JPH03279233A - 加熱されたガラス塊の保持装置 - Google Patents
加熱されたガラス塊の保持装置Info
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- JPH03279233A JPH03279233A JP8284290A JP8284290A JPH03279233A JP H03279233 A JPH03279233 A JP H03279233A JP 8284290 A JP8284290 A JP 8284290A JP 8284290 A JP8284290 A JP 8284290A JP H03279233 A JPH03279233 A JP H03279233A
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 33
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 abstract description 4
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
- C03B35/005—Transporting hot solid glass products other than sheets or rods, e.g. lenses, prisms, by suction or floatation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野〕
本発明は、溶融したガラスを成形することにより光学素
子を得る製造方法において、加熱されたガラス塊を保持
する装置に関する。
子を得る製造方法において、加熱されたガラス塊を保持
する装置に関する。
(従来の技術〕
従来、加熱、軟化されたガラスを保持するには、例えば
特開平1−183426号公報に開示されるように、ガ
ラスと接触する保持装置の先端部にガラスが融着しない
ように、TiNなどを被覆していた。
特開平1−183426号公報に開示されるように、ガ
ラスと接触する保持装置の先端部にガラスが融着しない
ように、TiNなどを被覆していた。
しかし、上記従来技術の保持装置では、加熱されたガラ
スが、保持装置と接触することにより急冷されて、部分
的に大きな歪みを生しるという問題があった。この歪み
は、光学特性上有害となるばかりか、カンと呼ばれる割
れを惹起してしまう。
スが、保持装置と接触することにより急冷されて、部分
的に大きな歪みを生しるという問題があった。この歪み
は、光学特性上有害となるばかりか、カンと呼ばれる割
れを惹起してしまう。
急冷を防くためには、保持装置を予備加熱しておくこと
が考えられるが、保持装置表面の酸化が急激に進行して
、被膜の剥離や再結晶による表面の荒れが生し、ガラス
の融着が生じてしまう。そのため、保持装置の寿命が短
くなり、長時間連続して光学素子を製造することができ
ない。
が考えられるが、保持装置表面の酸化が急激に進行して
、被膜の剥離や再結晶による表面の荒れが生し、ガラス
の融着が生じてしまう。そのため、保持装置の寿命が短
くなり、長時間連続して光学素子を製造することができ
ない。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので
、長時間連続して使用可能で、かつ加熱れた。力゛ラス
塊内部に大きな歪みを生じさせない保持装置を提供する
ことを目的とする。
、長時間連続して使用可能で、かつ加熱れた。力゛ラス
塊内部に大きな歪みを生じさせない保持装置を提供する
ことを目的とする。
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明は、加
熱されたガラスと接触する先端部を、HfO!またはZ
rO□の少なくともいずれか1つを主成分とした焼結体
により形成して、加熱されたガラス塊の保持装置を構成
した。
熱されたガラスと接触する先端部を、HfO!またはZ
rO□の少なくともいずれか1つを主成分とした焼結体
により形成して、加熱されたガラス塊の保持装置を構成
した。
また、請求項2に係る発明は、加熱されたガラスと接触
する先端部の表面を、Hf OzまたはZr0tの少な
くともいずれか1つを主成分とした膜により被覆して、
加熱されたガラス塊の保持装置を構成した。
する先端部の表面を、Hf OzまたはZr0tの少な
くともいずれか1つを主成分とした膜により被覆して、
加熱されたガラス塊の保持装置を構成した。
前述のように、加熱されたガラス塊を急冷すると、内部
に歪みを生しるが、本発明では、保持装置の先端部を極
めて熱伝導率の小さいHfO,またはZrO,の少なく
ともいずれか1つを主成分とした材料により形成したた
め、ガラス塊は保持装置と接触しても急冷されず、その
結果、内部歪みやカンの発生がない。
に歪みを生しるが、本発明では、保持装置の先端部を極
めて熱伝導率の小さいHfO,またはZrO,の少なく
ともいずれか1つを主成分とした材料により形成したた
め、ガラス塊は保持装置と接触しても急冷されず、その
結果、内部歪みやカンの発生がない。
また、ガラス塊の内部歪みを特に少なくするために、保
持装置を予熱する場合にも、その温度は高々300°C
程度で十分であり、保持装置の先端部表面が再結晶化等
により劣化することはなく、結果として長時間連続して
使用できる。
持装置を予熱する場合にも、その温度は高々300°C
程度で十分であり、保持装置の先端部表面が再結晶化等
により劣化することはなく、結果として長時間連続して
使用できる。
(第1実施例)
図は本実施例の保持装置を示すもので、保持装置の先端
部である吸着部1には、吸引口2が設けられ、吸引口2
内を減圧することで、ガラス塊3を吸着するものである
。
部である吸着部1には、吸引口2が設けられ、吸引口2
内を減圧することで、ガラス塊3を吸着するものである
。
本実施例では、吸着部1を組成比がZrO□88重量%
およびY2O,12重量%のジルコニアセラミックスに
より形成した。
およびY2O,12重量%のジルコニアセラミックスに
より形成した。
この保持装置を用いて、約450°Cに加熱、軟化した
ガラス塊3を吸着させたところ、10,000回使用し
ても吸着部1 (先端部)の劣化はな(、ガラスの融着
もなかった。また、ガラス塊3にカンも発生しなかった
。
ガラス塊3を吸着させたところ、10,000回使用し
ても吸着部1 (先端部)の劣化はな(、ガラスの融着
もなかった。また、ガラス塊3にカンも発生しなかった
。
(第2実施例)
゛第1実施例と同様な吸着部を超硬合金により作成し、
その表面にRFスパッタリングによりHf O,膜を形
成した。
その表面にRFスパッタリングによりHf O,膜を形
成した。
この保持装置を用いで、約450″Cに加熱、軟化した
ガラス塊を吸着させたところ、10,000回使用して
も先端部の劣化はなく、ガラスの融着もなかった。また
、ガラス塊にカンも発生しなかった。
ガラス塊を吸着させたところ、10,000回使用して
も先端部の劣化はなく、ガラスの融着もなかった。また
、ガラス塊にカンも発生しなかった。
本実施例では、吸着部の母材を超硬合金で作成したため
、放電加工が可能であり、加工コストを低く抑えること
ができた。
、放電加工が可能であり、加工コストを低く抑えること
ができた。
(第3実施例)
第1実施例と同様な吸着部をステンレス鋼により作成し
、その表面にプラズマ溶射法によりZr0275重量%
およびMg025重量%の被膜を形成した。
、その表面にプラズマ溶射法によりZr0275重量%
およびMg025重量%の被膜を形成した。
この保持装置を約200°Cに予熱し、約800°Cに
加熱、軟化したガラス塊を吸着させたところ、10.0
00回使用しても先端部の劣化はなく、ガラスの融着も
なかった。また、ガラス塊にカンも発生しなかった。
加熱、軟化したガラス塊を吸着させたところ、10.0
00回使用しても先端部の劣化はなく、ガラスの融着も
なかった。また、ガラス塊にカンも発生しなかった。
本実施例では、吸着部の母材をステンレス鋼で作成した
ため、容易に加工でき、加工コストを低く抑えることが
できた。また、溶射被膜は、スパッタリング法等のPV
D法と比較して、膜厚を厚くすることが可能なため、十
分な断熱効果が得られた。
ため、容易に加工でき、加工コストを低く抑えることが
できた。また、溶射被膜は、スパッタリング法等のPV
D法と比較して、膜厚を厚くすることが可能なため、十
分な断熱効果が得られた。
以上の各実施例においては、図に示すような形状の保持
装置を例に説明したが、本発明はかかる実施例に限定さ
れるものではなく、加熱されたガラス塊と接触する先端
部を有する、あらゆる形状の保持装置についても適用で
きるのは勿論である。
装置を例に説明したが、本発明はかかる実施例に限定さ
れるものではなく、加熱されたガラス塊と接触する先端
部を有する、あらゆる形状の保持装置についても適用で
きるのは勿論である。
また、HfO□とZrO2との両者を主成分としても、
上記実施例と同様の効果が得られる。
上記実施例と同様の効果が得られる。
以上のように、本発明の保持装置によれば、保持装置の
先端部を、断熱効果の大きいHfO,またはZrO2の
少なくともいずれか1つを主成分とした材料により形成
したので、加熱されたガラス塊内部に歪みを生じたり、
カンを生したりすることはなく、長時間連続して使用可
能であり、安定して光学素子の製造を行うことができる
。
先端部を、断熱効果の大きいHfO,またはZrO2の
少なくともいずれか1つを主成分とした材料により形成
したので、加熱されたガラス塊内部に歪みを生じたり、
カンを生したりすることはなく、長時間連続して使用可
能であり、安定して光学素子の製造を行うことができる
。
図は本発明の保持装置の第1実施例を示す縦断面図であ
る。 1・・・吸着部 2・・・吸引口 3・・・ガラス塊
る。 1・・・吸着部 2・・・吸引口 3・・・ガラス塊
Claims (2)
- (1)加熱されたガラスと接触する先端部を、HfO_
2またはZrO_2の少なくともいずれか1つを主成分
とした焼結体により形成したことを特徴とする加熱され
たガラス塊の保持装置。 - (2)加熱されたガラスと接触する先端部の表面を、H
fO_2またはZrO_2の少なくともいずれか1つを
主成分とした膜により被覆したことを特徴とする加熱さ
れたガラス塊の保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8284290A JPH03279233A (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | 加熱されたガラス塊の保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8284290A JPH03279233A (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | 加熱されたガラス塊の保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03279233A true JPH03279233A (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=13785647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8284290A Pending JPH03279233A (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | 加熱されたガラス塊の保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03279233A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030090255A (ko) * | 2002-05-22 | 2003-11-28 | 주식회사 하이켐텍 | 고화성 흡착패드 |
-
1990
- 1990-03-29 JP JP8284290A patent/JPH03279233A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030090255A (ko) * | 2002-05-22 | 2003-11-28 | 주식회사 하이켐텍 | 고화성 흡착패드 |
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