JPH03271645A - 空気清浄システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体なとの分野におけるクリーンルームの空
調システムで送風機の保守時の発じんの影響を防止可能
な空気清浄システムに間する。

〔従来の技術〕 従来のクリーンルームは、特開昭５８−１２７０３３号
および時開６３−１４２５７号広報に記載のように清浄
空気のリターン気流の流路中に送風機のモータが存在し
ている。そのため送風機の点検や故障などのメンテナン
ス時に、メンテナンス作業者が清浄空気の流路中で作業
を行うため、作業者からの発じんでクリーンルームの清
浄度を低下させることがあった。

また、第９図に示すようなダウンフロ一方式のクリーン
ルームにおいても送風機はリターン気流中に存在するた
めメンテナンス時の発じんの問題は同様であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、送風機のメンテナンス時のクリーンル
ームへの汚染性について配慮されておらず、メンテナン
ス時に人が流路内に入ると、人からの発じんおよびフィ
ルタの一次側に蓄積したじん埃が再飛散し清浄度が一般
大気中と同レベル程度まで急激に低下するという問題が
あった。メンテナンス終了後再運転すると、壁材などに
付着したじん埃が再飛散し、半導体（特に１６Ｍｂｉｔ
以上）の製造環境のように０．０５μｍ粒子を１立方フ
ィート当り数個以下に押さえるスーパークリーン化が要
求される場合においてはクリーンルーム運転停止直前の
浄化度まで復元するには数ケ月も要する場合があった。

本発明の目的は、フィルタに比へメンテナンス頻度の高
い送風機を清浄空気の流路外から保守できるよう構成す
ることにより保守時に発生したしん埃がクリーンルーム
に侵入するのを防止することにある。

〔ｆｆ題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は空気清浄システム
において、清浄作業室と、この清浄作業室の上方で別個
に設けられた保全室とを備え、上記保全室から上記清浄
作業室に向かう給気ダクトと、上記給気ダクト内に設け
られて上記清浄作業室に送風する送風手段と、上記送風
手段により送風された空気を浄化して上記清浄作業室に
供給する空気浄化手段と、上記清浄作業室を通過した空
気をその作業室下方から上記送風手段の吸い込み側に還
流する還流路を備え、上記給気ダクトはその内部が上記
保全室から隔離されるとともに上記送風手段の吸い込み
側で上記ｉ１を流路に連通し、上記送風手段を駆動する
駆動手段は上記給気ダクト外の上記保全室内に設けられ
たことを特徴とするものである。

また、本発明は空気清浄システムにおいて、清浄作業室
が設けられる清浄室と、この清浄室の上方で別個に設け
られた保全室とを備え、上記保全室から上記清浄作業室
に向かう給気ダクトと、上記給気ダクト内に設けられて
上記清浄作業室に送風する送風手段と、上記送風手段に
より送風された空気を浄化して上記清浄作業室に供給す
る空気浄化手段と、上記清浄室内で上記清浄作業室の外
部に形成されて上記送風手段の吸い込み側に還流する還
流路とを備え、上記清浄作業室はその内部を通過した空
気を下方から上記還流路に排出し、上記給気ダクトはそ
の内部が上記保全室から隔離されるとともに上記送風手
段の吸い込み側で上記還流路に連通し、上記送風手段を
駆動する駆動手段は上記給気ダクト外の上記保全室内に
設けられたことを特徴とするものである。

好ましい第１の実施態様においては、上記給気ダクトは
上記送風機の吸い込み側に外気、あるいは空調空気を供
給する外気ダクトが接続されたことを特徴とする。

好ましい第２の実施態様においては、前記送風手段は前
記空気流路から着脱可能に設けられる。

好ましい第３の実施態様においては、前記空気流路は前
記送風手段の上流側および下流側に前記送風手段の保守
時に前記空気流路を遮蔽する遮蔽手段を備えてなる。

好ましい第４の実施態様においては、前記駆動手段は防
振手段を介して保持されてなる。

好ましい第５の実施態様においては、前記第２の空間は
排熟手段を備え、前記駆動手段から放出された熱を排出
するよう構成される。

〔作用〕

清浄作業室は、清浄作業室に連通する空気流路と、空気
流路中に配設された浄化手段と、浄化手段に送風するよ
う設けられた送風手段とを備え、作業室内の塵埃数を所
定のレベル以下に保つ。送風手段は空気流路の外部から
保守できるよう構成されているので、作業者が空気流路
に入ることなく保守作業でき、保守時に発生した塵埃が
空気流路に侵入するのを防止できる。

〔実施例〕

本実施例は非常に高い清浄度が要求されるクリーンルー
ム、例えば、集積度の非常に高い半導体の製造工程に用
いられるスーパークリーンルームに本発明を適用したも
のである。この種のクリーンルームにおいては、クリー
ンルームに供給される空調空気が既に高度に清浄化され
ており、スーパークリーンルームに設けられるフィルタ
の目詰りはほとんど起こらず、フィルタは実質的にメン
テナンスフリーである。しかし、送風機は年に１゜２回
の保守点検が必要である。

本清浄作業室が設けられる清浄室と、この清浄室の上方
で別個に設けられた保全室とを備え、本本上記保全室か
ら上記清浄作業室に向かう給気ダクトと、上記給気ダク
ト内に設けられて上記清浄作業室に送風する送風手段と
、上記送風手段により送風された空気を浄化して上記清
浄作業室に供給する空気浄化手段と、上記清浄室内で上
記清浄作業室の外部に形成されて上記送風手段の吸い込
み側に還流する還流路とを備え、上記清浄作業室はその
内部を通過した空気を下方から上記還流路に排出し、上
記給気ダクトはその内部が上記保全室から隔離されると
ともに上記送風手段の吸い込み側で上記還流路に連通し
、上記送風手段を駆動する駆動手段は上記給気ダクト外
の上記保全室内に設けられたことを特徴とするものであ
る。

本実施例は清浄作業室としてのクリーンルーム１１が設
けられる清浄室としての清浄域３０と、この清浄域３０
から天井２で隔離されて別個に設けられた保全室として
の保全域１３とを設け、保全域１３からクリーンルーム
１１に向かう給気ダクトとしてのダクト１０ａと、ダク
ト１０ａ内に設けられてクリーンルーム１１に送風する
送風手段としての送風機８と、送風機８により送風され
た空気を浄化してクリーンルーム１１に供給する空気浄
化手段としてのＨＥＰＡフィルタｌと、清浄域３０内で
クリーンルーム１１外部に形成されてその排出空気を送
風機８の吸い込み側に還流する還流路としての還流部１
２とを備えている。クリーンルーム１１はその内部を通
過した空気を下方から還流部１２に排出し、ダクト１０
ａはその内部が保全域１３から隔離されるとともに送風
機８の吸い込み側で還流部１２に連通し、送風機８を駆
動する駆動手段としてのモータ３はダクト１０ａ外の保
全域１３内に設けられる。

クリーンルーム１１の天井部にはＨＥＰＡフィルタ１と
、ＨＥＰＡフィルタ１をダクト１０ａを介して送風機８
に連通させる圧力室１０が設けられる。保全域１３には
クリーンルーム１１に外気として空調された空気を供給
するダクト２４と、ダクト２４の空気を加圧して圧力室
１０に供給する送風機８と、送風機８の吸い込み口８ａ
に連通してダクト２４の空気と還流部１２からの還流空
気とを混合するミキシングダクト９とを設けたものであ
る。なお、ｌｌｃは側壁、４０はグレーチング等の気流
が流通可能な部材で形成された床である。

本実施例では還流路は還流部１２とミキシングダクト９
の清浄域３０に連通する部分により構成される。

清浄域３０と保全域１３とは隔壁２て隔離され、送風機
８から圧力室１０に空気を供給するダクト１０ａとミキ
シングダクト９の下端部が隔壁２を貫通して設けられて
いる。本実施例では空気流路はミキシングダクト９から
圧力室１０に至る流路部分である。送風手段である送風
機８は駆動手段であるモータ３と羽根車４とて構成され
、羽根車４はこの空気流路中に設けられたファンケース
８Ｃ内に格納され、モータ３はその回転軸３ａがファン
ケース８ｃを貫通して設けられ、本体３ｂが空気流路の
一部となるファンケース８ｃの外部に設けられる。モー
タ３は保全域１３内で作業者が保守のために接近し、所
定の作業ができるように設けられている。

ミキシングダクト９は清浄域３０に臨んて清浄域３０か
らの還流空気を吸い込む開口部を有し、この間口部とク
リーンルームへの給気ダクト２４との接続部にはそれぞ
れ空気流路を締め切るためのダンパ５．６が設けられて
いる。また、ファンケース８ｃから圧力室１０に至る空
気流路中に空気流路を締め切るためのダンパ７が設けら
れている。

ミキシングダクト９のダンパ５．６て囲まれた区間は送
風機８の吸い込み口８ａに連通し、ダンパ５．６が送風
機８の吸い込み口８ａに対して上流側に位置する。また
、ダンパ７は送風機８の吹き出し口８ｂに対して下流側
に位置する。

ダンパ５．６．７は通常の運転状態では開状態であり、
所定の開度て所定の風量を流すよう設定される。また、
送風機８の保守時にはダンパ５゜６．７は閉状態となり
、送風機８の上流側および下流側の空気流路を締め切っ
て保守作業中に保全域の空気が空気流路に流入するのを
防止する。

本実施例において、クリーンルーム運転時はリターン気
流Ｒ−Ａとサプライ空気流路Ｓ−Ａはミキシングダクト
９を経て送風機８により加圧されＨＥＰＡフィルタ１て
濾過されてクリーンルーム１１に清浄空気として供給さ
れる。

空気清浄化のための構成要素は送風機８とＨＥＰＡフィ
ルタ１が主な要素であるが、スーパークリーン化された
クリーンルームては還流域１２のリターン空気が極めて
清浄であり、またダクト２４からのサプライ空気も図示
しないフィルタで濾過されているので、ＨＥＰＡフィル
タｌに供給される空気には全んとじん埃がない状態であ
る。そのため、ＨＥＰＡフィルタ１は目詰が発生するこ
となくメンテナンスが不要となり、回転部分を有する送
風機８のメンテナンスを重点に考えれば良い。

送風機８はモータ３と、モータ３の回転軸３ａに接続さ
れた羽根車４とから成り、それぞれヘアリング（図示せ
ず）で回転自在に支持されている。

羽根車４は通常運転の回転数で連続運転するのに十分な
強度で作られるとともに、空調空気の気流中に設けられ
るため、ベアリングが低沼に保たれるので、破損等の故
障が発生する頻度はきわめて少い。一方、モータ３は連
続運転をすると熱の影響で絶縁材やヘアリング等に不具
合が生じることがあり、年に１〜２回の定期的な保守点
検が必要とされる。

本実施例はクリーンルームの気流系統外に送風機用モー
タ３を設け、モータのメンテナンス時の作業者からの発
しんがクリーンルーム１内の気流に混入することを防止
して、清浄度の低下の防止を図るものである。

送風機用モータ３を交換する場合はサプライ空気量調整
用ダンパ６、リターン空気１調整用ダンパ５および全ｉ
ｔ調整用ダンパ７を全閉して送風機８の上流側および下
流側の空気流路を締切るので送風機８を外しても清浄域
３０と保全域１３とを隔離することができる。そのため
、保全域１３内の浄化されない空気が清浄域３ｏに侵入
するのを防止できるとともにＨＥＰＡフィルタ１の１次
側に付着したじん埃が再飛散してもクリーンルーム１１
およびクリーンルームのリターン系統部１２に混入しな
いので清浄域３０の清浄度を低下させることがない。

本実施例によれば、従来例のように清浄化のためのフィ
ルタユニット内に送風機８を設置する場合に比較し、点
検時にクリーンルーム１１を汚染することがなくさらに
清浄域上方の保全域１３内で保守できるので作業性が良
く、送風機８の点検を容易に行なえ、予防保全が簡単に
できる。

このため送風機８の故障を予防し、クリーンルームを停
止せざるを得ないような重大な故障の発生を防止するこ
とができる。

さらに本実施例によれば、モータ３が保全＠１３内に設
けられ、保全域１３内の空気が排熱手段としての換気扇
１４により排気されているのでモータ３の負荷熱も同時
に排気できるので、クリーンルーム１１の熱負荷を軽減
でき、省エネルギの効果を得ることができる。

また加圧チャンバ１０およびＨＥＰＡフィルタ１の周囲
をクリーンルーム１１内より低い圧力に保持できるので
、地震などによりＨ、Ｅ　Ｐ　Ａフィルタｌが移動し、
シール部に亀裂が発生してもエーアリークの可能性がな
い安定した清浄空間を得ることができる。

さらに天井２０強度を増しておけば、送風機８を保全域
１３に設置することができるので、振動がクリーンルー
ム１１に伝わりにくく低振動のクリーンルームを得るこ
とができる。また音の発生源である送風機８をクリーン
ルーム１１から天井２を隔てて設置できるので低騒音化
が図れる。さらに低騒音化を図るためには加圧チャンバ
１０内に吸音材（図示せず）が設けられる。半導体など
のスーパークリーンルームては清浄度の向上に加え低騒
音化、低振動化が要求されるのが、実施例によれば、こ
れらの清浄度向上、低振動化および低騒音化という３つ
の主要な要求に効果的に対応することができる。

本発明の第２実施例を第２図により説明する。

本実施例は特開昭５８−１２７０３３号に開示された清
浄室装置に本発明を適用した例である。

本実施例では、クリーンルーム１１内が作業機器が設置
される作業空間１１ａと作業者が通行する通路空間１１
ｂとに分けられ、作業空間１１ａは通路空間の両側に設
けられている。

作業空間１１ａの上方には圧力室１０が設けられ、圧力
室１０の下面および側面にはそれぞれ、作業空間１１ａ
に清浄空気を供給するＨＥＰＡフィルタ１、および通路
空間１１ｂに清浄空気を供給するＨＥＰＡフィルタ３１
とが設けられる。ＨＥＰＡフィルタ３１から吹出された
清浄空気は通路空間１１ｂ上方のチャンバ３４を介して
通路空間１１ｂに供給される。クリーンルーム１１内に
供給された清浄空気は側ｔｌｌｃの下方の還流口１１ｄ
および床面４２の空気流通部４２ｂを介して還流部１２
に流出し、天井面２のミキシングダクト９の開口部を介
して送風１１８の吸込口８ａに還流する。

圧力室１０の上方には隔壁２ａて隔離された送風機８が
設けられる。本実施例も第１実施例と同様に送風機８の
吹出し口８ｂは圧力室１０に連通し、吸込口８ｂはミキ
シングダクト９に連通し、吹出し口８およびミキシング
ダクト９にはそれぞれダンパ５．６．７が設けられてい
る。なお、隔壁２ａは建屋の天井を延長して形成しても
よく、あるいは清浄室装置の天井板を兼用してもよい。

本実施例も第１実施例と同様に還流部１２からのリター
ン空気と給気ダクト２４からのサプライ空気をミキシン
グダクト９で混合し送風機８により加圧しＨＥＰＡフィ
ルタ１て濾過し、クリーンルーム内１１を清浄に保持す
る。

本実施例では、ミキシングダクト９と圧力室１０の周囲
を連通ずるダクト１５が設けられ、圧力室１０の周囲を
クリーンルーム１１内よりも低い圧力に保持することに
より、ニアリークのポテンシャルを排除して安定した清
浄度を得ることができる。

本実施例によれば、第１実施例の構造に比へクリーンル
ームの設置する部屋の階高を低くして、送風機用モータ
３を簡単にメンテナンスできるスーパクリーンルームを
実現することができる。

以上の実施例ではモータ３の重量は天井２または天井２
ａて支えられる。なお、モータ３が軽量である場合には
ファンケース８Ｃてモータ３の重量を支えてもよい。

本発明の第３実施例を第３図により説明する。

本実施例は第１実施例のクリーンルームて、送風機８の
支持方法を天井吊り式に変更したものである。本実施例
では送風機８を天井２の上方に設けられた建築の天井５
２から防振手段としての防振ばね１８を介して吊り下げ
、さらに送風機８とミキシングダクト９の接続部、及び
送風機８と加圧チャンバ１０との接続部に柔軟な素材の
継手１６、】７を使用したものである。

本実施例では送風機８から発生する振動のクリーンルー
ム１１側への伝達を遮断することが可能である。また、
送風機の支持に防振ばね１８を介することにより、上の
階への振動伝達も低減できる。継手１６．１７はチャン
バ等のフレキシブル継手、軟質のジャバラ等の可撓性材
料の継手を用いることで振動の伝達を遮断することが可
能である。

本発明の第４実施例を第４図により説明する。

本実施例は送風機８を送風機ケース１９に収納した例で
ある。送風機ケース１９内にはサーマルリレー、コンタ
クタ等の電気部品４４が収納され、カセット式に１台毎
にメンテナンスを行うことができるよう構成される。本
実施例においても第３実施例と同様に送Ｍ機８が防振ば
ね】８を介して建築天井５２から吊り下げられ、送風機
８の吸込口８ａおよび吹出口８ｂがそれぞれ可撓性の継
手１７．１６を介してミキシングダクト９および圧力室
１０に連通している。

本実施例において、ダンパ５．６．７を電動ダンパとし
て、送風機ケース１９が定位置にあることを検出するセ
ンサ（リミットスイッチ、リードスイッチ等）の出力と
連動させ、点検等のため送風機ケース１９を定位置から
外すことにより自動的にダンパ５．６．７が閉じるよう
にしてもよい。

なお、送風機ケース１９の上面および側面の開口部２０
はモータ３の点検用および冷却空気流通用の間口部であ
る。

また、上記各実施例においてサプライ空気量調整用ダン
パ６、リターン空気調整用ダンパ５および全風１調整ダ
ンパ７を電動ダンパとして送風機８の運転と連動させ、
送風機停止時に自動的にダンパな閉めることにより、ク
リーンルーム停止時、または送風機単体の異常停止時に
おいてＨＥ　Ｐ　Ａフィルタ１の上流側に蓄積したしん
埃がリターン部１２を通って清浄域３０側へ流出するこ
とを防止できる。

本発明の第５実施例を第５図により説明する。

本実施例は少なくとも２台の圧力室１０を連通させた構
成のクリーンルームにおいて、１台の送風機が異常停止
した場合に停止した送風機のダクト系のダンパ５．６．
７を自動的ζこ閉めるよう構成した例を示す。ダンパが
自動的に閉まる手段はダンパ５．６．７に電動ダンパを
用い、各モータに異常停止検出手段５４を設け、異常停
止検出手段５４のモータ停止信号により閉める回路とす
るか、もしくは空気圧、動圧から開閉作動する機械式ダ
ンパを用いてもよい。本実施例によれば、１台の異常停
止時にクリーンルーム清浄域の清浄度低下を防ぐことが
でき、また、メンテナンス時にも同様に清浄度低下を防
ぐことができる。

なお、異常停止検出手段５４は、１例として、モータの
回転軸３ａに接続されたエンコーダ等の回転検出手段と
、モータ３に供給される電圧を検出するフォトカブラ等
の電圧検出手段と、回転検出手段の出力と電圧検出手段
の出力との対応の不一致を検出する論理回路等の不一致
検出手段とにより構成される。

本発明の第６実施例を第６図により説明する。

本実施例は天井２を２枚の天井板２ｂ、２ｃにより構成
し、それらの間を給気ダクト２４としたものである。本
実施例では圧力室１０を送風機８の吹き出し口８ｂに連
通させるダクト１０ａと、還流部１２からのリターン空
気をミキシングダクト５９に連通させるダク）５９ｃと
が天井板２ｂ、２Ｃを、給気ダクト２４の空気をミキシ
ングダクト５９に連通させるダク）５９ｄが天井板２ｂ
をそれぞれ貫通して設けられている。送風機８は上方が
開口した箱状の取付枠６０にモータ３とともに固定され
る。送風機８の吸込口８ａにはミキシングダクト５９が
接続され、ミキシングダクト５９は貫流部に連通するダ
ク）５９ｃに連通ずる部分５９ａと給気ダクト２４に連
通ずるダクト５９ｄに連通する部分５９ｂとを有し、そ
れぞれダク）５９ｃ、５９とに接続可能なよう取付枠６
０の下面に接続用開口部を有している。送風機８の吹出
口８ｂは圧力室】Ｏに連通するダクト１０ａに接続可能
なよう取付枠６０の下面に接続用開口部を有している。

取付枠６０上にはコンタクタ、サーマルリレー等の電気
品４４も取付けられる。本実施例では取付枠６０を天井
２ｂの上面に各接続用間口部を合せるよう置くだけで送
風機８と各ダクトとの接続を行うことができる。送風機
の点検時には取付枠６０ごと持ち上げて各ダクトとの接
続を解除して点検場所まで移動する。点検場所への移動
を容易にするためには、作業域１３の天井部にレール７
０を設け、このレール７０に沿って移動可能なホイスト
７２を設け、ホイスト７２て取付枠６０を吊り上げて移
動するよう構成してもよい。さらに本実施例ではダンパ
５．６．７を電動ダンパとして、取付枠６０の吊上げに
連動してこれらのダンパが閉しるよう構成される。本実
施例では、予備の取付枠を用意しておくことにより、保
守のために取り外された取付枠の位置に予備の取付枠を
すぐ取付けることができ、保守のためにクリーンルーム
が停止される時間を短縮することができる。

以上の実施例において、保守時にモータ３を容易に着脱
できるようにするために、第７図に示すように羽根車４
の軸の両端を軸受け２２で＠転自在に支持し、モータ３
の軸に対向する側にモータの軸３ａとのジヨイント２１
を設けて、この部分てモータ３を羽根車４から分離可能
に構成してもよい。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したように送風機用モータを空調系路
外に設けることによりメンテナンスを容易にし、かつメ
ンテナンス時のクリーンルーム内の清浄度を汚染しない
クリーンルームを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例における空気清浄システム
の構成を示す正面断面図、第２図は本発明の第２実施例
における空気清浄システムの構成を示す正面断面図、第
３図は本発明の第３実施例における空気清浄システムの
主要部の構成を示す正面断面図、第４図は本発明の第４
実施例における空気清浄システムの主要部の構成を示す
正面断面図、第５図は本発明の第５実施例における空気
清浄システムの主要部の構成を示す正面断面図、第６図
は本発明の第６実施例における空気清浄システムの主要
部の構成を示す正面断面図、第７図は本発明の上記各実
施例においてモータの着脱を容易にする構成を示す主要
部の正面図である。 １・・・メインフィルタ、２・・・天井、３・・・モー
タ、４・・・羽根車、５・・・リターン空気量調整用ダ
ンパ、６・・・サプライ空気量調整用ダンパ、７・・・
全風量調整用ダンパ、８・・・送風機、９・・・ミキシ
ングダクト、１０・・・圧力室、１１・・・クリーンル
ーム、１２・・・還流部、１３・・・作業部、１４・・
・換気扇、１５・・・ダクト、１６・・・継手、１７・
・・継手、１８・・・防振ばね、１９・・・送風機ケー
ス、２０・・・通気孔、２１・・・ジヨイント、２２−
・・ヘアリング。 第 １ 図 早 図 第 閏 第 図 第 Ｓ ４ 第 圀 ＣＸ内）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、清浄作業室と、この清浄作業室の上方で別個に設け
   られた保全室とを備え、上記保全室から上記清浄作業室
   に向かう給気ダクトと、上記給気ダクト内に設けられて
   上記清浄作業室に送風する送風手段と、上記送風手段に
   より送風された空気を浄化して上記清浄作業室に供給す
   る空気浄化手段と、上記清浄作業室を通過した空気をそ
   の作業室下方から上記送風手段の吸い込み側に還流する
   還流路を備え、上記給気ダクトはその内部が上記保全室
   から隔離されるとともに上記送風手段の吸い込み側で上
   記還流路に連通し、上記送風手段を駆動する駆動手段は
   上記給気ダクト外の上記保全室内に設けられたことを特
   徴とする空気清浄システム。 ２、清浄作業室が設けられる清浄室と、この清浄室の上
   方で別個に設けられた保全室とを備え、上記保全室から
   上記清浄作業室に向かう給気ダクトと、上記給気ダクト
   内に設けられて上記清浄作業室に送風する送風手段と、
   上記送風手段により送風された空気を浄化して上記清浄
   作業室に供給する空気浄化手段と、上記清浄室内で上記
   清浄作業室の外部に形成されて上記送風手段の吸い込み
   側に還流する還流路とを備え、上記清浄作業室はその内
   部を通過した空気を下方から上記還流路に排出し、上記
   給気ダクトはその内部が上記保全室から隔離されるとと
   もに上記送風手段の吸い込み側で上記還流路に連通し、
   上記送風手段を駆動する駆動手段は上記給気ダクト外の
   上記保全室内に設けられたことを特徴とする空気清浄シ
   ステム。 ３、上記給気ダクトは上記送風機の吸い込み側にに外気
   を供給する外気ダクトが接続されたことを特徴とする請
   求項１または２記載の空気清浄システム。 ４、上記外気ダクトは空調空気を供給することを特徴と
   する請求項３記載の空気清浄システム。 ５、前記送風手段は前記給気ダクトから着脱可能に設け
   られたことを特徴とする請求項１または２記載の空気清
   浄システム。 ６、前記給気ダクトは前記送風手段の上流側および下流
   側に前記送風手段の保守時に前記空気流路を遮蔽する遮
   蔽手段を備えてなることを特徴とする請求項１または２
   記載の空気清浄システム。 ７、前記駆動手段は防振手段を介して保持されたことを
   特徴とする請求項１または２記載の空気清浄システム。 ８、前記保全室は排熱手段を備え、前記駆動手段から放
   出された熱を排出するよう構成されたことを特徴とする
   請求項１または２記載の空気清浄システム。