JPH03284861A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
- Publication number
- JPH03284861A JPH03284861A JP2086575A JP8657590A JPH03284861A JP H03284861 A JPH03284861 A JP H03284861A JP 2086575 A JP2086575 A JP 2086575A JP 8657590 A JP8657590 A JP 8657590A JP H03284861 A JPH03284861 A JP H03284861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- chips
- semiconductor
- probe
- probes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体装置（以下半導体チップと称する）の
特性試験装置と半導体チップとの接続に使用するプロー
ブカードに関するものである。
特性試験装置と半導体チップとの接続に使用するプロー
ブカードに関するものである。
従来の技術
半導体基板（以下半導体ウェハーと称する）内に多数個
形成された半導体チップを、ウェハー状態で電気的特性
試験装置および自動ブロービング装置を用いて良品・不
良品判定の試験を行う時、半導体チップ電極パッド部に
電気的に接続される探針群をもつプローブカードを必要
とする。第２図に示すように、このプローブカード１は
プリント基板２上のパターンに探針６をはんだ付けによ
り接続し、また他方のパターンは配線を通して半導体特
性試験装置に接続する構造となっている。
形成された半導体チップを、ウェハー状態で電気的特性
試験装置および自動ブロービング装置を用いて良品・不
良品判定の試験を行う時、半導体チップ電極パッド部に
電気的に接続される探針群をもつプローブカードを必要
とする。第２図に示すように、このプローブカード１は
プリント基板２上のパターンに探針６をはんだ付けによ
り接続し、また他方のパターンは配線を通して半導体特
性試験装置に接続する構造となっている。
なお、３は半導体装置特性試験装置用引き出しパターン
、４はスルーホール、５は単線、７は半導体チップであ
る。
、４はスルーホール、５は単線、７は半導体チップであ
る。
一般に、試験効率の向上とコスト削減を目的とし、同一
半導体ウニバー上の隣り合う複数の半導体チップ７．７
を同時に試験するため、それに使用するプローブカード
も第３図に示すように、複数半導体チップ分の隣り合う
探針群を兼ね備えた構造をとるものとなる。
半導体ウニバー上の隣り合う複数の半導体チップ７．７
を同時に試験するため、それに使用するプローブカード
も第３図に示すように、複数半導体チップ分の隣り合う
探針群を兼ね備えた構造をとるものとなる。
発明が解決しようとする課題
前述した複数半導体チップ同時試験用プローブカードで
は隣り合う半導体チップを同時に試験するため、他方の
半導体チップに何らかの接合破壊不良があるとウェハー
基板電位の変動が起こり、これがすぐ隣りを試験してい
る半導体チップの特性に影響を与え、本来良品であって
も判定を誤り不良品としてしまう可能性がある。
は隣り合う半導体チップを同時に試験するため、他方の
半導体チップに何らかの接合破壊不良があるとウェハー
基板電位の変動が起こり、これがすぐ隣りを試験してい
る半導体チップの特性に影響を与え、本来良品であって
も判定を誤り不良品としてしまう可能性がある。
課題を解決するための手段
本発明は、半導体ウェハーの電気的特性試験に用いる、
同一半導体ウニバー内複数半導体チップ同時試験用プロ
ーブカードにおいて、その隣り合う探針群距離を１チッ
プ分以上離して配置したことを特徴とするプローブカー
ドである。
同一半導体ウニバー内複数半導体チップ同時試験用プロ
ーブカードにおいて、その隣り合う探針群距離を１チッ
プ分以上離して配置したことを特徴とするプローブカー
ドである。
作用
この構成によって、他方の半導体チップの電気的特性の
影響を受けにくくすることができ、良品・不良品判定の
誤りを減らし良品率の向上を図ることができる。
影響を受けにくくすることができ、良品・不良品判定の
誤りを減らし良品率の向上を図ることができる。
実施例
次に本発明の一実施例について図面を参照して発明する
。第１図は本発明の一実施例におけるプローブカードの
探針部分の図である。第１図に示すように、探針群ａと
探針群すとの距離を少なくとも半導体チップ１チップ分
以上離して配置したものとする。このプローブカードは
従来と全く同様の方法で電気的特性試験を行うことがで
きる。
。第１図は本発明の一実施例におけるプローブカードの
探針部分の図である。第１図に示すように、探針群ａと
探針群すとの距離を少なくとも半導体チップ１チップ分
以上離して配置したものとする。このプローブカードは
従来と全く同様の方法で電気的特性試験を行うことがで
きる。
発明の詳細
な説明したように、本発明は複数半導体チップを同時試
験する場合、探針群距離を半導体チップ１チップ分以上
離したプローブカードを使用することにより、他方半導
体チップ特性の影響を受けにくくする効果があり、安定
した電気的特性試験を提供することができる。
験する場合、探針群距離を半導体チップ１チップ分以上
離したプローブカードを使用することにより、他方半導
体チップ特性の影響を受けにくくする効果があり、安定
した電気的特性試験を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例におけるプローブカードの探
針部分の平面図、第２図は従来の半導体チップ１チップ
分試験用プローブカードの平面図、第３図は従来の複数
半導体チップ同時試験用プローブカードの探針群部分を
示す平面図である。 １・・・・・・プローブカード、２・・・・・・プリン
ト基板、３・・・・・・半導体装置特性試験装置用引き
出しパターン、４・・・・・・スルーホール、５・・・
・・・単線、６・・・・・・探針、７・・・・・・半導
体チップ。
針部分の平面図、第２図は従来の半導体チップ１チップ
分試験用プローブカードの平面図、第３図は従来の複数
半導体チップ同時試験用プローブカードの探針群部分を
示す平面図である。 １・・・・・・プローブカード、２・・・・・・プリン
ト基板、３・・・・・・半導体装置特性試験装置用引き
出しパターン、４・・・・・・スルーホール、５・・・
・・・単線、６・・・・・・探針、７・・・・・・半導
体チップ。
Claims (1)
- プリント基板に接触用探針群とそれに連なる配線部を
設け、かつ同一半導体基板上の離れた複数の半導体装置
を試験する隣り合う探針群距離を少なくとも１半導体装
置分以上離して配置したことを特徴とするプローブカー
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2086575A JPH03284861A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2086575A JPH03284861A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | プローブカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03284861A true JPH03284861A (ja) | 1991-12-16 |
Family
ID=13890810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2086575A Pending JPH03284861A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03284861A (ja) |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP2086575A patent/JPH03284861A/ja active Pending
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