JPH03284380A - 傾斜機能材料の製造方法およびその製造方法により作製したアクチュエータ - Google Patents
傾斜機能材料の製造方法およびその製造方法により作製したアクチュエータInfo
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- JPH03284380A JPH03284380A JP90200592A JP20059290A JPH03284380A JP H03284380 A JPH03284380 A JP H03284380A JP 90200592 A JP90200592 A JP 90200592A JP 20059290 A JP20059290 A JP 20059290A JP H03284380 A JPH03284380 A JP H03284380A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
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- B65H63/006—Warning or safety devices, e.g. automatic fault detectors, stop-motions ; Quality control of the package quality control of the package
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B65H2701/00—Handled material; Storage means
- B65H2701/30—Handled filamentary material
- B65H2701/31—Textiles threads or artificial strands of filaments
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- Quality & Reliability (AREA)
- Filamentary Materials, Packages, And Safety Devices Therefor (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、パイプの組成分布を任意に、かつ。
簡単に形成することの出来る装置に関し、さらにこの装
置を用いて作製したアクチュエータに関する。
置を用いて作製したアクチュエータに関する。
〈従来の技術〉
従来１例えば超音波モータとして動作させるために圧電
定数の異なる２つの圧電素子を交互に円環上に並べたも
のや複雑な動きを行わせる為のアクチュエータとして、
圧電定数の異なる複数の圧電素子ダ交互に重ね合わせて
接合することが行なわれている。
定数の異なる２つの圧電素子を交互に円環上に並べたも
のや複雑な動きを行わせる為のアクチュエータとして、
圧電定数の異なる複数の圧電素子ダ交互に重ね合わせて
接合することが行なわれている。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、その様なアクチュエータは一般的なドク
ターブレード法では作製が困難である。
ターブレード法では作製が困難である。
そのため−旦グリーンシートとして形成した興なる種類
の圧電素子を側面や表面で接着して作製することになる
が、その接着強度には信頼性がないという問題がある。
の圧電素子を側面や表面で接着して作製することになる
が、その接着強度には信頼性がないという問題がある。
本発明は上記従来技術の問題点に鑑みて成されたもので
、異なる種類の粉末原料を接着剤を用いないで固着する
ことができ、複雑な組成の組み合わせが可能な傾斜ＩＩ
能材料の製造方法およびその製造方法により作製したア
クチュエータを捉供することを目的とする。
、異なる種類の粉末原料を接着剤を用いないで固着する
ことができ、複雑な組成の組み合わせが可能な傾斜ＩＩ
能材料の製造方法およびその製造方法により作製したア
クチュエータを捉供することを目的とする。
く課題を解決するための手段〉
上記従来技術の課題を解決する為の本発明の構成は、請
求項１においては、複数種の粉末原料とバインダと溶剤
を混合して作製した複数種の粘性体と、前記粘性体のそ
れぞれを充填した複数のディスペンサーと、そのディス
ペンサーの吐出口の下方に配置された軸と、その軸を回
転させ、かつ。
求項１においては、複数種の粉末原料とバインダと溶剤
を混合して作製した複数種の粘性体と、前記粘性体のそ
れぞれを充填した複数のディスペンサーと、そのディス
ペンサーの吐出口の下方に配置された軸と、その軸を回
転させ、かつ。
その軸またはディスペンサーを相対的に３軸方向に移動
させる駆動装置と、前記軸の回転および軸方向の移動速
度を制御するとともに前記ディスペンサーの吐出量を制
御する制御手段を具備し、前記複数種の粘性体を側面、
または積層部分で接合する事を特徴とするものであり。
させる駆動装置と、前記軸の回転および軸方向の移動速
度を制御するとともに前記ディスペンサーの吐出量を制
御する制御手段を具備し、前記複数種の粘性体を側面、
または積層部分で接合する事を特徴とするものであり。
請求項２においては、複数種の粉末原料とバインダと溶
剤を混合して作製した複数種の粘性体と。
剤を混合して作製した複数種の粘性体と。
前記粘性体のそれぞれを充填した複数のディスペンサー
と、それらのディスペンサーの吐出口に設けられた混合
器と、その混合器の吐出口の下方に配置された軸と、そ
の軸を回転させ、かつ、その軸またはディスペンサーを
３軸方向に移動させる駆動装置と、前記軸の回転および
軸方向の移動速度を制御するとともに前記ディスペンサ
ーから混合器への吐出量と混合器からの吐出量を制御す
る制御手段を具備し、前記複数種の粘性体を側面または
積層部分で接合する事を特徴とするものであり。
と、それらのディスペンサーの吐出口に設けられた混合
器と、その混合器の吐出口の下方に配置された軸と、そ
の軸を回転させ、かつ、その軸またはディスペンサーを
３軸方向に移動させる駆動装置と、前記軸の回転および
軸方向の移動速度を制御するとともに前記ディスペンサ
ーから混合器への吐出量と混合器からの吐出量を制御す
る制御手段を具備し、前記複数種の粘性体を側面または
積層部分で接合する事を特徴とするものであり。
請求項３においては、圧電定数が大のセラミックス部材
と圧電定数が小のセラミックス部材が重畳して巻き回さ
れた所定の幅を有する第１のリングと、前記第１のリン
グの隣にこのリングとは重畳の順序を逆にして巻き回さ
れた同様の大きさの第２のリングと、これら第１．第２
のリングを交互に４個並べて第１グループとし、その第
１グルブの端面のリングと同様に巻き回されたリングが
端面に位置する様に前記第１．第２のリングが４個配置
された第２グループと、前記第１．第２グループの間に
配置され、前記セラミックス部材のいずれかで形成され
前記第１．第２リングの間に所定の幅で、かつ、同程度
の厚さに形成された第３のリングからなり、前記第１．
第２グループのリングに位相がすれた正弦波を加える手
段を具備したことを特徴とするものである。
と圧電定数が小のセラミックス部材が重畳して巻き回さ
れた所定の幅を有する第１のリングと、前記第１のリン
グの隣にこのリングとは重畳の順序を逆にして巻き回さ
れた同様の大きさの第２のリングと、これら第１．第２
のリングを交互に４個並べて第１グループとし、その第
１グルブの端面のリングと同様に巻き回されたリングが
端面に位置する様に前記第１．第２のリングが４個配置
された第２グループと、前記第１．第２グループの間に
配置され、前記セラミックス部材のいずれかで形成され
前記第１．第２リングの間に所定の幅で、かつ、同程度
の厚さに形成された第３のリングからなり、前記第１．
第２グループのリングに位相がすれた正弦波を加える手
段を具備したことを特徴とするものである。
く作用〉
異なる種類の粘性体を入れたディスペンサーを複数個用
意しておき、軸を回転させながら１種類の粘性体（Ａ＞
で軸の所定の幅を塗布し１次にデイスペンサと軸を相対
的に所定の距離移動させ他の種類の粘性体（Ｂ）を入れ
たディスペンサーと交換し、はじめに塗布した粘性体に
その側面をわずかに重ねたり、またはわずかに離して所
定の幅を塗布する。粘性体は粘性を有しているのでその
端部および側面は興なる種類の粘性体が互いに混合し、
傾斜組成が形成される。これを繰返して所望の長さの一
層目の管体と・する１次に前述とは逆の順序でＡの上に
Ｂの粘性体を重ねて同様に２層目の管体を形成する。こ
れにより積層面の接触部も傾斜組成となる。
意しておき、軸を回転させながら１種類の粘性体（Ａ＞
で軸の所定の幅を塗布し１次にデイスペンサと軸を相対
的に所定の距離移動させ他の種類の粘性体（Ｂ）を入れ
たディスペンサーと交換し、はじめに塗布した粘性体に
その側面をわずかに重ねたり、またはわずかに離して所
定の幅を塗布する。粘性体は粘性を有しているのでその
端部および側面は興なる種類の粘性体が互いに混合し、
傾斜組成が形成される。これを繰返して所望の長さの一
層目の管体と・する１次に前述とは逆の順序でＡの上に
Ｂの粘性体を重ねて同様に２層目の管体を形成する。こ
れにより積層面の接触部も傾斜組成となる。
また、興なる種類の粘性体を入れたディスペンサーを複
数個用意し、その吐出口に混合器を設け。
数個用意し、その吐出口に混合器を設け。
各ディスペンサーからの吐出量の割合いを連続的に変化
させながら混合物を作製することにより組成を連続的に
変化させることが出来る。
させながら混合物を作製することにより組成を連続的に
変化させることが出来る。
また、興なる種類の粉末原料を用いた粘性体を軸方向お
よび直径方向に交互に配置して筒体を形成する。そして
、第１．第２グループのリングの間に所定の幅の分離帯
を設け、第１．第２のリングの間に位相が興なる正弦波
の電圧を印加する。
よび直径方向に交互に配置して筒体を形成する。そして
、第１．第２グループのリングの間に所定の幅の分離帯
を設け、第１．第２のリングの間に位相が興なる正弦波
の電圧を印加する。
この結果筒体の軸方向に屈曲波の進行波が発生し。
筒体中の流体の搬送が可能となる。
〈実趣例〉
以下１図面に従い本発明を説明する。第１図は本発明の
傾斜機能材料の製造方法の一実施例を示す構成斜視図で
ある０図において１ ａ ＋ １ ｂは軸２を回転させ
るとともに３軸方向への移動が可能な支持装置であり１
図示しない駆動機構により駆動される。３は支持装置（
図示せず）により着脱自在に支持されたディスペンサー
であり、この中にはバインダと溶剤で適度の粘性を有す
るセラミックス材が充填されている（ディスペンサーは
２個用意され、異なった種類のセラミックス材が充填さ
れている）、このセラミックス材はディスペンサー３中
に内臓された押出し機構により吐出部３ａの先端から押
出される。５はディスペンサーから押出される粘性体の
吐出量や吐出部３ａの位置および支持装置１の位置を制
御する制御手段。
傾斜機能材料の製造方法の一実施例を示す構成斜視図で
ある０図において１ ａ ＋ １ ｂは軸２を回転させ
るとともに３軸方向への移動が可能な支持装置であり１
図示しない駆動機構により駆動される。３は支持装置（
図示せず）により着脱自在に支持されたディスペンサー
であり、この中にはバインダと溶剤で適度の粘性を有す
るセラミックス材が充填されている（ディスペンサーは
２個用意され、異なった種類のセラミックス材が充填さ
れている）、このセラミックス材はディスペンサー３中
に内臓された押出し機構により吐出部３ａの先端から押
出される。５はディスペンサーから押出される粘性体の
吐出量や吐出部３ａの位置および支持装置１の位置を制
御する制御手段。
７は信号伝送用ケーブルである。
上記構成において、制御手段５は支持装置の駆動機構に
信号を送り、初期設定として軸４の表面に対してディス
ペンサー３ａの吐出口を所定の位置に移動させるととも
に、適当な高さに位置させる。
信号を送り、初期設定として軸４の表面に対してディス
ペンサー３ａの吐出口を所定の位置に移動させるととも
に、適当な高さに位置させる。
次にディスペンサーにセラミックス材の吐出量を指示す
る信号を発し、現在の位置を起点として所定の速度で移
動する様に支持手段１の駆動機構に制ｆｌＪ信号を発す
る０図示の例ではＡの領域をＡの粘性体で塗布後、Ｂの
粘性体が充填されたディスペンサーに交換後、吐出部３
ａをＢの領域の端部に位置させて同様の条件でＢの領域
をＢの粘性体で塗布し、これを繰返してＡ、Ｂの粘性体
を交互に塗布して一層目の層を形成する。
る信号を発し、現在の位置を起点として所定の速度で移
動する様に支持手段１の駆動機構に制ｆｌＪ信号を発す
る０図示の例ではＡの領域をＡの粘性体で塗布後、Ｂの
粘性体が充填されたディスペンサーに交換後、吐出部３
ａをＢの領域の端部に位置させて同様の条件でＢの領域
をＢの粘性体で塗布し、これを繰返してＡ、Ｂの粘性体
を交互に塗布して一層目の層を形成する。
次に同様の方法によりＡを塗布した領域上にＢの粘性体
を塗布し、Ｂを塗布した領域にＡの粘性体を塗布して２
層目の塗布を行う。
を塗布し、Ｂを塗布した領域にＡの粘性体を塗布して２
層目の塗布を行う。
ここで出願人が行った実験条件に就いて説明する。
セラミックス材としては
Ｐｂ （Ｎ ｉ １／コ Ｎｂ ２／、 ） χ（Ｔ
ｉ ｙ Ｚｒ １−ｙ ） １−ｘ Ｏ３の３次分系複
合プロブスカイトを用い。
ｉ ｙ Ｚｒ １−ｙ ） １−ｘ Ｏ３の３次分系複
合プロブスカイトを用い。
圧電材料としてχ＝０．４５〜０．６０ｙ＝０．６〜０
．８ のもの（以下第１のセラミックス材Ａという）を使用し
。
．８ のもの（以下第１のセラミックス材Ａという）を使用し
。
高誘電率材質として
χ＝０．６５〜０，８５
ｙ＝０．６〜０．８
のらの（以下第２のセラミックス材Ｂという）を使用す
る。
る。
上記第１．第２のセラミックス材Ａ、Ｂそれぞれ１００
ｇに対してそれぞれ３０〜５０ｇの純水。
ｇに対してそれぞれ３０〜５０ｇの純水。
０．５〜１ｇのグリセリン、１ｇのＥＤＴＡ・２ＮＨ，
および数滴の消泡剤を加えてボールミルにより２４時間
粉砕混合し、さらに６〜１２ｇの水溶性アクリル系バイ
ンダを加えて２時間程度粉砕混合して粘性体を作製する
。
および数滴の消泡剤を加えてボールミルにより２４時間
粉砕混合し、さらに６〜１２ｇの水溶性アクリル系バイ
ンダを加えて２時間程度粉砕混合して粘性体を作製する
。
次に２種類の粘性体を真空脱泡を行いつつその粘度が９
００〜３０００ Ｐｏ１ｓになるように調整する。これ
らの粘性体を別々のディスペンサーに充填し上述の操作
により軸２上に塗布する。なお。
００〜３０００ Ｐｏ１ｓになるように調整する。これ
らの粘性体を別々のディスペンサーに充填し上述の操作
により軸２上に塗布する。なお。
塗布工程ではディスペンサーの吐出部の直径０゜８ｍｍ
に対して加圧を１〜２ ｋ ｇ ／ （ｍ’の空気圧で
行い、軸の周速度を１〜５ｍｍ／秒とし、軸の表面と吐
出部のギャップを０．４〜０．８ｍｍとし、Ａ、Ｂの粘
性体の重なり幅を−０，２〜＋０．２ｍｍとした。この
重なり幅は粘性体の粘度により調整する。
に対して加圧を１〜２ ｋ ｇ ／ （ｍ’の空気圧で
行い、軸の周速度を１〜５ｍｍ／秒とし、軸の表面と吐
出部のギャップを０．４〜０．８ｍｍとし、Ａ、Ｂの粘
性体の重なり幅を−０，２〜＋０．２ｍｍとした。この
重なり幅は粘性体の粘度により調整する。
第２図（ａ）〜（ｄ）は粘性体が塗布された軸を断面で
示し、粘性体の拡がり具合を示すもので塗布直後（８図
参照）は離れているが次第に広がって（ｂ、ｃ図参照）
、最後にはその接合部のセラミックスが互いに相手側に
入り込んでその境界が傾斜組成となって一体化する状１
’Ｅｌ（ｄ図参照〉を示している。なお、軸は塗布が終
了するまでの間前記速度で回転させておくものとし、こ
のことにより粘性体が均一の厚さで軸の表面に付着する
。
示し、粘性体の拡がり具合を示すもので塗布直後（８図
参照）は離れているが次第に広がって（ｂ、ｃ図参照）
、最後にはその接合部のセラミックスが互いに相手側に
入り込んでその境界が傾斜組成となって一体化する状１
’Ｅｌ（ｄ図参照〉を示している。なお、軸は塗布が終
了するまでの間前記速度で回転させておくものとし、こ
のことにより粘性体が均一の厚さで軸の表面に付着する
。
付着が終了したら更に一定時間回転させて乾燥させ所定
の硬度になった後、＠から引抜いて焼成するが軸には１
／１００程度の勾配を設けておく方が引抜き易い。
の硬度になった後、＠から引抜いて焼成するが軸には１
／１００程度の勾配を設けておく方が引抜き易い。
第３図は請求項２の実施例を示す構成斜視図である０図
において第１図と同一要素には同一番号を付しである。
において第１図と同一要素には同一番号を付しである。
第１図との違いはデイスペンサとして３１．３２の２種
類を設け、それらの吐出口３ｂ、３ｃに混合器１０およ
びこの混合器の吐出量を制御する為の信号ケーブル７ｅ
を取付けたものである。ここでは粘性体として第３のセ
ラミックス材Ｃと金属（例えばステンレス鋼・・・以下
。
類を設け、それらの吐出口３ｂ、３ｃに混合器１０およ
びこの混合器の吐出量を制御する為の信号ケーブル７ｅ
を取付けたものである。ここでは粘性体として第３のセ
ラミックス材Ｃと金属（例えばステンレス鋼・・・以下
。
Ｄという）の粉末からなる粘性体を用いるものとする。
はじめにＣで示す領域に粘性体Ｃのみを塗布し、その後
Ｃ領域ではＣ８０％、Ｃ２０％ ｂの領域ではＣ６０％
、Ｃ４０％、ａの領域では０５０％、Ｃ５０％とし、ｂ
−の領域で！１Ｄ６０％。
Ｃ領域ではＣ８０％、Ｃ２０％ ｂの領域ではＣ６０％
、Ｃ４０％、ａの領域では０５０％、Ｃ５０％とし、ｂ
−の領域で！１Ｄ６０％。
Ｃ４０％、Ｃ−の領域ではＣ８０％、０２０％の比率で
混合しＤで示す領域ではりの金属のみを塗布して中央部
が傾斜組成となるような管体を形成する。この様な管は
セラミックス側を閉塞することにより一方に耐熱性があ
り他方が機械加工が可能なので温度計の保護管として使
用することができる。
混合しＤで示す領域ではりの金属のみを塗布して中央部
が傾斜組成となるような管体を形成する。この様な管は
セラミックス側を閉塞することにより一方に耐熱性があ
り他方が機械加工が可能なので温度計の保護管として使
用することができる。
なお１本実施例においては支持装置側をＸ、Ｙ。
２方向に動かして塗布する図を示したが、支持装置側を
固定し、ディスペンサーを支持した側を動かす様にして
も良い、その場合ディスペンサーは例えばロボットの腕
のようなものに固定すれば良い。
固定し、ディスペンサーを支持した側を動かす様にして
も良い、その場合ディスペンサーは例えばロボットの腕
のようなものに固定すれば良い。
第４図は請求項３のアクチュエータの一実施例を示す一
部断面斜視図である０図において、Ａは圧電定数が大の
セラミックス部材、Ｂは圧電定数が小のセラミックス部
材であり、この形状は上記請求項１または２の装置によ
り作製する。
部断面斜視図である０図において、Ａは圧電定数が大の
セラミックス部材、Ｂは圧電定数が小のセラミックス部
材であり、この形状は上記請求項１または２の装置によ
り作製する。
ここで、圧電定数の異なるセラミックス材について簡単
に説明する。これらＡ、Ｂのセラミックス材は例えばＰ
ｂ （Ｎｂ２７ｓ Ｎｌｔ／３）Ｏｗｌ ＰｂＴｉ０
．−ＰｂＺｒ０３系セラミツクス（７）混合比を調整す
ることにより得ることが出来る。第５図は上記セラミッ
クス材の相図を示すもので、三角形の各頂点に記された
材料が各素材の１００％である６図において各符号は次
のような領域となっている。
に説明する。これらＡ、Ｂのセラミックス材は例えばＰ
ｂ （Ｎｂ２７ｓ Ｎｌｔ／３）Ｏｗｌ ＰｂＴｉ０
．−ＰｂＺｒ０３系セラミツクス（７）混合比を調整す
ることにより得ることが出来る。第５図は上記セラミッ
クス材の相図を示すもので、三角形の各頂点に記された
材料が各素材の１００％である６図において各符号は次
のような領域となっている。
Ａ：反強誘電相
Ｆｐｃ：強誘電相（＃ｉ立方晶）
ＦＲ：強誘電相（菱面体晶系）
ＦＴ二強誘電相（正方晶系）
Ｐ；常誘電相
ＭＰＢ：相境界
第５図において９点線で囲っなりで示す領域は圧電定数
が大きいことが知られており、一般にはこの領域から遠
ざかるほど圧電定数は小となる。
が大きいことが知られており、一般にはこの領域から遠
ざかるほど圧電定数は小となる。
次に本アクチュエータの原理について第６図に示す振動
板３６を用いて説明する。
板３６を用いて説明する。
第６図において、Ａは圧電定数が大のセラミックス部材
、Ｂは圧電定数が小のセラミックス部材からなる厚さ０
．２ｍｍ程度のＮＭであり１幅ｔを有して交互に接合さ
れている。このうち４枚の薄板からなる周期構造の第１
．第２グループ５０゜５１は、ＡまたはＢのセラミック
ス部材がちなり薄板と同じ厚さで幅が１／２ｔの分離−
！１Ｆ３５を境に仕切られている。薄板を構成するセラ
ミックス部材Ａ、Ｂの側面はこの分離帯３５を挟んで対
向するように配置されている。１５ａは屈曲板３６の一
方の表面に形成された共通電極、１５ｂ、１５ｃはＣの
共通領域を除いて他方の表面に形成された第１．第２の
電極である。
、Ｂは圧電定数が小のセラミックス部材からなる厚さ０
．２ｍｍ程度のＮＭであり１幅ｔを有して交互に接合さ
れている。このうち４枚の薄板からなる周期構造の第１
．第２グループ５０゜５１は、ＡまたはＢのセラミック
ス部材がちなり薄板と同じ厚さで幅が１／２ｔの分離−
！１Ｆ３５を境に仕切られている。薄板を構成するセラ
ミックス部材Ａ、Ｂの側面はこの分離帯３５を挟んで対
向するように配置されている。１５ａは屈曲板３６の一
方の表面に形成された共通電極、１５ｂ、１５ｃはＣの
共通領域を除いて他方の表面に形成された第１．第２の
電極である。
上記構成において。
第１の電極１５ｂにＶ ｔ ＝ Ｖ ｏ ５ｉＦ１（ω
ｔ）。
ｔ）。
第２の電極１５ｃにＶ １＝ Ｖ ｏ Ｃ０３（ωｔ）
の９０°位相の興なる交流電圧を与えると、この振動板
３６はそれぞれのグループの隣接する４つの圧電体が互
いに逆方向に反り、第６図（ｂ）に示すような波長λの
屈曲波の進行波が発生する。
の９０°位相の興なる交流電圧を与えると、この振動板
３６はそれぞれのグループの隣接する４つの圧電体が互
いに逆方向に反り、第６図（ｂ）に示すような波長λの
屈曲波の進行波が発生する。
この運動は、内壁の一点に注目すると楕円運動になる。
第７図（ａ〜ｆ）はこの振動板３６と平板３７を組合せ
て流＃Ｉ３８を形成した状態を示すもので。
て流＃Ｉ３８を形成した状態を示すもので。
進行波の運動の反作用により進行方向と逆方向に液体を
移動させることができる。この場合流速は位相差がπ／
２または一π／２のとき最大となる。
移動させることができる。この場合流速は位相差がπ／
２または一π／２のとき最大となる。
第８図（ａ）〜（ｄ）はＡとＢのセラミックス材を円筒
状に形成して内周と外周に電極を設けて交流電源４０か
ら交流電圧を印加した状態を示すもので円筒３９には矢
印で示す様な振動が発生する。
状に形成して内周と外周に電極を設けて交流電源４０か
ら交流電圧を印加した状態を示すもので円筒３９には矢
印で示す様な振動が発生する。
ここで、第４図本発明のアクチュエータについて説明す
る。第４図は第６図に示す振動板を円筒状に形成したも
のである。即ち、セラミックスＡ。
る。第４図は第６図に示す振動板を円筒状に形成したも
のである。即ち、セラミックスＡ。
Ｂが２重に巻き回された所定の幅を有するリング４１と
、このリング４１の隣にＡ、Ｂの重畳の順序が興なる同
様の大きさのリング４２が形成されており、これらのリ
ングを交互に４個並べて第１グループ５０ａを形成して
いる。その第１グループ５０ａの端面のリングと同様に
巻き回されたリングが端面に位置する様に配置された４
個のリングからなる第２グループと、前記第１．第２グ
ループ５０ａ、５１ｂの間に配置され、Ａ、Ｂの部材の
いずれかで形成され、リングの１／２の幅で。
、このリング４１の隣にＡ、Ｂの重畳の順序が興なる同
様の大きさのリング４２が形成されており、これらのリ
ングを交互に４個並べて第１グループ５０ａを形成して
いる。その第１グループ５０ａの端面のリングと同様に
巻き回されたリングが端面に位置する様に配置された４
個のリングからなる第２グループと、前記第１．第２グ
ループ５０ａ、５１ｂの間に配置され、Ａ、Ｂの部材の
いずれかで形成され、リングの１／２の幅で。
かつ、同様の厚さに形成された第３のリング（分離帯）
３５ａを有している。
３５ａを有している。
なお９図では省略するがリングの内周及び外周には第６
図と同様に電極を設けるものとする。
図と同様に電極を設けるものとする。
上記構成において第１．第２グループのリング５０ａ、
５０ｂに互いに位相がπ／２ずれた■弦波を加えて時間
遅れを持たせながら直径方向に伸縮させればれば、この
アクチュエータには例えば第９図に示す様な進行波が生
じ液体の搬送を行うポンプを実現することができる。
５０ｂに互いに位相がπ／２ずれた■弦波を加えて時間
遅れを持たせながら直径方向に伸縮させればれば、この
アクチュエータには例えば第９図に示す様な進行波が生
じ液体の搬送を行うポンプを実現することができる。
なお１本実施例においては第３のリング（分離帯）の幅
を第１．第２リングの幅の１／２とし。
を第１．第２リングの幅の１／２とし。
第１．第２グループの２個の周期構造のリングに位相を
９０’ずらした電圧を印加したが９本例に限るものでは
なく、３個の周期構造のグループの間に所定の幅の分離
体を挟んで３相の交流で駆動しても良く、さらにｎ個の
周期構造のグループの間に所定の幅の分離体を挟んでｎ
相の交流で駆動することも可能である。
９０’ずらした電圧を印加したが９本例に限るものでは
なく、３個の周期構造のグループの間に所定の幅の分離
体を挟んで３相の交流で駆動しても良く、さらにｎ個の
周期構造のグループの間に所定の幅の分離体を挟んでｎ
相の交流で駆動することも可能である。
〈発明の効果〉
以上実施例とともに具体的に説明した様に本発によれば
、ディスペンサーの吐出口を軸に対して相対的に動かす
とともに前記粘性体の吐出量を制御する制御手段を具饋
することにより、複数種の粘性体を側面、または積層部
分で接合する様にしたり、複数のディスペンサーの吐出
口に混合器を設け、その混合器に吐出する複数種の粘性
体の吐出量を連続的に変化させる様にすることにより複
雑な組成分布をもつアクチュエータや傾斜機能部材を自
由に作製する事が出来る。また本発明のアクチュエータ
（圧電ポンプ）は流れ方向を容易に変えることができ１
重動部分やシール部がなく小形化が可能である。
、ディスペンサーの吐出口を軸に対して相対的に動かす
とともに前記粘性体の吐出量を制御する制御手段を具饋
することにより、複数種の粘性体を側面、または積層部
分で接合する様にしたり、複数のディスペンサーの吐出
口に混合器を設け、その混合器に吐出する複数種の粘性
体の吐出量を連続的に変化させる様にすることにより複
雑な組成分布をもつアクチュエータや傾斜機能部材を自
由に作製する事が出来る。また本発明のアクチュエータ
（圧電ポンプ）は流れ方向を容易に変えることができ１
重動部分やシール部がなく小形化が可能である。
第１図は本発明の請求項１の一実施例を示す構成斜視図
、第２図は軸上にセラミックス粘性体を塗布した場合の
拡がり具合を示す図、第３図は請求項２の一実施例を示
す図、第４図は請求項３のアクチュエータの一実施例を
示す一部断面斜視図。 第５図はセラミックス材の相図を示す図、第６図は本ア
クチュエータの原理を示す振動板の説明図。 第７図は振動板と平板を組合せて流路を形成した状態を
示す図、第８図は異種のセラミックス材を円筒状に形成
して内周と外周に電極を設けて交流電圧を印加した状態
を示す図、第９図は第４図のアクチュエータに交流電圧
を加えた場合の動作を示す図である。 １・・・支持装置、２・・・軸、３．３１．３２・・・
ディスペンサー、３ ａ ＋ ３ ｂ 、３ ｃ・・・
吐出部、５・・・制御手段、ｌＯ・・・混合器、３５ａ
・・・第３のリング。 ４１・・・第１のリング、４２・・・第２のリング、５
０ａ・・・第１グループ、５１ａ・・・第２グループ、
Ａ・・・第１のセラミックス材、Ｂ・・・第２のセラミ
ックス材、Ｃ第３のセラミックス材、Ｄ・・・金属の粘
性体。 第 図 １、嘘介ｆＬｆ炎 Ａ ハ 炊芥ｔ＝ Ａｏｒる Ｊ、 −４４；イｃｌる βハ ｒａ） （ｂ） （Ｃ） （ｄ） 第 図 １（）ｕ７ｍ 第 ワ 図 第 図 （ａ） 第 図 （ｂ） （６） 第 （ｂ） （Ｃ） （ｄ） （ａ）
、第２図は軸上にセラミックス粘性体を塗布した場合の
拡がり具合を示す図、第３図は請求項２の一実施例を示
す図、第４図は請求項３のアクチュエータの一実施例を
示す一部断面斜視図。 第５図はセラミックス材の相図を示す図、第６図は本ア
クチュエータの原理を示す振動板の説明図。 第７図は振動板と平板を組合せて流路を形成した状態を
示す図、第８図は異種のセラミックス材を円筒状に形成
して内周と外周に電極を設けて交流電圧を印加した状態
を示す図、第９図は第４図のアクチュエータに交流電圧
を加えた場合の動作を示す図である。 １・・・支持装置、２・・・軸、３．３１．３２・・・
ディスペンサー、３ ａ ＋ ３ ｂ 、３ ｃ・・・
吐出部、５・・・制御手段、ｌＯ・・・混合器、３５ａ
・・・第３のリング。 ４１・・・第１のリング、４２・・・第２のリング、５
０ａ・・・第１グループ、５１ａ・・・第２グループ、
Ａ・・・第１のセラミックス材、Ｂ・・・第２のセラミ
ックス材、Ｃ第３のセラミックス材、Ｄ・・・金属の粘
性体。 第 図 １、嘘介ｆＬｆ炎 Ａ ハ 炊芥ｔ＝ Ａｏｒる Ｊ、 −４４；イｃｌる βハ ｒａ） （ｂ） （Ｃ） （ｄ） 第 図 １（）ｕ７ｍ 第 ワ 図 第 図 （ａ） 第 図 （ｂ） （６） 第 （ｂ） （Ｃ） （ｄ） （ａ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）複数種の粉末原料とバインダと溶剤を混合して作製
した複数種の粘性体と，前記粘性体のそれぞれを充填し
た複数のディスペンサーと，そのディスペンサーの吐出
口の下方に配置された軸と，その軸を回転させ，かつ，
その軸またはディスペンサーを相対的に３軸方向に移動
させる駆動装置と，前記軸の回転および軸方向の移動速
度を制御するとともに前記ディスペンサーの吐出量を制
御する制御手段を具備し，前記複数種の粘性体を側面，
または積層部分で接合する事を特徴とする傾斜機能材料
の製造方法。 ２）複数種の粉末原料とバインダと溶剤を混合して作製
した複数種の粘性体と，前記粘性体のそれぞれを充填し
た複数のディスペンサーと，それらのディスペンサーの
吐出口に設けられた混合器と，その混合器の吐出口の下
方に配置された軸と，その軸を回転させ，かつ，その軸
またはディスペンサーを３軸方向に移動させる駆動装置
と，前記軸の回転および軸方向の移動速度を制御すると
ともに前記ディスペンサーから混合器への吐出量と混合
器からの吐出量を制御する制御手段を具備し，前記複数
種の粘性体を側面，または積層部分で接合する事を特徴
とする傾斜機能材料の製造方法。 ３）圧電定数が大のセラミックス部材と圧電定数が小の
セラミックス部材が重畳して巻き回された所定の幅を有
する第１のリングと，前記第１のリングの隣にこのリン
グとは重畳の順序を逆にして巻き回された同様の大きさ
の第２のリングと，これら第１，第２のリングを交互に
４個並べて第１グループとし，その第１グループの端面
のリングと同様に巻き回されたリングが端面に位置する
様に前記第１，第２のリングが４個配置された第２グル
ープと，前記第１，第２グループの間に配置され，前記
セラミックス部材のいずれかで形成され前記第１，第２
リングの間に所定の幅で，かつ，同程度の厚さに形成さ
れた第３のリングからなり，前記第１，第２グループの
リングに位相がずれた正弦波を加える手段を具備したこ
とを特徴とする請求項１または２の製造方法により形成
されたアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP90200592A JPH03284380A (ja) | 1990-03-27 | 1990-07-27 | 傾斜機能材料の製造方法およびその製造方法により作製したアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-78203 | 1990-03-27 | ||
| JP7820390 | 1990-07-25 | ||
| JP90200592A JPH03284380A (ja) | 1990-03-27 | 1990-07-27 | 傾斜機能材料の製造方法およびその製造方法により作製したアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03284380A true JPH03284380A (ja) | 1991-12-16 |
Family
ID=13655465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP90200592A Pending JPH03284380A (ja) | 1990-03-27 | 1990-07-27 | 傾斜機能材料の製造方法およびその製造方法により作製したアクチュエータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03284380A (ja) |
| DE (1) | DE4124750A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008015489A (ja) * | 2006-06-06 | 2008-01-24 | Konica Minolta Opto Inc | 可変形状光学素子、光学装置、及び撮像装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5315366A (en) * | 1991-04-09 | 1994-05-24 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Yarn package inspecting apparatus |
| JPH06286942A (ja) * | 1992-07-14 | 1994-10-11 | Murata Mach Ltd | パッケージ検査装置 |
| DE4325921A1 (de) * | 1993-08-02 | 1995-02-09 | Schlafhorst & Co W | Kreuzspulenqualitätsprüfung |
| DE19830395A1 (de) * | 1998-07-08 | 2000-01-13 | Schlafhorst & Co W | Verfahren zur berührungslosen Messung von strangförmigem Fasergut |
| DE19836071A1 (de) | 1998-08-10 | 2000-02-17 | Schlafhorst & Co W | Verfahren zur Erkennung von Fadenresten auf Spinnkopshülsen |
| EP3848311A1 (de) | 2020-01-07 | 2021-07-14 | Lenzing Aktiengesellschaft | Automatische qualitätskontrolle von spulen |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6262937A (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-19 | Murata Mach Ltd | 巻糸パツケ−ジの巻形検査装置 |
| US4877967A (en) * | 1986-06-03 | 1989-10-31 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Package inspecting apparatus |
| JPH0177883U (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-25 | ||
| JPH02265867A (ja) * | 1989-04-04 | 1990-10-30 | Murata Mach Ltd | パッケージの異常部検出方法 |
-
1990
- 1990-07-27 JP JP90200592A patent/JPH03284380A/ja active Pending
-
1991
- 1991-07-25 DE DE4124750A patent/DE4124750A1/de active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008015489A (ja) * | 2006-06-06 | 2008-01-24 | Konica Minolta Opto Inc | 可変形状光学素子、光学装置、及び撮像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4124750A1 (de) | 1992-01-30 |
| DE4124750C2 (ja) | 1993-05-27 |
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