JPH03255658A - トリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子回路を構成するＨＩＣ基板上の印刷抵抗な
レーザトリミング装置によってインデックストリミング
して、Ｈ工Ｃ基板の特性を定められた、規格内に調整す
るトリミング方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のトリミングは、第３図（ａ）に示すよう
なＨＩＣ基板１上の印刷抵抗２を第３図（ｂ）の如くト
リミングして回路特性を定められた規格内に調整するも
ので、規格に入れるべき物理量の測定と、一定のインデ
ックス長によるトリミングをくりかえし、目標値に達す
るまでトリミングする方法を使用していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のインデックストリミングの方法は、一定
のインデックス長でトリミングするので、目標値近傍の
変化率と目標値の規格によって、インデックス長は定ま
る。たとえば、第２図で示すような経過をとるトリミン
グの場合、目標値近傍１８の変化率は０．０６Ｃ％／μ
ｍ］であり、目標値の規格を±１［％］とすれば、イン
デックス長は５［μｍ］程度にしなければならない。こ
のインデックストリミングによって、１６００　［μｍ
］のトリミングを行うと、３２０ステツプはど必要であ
る。レーザ光線をビームポジョナによって移動してトリ
ミングする場合、移動時間より物理量の測定に多くの時
間をついやす。したがって、物理量が抵抗やＤＣ電圧の
通常の素子トリミングの場合は、コンパレータを使用し
、測定とトリミングを並行して行うトラッキングトリミ
ングが使用されている。このトラッキングトリミングの
処理時間はトリミング速度により定まる。ところが、近
れるようになった。この機能トリミングでは、抵抗をト
リミングするのであるが、目標値となる物理量は周波数
２周期、ＡＣ電圧、などといった、抵抗やＤＣ電圧以外
の量である。これらの物理量の測定器は通常のトリミン
グ装置では用意されておらず、外部の測定器とＧＰＩＢ
やＲ８−２３２Ｃなどのインターフェースを通して、測
定される。

したがって、このような、特殊な物理量の機能トリミン
グは、通常、インデックストリミングによる方法しかな
い。たとえば、第２図の例で、１６００［μｍ］のトラ
ッキングトリミングを行うと通常、２０　［ｍｍ／　Ｓ
　］のトリミングスピード±ｌ［％コの規格に入るが、
約ｏ、ｏ　ｓ　［ｓ］　０６００　［μｍｌ／２０　［
ｍｍ／　Ｓ　］）でトリミングを完了する。ところが、
ある物理量のインデックストリミングを１６００［μｍ
］を３２０ステツプで行うとし、ＧＰＩＢの通信も含め
た１回の測定時間が、約０．０５［Ｓ］であったとする
と、１６［Ｓ］（３２０ＸＯ，０５［Ｓ］）という非常
に長いトリミング時間になってしまう。そこで、この時
間を多少とも短くするために、インデックス長を２段階
に切りかえてトリミングする方法が使われることもある
。

たとえば、第２図の例では目標値からの偏差が１５％以
上の間はインデックス長を２００［μｍ］とし、１５％
より小さくなったときは、５　［μｍ］でインデックス
トリミングすると、インデックス長２００［μｍ］のと
きは７ステツプで、偏差が１０％となり、残りのトリミ
ング長は２００　［μｍ］となる。すなわち、残りの２
００［μｍ］を５［μｍ］のインデックス長でトリミン
グすると４０ステツプとなるから前の７ステツプを加え
て、改良した方法は４７ステツプでトリミングできる。

これを時間にすると２．３５　［Ｓ］　（４７［ステッ
プ］ｘＯ，０５［Ｓコ）となる。

ただし、実際には初期値のバラツキによって、インデッ
クス長がかわる偏差は１５％のときもありうる。すると
、残りの長さは３００［μｍ］だから、インデックス長
５［μｍ］では、６０ステツプかかる。したがって、最
大、６７ステツプかかることになり、トリミング時間は
３．３５［Ｓコ（６７［ステップ］Ｘ０．０５［Ｓコ）
となる。すなわち、改良した方法でも、一定のインデッ
クストリミングの４．８倍はど速くなるが、まだ、トラ
ッキングトリミングの時間０．０８［Ｓ］にはおよばな
い。

以上のような、従来のインデックストリミングでは非常
に時間がかかるという欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のトリミング方法は、与えられたインデックス長
でカッティングする部分と、そのときの測定値と目標値
の偏差およびトリミングの合計長の出力部と、偏差およ
びインデックスの合計長の出力データから、偏差対する
インデックス長を求める関数を作成する部分とを有して
いる。

本発明は、各ステップごとの測定値と目標値から、偏差
を求め、この偏差とあらかじめもとめた関数からカッテ
ィングすべきインデックス長とをもとめ、各ステップご
とにできるだけ大きなインデックス長でカッティングし
、インデックストリミング全体のステップ数を少なくで
きるという特長を有する。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第２図は、事前のトリミングにおいて、各ステップの測
定値と目標値の偏差と、インデックス合計長の出力から
偏差に対するインデックス合計長をプロットした図であ
る。この図から、ラグランシュの補間法などを適用する
と、この関数ＩＤＴ＝ｆ　（ＤＥＶ）が近似的に求まる
。ここで、■ＤＴはインデックス合計長で、ＤＥＶは偏
差である。これから、偏差に対するインデックス長を求
める関数を定める方法は、ＩＤＸをインデックス長、ｋ
を１より小さい数として では第１表に示すような経過をたどり、１０ステツプは
どで、規格に入る。

とする。ただし、ＩＤＸが５［μｍ］より小さいときは
ＩＤＸ＝５　［μｍ］とする。この５　［μｍ］は、目
標値近傍１８の変化率（０，０６％／μｍ）と目標値の
規格（±１［％］）から、次のように求めた値である。

ｌ　［％コ　１０．０６［％／ｐｍコ　／３　［ステッ
プコ　＃５［、ｕｍコ第１図は、本発明のトリミング方
法の概略を示すフローチャートである。８〜１３のフロ
ーで、偏差に対してインデックス長を求める関数を作威
し、■４〜１７のフローでその関数を使用してインデッ
クストリミングする。

たとえば、前述の偏差よりインデックス長を求める関数
で、係数ｋを０．５にすれば、第２図の例第　　１　　
表 したがって、トリミング時間は、 ０．０５　［Ｓ］　Ｘ　１０＝０．５　［Ｓ］のように
０．５［Ｓ］となる。

実際には初期値のバラツキなどによって、ステップ数は
最大で約１．５倍となるが、それでも処理時間は０．７
５［Ｓ］以内となり、従来のインデックストリミングに
比べ１／２１〜１／４．５程度に短縮される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、インデックストリミング
を行うとき、事前に調整すべき物理量の目標値に対する
偏差とインデックス合計長のデータをとり、これをもと
に物理量の偏差に対するカッティングすべきインデック
ス長を求める関数を作成し、この値によって、インデッ
クストリミングすることによって、機能トリミングの時
間を大幅に短縮できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のインデックストリミング方法を示すフ
ローチャート、第２図は事前インデックストリミングに
より、トリミングの経過を目標値からの偏差とインデッ
クス合計長でプロットした図、第３図（ａ）、　（ｂ）
は本発明の適用するＨＩＣ基板の例の平面図及び印刷抵
抗の拡大図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ＨＩＣ基板上の印刷抵抗をトリミング装置を使って、
   インデックストリミングして、定められた物理量を定め
   られた規格内にする方法において、あらかじめ、あるイ
   ンデックス長で、トリミングし、その各ステップごとに
   、前記物理量を測定し、トリミング長と物理量の関係を
   求めておき、この関係式により、各ステップでの前記物
   理量の測定値からその目標値にするための長さを求め、
   それに一定の比率をかけた長さを、インデックス長とす
   ることを特徴とするトリミング方法。