JPH03283816A - BiCMOS論理回路 - Google Patents

BiCMOS論理回路

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JPH03283816A
JPH03283816A JP2079066A JP7906690A JPH03283816A JP H03283816 A JPH03283816 A JP H03283816A JP 2079066 A JP2079066 A JP 2079066A JP 7906690 A JP7906690 A JP 7906690A JP H03283816 A JPH03283816 A JP H03283816A
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field effect
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JP2079066A
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Toshio Sunanaga
登志男 砂永
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10D84/00Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
    • H10D84/40Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00 with at least one component covered by groups H10D10/00 or H10D18/00, e.g. integration of IGFETs with BJTs
    • H10D84/401Combinations of FETs or IGBTs with BJTs
    • H10D84/403Combinations of FETs or IGBTs with BJTs and with one or more of diodes, resistors or capacitors
    • H10D84/406Combinations of FETs or IGBTs with vertical BJTs and with one or more of diodes, resistors or capacitors
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 A、産業上の利用分野 本発明はBiCMOS論理回路に関し、更に詳細には、
高速であり且つ集積回路として高密度に実装できるBi
CMOS論理回路に関する。
B、従来の技術 BiCMOS論理回路は、相補MO8(CMO8)電界
効果トランジスタの低消費電力の利点とバイポーラ・ト
ランジスタの高い負荷駆動能力の利点とを同時に達成す
ることができ、高性能論理回路として注目されている。
このようなりiCMO5論理回路の一例は、IBMテク
ニカル・ディスクロージャ・ブレティン(IBM Te
chnical Disclosure Bullet
in) 、 V 。
1.28、No、8.1986年1月、第3558〜3
561頁に所載のT、 Sunagaによる論文「併合
されたバイポーラ−シーモス・デバイス(Merged
 Bipolar −CMO5Device)に開示さ
れている。
この論文に示されたBiCMOS論理回路は、入力信号
に応答する1対のCMO5FET (電界効果トランジ
スタ)及びこれらのFETによって駆動される1対の相
補的バイポーラ・トランジスタを有する。各FETは、
オンになった時に関連バイポーラ・トランジスタへベー
ス電流を供給してこのトランジスタをオンにし、オフに
なった時に関連バイポーラ・トランジスタへのベース電
流を遮断してこのトランジスタをオフにしている。
しかしながらこの論理回路はバイポーラ・トランジスタ
のベースに蓄積される電荷を強制的に放電させるための
バイパス手段を持たない。従って、動作速度が遅く、ま
たスイッチング時に両方のバイポーラ・トランジスタが
導通し、消費電力を増大させるだけでなく、スイッチン
グ特性を悪化させる。
1984年1月20日に公開された特開昭59−110
34号(日立製作所)は様々なりiCMoS論理回路を
示している。例えば、この特許出願は、1対の入力CM
O8FETが直列に接続され、出力バイポーラ・トラン
ジスタ・インバータがNPNプル・アップ・トランジス
タ及びPNPプル・ダウン・トランジスタで構成され、
そして、入力FETの共通接続点がインバータ・トラン
ジスタのベースに共通に接続された論理回路を示してい
る。
しかしながら、出力インバータのNPNトランジスタ及
びPNPトランジスタのベースを共通接続した場合は、
動作速度が遅いという問題がある。
即ち、例えば、NPNプル・アップ・トランジスタがオ
ンで、PNPプル・ダウン・トランジスタがオフの状態
から、NPNトランジスタがオフで、PNPトランジス
タがオンの状態に回路をスイッチする場合を考えてみる
NPNトランジスタがオンのとき、出力電圧即ちNPN
トランジスタ及びPNP トランジスタの共通接続され
たエミッタにおける電圧は高レベル(vDD−vBE)
(ここで、VDDは電源電圧、VBEはベース−エミッ
タ電圧)にある、従ってPNPトランジスタは、共通ベ
ースの電圧が(VDD−VBE)−VBE=VDD−2
VBEよりも下がらなければ導通しない。同様に、PN
Pトランジスタがオンのとき、出力電圧はVBEであり
、従ってNPN)−ランジスタは共通ベースの電圧がV
BE+VBE=2VBEよりも高くならなければ導通し
ない。従って、共通ベースの電圧が2VBEに相当する
電圧だけ変化しないうちはスイッチングが生じないから
、内部遅延が大きく、高速動作が得られない。NPNト
ランジスタ及びPNPトランジスタのベースを共通接続
せずに、ベース間に抵抗を接続した場合も同様の問題が
生じる。
上記特開昭59−11034号は、さらに、プル・アッ
プ・トランジスタ及びプル・ダウン・トランジスタの両
方がNPN)−ランジスタで構成され、そして、ベース
電荷放電手段として、入力信号に応答するNチャネルF
ETが使用されている論理回路を示している。しかしな
がら、入力信号に応答するNチャネルFETをベース電
荷放電手段として用いる方式は、複数の入力信号が用い
られる場合、各入力信号と対応して放電FETを設けね
ばならず、従って回路が複雑化し、大きなデバイス面積
を必要とするという問題を含む。更に、出力インバータ
のプル・アップ・ト、ランジスタ及びプル・ダウン・ト
ランジスタとしてNPNトランジスタが用いられた場合
は、プル・アップ・トランジスタ及びプル・ダウン・ト
ランジスタは互いに分離される必要がある。従って、こ
の場合は、Pチャネル人力FET、プル・アップ・トラ
ンジスタ及びプル・ダウン・トランジスタのために3つ
の別々のN型ウェルを形成する必要があり、デバイス面
積が大きくなる。また、NPNトランジスタはPNPト
ランジスタよりも高速であるが。
プル・ダウン・トランジスタのコレクタを構成するN型
ウェルの接合容量のため、スイッチング速度はあまり改
善されない。
C0発明が解決しようとする課題 本発明の目的は、高速で、しかも複数の論理入力を受取
る場合でも最小の素子数で高密度に集積できるBiCM
OS論理回路を提供することである。
00課題を解決するための手段 本発明のBiCMOS論理回路は、入力信号を受、取る
1対の相補的入力電界効果トランジスタ、及び入力電界
効果トランジスタによって相補的に駆動される1対の相
補的出力バイポーラ・トランジスタを有する。出力バイ
ポーラ・トランジスタのベース間には、1対の相補的放
電電界効果トランジスタが並列に接続される。放電電界
効果トランジスタはダイオード接続され、バイポーラ・
トランジスタのベースの蓄積電荷に対する放電路を与え
る。
出力バイポーラ・トランジスタ対のプル・アップ・トラ
ンジスタはNPNトランジスタであり、プル・ダウン・
トランジスタはPNP)−ランジスタである。PNPト
ランジスタ及びNチャネル電界効果トランジスタはP型
基板に形成され、NPNトランジスタ及びPチャネル電
界効果トランジスタはP型基板に設けられたN型ウェル
に形成される0両方のバイポーラ・トランジスタとも縦
型トランジスタとして形成され、夫々のベースは関連す
る電界効果トランジスタのソース/ドレイン領域として
兼用される0本発明によれば、特別のアイソレーション
手段を用いることなく、1つのウェル領域を用いるだけ
で、高性能なりiCMO8論理回路を高密度に形成する
ことができる。
E、実施例 第1図は本発明のBiCMOS論理回路を示している。
この論理回路は1対の入力CMO5FET  Tl及び
T4、並びに1対の出力バイポーラ・トランジスタQ1
及びQ2を有する。FETT1はPチャネル・トランジ
スタ、FET  T4はNチャネル・トランジスタ、ト
ランジスタQ1はNPNトランジスタ、トランジスタQ
2はPNPトランジスタである。FETT1のソース5
は電源電圧VDDに接続され、ゲート6は入力端子28
に接続され、ドレイン8はNPNトランジスタQ1のベ
ース10に接続されている。FETT4のドレイン19
はPNP トランジスタQ2のベース20に接続され、
ゲート22は入力端子28に接続され、ソース24は大
地電圧(GND)にされている基準電圧に接続されてい
る。トランジスタQ1のコレクタ3は電源電圧VDDに
接続され、エミッタ11は出力端子30に接続されてい
る。トランジスタQ2の工、ミッタ21は出力端子30
に接続され、コレクタ2は基準電圧GNDに接続されて
いる。
トランジスタQ1及びQ2のベース間には1対のダイオ
ード接続されたCMO8FET  T2及びT3が接続
されている。FETT2はPチャネル・トランジスタ、
FET  T3はNチャネル・トランジスタである。F
ETT2のソースはトランジスタQ1のベース10に接
続され、ゲート13及びソース12はトランジスタQ2
のベースに共通に接続されている。FETT3のドレイ
ン15及びゲート16はトランジスタQ1のベース10
に共通に接続され、ソース18はトランジスタQ2のベ
ース20に接続されている。
第2図は第1図のBiCMOS論理回路の集積回路構造
を示した概略図である。第1図及び第2図の対応する素
子は同じ参照番号で示されている。
PNP トランジスタQ2及びNチャネルFETT3.
T4はP+シリ;ン基板1上に形成されたP−エピタキ
シャル層2に形成される。NPNトランジスタQ1及び
PチャネルFET  T1.T2はエピタキシャル層2
に設けられたN ウェル3に形成されている。
PチャネルFET  TlはP+ソース領域5、P+ド
レイン領域8及びポリシリコン・ゲート6+ によって形成される。PチャネルT2はP ソース領域
9、P+ドレイン領域12及びポリシリコン・ゲート1
3によって形成される。NPNhランジスタQ1はN+
エミッタ領域11、P−ベース領域1o及びコレクタ領
域として働くN ウェル3によって形成される。Nチャ
ネルFET  T3はN+ドレイン領−15、N+ソー
ス領域18及びポリシリコン・ゲート16によって形成
される。NチャネルFET  T4はN+ドレンン領域
19、N+リソース域24及びポリシリコン・ゲート2
2によって形成される。PNP トランジスタQ2はP
+エミッタ領域21、N ベース領域20及びコレクタ
領域として働くエピタキシャル層2によって形成される
。領域4はT1のソース領域5と接し゛て設けられたN
+のウェル・コンタクトであり、領域25はT4のソー
ス領域24と接して設けられたP+の基板コンタクトで
ある。
領域7はフィールド酸化物領域、領域14はP+フィー
ルド・ストップ領域である。
トランジスタQ1及びQ2は縦型トランジスタとして形
成されている。FET  Tlのドレイン領域8及びF
ET  T2のソース領域9はトランジスタQ1の外部
ベース領域を構成しており、FET  T3のソース領
域18及びFET  T4のドレイン領域19はトラン
ジスタQ2の外部ベース領域を構成している。
第2図の構造はよく知られたCMOSプロセスによって
簡単に製造することができる。唯一の相違点はトランジ
スタQ1及びQ2の真性ベース領域10及び20を形成
するために2つのイオン注入工程が付加されることだけ
である。製造手順は明らかであると思われるので、詳し
い説明は省略する。
次に本発明の論理回路の動作について説明する。
入力信号が低レベルの時はFET  Tlがオン、FE
T  T4がオフである。T1がオンになると、トラン
ジスタQ1にベース電流が供給され、トランジスタQ1
がオンになる。出力端子30にはVDD−VBEの高電
圧レベルが発生される。トランジスタQ2はオフである
。この時ノードN1の電圧はVDDであり、ノードN1
とN2の間の電位差はFET  T2のしきい値電圧V
TPにクランプされる。即ち、FET  T3のしきい
値電圧をVTNとすると、ノードN1の電圧=VDDの
ときは、基板バイアス効果によりVTN>VTPとなり
、ノードN2の電圧はVDD−VTPになる。
いま、この状態において入力が低レベルから高レベルへ
変わると、T4がオンになり、T1がオフになり、ノー
ドN2の電圧が低下する。最初はT2が強く導通するた
め、トランジスタQ1のベース電荷は主としてT2を通
して引抜かれる。ノードN2の電圧が更に低下すると、
T3の基板バイアス効果が小さくなり、他方T2の基板
バイアス効果が大きくなり、VTN<VTPとなって、
T3が強くベース電荷を引抜くようになる。引抜かれた
ベース電荷はT4を通してGNDへ放電する。最終的に
ノードN2の電圧がGNDになると。
ノードN1はVTNにクランプされ、T2はほとんどオ
フ状態になる。
逆に、入力が高レベルから低レベルに変わる時は、最初
T3が、次にT2がトランジスタQ2のベース電荷に対
する主放電路を形成し、ベース電荷はT1を通してVD
Dへ放電する。
従って、本発明の回路によれば、いずれの場合でもベー
ス電荷を効率よく引抜く放電路が形成され、高速スイッ
チング動作を得ることができる。
また、上述したノード電圧クランプ作用は動作速度を更
に改善する。即ち、いまT1がオンで、ノードN1の電
圧がVDD=5Vであるとすると、出力電圧(VDD−
VBE)は約4.4■、ノードN2の電圧(VDD−V
TP)は約4vである。
次にT4がオンになると、Q2はノードN2の電圧が4
.4−VBE=約3.8V1mなった時に導通する。つ
まり、Q2はノードN2の電圧が約4Vから約3.8v
へ約0.2V変化するだけでスイッチし、従って内部遅
延が小さく、高速である。
これに対し、ノードN1及びN2の間に抵抗を接続した
時は、T4がオンになる前はノードN1及びN2の電圧
はVDD=5Vであり、Q2はノードN2の電圧が5V
−3,8V=1.2Vだけ変化しなければオンにならな
い。
本発明の論理回路の特徴を列記すれば、以下のとおりで
ある。
(1)ダイオード接続されたPチャネルFET  T2
及びNチャネルFET  T3による迅速なベース電荷
放電作用及びノード電圧クランプ作用によって高速なス
イッチングが得られる。
(2)PチャネルFET  Tlと並列に1、っ以上の
Pチャネルを接続すると共にNチャネルFETT4と直
列に1つ以上のNチャネルFETを接続し、各P−N 
 FET対に別々の入力信号を印加することにより、簡
単に多入力論理回路に変形できる。多入力′の場合でも
、1対のベース放電PMO5及びNMo5トランジスタ
を使用するだけでよい。
(3)NPNトランジスタQ1及びPNP トランジス
タQ2は共にエミッタ・フォロワとして動作し。
ベース−コレクタ接合が順バイアスされないため。
Ql及びQ2は不飽和モードで動作でき、高速である。
(4)PNPプル・ダウン・トランジスタが用いられて
おり、従って、プル・ダウン・トランジスタとしてNP
N トランジスタを用いこれを別個のウェルに形成した
時のウェル−基板接合容量による速度低下の問題がない
、また、このPNPトランジスタは小さなベース層を有
する縦型トランジスタとして形成でき、高性能なPNP
を実現できる。
(5)NPNプル・アップ・トランジスタのコレクトは
VDDに、PNPプル・ダウン・トランジスタのコレク
タはGNDに固定されており、従ってNウェル−基板間
の容量は動作速度に影響しない。
(6)1つのNウェルしか必要でなく、また小さな電流
を流すFET  T2及びT3は小さくてよく。
しかも夫々Q1、Q2のベース領域を共有する形で形成
できるため、高い集積密度を達成できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のBiCMOS論理回路である。 第2図は第1図の論理回路の集積回路構造の概略図であ
る。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、直列に接続され、その共通接続点が出力端子に接続
    された1対の相補的バイポーラ・トランジスタと、 ゲートが入力端子に共通に接続され、上記1対のバイポ
    ーラ・トランジスタを相補的に駆動する1対の相補的入
    力電界効果トランジスタと、上記1対のバイポーラ・ト
    ランジスタのベース間に並列に接続された1対の相補的
    放電電界効果トランジスタと を有するBiCMOS論理回路。 2、請求項1において、上記放電電界効果トランジスタ
    がダイオード接続されていることを特徴とするBiCM
    OS論理回路。 3、電源電圧と出力端子との間に接続された第1のバイ
    ポーラ・トランジスタと、 上記出力端子と基準電圧との間に接続された、上記第1
    のバイポーラ・トランジスタと相補的な第2のバイポー
    ラ・トランジスタと、 上記電源電圧と上記第1のバイポーラ・トランジスタの
    ベースとの間に接続され、そのゲートが入力端子に接続
    された第1の電界効果トランジスタと、 上記第2のバイポーラ・トランジスタのベースと上記基
    準電圧との間に接続され、そのゲートが上記入力端子に
    接続された、上記第1の電界効果トランジスタと相補的
    な第2の電界効果トランジスタと、 上記第1及び第2のバイポーラ・トランジスタのベース
    間に並列に接続された相補的なダイオード接続電界効果
    トランジスタと を有するBiCMOS論理回路。 4、請求項3において、上記第1の電界効果トランジス
    タがPチャネル・トランジスタであり、上記第2の電界
    効果トランジスタがNチャネル・トランジスタであるこ
    とを特徴とするBiCMOS論理回路。 5、請求項4において、上記第1のバイポーラ・トラン
    ジスタがNPNトランジスタであり、上記第2のバイポ
    ーラ・トランジスタがPNPトランジスタであることを
    特徴とするBiCMOS論理回路。 6、コレクタが電源電圧に接続され、エミッタが出力端
    子に接続されたNPNトランジスタと、エミッタが上記
    出力端子に接続され、コレクタが基準電圧に接続された
    PNPトランジスタと、ソースが上記電源電圧に接続さ
    れ、ドレインが上記NPNトランジスタのベースに接続
    され、ゲートが入力端子に接続された第1のPチャネル
    電界効果トランジスタと、 ドレインが上記PNPトランジスタのベースに接続され
    、ソースが上記基準電圧に接続され、ゲートが上記入力
    端子に接続された第1のNチャネル電界効果トランジス
    タと、 ソースが上記NPNトランジスタのベースに接続され、
    ドレイン及びゲートが上記PNPトランジスタのベース
    に共通に接続された第2のPチャネル電界効果トランジ
    スタと、 ドレイン及びゲートが上記NPNトランジスタのベース
    に共通に接続され、ソースが上記PNPトランジスタの
    ベースに接続された第2のNチャネル電界効果トランジ
    スタと を有するBiCMOS論理回路。 7、P型基板に形成されたNチャネル入力電界効果トラ
    ンジスタ、Nチャネル放電電界効果トランジスタ及び縦
    型のPNPバイポーラ・トランジスタと、 上記基板に設けられたNウェル領域に形成されたPチャ
    ネル入力電界効果トランジスタ、Pチャネル放電電界効
    果トランジスタ及び縦型のNPNバイポーラ・トランジ
    スタとを有し、 上記Nチャネル及びPチャネルの入力電界効果トランジ
    スタのゲートは入力端子に共通に接続され、 上記PNP及びNPNのバイポーラ・トランジスタのエ
    ミッタは出力端子に共通に接続され、上記PNPバイポ
    ーラ・トランジスタのベース領域は上記Nチャネルの入
    力電界効果トランジスタ及び放電電界効果トランジスタ
    夫々の一方の装置領域を形成し、 上記NPNバイポーラ・トランジスタのベース領域は上
    記Pチャネルの入力電界効果トランジスタ及び放電電界
    効果トランジスタ夫々の一方の装置領域を形成している
    BiCMOS論理回路。 8、上記Nチャネル入力電界効果トランジスタの他方の
    装置領域及び上記PNPトランジスタのコレクタは基準
    電圧に接続され、 上記Pチャネル入力電界効果トランジスタの他方の装置
    領域及び上記NPNトランジスタのコレクタは電源電圧
    に接続され、 上記Nチャネル放電電界効果トランジスタの他方の装置
    領域は自己のゲートに接続されると共に上記NPNトラ
    ンジスタのベース領域に接続され、上記Pチャネル放電
    電界効果トランジスタの他方の装置領域は自己のゲート
    に接続されると共に上記PNPトランジスタのベースに
    接続されているBiCMOS論理回路。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60141018A (ja) * 1983-12-28 1985-07-26 Nec Corp バイポ−ラ−cmos混成集積回路

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS60141018A (ja) * 1983-12-28 1985-07-26 Nec Corp バイポ−ラ−cmos混成集積回路

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