍ２が限度である。又、素子と試料の距
離にしても限度がある。
射された電子線により、試料から発生する試料構成元素
に固有の特性Ｘ線を非分散形Ｘ線（ＥＤＸ）検出器を用
いて検出して、試料の構成元素を同定することができる
が、この際、試料がら発生するＸ線を極く一部しか検出
していないと云う本質的な感度に対する欠点がある。検
出感度向上のため、検出素子を試料にできるだけ近づけ
るとか、検出素子の面積を大きくする等の工夫が従来か
らなされてきた。検出素子の面積をあまり大きくすると
、検出分解能を劣化させる問題があり、現状では素子の
面積は、５０ｍｍ２が限度である。又、素子と試料の距
離にしても限度がある。
このような事から、現在のＸ線取込角は０ 、１ ｓｔ
ｒ前後である。これを解決する方法として、検出器を数
多く取付ける事が考えられる。２ヶ取付ければ、１ケの
時の感度は２倍に、３ヶ取付ければ、３倍に向上させる
事ができる。本発明は複数個の検出器から同時に信号を
取込んで、感度よくＸ線分析を行う事にある。
ｒ前後である。これを解決する方法として、検出器を数
多く取付ける事が考えられる。２ヶ取付ければ、１ケの
時の感度は２倍に、３ヶ取付ければ、３倍に向上させる
事ができる。本発明は複数個の検出器から同時に信号を
取込んで、感度よくＸ線分析を行う事にある。
上記目的を達成するために、複数筒の検出器それぞれに
、信号取込みに必要なハードウェアーを持たせる。
、信号取込みに必要なハードウェアーを持たせる。
各検出器で同一計数時間で検出された信号を、増幅し、
パルスプロセッサーにより、Ｘ線のエネルギー別に分離
し、メモリーし、コンピュータにより、それぞれにメモ
リーされた信号をＸ線のエネルギー別に足し合せて、デ
イスプレーに表示又は、データアラトプットさせる。
パルスプロセッサーにより、Ｘ線のエネルギー別に分離
し、メモリーし、コンピュータにより、それぞれにメモ
リーされた信号をＸ線のエネルギー別に足し合せて、デ
イスプレーに表示又は、データアラトプットさせる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。１は
電顕の光軸で、２は照射レンズ系、４は結像レンズ系で
ある。電子銃（図示されていない）から放射された電子
線は光軸に沿って、照射レンズ系２を通って、試料３に
照射される。試料から放射された特性Ｘ線を、光軸のま
わりに配置されたＥＤＸ検出器５，５′により検出する
。検出された信号は、プリアンプ６．６′および、アン
プ７．７′により増幅され、パルスプロセッサー８゜８
′によりＸ線のエネルギー別に信号を仕分けて、コンピ
ュータ９のメモリーに送り込む。８，８′から、９へ送
り込まれる信号は、同一計測時間に送り込まれるもので
ある。両者の信号をＸ線のエネルギー別に足し合せて、
デイスプレィ１０に表示すれば、単一の検出器の場合の
２倍の感度で、Ｘ線を検出することができ、試料微小部
のＸ線分析で信号量が少ない場合に効果がある。１１は
データのアウトプットで、プロッター、プリンター等が
使用される。本実施例では、コンピュータ９にメモリー
を含ませたが、８，８′の方にメモリーを持たせても同
じことである。
電顕の光軸で、２は照射レンズ系、４は結像レンズ系で
ある。電子銃（図示されていない）から放射された電子
線は光軸に沿って、照射レンズ系２を通って、試料３に
照射される。試料から放射された特性Ｘ線を、光軸のま
わりに配置されたＥＤＸ検出器５，５′により検出する
。検出された信号は、プリアンプ６．６′および、アン
プ７．７′により増幅され、パルスプロセッサー８゜８
′によりＸ線のエネルギー別に信号を仕分けて、コンピ
ュータ９のメモリーに送り込む。８，８′から、９へ送
り込まれる信号は、同一計測時間に送り込まれるもので
ある。両者の信号をＸ線のエネルギー別に足し合せて、
デイスプレィ１０に表示すれば、単一の検出器の場合の
２倍の感度で、Ｘ線を検出することができ、試料微小部
のＸ線分析で信号量が少ない場合に効果がある。１１は
データのアウトプットで、プロッター、プリンター等が
使用される。本実施例では、コンピュータ９にメモリー
を含ませたが、８，８′の方にメモリーを持たせても同
じことである。
第１図では、ＥＤＸ検出器を含めた５〜８までの検出お
よび、信号処理系は、２組しか図示されていないが、空
間的に許される限り、多ければ多い程、検出感度は向上
するので、効果が期待できる。
よび、信号処理系は、２組しか図示されていないが、空
間的に許される限り、多ければ多い程、検出感度は向上
するので、効果が期待できる。
検出器の性能は分解能によって決まるので、５゜５′の
分解能が同程度である事が望ましい。
分解能が同程度である事が望ましい。
本発明によれば、Ｘ線検出感度向上に効果がある。
第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２
図は従来例のブロック図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、電子顕微鏡等の試料のまわりに複数箇の非分散形Ｘ
線検出器を配置したＸ線分析装置において、全ての検出
器で、Ｘ線を同時に計測し、得られた信号を、Ｘ線のエ
ネルギー別に全ての検出器について足し合せるようにし
たことを特徴とする、電子顕微鏡等のＸ線分析装置。 ２、電子顕微鏡等の試料のまわりに配設された複数箇の
非分散形Ｘ線検出器の全ての分解能が略同じであること
を特徴とする請求項１記載の電子顕微鏡等のＸ線分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2042461A JPH03246862A (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 電子顕微鏡等のｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2042461A JPH03246862A (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 電子顕微鏡等のｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03246862A true JPH03246862A (ja) | 1991-11-05 |
Family
ID=12636713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2042461A Pending JPH03246862A (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 電子顕微鏡等のｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03246862A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0714538A (ja) * | 1993-06-25 | 1995-01-17 | Topcon Corp | 分析電子顕微鏡 |
| JPH11108861A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-23 | Technos Kenkyusho:Kk | 蛍光ｘ線分析装置および蛍光ｘ線検出器 |
| US6121623A (en) * | 1997-10-03 | 2000-09-19 | Hitachi, Ltd. | Parallel radiation detector |
| EP2294371A4 (en) * | 2008-05-08 | 2014-03-26 | Kla Tencor Corp | IN SITU DIFFERENTIAL SPECTROSCOPY |
| JP2014153342A (ja) * | 2013-02-14 | 2014-08-25 | Jeol Ltd | 試料分析方法および試料分析装置 |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP2042461A patent/JPH03246862A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0714538A (ja) * | 1993-06-25 | 1995-01-17 | Topcon Corp | 分析電子顕微鏡 |
| JPH11108861A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-23 | Technos Kenkyusho:Kk | 蛍光ｘ線分析装置および蛍光ｘ線検出器 |
| US6121623A (en) * | 1997-10-03 | 2000-09-19 | Hitachi, Ltd. | Parallel radiation detector |
| EP2294371A4 (en) * | 2008-05-08 | 2014-03-26 | Kla Tencor Corp | IN SITU DIFFERENTIAL SPECTROSCOPY |
| JP2014153342A (ja) * | 2013-02-14 | 2014-08-25 | Jeol Ltd | 試料分析方法および試料分析装置 |
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