JPH03249423A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
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- JPH03249423A JPH03249423A JP4269090A JP4269090A JPH03249423A JP H03249423 A JPH03249423 A JP H03249423A JP 4269090 A JP4269090 A JP 4269090A JP 4269090 A JP4269090 A JP 4269090A JP H03249423 A JPH03249423 A JP H03249423A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明の静圧気体軸受は、精密工作機械等の回転部分を
支承する場合に利用するもので、本発明は、この様な静
圧気体軸受の剛性向上を図るものである。
支承する場合に利用するもので、本発明は、この様な静
圧気体軸受の剛性向上を図るものである。
（従来の技術）
精密工作機械等に組み込まれ、高速で回転する回転軸等
の回転部材を、空気等の圧縮気体の力により支承する静
圧気体軸受が、従来から広く使用されている。
の回転部材を、空気等の圧縮気体の力により支承する静
圧気体軸受が、従来から広く使用されている。
第９〜１０図は、この様な従来から知られている静圧気
体軸受の１例として、特公昭４５−３７６８３号公報に
記載された静圧気体軸受を示している。
体軸受の１例として、特公昭４５−３７６８３号公報に
記載された静圧気体軸受を示している。
第９図に於いて１は、内周面を円筒状の軸受面２とした
軸受部材で、この軸受部材１の内側に回転軸３を挿通し
ている。上記軸受面２の上下左右４個所位置には、それ
ぞれ凹部４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂを形成し、各凹部４ａ
、４ｂ、５ａ、５ｂに圧縮気体を送り込む事で、上記回
転軸３を軸受部材１の内側に、非接触状態で支承する様
にしている。
軸受部材で、この軸受部材１の内側に回転軸３を挿通し
ている。上記軸受面２の上下左右４個所位置には、それ
ぞれ凹部４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂを形成し、各凹部４ａ
、４ｂ、５ａ、５ｂに圧縮気体を送り込む事で、上記回
転軸３を軸受部材１の内側に、非接触状態で支承する様
にしている。
上記４個の凹部４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂの内、上下２個
所位置の凹部４ａ、４ｂは第一の制御絞り弁６を介して
、左右２個所位置の凹部５ａ、５ｂは第二の制御絞り弁
７を介して、それぞれコンプレッサ等の圧縮気体供給源
に通じさせている。
所位置の凹部４ａ、４ｂは第一の制御絞り弁６を介して
、左右２個所位置の凹部５ａ、５ｂは第二の制御絞り弁
７を介して、それぞれコンプレッサ等の圧縮気体供給源
に通じさせている。
上記第一、第二の制御絞り弁６．７は、軸受面２と回転
軸３の外周面とが同心になる様に、上下の凹部４ａ、４
ｂ、或は左右の凹部５ａ、５ｂに送る圧縮気体の量と圧
力とを調節する為のもので、例えば第１０図に示す様に
構成されている。
軸３の外周面とが同心になる様に、上下の凹部４ａ、４
ｂ、或は左右の凹部５ａ、５ｂに送る圧縮気体の量と圧
力とを調節する為のもので、例えば第１０図に示す様に
構成されている。
第一（第二）の制御絞り弁６（７）を構成するハウジン
グ８の片面中央部に設けた第一ボート９と凹部４ａ （
５ａ）とは第一供給管１０により、他面中央部に設けた
第二ボート１１と凹部４ｂ（５ｂ）とは第二供給管１２
により、それぞれ連通させている。又、上記ハウジング
８の中間部にはダイヤフラム１５を設けて、このハウジ
ング８の内側を、第一ボート９側の第−室１３と第一ボ
ート１１側の第二室１４とに分割し、これら第、第二両
室１３．１４に、圧縮気体供給源から圧縮気体を送り込
んでいる。
グ８の片面中央部に設けた第一ボート９と凹部４ａ （
５ａ）とは第一供給管１０により、他面中央部に設けた
第二ボート１１と凹部４ｂ（５ｂ）とは第二供給管１２
により、それぞれ連通させている。又、上記ハウジング
８の中間部にはダイヤフラム１５を設けて、このハウジ
ング８の内側を、第一ボート９側の第−室１３と第一ボ
ート１１側の第二室１４とに分割し、これら第、第二両
室１３．１４に、圧縮気体供給源から圧縮気体を送り込
んでいる。
上記ハウジング８の内面で、第一、第二側ボート９．１
１の開口部を囲む位置は、全周に亙ってそれぞれ内方に
突出させ、上記ダイヤフラム１５の両側には、第一、第
二側ボート９．１１と第一、第二両室１３．１４との間
に、それぞれ第一、第二側絞り流路１６．１７を形成し
ている。
１の開口部を囲む位置は、全周に亙ってそれぞれ内方に
突出させ、上記ダイヤフラム１５の両側には、第一、第
二側ボート９．１１と第一、第二両室１３．１４との間
に、それぞれ第一、第二側絞り流路１６．１７を形成し
ている。
上述の様に構成される為、回転軸３の変位に基づいて、
この回転軸３の外周面と軸受面２とが同心でなくなった
場合、第一、第二の制御絞り弁６．７の作用により、凹
部４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂに送り込まれる圧縮空気の量
と圧力とが適当に調節され、上記回転軸３の外周面と軸
受面２とが同心になる。
この回転軸３の外周面と軸受面２とが同心でなくなった
場合、第一、第二の制御絞り弁６．７の作用により、凹
部４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂに送り込まれる圧縮空気の量
と圧力とが適当に調節され、上記回転軸３の外周面と軸
受面２とが同心になる。
例えば、第１０図に於いて回転軸３が下方に変位した場
合、回転軸３の外周面と軸受面２との間の軸受隙間１８
の寸法が、下側で小さく、上側で大きくなる。この寸法
変化に伴ない、下側の凹部４ｂ （５ｂ）内の圧力が高
く、上側の凹部４ａ（５ａ）内の圧力が低くなり、第二
供給管１２により凹部４ｂ （５ｂ）と通じた第二ボー
ト１１内の圧力が上昇し、第一供給管１０により凹部４
ａ（５ａ）と通じた第一ボート９内の圧力が低下する。
合、回転軸３の外周面と軸受面２との間の軸受隙間１８
の寸法が、下側で小さく、上側で大きくなる。この寸法
変化に伴ない、下側の凹部４ｂ （５ｂ）内の圧力が高
く、上側の凹部４ａ（５ａ）内の圧力が低くなり、第二
供給管１２により凹部４ｂ （５ｂ）と通じた第二ボー
ト１１内の圧力が上昇し、第一供給管１０により凹部４
ａ（５ａ）と通じた第一ボート９内の圧力が低下する。
この結果、第一、第二側ポート９．１１を仕切るダイヤ
フラム１５が上方に変位し、第二絞り流路１７が広く、
第一絞り流路１６が狭くなって、下側の凹部４ｂ （５
ｂ）内に送り込む圧縮気体の量と圧力とが犬ぎくなり、
上側の凹部４ａ（５ａ）内に送り込まれる圧縮気体の量
と圧力とが小さくなって、回転軸３が第１０図で上方に
押され、この回転軸３の変位が解消される。
フラム１５が上方に変位し、第二絞り流路１７が広く、
第一絞り流路１６が狭くなって、下側の凹部４ｂ （５
ｂ）内に送り込む圧縮気体の量と圧力とが犬ぎくなり、
上側の凹部４ａ（５ａ）内に送り込まれる圧縮気体の量
と圧力とが小さくなって、回転軸３が第１０図で上方に
押され、この回転軸３の変位が解消される。
（発明が解決しようとする課題）
ところが、上述の汀に構成され作用する、従来の静圧気
体軸受に１髪・では、次に述べる様な問題があった。
体軸受に１髪・では、次に述べる様な問題があった。
即ち、従来構造の場合、軸受隙間１８に圧縮気体を供給
する為の凹部４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂが、大きな凹みで
あった為、これらの凹部４ａ。
する為の凹部４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂが、大きな凹みで
あった為、これらの凹部４ａ。
４ｂ、５ａ、５ｂに送り込んだ圧縮気体により、自助振
動が発生し易く、発生した場合には、静圧気体軸受を組
み込んだ工作機械等の運転を安定して行なえなくなって
しまう。
動が発生し易く、発生した場合には、静圧気体軸受を組
み込んだ工作機械等の運転を安定して行なえなくなって
しまう。
特に、軸受剛性を高める為、各凹部４ａ、４ｂ、５ａ、
ｓｂに供給する気体の圧力を上昇させると、上述の様な
自励振動が発生し易くなるので、軸受剛性を高めるのに
限度があった。
ｓｂに供給する気体の圧力を上昇させると、上述の様な
自励振動が発生し易くなるので、軸受剛性を高めるのに
限度があった。
本発明の静圧気体軸受は、上述の様な問題を解決するも
のである。
のである。
（課題を解決する為の手段）
本発明の静圧気体軸受は、固定の軸受部材と、この軸受
部材に設けた軸受面と軸受隙間を介して対向する回転部
材と、上記軸受面に形成され、且つ供給口を通じて圧縮
気体の供給源に通しるスリット溝とから構成されている
。
部材に設けた軸受面と軸受隙間を介して対向する回転部
材と、上記軸受面に形成され、且つ供給口を通じて圧縮
気体の供給源に通しるスリット溝とから構成されている
。
そして、上記スリット溝の深さｄは、軸受隙間寸法りの
３〜８倍とし、上記スリット溝の幅Ｗは、上記深さｄの
１〜５倍としている。
３〜８倍とし、上記スリット溝の幅Ｗは、上記深さｄの
１〜５倍としている。
（作 用）
上述の様に構成される本発明の静圧気体軸受の場合、回
転部材を支承する為の圧縮気体は、スリット溝を通じて
軸受隙間に送り込まれるが、スリット溝の形状が工夫さ
れている事により、自助振動が発生し難くなり、静圧気
体軸受を組み込んだ装置を安定した状態で運転する事が
出来、又、圧縮気体の圧力を高めて、軸受剛性を向上さ
せる事も可能となる。
転部材を支承する為の圧縮気体は、スリット溝を通じて
軸受隙間に送り込まれるが、スリット溝の形状が工夫さ
れている事により、自助振動が発生し難くなり、静圧気
体軸受を組み込んだ装置を安定した状態で運転する事が
出来、又、圧縮気体の圧力を高めて、軸受剛性を向上さ
せる事も可能となる。
（実施例）
次に、図示の実施例を説明しつつ、本発明を更に詳しく
説明する。
説明する。
第１〜３図は本発明の第一実施例を示しており、第１図
は全体構成を示す断面図、第２図はスリット溝の形状を
示す、第１図のＡ矢視図、第３図は第２図のＢ−Ｂ断面
図である。
は全体構成を示す断面図、第２図はスリット溝の形状を
示す、第１図のＡ矢視図、第３図は第２図のＢ−Ｂ断面
図である。
１は、内周面を円筒状の軸受面２とした軸受部材で、こ
の軸受部材１の内側に、外径が５０〜１５０ｍｍ程度の
回転軸３を挿通している。上記軸受面２の上下左右４個
所位置には、それぞれスリット溝１９ａ、１９ｂ、２０
ａ、２０ｂを形成し、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２
０ａ、２０ｂに圧縮気体を送り込む事で、上記回転軸３
を軸受部材１の内側に、非接触状態で支承する様にして
いる。
の軸受部材１の内側に、外径が５０〜１５０ｍｍ程度の
回転軸３を挿通している。上記軸受面２の上下左右４個
所位置には、それぞれスリット溝１９ａ、１９ｂ、２０
ａ、２０ｂを形成し、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２
０ａ、２０ｂに圧縮気体を送り込む事で、上記回転軸３
を軸受部材１の内側に、非接触状態で支承する様にして
いる。
即ち、上記各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０
ｂ内に送り込まれた圧縮気体により、上記軸受面２と回
転軸３の外周面との間に、寸法がｈの軸受隙間１８を全
周に亙って形成し、回転軸３が軸受部材１の内側で、両
部材３．１同士が互いに接触する事なく回転する様にし
ている。
ｂ内に送り込まれた圧縮気体により、上記軸受面２と回
転軸３の外周面との間に、寸法がｈの軸受隙間１８を全
周に亙って形成し、回転軸３が軸受部材１の内側で、両
部材３．１同士が互いに接触する事なく回転する様にし
ている。
又、上記４個のスリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２
０ｂの内、上下２個所位置のスリット溝１９ａ、１９ｂ
は第一の制御絞り弁６を介して、左右２個所位置のスリ
ット溝２０ａ、２０ｂは第二の制御絞り弁７を介して、
それぞれコンプレッサ等の圧縮気体供給源に通しさせて
いる。
０ｂの内、上下２個所位置のスリット溝１９ａ、１９ｂ
は第一の制御絞り弁６を介して、左右２個所位置のスリ
ット溝２０ａ、２０ｂは第二の制御絞り弁７を介して、
それぞれコンプレッサ等の圧縮気体供給源に通しさせて
いる。
上記第一、第二の制御絞り弁６．７は、前述した従来構
造の場合と同様に、軸受面２と回転軸３の外周面とが同
心になる様に、上下のスリット溝１９ａ、１９ｂ１或は
左右のスリット溝２０ａ１２０ｂに送る圧縮気体の量を
調節する為のもので、前述した第１０図に示す様に構成
されており、各制御絞り弁６．７の両端部にその一端を
接続された第一、第二供給管１０．１２の他端を、上記
各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂの中央部
に通じさせている。
造の場合と同様に、軸受面２と回転軸３の外周面とが同
心になる様に、上下のスリット溝１９ａ、１９ｂ１或は
左右のスリット溝２０ａ１２０ｂに送る圧縮気体の量を
調節する為のもので、前述した第１０図に示す様に構成
されており、各制御絞り弁６．７の両端部にその一端を
接続された第一、第二供給管１０．１２の他端を、上記
各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂの中央部
に通じさせている。
各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂは、それ
ぞれ第２図に示す様にｒ田Ｊ字形に形成されている。
ぞれ第２図に示す様にｒ田Ｊ字形に形成されている。
この様な各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂ
の深さｄは、前記軸受隙間１８の寸法ｈ（通常５〜２０
μｍ）の３〜８倍（ｄ＝（３〜８）ｈ）とし、上記スリ
ット溝の幅Ｗは、上記深さｄの１〜５倍（ｗ＝（１〜５
）ｄ）としている。
の深さｄは、前記軸受隙間１８の寸法ｈ（通常５〜２０
μｍ）の３〜８倍（ｄ＝（３〜８）ｈ）とし、上記スリ
ット溝の幅Ｗは、上記深さｄの１〜５倍（ｗ＝（１〜５
）ｄ）としている。
上述の様に構成される本発明の静圧気体軸受の場合、回
転軸３を支承する為の圧縮気体は、各スリット溝１９ａ
、１９ｂ、２０ａ、２０ｂを通じて軸受隙間１８に送り
込まれ、軸受部材１の内側に回転軸３を、非接触状態で
支承すると共に、回転軸３外周面の中心と軸受面２の中
心とがずれた場合には、第一、第二の両制御絞り弁６．
７の作用により、このずれを修正する。
転軸３を支承する為の圧縮気体は、各スリット溝１９ａ
、１９ｂ、２０ａ、２０ｂを通じて軸受隙間１８に送り
込まれ、軸受部材１の内側に回転軸３を、非接触状態で
支承すると共に、回転軸３外周面の中心と軸受面２の中
心とがずれた場合には、第一、第二の両制御絞り弁６．
７の作用により、このずれを修正する。
更に、本発明の静圧気体軸受の場合、スリット溝１９ａ
、１９ｂ、２０ａ、２０ｂの形状が、上述の様に工夫さ
れている事により、自助振動が発生し難くなり、静圧気
体軸受を組み込んだＰ！密工作機械等の装置を安定した
状態で運転する事が出来、又、気体の圧力を高めて、軸
受剛性を向上させる事も可能となる。この場合に於いて
、本発明の静圧気体軸受の場合、実用的な気体消費量（
例えば、１軸受当たりで５〜５０１． ／ｍｉｎ ）で
、十分な軸受剛性を得る事が出来る。
、１９ｂ、２０ａ、２０ｂの形状が、上述の様に工夫さ
れている事により、自助振動が発生し難くなり、静圧気
体軸受を組み込んだＰ！密工作機械等の装置を安定した
状態で運転する事が出来、又、気体の圧力を高めて、軸
受剛性を向上させる事も可能となる。この場合に於いて
、本発明の静圧気体軸受の場合、実用的な気体消費量（
例えば、１軸受当たりで５〜５０１． ／ｍｉｎ ）で
、十分な軸受剛性を得る事が出来る。
尚、スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂの形状
を、上述の様に定める理由は、次の通りである。
を、上述の様に定める理由は、次の通りである。
先ず、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ。
２０ｂの深さｄを軸受隙間１８の寸法りの３〜８倍（ｄ
＝（３〜８）ｈ）とした理由は、深さｄを隙間寸法りの
３倍よりも小さくした場合（ｄ〈３ｈ）、各スリット溝
１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂ内に送り込まれた圧縮
気体が、溝全体に互って広がりにくく、各スリット溝１
９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂ内に存在する圧縮気体の
圧力が均一となり難い為、軸受剛性が低くなり、反対に
、深さｄを隙間寸法りの８倍よりも大きくした場合（ｄ
＞８ｈ）、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０
ｂの容積が大きくなって、自助振動が発生し易くなる為
である。
＝（３〜８）ｈ）とした理由は、深さｄを隙間寸法りの
３倍よりも小さくした場合（ｄ〈３ｈ）、各スリット溝
１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂ内に送り込まれた圧縮
気体が、溝全体に互って広がりにくく、各スリット溝１
９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂ内に存在する圧縮気体の
圧力が均一となり難い為、軸受剛性が低くなり、反対に
、深さｄを隙間寸法りの８倍よりも大きくした場合（ｄ
＞８ｈ）、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０
ｂの容積が大きくなって、自助振動が発生し易くなる為
である。
又、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂの幅
Ｗを深さｄの１〜５倍（ｗ＝（１〜５）ｄ）とした理由
は次の通りである。即ち、幅Ｗを深さｄよりも小さくし
た場合（ｗｅｄ）、スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ
、２０ｂの加工作業が難しくなり、静圧気体軸受の製作
費が徒に高くなり、又、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、
２０ａ、２Ｏｂ内の気体の圧力が全体に亙って均一化さ
れないので、軸受剛性が低くなる。反対に、幅Ｗを深さ
ｄの５倍よりも大きくした場合（Ｗ〉５ｄ）、軸受面２
に形成するスリット溝の体積が大きくなって、自助振動
が発生し易くなる。尚、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、
２０ａ、２０ｂの断面形状は、矩形でも、或は円弧形で
も良い。
Ｗを深さｄの１〜５倍（ｗ＝（１〜５）ｄ）とした理由
は次の通りである。即ち、幅Ｗを深さｄよりも小さくし
た場合（ｗｅｄ）、スリット溝１９ａ、１９ｂ、２０ａ
、２０ｂの加工作業が難しくなり、静圧気体軸受の製作
費が徒に高くなり、又、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、
２０ａ、２Ｏｂ内の気体の圧力が全体に亙って均一化さ
れないので、軸受剛性が低くなる。反対に、幅Ｗを深さ
ｄの５倍よりも大きくした場合（Ｗ〉５ｄ）、軸受面２
に形成するスリット溝の体積が大きくなって、自助振動
が発生し易くなる。尚、各スリット溝１９ａ、１９ｂ、
２０ａ、２０ｂの断面形状は、矩形でも、或は円弧形で
も良い。
次に、第４図は本発明の第二実施例を示している。
前述の第一実施例が、スリット溝１９ａ１１９ｂ、２０
ａ、２０ｂの全体形状をｒ田１字形としていたのに対し
、本実施例の場合は、互いに平行な複数の分配溝部２１
．２１の中央部同士を、連結溝部２２で連続させた形状
としている。
ａ、２０ｂの全体形状をｒ田１字形としていたのに対し
、本実施例の場合は、互いに平行な複数の分配溝部２１
．２１の中央部同士を、連結溝部２２で連続させた形状
としている。
その他の構成と作用とに就いては、スリット溝の幅や深
さも含め、前述した第一実施例の場合と同様である。
さも含め、前述した第一実施例の場合と同様である。
次に、第５〜６図は本発明の第三実施例を示しており、
第５図は第６図のＣ−Ｃ断面図、第６図は第５図のＤ−
Ｄ断面図である。
第５図は第６図のＣ−Ｃ断面図、第６図は第５図のＤ−
Ｄ断面図である。
前述した第一〜第二実施例が、本発明をラジアル軸受に
適用した実施例であフたのに対し、本実施例、及び後述
する第四実施例は、本発明をスラスト軸受に通用した実
施例である。
適用した実施例であフたのに対し、本実施例、及び後述
する第四実施例は、本発明をスラスト軸受に通用した実
施例である。
回転軸２３の両端部にフランジ部２４．２４を固定した
回転部材２５の周囲には、両フランジ部２４．２４に挟
まれる様にして、円輪状の軸受部材２６が設けられてい
る。
回転部材２５の周囲には、両フランジ部２４．２４に挟
まれる様にして、円輪状の軸受部材２６が設けられてい
る。
そして、この軸受部材２６の両側面に設けられた軸受面
２８ａ、２８ｂに、それぞれ第６図に示す様に、同心円
状の溝部と放射状の溝部とを組み合わせた、スリット溝
２７ａ、２７ｂを形成し、各スリット溝２７ａ、２７ｂ
に圧縮気体を送り込む事により、各フランジ部２４．２
４が軸受部材２６と接触する事なく、回転軸２３及びフ
ランジ部２４．２４が回転する様にしている。
２８ａ、２８ｂに、それぞれ第６図に示す様に、同心円
状の溝部と放射状の溝部とを組み合わせた、スリット溝
２７ａ、２７ｂを形成し、各スリット溝２７ａ、２７ｂ
に圧縮気体を送り込む事により、各フランジ部２４．２
４が軸受部材２６と接触する事なく、回転軸２３及びフ
ランジ部２４．２４が回転する様にしている。
又、軸受部材２６の内側には、それぞれスリット溝２７
ａ、２７ｂの底部に通じる制御絞り弁２９を設けて、各
スリット溝２７ａ、２７ｂに供給する圧縮気体の量を調
節し、各軸受面２８ａ、２８ｂと各フランジ部２４．２
４の内面との間の軸受隙間３０の寸法が、互いに同じに
なる様にしている。
ａ、２７ｂの底部に通じる制御絞り弁２９を設けて、各
スリット溝２７ａ、２７ｂに供給する圧縮気体の量を調
節し、各軸受面２８ａ、２８ｂと各フランジ部２４．２
４の内面との間の軸受隙間３０の寸法が、互いに同じに
なる様にしている。
上記各スリット溝２７ａ、２７ｂの幅や深さを前述した
範囲に規制する事は、第一〜第二実施例の場合と同様で
ある。
範囲に規制する事は、第一〜第二実施例の場合と同様で
ある。
次に、第７〜８図は本発明の第四実施例を示している。
本実施例の場合、軸受部材２６の軸受面２８４゜
ａ、２８ｂに形成するスリット溝２７ａ、２７ｂを、１
本の円形溝部と、この円形溝部を横切って設けられた複
数の放射溝部とから構成している。
本の円形溝部と、この円形溝部を横切って設けられた複
数の放射溝部とから構成している。
その他の構成と作用とに就いては、スリット溝の幅や深
さも含め、前述した第三実施例の場合と同様である。
さも含め、前述した第三実施例の場合と同様である。
（発明の効果）
本発明の静圧気体軸受は、以上に述べた通り構成され作
用する為、回転部材を支承する為の圧縮気体による自動
振動が発生し難く、静圧気体軸受を組み込んだ工作機械
等の運転を安定して行なえるだけでなく、実用的な気体
消費量で、十分に軸受剛性を高める事が出来る。
用する為、回転部材を支承する為の圧縮気体による自動
振動が発生し難く、静圧気体軸受を組み込んだ工作機械
等の運転を安定して行なえるだけでなく、実用的な気体
消費量で、十分に軸受剛性を高める事が出来る。
第１〜３図は本発明の第一実施例を示しており、第１図
は全体構成を示す断面図、第２図はスリット溝の形状を
示す、第１図のＡ矢視図、第３図は第２図のＢ−Ｂ断面
図、第４図は本発明の第二実施例を示す断面図、第５〜
６図は本発明の第三実施例を示しており、第５図は第６
図のＣ−Ｃ断面図、第６図は第５図のＤ−Ｄ断面図、第
７〜８図は本発明の第四実施例を示す、第５〜６図と同
様の図、第９図は従来の静圧気体軸受の１例を示す断面
図、第１０図は制御絞り弁による制御回路を示す断面図
である。 １：軸受部材、２：軸受面、３：回転軸、４ａ、４ｂ、
５ａ、５ｂ：凹部、６．第一の制御絞り弁、７：第二の
制御絞り弁、８；ハウジング、９・第一ボート、１０：
第一供給管、１１：第二ボート、１２：第二供給管、１
３：第−室、１４：第二室、１５．ダイヤフラム、１６
：第一絞り流路、１７８第二絞り流路、１８：軸受隙間
、１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂニスリツト溝、２１
・分配溝部、２２：連結溝部、２３：回転軸、２４ フ
ランジ部、２５：回転部材、２６：軸受部材、２７ａ、
２７ｂニスリツト溝、２８ａ、２８ｂ、軸受面、２９．
制御絞り弁、３０：軸受隙間。 第 図
は全体構成を示す断面図、第２図はスリット溝の形状を
示す、第１図のＡ矢視図、第３図は第２図のＢ−Ｂ断面
図、第４図は本発明の第二実施例を示す断面図、第５〜
６図は本発明の第三実施例を示しており、第５図は第６
図のＣ−Ｃ断面図、第６図は第５図のＤ−Ｄ断面図、第
７〜８図は本発明の第四実施例を示す、第５〜６図と同
様の図、第９図は従来の静圧気体軸受の１例を示す断面
図、第１０図は制御絞り弁による制御回路を示す断面図
である。 １：軸受部材、２：軸受面、３：回転軸、４ａ、４ｂ、
５ａ、５ｂ：凹部、６．第一の制御絞り弁、７：第二の
制御絞り弁、８；ハウジング、９・第一ボート、１０：
第一供給管、１１：第二ボート、１２：第二供給管、１
３：第−室、１４：第二室、１５．ダイヤフラム、１６
：第一絞り流路、１７８第二絞り流路、１８：軸受隙間
、１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂニスリツト溝、２１
・分配溝部、２２：連結溝部、２３：回転軸、２４ フ
ランジ部、２５：回転部材、２６：軸受部材、２７ａ、
２７ｂニスリツト溝、２８ａ、２８ｂ、軸受面、２９．
制御絞り弁、３０：軸受隙間。 第 図
Claims (1)
- （１）固定の軸受部材と、この軸受部材に設けた軸受面
と軸受隙間を介して対向する回転部材と、上記軸受面に
形成され、且つ供給口を通じて圧縮気体の供給源に通じ
るスリット溝とから成り、このスリット溝の深さｄは、
軸受隙間寸法ｈの３〜８倍であり、上記スリット溝の幅
ｗは、上記深さｄの１〜５倍である静圧気体軸受。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02042690A JP3089270B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 静圧気体軸受 |
| US07/658,777 US5064297A (en) | 1990-02-26 | 1991-02-21 | Static pressure gas bearing with throttling control valve in housing |
| GB9103921A GB2241992B (en) | 1990-02-26 | 1991-02-25 | Static pressure gas bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02042690A JP3089270B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 静圧気体軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03249423A true JPH03249423A (ja) | 1991-11-07 |
| JP3089270B2 JP3089270B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=12643036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02042690A Expired - Fee Related JP3089270B2 (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 静圧気体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3089270B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007054437A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-05-18 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Kompressor |
| JP2010249315A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-11-04 | Canon Inc | 静圧気体軸受 |
| JP2016148455A (ja) * | 2016-04-13 | 2016-08-18 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015051155A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | 株式会社アサヒ | 作業台またはワゴン |
| CN107061483B (zh) * | 2017-06-16 | 2019-08-27 | 江苏昊鹏机械有限公司 | 一种故障在线监测的汽车轮毂轴承单元及监测方法 |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP02042690A patent/JP3089270B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007054437A1 (de) * | 2005-11-09 | 2007-05-18 | BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH | Kompressor |
| JP2010249315A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-11-04 | Canon Inc | 静圧気体軸受 |
| JP2016148455A (ja) * | 2016-04-13 | 2016-08-18 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3089270B2 (ja) | 2000-09-18 |
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