JPH0324744A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はウエハーテストのブローブカードに関するも
のである。

〔従来の技術〕

第２図は従来のブローブカードの共通電源の電源ライン
を示す回路図であり、図において、（３）は各ＤＵＴの
切離しの為のリレーを示す。

次に動作について説明する。ウエノ＼テストの多数個同
時測定において、共通電源を使用する場合各ＤＵＴにリ
レーを設けて不良ＤＵＴが存在した時、そのＤＵＴを切
離して他のＤＵＴに影響を与えないようにしていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のブローブカードは以上の様に構成ぐれていたので
、不良ＤＵＴが確実に共通電源から切り離されているか
を確認する事ができないという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、リレーが正常に動作して不良ＤＵＴがテスト
ストップ後、共通電源ラインから確実に切離されている
かを確認できるブローブカードを得ることを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るブローブカードは、各ＤＵＴの共通電源
ラインに設けられた各リレーのＯＮ　，　ＯＦＦを示す
信号ラインと、この信号と各ＤＵＴからテスト中にのみ
出力されるＤＵＴ信号とをＥＯＲするＥＯＲ回路を新た
に設けたものである。

〔作用〕

この発明におけるブローブカードは、ＯＮ，ＯＦＦ信号
ラインとＥＯＲ回路を設けることによりリレー誤動作発
生時に警告信号を発生濾せてテストを中断する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）は各ＤＵＴの共通電源ラインに設け
られた各リレーのＯＮ，ＯＦＦを示す信号ライン、（２
）は上記信号と、各ＤＵＴからのテスト中にのみ出力さ
れるＤＵＴ信号とをＦＯＲするＦＯＲ回路、〈８）は各
ＤＵＴの切離しのためのリレーである。

次に動作について説明する。テスト開始と共にＤＵＴ信
号が入り、各ＤＵＴの共通電源２インに設けられたリレ
ー（８）はＯＮする。この時、リレー（８）の異状でＤ
ＵＴ信号が入ったにもかかわらず、リレーがＯＮしない
場合に、ＦＯＲ回路（２）から信号が出力し、アラーム
を鳴らしてテストをストップさせる。

また、テスト中不良ＤＵＴが存在してそのＤＵＴ信号が
ＯＦＦした場合通常、不良ＤＵＴの共通電源ラインのリ
レー（８）は切離されるが、リレー（８）の異状でリレ
ーがＯＦＦＬない場合にＦＯＲ回路（２）から信号が出
力し、アラームを鳴らしてテストをストップさせる。

なお、上記実施例では共通電源の場合について説明した
が、各ＤＵＴが共通に使われてぃるＧＮＤの場合でもよ
く上記実施例と同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、ブローブヵードの各Ｄ
ＵＴの共通電源ラインに設けられた各リレーのＯ　Ｎ　
，　ＯＦＦを示す信号ラインと、この信号と各ＤＵＴか
らテスト中にのみ出力されるＤＵＴ信号とをＦＯＲする
ＥＯＲ回路を設ける事によりリレーが正常に動作してい
るかを確認する事ができ、より精度の高いテストができ
るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるブローブカードの共
通電源ラインを示す回路図、第２図は従来のプローブカ
ードの共通電源ラインを示す回路図である，． 図において、（１）はリレー信号ライン、（２）はＦＯ
Ｒ回路、（８）はリレーを示す。 なお、図中、同一符号は同一　または相当部分を示す。 第ｌ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウエハテストの多数個同時測定において、各ＤＵＴの共
   通電源ラインに取付けられた各リレーのＯＮ、ＯＦＦを
   示す信号ラインを新たに設け、この信号と各ＤＵＴから
   テスト中にのみ出力されるＤＵＴ信号とが同時に出力し
   ない時に警告信号を発生させてリレーの異状を知らせる
   ようにした事を特徴とするプローブカード。