JPH0325725A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体およびその製造方法Info
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- JPH0325725A JPH0325725A JP16204789A JP16204789A JPH0325725A JP H0325725 A JPH0325725 A JP H0325725A JP 16204789 A JP16204789 A JP 16204789A JP 16204789 A JP16204789 A JP 16204789A JP H0325725 A JPH0325725 A JP H0325725A
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- Japan
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- roller
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- head
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[概要]
磁気記録媒体およびその製造方法に関し、ヘッドと媒体
の吸着が生じず、またヘッドと媒体の接触によるヘッド
クラッシュの発生が少ない磁気記録媒体およびその製造
方法を提供することを目的とし、 基板上に少なくとも磁性層および保護層を有する磁気記
録媒体において、前記基板と1,てコンタクトスタート
ストップゾーンの表面粗さがデータゾーンの表面粗さよ
り大きい基板を有するように構成し、 また、他の発明は基板上に少なくとも磁性層および保護
層を順次形或する磁気記録媒体の製造方法において、前
記基板に研磨テープをローラで押しつけてテクスチャー
加工するとき、前記ローラの加工用ゴムの硬度またはロ
ーラの外径を変更することにより、基板のコンタク1・
スタートストップゾーンの表面粗さをデータゾーンの表
面粗さより大きくなるように構成した。
の吸着が生じず、またヘッドと媒体の接触によるヘッド
クラッシュの発生が少ない磁気記録媒体およびその製造
方法を提供することを目的とし、 基板上に少なくとも磁性層および保護層を有する磁気記
録媒体において、前記基板と1,てコンタクトスタート
ストップゾーンの表面粗さがデータゾーンの表面粗さよ
り大きい基板を有するように構成し、 また、他の発明は基板上に少なくとも磁性層および保護
層を順次形或する磁気記録媒体の製造方法において、前
記基板に研磨テープをローラで押しつけてテクスチャー
加工するとき、前記ローラの加工用ゴムの硬度またはロ
ーラの外径を変更することにより、基板のコンタク1・
スタートストップゾーンの表面粗さをデータゾーンの表
面粗さより大きくなるように構成した。
[産業上の利用分野コ
本発明は、磁気記録媒体およびその製造方法に関する。
近年、磁気ディスク装置においては、高密度化に伴って
ヘッドの低浮上化によりデータゾーンではヘッドと媒体
の空隙が狭くなっている。ヘッドと媒体が接触して情報
が破損されるヘッドクラッシュを防止する.ためには、
浮上マージンを拡げることが必要であり、このために、
基板の全面を均一に平滑加工すると、逆にコンタクトス
タートストップ(C S S)ゾーンでヘッドと媒体が
吸着するという現象が発生ずる。
ヘッドの低浮上化によりデータゾーンではヘッドと媒体
の空隙が狭くなっている。ヘッドと媒体が接触して情報
が破損されるヘッドクラッシュを防止する.ためには、
浮上マージンを拡げることが必要であり、このために、
基板の全面を均一に平滑加工すると、逆にコンタクトス
タートストップ(C S S)ゾーンでヘッドと媒体が
吸着するという現象が発生ずる。
したがって、ヘッドクラッシコおよび吸着を防dユする
ために、媒体の表面粗さを制御することが必要となる。
ために、媒体の表面粗さを制御することが必要となる。
[従来の技術]
従来の基板の加工方法を第8図に示す。
第8図において、1は硬質で非磁性の基板、例えばアル
ミニウム板にNi−Pメッキを施し、研摩された板、、
またはガラス板、2は基板1−の表面に粗さを与えるた
めのテクスチャー加工処理を施す研磨テープ、3は研磨
テープ2を所定圧力で基板1に押しつける加工口−ラで
ある。
ミニウム板にNi−Pメッキを施し、研摩された板、、
またはガラス板、2は基板1−の表面に粗さを与えるた
めのテクスチャー加工処理を施す研磨テープ、3は研磨
テープ2を所定圧力で基板1に押しつける加工口−ラで
ある。
加工ローラ3は第9図1:′.示すように、シャフト4
と、ステンレス製のローラ本体5と、加工用ゴム6とに
より構成されτいる。加工用ゴム6としては硬度が同一
のものを仲用しでいる。また、加工ローラ3の外径は同
一寸法となっている。
と、ステンレス製のローラ本体5と、加工用ゴム6とに
より構成されτいる。加工用ゴム6としては硬度が同一
のものを仲用しでいる。また、加工ローラ3の外径は同
一寸法となっている。
第8図の矢印Aで示す方向に、基板1を回転させながら
、加工口・−ラ3に所定の圧力を与えて研磨テーブ2を
基板1に押しつけて矢印Bで示す方向に研磨テープ2を
搬送すると、基板1の表面には第10図に示すような均
一な大ぎさの粗さが形成される。
、加工口・−ラ3に所定の圧力を与えて研磨テーブ2を
基板1に押しつけて矢印Bで示す方向に研磨テープ2を
搬送すると、基板1の表面には第10図に示すような均
一な大ぎさの粗さが形成される。
このようにしてテクスチャー加工処理が施さむた基板1
上には、スパッタリングなどにより例えばCrよりなる
下地層が形成され、下地層の上にはCo合金系、例えば
CoN i C rなどの磁性層が形成され、磁性層の
上にはCatbon又はZrO2などの保護層が形成さ
れる。
上には、スパッタリングなどにより例えばCrよりなる
下地層が形成され、下地層の上にはCo合金系、例えば
CoN i C rなどの磁性層が形成され、磁性層の
上にはCatbon又はZrO2などの保護層が形成さ
れる。
また、保護層の上には例えばシリコンオイルなどの潤滑
油が塗布される。こうして製造された磁気記録媒体の断
面を第10図に示す。
油が塗布される。こうして製造された磁気記録媒体の断
面を第10図に示す。
第lO図において、1は基板、7はCrなとの下地層、
8はCo合金系などの磁性層、9はCarbon又はZ
r02などの保護層である。
8はCo合金系などの磁性層、9はCarbon又はZ
r02などの保護層である。
[発明が解決しようとする課題1
しかしながら、このような従来の磁気記録媒体およびそ
の製造方法にあっては、媒体表面の粗さはCSSゾーン
もデータゾーンも同一の大きさであるため、ヘッドの低
浮上化によりデータゾーンでヘッドと媒体の空隙が狭く
なると、ヘッドと媒体が接触して情報が破損されるヘッ
ドクラッシュが発生するという問題点があり、また、基
板の全面を均一 に平滑加工する堅いヘッドと媒体が吸
着するという問題点があった。
の製造方法にあっては、媒体表面の粗さはCSSゾーン
もデータゾーンも同一の大きさであるため、ヘッドの低
浮上化によりデータゾーンでヘッドと媒体の空隙が狭く
なると、ヘッドと媒体が接触して情報が破損されるヘッ
ドクラッシュが発生するという問題点があり、また、基
板の全面を均一 に平滑加工する堅いヘッドと媒体が吸
着するという問題点があった。
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたも
のーζ′・あって、・′゛・、ツド2:媒体の吸着が?
tしず、またへ・ソドと媒体の接触にj、るヘッドクウ
・・ノシュの発生が少ない磁気記録媒体およびその製造
方法を提供するこ2、を[1的,l:(,T:いる。
のーζ′・あって、・′゛・、ツド2:媒体の吸着が?
tしず、またへ・ソドと媒体の接触にj、るヘッドクウ
・・ノシュの発生が少ない磁気記録媒体およびその製造
方法を提供するこ2、を[1的,l:(,T:いる。
[課題を解決するための千段」
第1図(A>, (B)は本発明の原理説明I匈であ
る。
る。
第1図(A)において、3(;は基板11−上に構成さ
れる磁性層、37は保護層、11はコンタクトスタート
ストップゾ一二、3 30表面粗さがデータゾー・ン3
9の表面粗さより大きい基板である。
れる磁性層、37は保護層、11はコンタクトスタート
ストップゾ一二、3 30表面粗さがデータゾー・ン3
9の表面粗さより大きい基板である。
次に、第1図(i3)におi,1て、S2,S3(よ基
板11上に少なくとも@nM36および保護K}37を
順次形成する工程、31は前記基板11に研磨テープを
「1−ラで押;,一つけ′?:テクスチャ・一加工する
とき、前記ローラの加工用ゴムの精度またはローラの外
径を変更することにより、基板11のコンタクトスター
トストップゾーン38の表面粗さをデータゾーン39の
表面粗さより大きくなるように形成する工程である。
板11上に少なくとも@nM36および保護K}37を
順次形成する工程、31は前記基板11に研磨テープを
「1−ラで押;,一つけ′?:テクスチャ・一加工する
とき、前記ローラの加工用ゴムの精度またはローラの外
径を変更することにより、基板11のコンタクトスター
トストップゾーン38の表面粗さをデータゾーン39の
表面粗さより大きくなるように形成する工程である。
[作用]
基板に研磨テープを押しつけるローラの加工用ゴムの硬
度またはローラの外径を変えるようにしたため、基板の
コンタクトスタートストップ(CSS)ゾーンの表面粗
さは、データゾーンの表面粗さより大きくなる。したが
って、この基板を用いて製造された磁気記録媒体のCS
Sゾーンの表面粗さは大きく、データゾーンの表面粗さ
は小さくなる。
度またはローラの外径を変えるようにしたため、基板の
コンタクトスタートストップ(CSS)ゾーンの表面粗
さは、データゾーンの表面粗さより大きくなる。したが
って、この基板を用いて製造された磁気記録媒体のCS
Sゾーンの表面粗さは大きく、データゾーンの表面粗さ
は小さくなる。
したがって、ヘッドと媒体の吸着を防止することができ
、また、ヘッドと媒体が接触して情報が破損されるヘッ
ドクラッシュの発生は少なくなる。
、また、ヘッドと媒体が接触して情報が破損されるヘッ
ドクラッシュの発生は少なくなる。
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第2図〜第7図は本発明の一実施例を示す図である。
第2図は基板の加工装置を示す図である。
第2図において、11は矢印Aで示す方向に回転する基
板、12は研磨テープ13を矢印Bで示す方向に供給す
る供給リール、14は研磨テープ13を所定の圧力で基
板11に押しつける加工ローラ、15は研磨テープ13
を巻き取る巻取リリール、16は研磨液または冷却潤滑
剤を供給するノズルである。なお、l7はガイドローラ
、18はキャプスタン、19はキャプスタンピンチロー
ラである。
板、12は研磨テープ13を矢印Bで示す方向に供給す
る供給リール、14は研磨テープ13を所定の圧力で基
板11に押しつける加工ローラ、15は研磨テープ13
を巻き取る巻取リリール、16は研磨液または冷却潤滑
剤を供給するノズルである。なお、l7はガイドローラ
、18はキャプスタン、19はキャプスタンピンチロー
ラである。
次に、前記加エローラ14の断面.を第3図に示す。
第3図において、20はシャフト、21はシャフト20
はベアリング22を介して回転自在に支持されるローラ
本体、23はローラ本体21土に設けた加工用ゴム、2
4はローラ本体21上に設けられ加工用ゴム23より硬
度が低い加工用ゴムである。一方の加工用ゴム24は基
板11のデータゾーン用のもので例えば硬度を40°と
する。
はベアリング22を介して回転自在に支持されるローラ
本体、23はローラ本体21土に設けた加工用ゴム、2
4はローラ本体21上に設けられ加工用ゴム23より硬
度が低い加工用ゴムである。一方の加工用ゴム24は基
板11のデータゾーン用のもので例えば硬度を40°と
する。
また、他方の加工用ゴム23は基板11のCSSゾーン
用のもので、例えば硬度を60°〜70°とす6。
用のもので、例えば硬度を60°〜70°とす6。
このように、加工用ゴム23.24の硬度を可変とする
こεにより、基板11のCSSゾーンの表面粗さとデー
タゾ・−ンの表面粗さを変えることができるようにし゛
〔ある。
こεにより、基板11のCSSゾーンの表面粗さとデー
タゾ・−ンの表面粗さを変えることができるようにし゛
〔ある。
加工ローラ14としては、前記のものに限らず、第4図
に示すよう(ご、如エローラ25の外径を変えるように
(一でも良い。
に示すよう(ご、如エローラ25の外径を変えるように
(一でも良い。
すなわち、CSSゾーン用の加]二口−ラ25の外径を
I、1、データゾーン用の加工ローラ25の外径をL2
とすると、LL>L2となるように形成されている。な
お、加工用ゴム26としては、同一硬度のものを使用す
る。
I、1、データゾーン用の加工ローラ25の外径をL2
とすると、LL>L2となるように形成されている。な
お、加工用ゴム26としては、同一硬度のものを使用す
る。
前記加エローラ14、または加’11u−ラ25を用い
た加工装置により基板11は、CSSゾーンの表面粗さ
がデータゾーンのそれより大きくなるようにテクスチャ
ー加工処理される。
た加工装置により基板11は、CSSゾーンの表面粗さ
がデータゾーンのそれより大きくなるようにテクスチャ
ー加工処理される。
次に、このようにテクスチャー加工処理された基板1,
1を用いて磁気記録媒体を製造する装置として、スパッ
タ装置を第5図に示す。
1を用いて磁気記録媒体を製造する装置として、スパッ
タ装置を第5図に示す。
第5図において、27はスパッタ装置を構成する真空容
器であり、この真空容器27内には下地層(例えば、C
r層)を形成するための一対の第1ターゲット28.2
9と、磁性層(例えば、CO合金系層)を形ttるため
の一対の第2ターゲット30.31と、保護層(例えば
C arbon又はZrO2層)を形成するための一対
の第3ターゲット32.33が矢印Cで示す基板11の
搬送方向に順次配置されている。
器であり、この真空容器27内には下地層(例えば、C
r層)を形成するための一対の第1ターゲット28.2
9と、磁性層(例えば、CO合金系層)を形ttるため
の一対の第2ターゲット30.31と、保護層(例えば
C arbon又はZrO2層)を形成するための一対
の第3ターゲット32.33が矢印Cで示す基板11の
搬送方向に順次配置されている。
次に、磁気記録媒体の製造方法を説明する。
まず、第2図の矢印Aで示す方向に基板11を回転させ
た状態で、所定の圧力で加エローラ14または加工ロー
ラ25を介して研磨テープ13を基板11に押(7つけ
て基板11にテクスチャー加工処理を行なう。加エロー
ラ14の加工用ゴム23と加工用ゴム24の硬度が異な
ることから、また、加エローラ25の外径が異なること
から、基板11のCSSゾーンの表面粗さは、基板11
のデータゾーンのそれより大きくなる(第6図、参照)
。
た状態で、所定の圧力で加エローラ14または加工ロー
ラ25を介して研磨テープ13を基板11に押(7つけ
て基板11にテクスチャー加工処理を行なう。加エロー
ラ14の加工用ゴム23と加工用ゴム24の硬度が異な
ることから、また、加エローラ25の外径が異なること
から、基板11のCSSゾーンの表面粗さは、基板11
のデータゾーンのそれより大きくなる(第6図、参照)
。
このように、表面粗さがcssy−ンとデータゾーンに
よって異なる基板11を用いて、第5図のスパッタ装置
により磁気記録媒体を形成する。
よって異なる基板11を用いて、第5図のスパッタ装置
により磁気記録媒体を形成する。
まず、スパッタリングにより第1ターゲット28.29
から例えばCrよりなる下地層を基板11上に形威し、
次に、第2ターゲット30,31からCo合金系、例え
ばCoNiCrなどの磁性層を下地層上に形成し、次に
、第3ターゲット32.33から例えばCirbon,
Z r CO2などの保護層を磁性層上に形成する。
から例えばCrよりなる下地層を基板11上に形威し、
次に、第2ターゲット30,31からCo合金系、例え
ばCoNiCrなどの磁性層を下地層上に形成し、次に
、第3ターゲット32.33から例えばCirbon,
Z r CO2などの保護層を磁性層上に形成する。
このようにして、製造された磁気記録媒体34の断面を
第6図に示す。
第6図に示す。
第6図において、11はCSSゾーンの表面粗さがデー
タゾーンのそれより大きい基板、35は例えばCrより
なる下地層、36はCo合金系よりなる磁性層、37は
例えばC ubon, Z r 0 2などよりなる保
護層である。基板11の表面粗さをCSSゾーン38と
データゾーン39により異なるようにしたため、、媒体
34の表面相さもCSSゾーン38ではデータゾ・一ン
39より大きくなっている(第7図、参照)。
タゾーンのそれより大きい基板、35は例えばCrより
なる下地層、36はCo合金系よりなる磁性層、37は
例えばC ubon, Z r 0 2などよりなる保
護層である。基板11の表面粗さをCSSゾーン38と
データゾーン39により異なるようにしたため、、媒体
34の表面相さもCSSゾーン38ではデータゾ・一ン
39より大きくなっている(第7図、参照)。
次に、データゾーン39用の加工用ゴム24の硬度を4
00SCSSゾーン38用の加工用ゴム23の硬度を5
0°.600.70°としたときの、中心線平均粗さ(
Ra)、ヘッド浮上立上り、吸着限界潤滑剤厚、および
CSS強度を表に示す。
00SCSSゾーン38用の加工用ゴム23の硬度を5
0°.600.70°としたときの、中心線平均粗さ(
Ra)、ヘッド浮上立上り、吸着限界潤滑剤厚、および
CSS強度を表に示す。
表から明らかなように、デー・タゾーン39用の加工用
ゴム24の硬度を40°、CSSゾーン38用の加工用
ゴム23の硬度を60°〜70°とすることにより、吸
着現象を回避するここができ、ヘッドと媒体34が接触
して情報が破損されるヘッドクラッシュを少なくするこ
とができる。
ゴム24の硬度を40°、CSSゾーン38用の加工用
ゴム23の硬度を60°〜70°とすることにより、吸
着現象を回避するここができ、ヘッドと媒体34が接触
して情報が破損されるヘッドクラッシュを少なくするこ
とができる。
[発明の効果]
以上説明してきたように、本発明によれば、基板のCS
Sゾーンの表面粗さを大きく、基板のデータゾーンの表
面粗さを小さくするようにしたため、ヘッドと媒体の吸
着を防止することができ、また、ヘッドと媒体が接触し
て情報が破損されるヘッドクラッシュを少なくすること
ができる。
Sゾーンの表面粗さを大きく、基板のデータゾーンの表
面粗さを小さくするようにしたため、ヘッドと媒体の吸
着を防止することができ、また、ヘッドと媒体が接触し
て情報が破損されるヘッドクラッシュを少なくすること
ができる。
第1図(A),(B)は本発明の原理説明図、第2図は
基板の加工装置を示す図、 第3図はローラの断面図、 第4図は他のローラ断而図、 第5図はスバッタ装置を示す図、 第6図は媒体の部分断面図、 第7図は媒体の外観図、 第8図は従来の基板の加工方法の説明図、第9図は従来
のローラの断面図、 第10図は従来の媒体の断面図である。 図中、 11・・・基板、 12・・・供給リール、 13・・・研磨テープ、 14・・・加エローラ、 15・・・巻取リローラ、 16・・・ノズル、 17・・・ガイドローラ、 18・・・キャプスタン、 l9・・・キャプスタンピンチ口ーラ、20・・・シャ
フト、 21・・・ローラ本体、 22・・・ベアリング、 23.24・・・加工用ゴム、 25・・・加工ローラ、 26・・・加工■ゴム、 27・・・真空容器、 28.29・・・第1ターゲッ!・、 30.31−・・・第2ターゲッ1・、2,33・・・
第3ターゲッ 4・・・磁気記録媒体、 5・・・下地層、 6・・・磁性層、 7・・・保護層、 8・・・CSSゾーン、 9・・・データゾーン。 ト、
基板の加工装置を示す図、 第3図はローラの断面図、 第4図は他のローラ断而図、 第5図はスバッタ装置を示す図、 第6図は媒体の部分断面図、 第7図は媒体の外観図、 第8図は従来の基板の加工方法の説明図、第9図は従来
のローラの断面図、 第10図は従来の媒体の断面図である。 図中、 11・・・基板、 12・・・供給リール、 13・・・研磨テープ、 14・・・加エローラ、 15・・・巻取リローラ、 16・・・ノズル、 17・・・ガイドローラ、 18・・・キャプスタン、 l9・・・キャプスタンピンチ口ーラ、20・・・シャ
フト、 21・・・ローラ本体、 22・・・ベアリング、 23.24・・・加工用ゴム、 25・・・加工ローラ、 26・・・加工■ゴム、 27・・・真空容器、 28.29・・・第1ターゲッ!・、 30.31−・・・第2ターゲッ1・、2,33・・・
第3ターゲッ 4・・・磁気記録媒体、 5・・・下地層、 6・・・磁性層、 7・・・保護層、 8・・・CSSゾーン、 9・・・データゾーン。 ト、
Claims (2)
- (1)基板(11)上に少なくとも磁性層(36)およ
び保護層(37)を有する磁気記録媒体において、前記
基板(11)としてコンタクトスタートストップゾーン
(38)の表面粗さがデータゾーン(39)の表面粗さ
より大きい基板(11)を有することを特徴とする磁気
記録媒体。 - (2)基板(11)上に少なくとも磁性層(36)およ
び保護層(37)を順次形成する磁気記録媒体の製造方
法において(S2)、(S3)、前記基板(11)に研
磨テープをローラで押しつけてテクスチャー加工すると
き、前記ローラの加工用ゴムの硬度またはローラの外径
を変更することにより、基板(11)のコンタクトスタ
ートストップゾーン(38)の表面粗さをデータゾーン
(39)の表面粗さより大きくなるように(S1)した
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16204789A JPH0325725A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16204789A JPH0325725A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325725A true JPH0325725A (ja) | 1991-02-04 |
Family
ID=15747085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16204789A Pending JPH0325725A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325725A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53123906A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Fujitsu Ltd | Magnetic disc |
| JPS60231919A (ja) * | 1984-05-02 | 1985-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気デイスク |
| JPS63249933A (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-17 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク媒体 |
| JPS63279425A (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-16 | Nec Corp | 磁気ディスク媒体 |
-
1989
- 1989-06-23 JP JP16204789A patent/JPH0325725A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53123906A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Fujitsu Ltd | Magnetic disc |
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| JPS63249933A (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-17 | Hitachi Ltd | 磁気デイスク媒体 |
| JPS63279425A (ja) * | 1987-05-11 | 1988-11-16 | Nec Corp | 磁気ディスク媒体 |
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