JPH0327964B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0327964B2 JPH0327964B2 JP56204083A JP20408381A JPH0327964B2 JP H0327964 B2 JPH0327964 B2 JP H0327964B2 JP 56204083 A JP56204083 A JP 56204083A JP 20408381 A JP20408381 A JP 20408381A JP H0327964 B2 JPH0327964 B2 JP H0327964B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- recording
- substrate
- magnetic
- soft magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は常時記録媒体に接して記録再生を行な
う少なくともコアの一部に薄膜軟磁性体を使用し
た磁気記録再生ヘツドの製造方法に関する。
う少なくともコアの一部に薄膜軟磁性体を使用し
た磁気記録再生ヘツドの製造方法に関する。
本発明の目的は上記記録再生ヘツドの耐久性の
向上にある。
向上にある。
薄膜のコアを使用した記録再生ヘツドを常時記
録媒体に接触させて使用する場合、薄膜コア先端
が弱いため、コア先端が短時間で破壊されて実用
にならない。そのため現在は記録媒体よりある一
定高さに浮上して使用されるタイプの薄膜ヘツド
が実用化されている。しかし新しい記録再生方式
あるいは装置の提案等により薄膜コアを使用する
ヘツドを記録媒体に接しさせて記録再生すること
が要求されてきている。
録媒体に接触させて使用する場合、薄膜コア先端
が弱いため、コア先端が短時間で破壊されて実用
にならない。そのため現在は記録媒体よりある一
定高さに浮上して使用されるタイプの薄膜ヘツド
が実用化されている。しかし新しい記録再生方式
あるいは装置の提案等により薄膜コアを使用する
ヘツドを記録媒体に接しさせて記録再生すること
が要求されてきている。
本発明はこの点に留意して薄膜コア先端を保護
する構造の記録再生ヘツドを製造する方法を提案
するものである。
する構造の記録再生ヘツドを製造する方法を提案
するものである。
以下、実施例に基いて詳細に説明する。
実施例 １
第１図に示すのは垂直磁気記録方式における主
磁極補助磁極タイプの記録再生ヘツドである。こ
のヘツドは軟磁性薄膜からなる主磁極１が記録媒
体２に接しており、記録媒体２の反対側にコイル
３が巻かれたフエライトからなる補助磁極４の２
つに分れた構造となつている。従来の主磁極の構
造を第２図に断面で示すが、パーマロイ薄膜７が
ガラスあるいはセラミツクの基板５上に形成され
ており、相対する基板５と同じ材料からなる基板
６で合せて接着され、記録媒体２に接する面は平
面あるいは曲面形状に加工される。接合面には接
着剤８が充てんされている。この構造のヘツドを
実際に使うと、まず先端の接着剤８が削られ、次
いで接着剤の接しているパーマロイ薄膜７、及び
基板５及び６の接している側の角が損傷を受け性
能が大幅に低下して短時間で使用不可能になる。
この大きな理由としヘツドの磁気特性に大きく影
警を与えるパーマロイ薄膜の先端を耐摩耗性耐衝
撃性のない樹脂接着剤を使つて保護する点にあ
り、先端の接着剤の層が数千オングストローム〜
数ミクロンと厚いことも問題のある点である。
磁極補助磁極タイプの記録再生ヘツドである。こ
のヘツドは軟磁性薄膜からなる主磁極１が記録媒
体２に接しており、記録媒体２の反対側にコイル
３が巻かれたフエライトからなる補助磁極４の２
つに分れた構造となつている。従来の主磁極の構
造を第２図に断面で示すが、パーマロイ薄膜７が
ガラスあるいはセラミツクの基板５上に形成され
ており、相対する基板５と同じ材料からなる基板
６で合せて接着され、記録媒体２に接する面は平
面あるいは曲面形状に加工される。接合面には接
着剤８が充てんされている。この構造のヘツドを
実際に使うと、まず先端の接着剤８が削られ、次
いで接着剤の接しているパーマロイ薄膜７、及び
基板５及び６の接している側の角が損傷を受け性
能が大幅に低下して短時間で使用不可能になる。
この大きな理由としヘツドの磁気特性に大きく影
警を与えるパーマロイ薄膜の先端を耐摩耗性耐衝
撃性のない樹脂接着剤を使つて保護する点にあ
り、先端の接着剤の層が数千オングストローム〜
数ミクロンと厚いことも問題のある点である。
第３図に本発明による主磁極の製造方法の例を
示す。第３図ａは絶縁性の基板５上にパーマロイ
センダストなどの軟磁性薄膜７を形成しパターニ
ングした後、その上にSiO2，Al2O3，Ta2O5，
Si3N4等の硬くて耐摩耗性のある誘電体薄膜９を
真空蒸着あるいはスパツタリング等によりパーマ
ロイ薄膜７の厚みより厚く形成した状態を示す。
次に第３図ｂに示すように誘電体膜９の表面を研
摩により膜９の表面の凹凸をなくす、この時完全
鏡面に仕上げる必要は必ずしもなく適度に荒れた
面でよい。その後第３図ｃに示すように基板６を
基板５と接着剤８を塗布して貼り合わせて接合す
る。接着剤としては樹脂系で良いが低融点ガラス
で接合しても問題ない。本発明では軟磁性薄膜の
ヘツド先端部はセラミツクあるいはガラスの基板
と耐摩耗性のある誘電体薄膜で保持保護されてお
り耐摩耗性のない接着部は軟磁性薄膜とは分離さ
れているのでヘツド先端の軟磁性薄膜の耐久性を
飛躍的に向上でき、かつ接着層の厚みも薄くでき
るため接合部でのやられも最小にできる。
示す。第３図ａは絶縁性の基板５上にパーマロイ
センダストなどの軟磁性薄膜７を形成しパターニ
ングした後、その上にSiO2，Al2O3，Ta2O5，
Si3N4等の硬くて耐摩耗性のある誘電体薄膜９を
真空蒸着あるいはスパツタリング等によりパーマ
ロイ薄膜７の厚みより厚く形成した状態を示す。
次に第３図ｂに示すように誘電体膜９の表面を研
摩により膜９の表面の凹凸をなくす、この時完全
鏡面に仕上げる必要は必ずしもなく適度に荒れた
面でよい。その後第３図ｃに示すように基板６を
基板５と接着剤８を塗布して貼り合わせて接合す
る。接着剤としては樹脂系で良いが低融点ガラス
で接合しても問題ない。本発明では軟磁性薄膜の
ヘツド先端部はセラミツクあるいはガラスの基板
と耐摩耗性のある誘電体薄膜で保持保護されてお
り耐摩耗性のない接着部は軟磁性薄膜とは分離さ
れているのでヘツド先端の軟磁性薄膜の耐久性を
飛躍的に向上でき、かつ接着層の厚みも薄くでき
るため接合部でのやられも最小にできる。
本例では主磁極補助磁極タイプの記録再生ヘツ
ドについて述べたが、一般のリングタイプの薄膜
ヘツドにおいても常時記録媒体に接触させて使用
する場合本発明は有効であるのは明らかである。
ドについて述べたが、一般のリングタイプの薄膜
ヘツドにおいても常時記録媒体に接触させて使用
する場合本発明は有効であるのは明らかである。
以上述べてきたように、本発明によつて弱い薄
膜ヘツド先端の耐久性を向上させることができ、
薄膜ヘツドの媒体常時接触での使用の実用化に大
きく奇与することができる点、本発明の効果は大
なるものがある。
膜ヘツド先端の耐久性を向上させることができ、
薄膜ヘツドの媒体常時接触での使用の実用化に大
きく奇与することができる点、本発明の効果は大
なるものがある。
第１図は垂直磁気記録用の主磁極補助磁極タイ
プの記録再生ヘツドの概略図。第２図は第１図に
示す主磁極の従来品の断面図第３図は第１図に示
す主磁極の本発明に従がう製造法を示す。 １……主磁極を構成する軟磁性薄膜、２……記
録媒体、３……コイル、４……フエライト、５…
…ガラスあるいはセラミツク基板、６……５と同
じ材質の基板、７……パーマロイ薄膜、８……接
着剤、９……誘電体薄膜。
プの記録再生ヘツドの概略図。第２図は第１図に
示す主磁極の従来品の断面図第３図は第１図に示
す主磁極の本発明に従がう製造法を示す。 １……主磁極を構成する軟磁性薄膜、２……記
録媒体、３……コイル、４……フエライト、５…
…ガラスあるいはセラミツク基板、６……５と同
じ材質の基板、７……パーマロイ薄膜、８……接
着剤、９……誘電体薄膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 記録媒体に記録あるいは記録媒体から再生を
する磁気記録再生ヘツドの製造方法において、第
１の基板上に磁極を形成する軟磁性薄膜を磁極の
形状に形成する工程と、 前記軟磁性薄膜磁極が形成された基板上に前記
軟磁性薄膜を覆うように誘電体薄膜を形成する工
程と、 前記誘電体薄膜表面を研磨して前記誘電体薄膜
に生じた凹凸を平坦化する工程と、 前記平坦化された誘電体薄膜表面に接着剤を塗
布して、第２の基板を貼り合わせる工程からな
り、前記第１と第２の基板及び前記誘電体薄膜は
前記軟磁性薄膜より硬質な材料により形成され、
且つ前記磁気記録再生ヘツドの端面が前記第１の
基板、前記軟磁性薄膜磁極、前記誘電体薄膜及び
前記第２の基板の各端面により形成されることを
特徴とする磁気記録再生ヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20408381A JPS58105419A (ja) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | 磁気記録再生ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20408381A JPS58105419A (ja) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | 磁気記録再生ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58105419A JPS58105419A (ja) | 1983-06-23 |
| JPH0327964B2 true JPH0327964B2 (ja) | 1991-04-17 |
Family
ID=16484495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20408381A Granted JPS58105419A (ja) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | 磁気記録再生ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58105419A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6134710A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-19 | Akai Electric Co Ltd | 磁気ヘツド |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6341609Y2 (ja) * | 1980-04-23 | 1988-11-01 |
-
1981
- 1981-12-17 JP JP20408381A patent/JPS58105419A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58105419A (ja) | 1983-06-23 |
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