JPH0328633B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、微震動対策が必要な超精密機器製
造工場や半導体製造工場などに適用される配管・
ダクトの防振支持装置に関するものである。

（従来技術） 超LSI工場等のクリーンルームにおいては、μ
ｍ単位の加工あるいは検査をする生産機器を設置
するため、厳しい微振動対策が必要となつてく
る。このようなクリーンルームの床下には、騒音
源となる配管・ダクトが通されているので、この
配管・ダクトに防振対策を施さなければならな
い。

従来においては、第１３図、第１４図に示すよ
うに、グレーチングなどのクリーンルーム床１を
支持しているコンクリート製あるいは鉄骨製の柱
２間に、梁３の下方において鋼材４を縦横に配設
し、この鋼材４に配管５、ダクト６をそれぞれ別
個のスプリング方式の防振装置７を介して支持さ
せている。

（この発明が解決すべき問題点） しかしながら、従来のように、配管、ダクトに
個別に防振装置を設ける方式では、次のような問
題点がある。

() クリーンルーム床に対する防振効果はあ
り、微振動の制約に悪影響はないが、大規模な
面積では、防振装置のコストが高くつき、また
煩雑な防振計算が必要となる。

() クリーンルーム床下は、生産機器の付属機
械が置かれ、そのメンテナンスや、配管・ダク
トの保守のため低い階高にもかかわらず人間の
通るスペース確保が条件となるが、防振装置が
個々にあると支持方法に制約を受け、限られた
スペース内でフレキシビリテイをもつた配管、
ダクトのルート計画がしにくい。

() 第１５図に示すように鋼材４は、リツプ付
溝形鋼あるいは山形鋼であるとともに吊りボル
ト１３を使用するため、吊りボルト用の穴を開
けるなどの加工を必要とし、クリーンルーム床
下でゴミを出すため、室内清浄度に影響があ
る。これは、将来の生産機器のレイアウト変更
などによる配管、ダクト変更工事においても同
様に問題となる。

() 鋼材の形状から、ほこりが溜りやすく、ま
た清掃もしにくい。

この発明は、このような問題点を解消すべく提
案されたもので、その目的は、配管・ダクト毎に
防振装置を必要とせず低コストで容易に施工でき
人間の通るスペースを容易に確保でき、さらに柔
軟性のある配管・ダクトの配設を行なうことので
きる防振支持装置を提供することにある。

（問題点を解決するための手段） この発明に係る配管・ダクトの防振支持装置は
隣り合つて林立する４つの柱に、その角部をブラ
ケツトを介して取付けられるように鋼材を四辺形
に枠組みして防振水平架台フレームを形成し、こ
の防振水平架台フレームに配管あるいはダクトを
取付け、防振水平架台フレームの角部とブラケツ
トの間に防振装置を介在させたものである。

（作用） クリーンルーム床下の全面にわたつて防振水平
架台フレームを互い違いに配設し、この防振水平
架台フレームに配管、ダクトを吊りボルト等を介
して直接取付け、１ユニツトの防振水平架台フレ
ームを４点で防振支持する。

（実施例） 以下この発明を図示する一実施例に基づいて説
明する。

第１図ないし第３図に示すように、隣り合つて
林立する４つの柱２に、その角部をブラケツト８
を介して取付けられるように鋼材９を四辺形に枠
組みして防振水平架台フレーム１０を形成し、こ
のフレーム１０に配管１１、ダクト１２を吊りボ
ルト１３を介して取付け、フレーム１０の角部と
ブラケツト８の間に防振ゴム１４を介在させて４
点で防振支持する。

フレーム１０を構成する鋼材９は、角形鋼と
し、第４図ないし第８図に示すように、２本の角
形鋼を間隔をおいて平行に配置して用いる。この
ようにすれば、配管１１、ダクト１２、防振ゴム
１４をフレーム１０に取付ける際には、ボルト１
３，１５を間隙内に挿入し、ナツトと座金により
固定できるので、穴明け、溶接などの加工が全く
不要となる。なお、第７図に示すように、フレー
ム１０の鋼材９どうしは、ブラケツト１６、ボル
ト・ナツト１７により着脱自在に接続されてい
る。

以上のようなフレーム１０は、配管１１、ダク
ト１２の荷重の大小により防振性能が左右されず
一定であり、またフレームのどの位置に荷重がか
かつても、フレームが重い荷重の方に斜めに傾か
ずほぼ一定のレベルを保つ機構となつている。

このような機構とするためには、第１２図に示
すような防振検討フローによりフレーム１０およ
び防振ゴム１４を決定するが、要するに、フレー
ム１０にかかる配管・ダクトの予想される最大荷
重と同等以上の重量の鋼材から構成し、フレーム
１０自体の荷重からフレーム自重も含んだ最大荷
重までに対して防振効果を発揮する防振ゴム１４
とを組合せた構造とすればよい。

さらに、将来、生産機器が大きく変更され、計
画当初の予想最大荷重を上まわる場合、新たに防
振検討を行ない、フレーム１０と防振ゴム１４の
変更が必要となる。防振ゴム１４は許容荷重の大
きいものに取替えることは比較的容易であるが、
鋼材９を取替えることは、コスト上も技術上も困
難である。そこで、鋼材９は、両端部に盲板１８
を取付けた角形鋼とし、この中に現地でコンクリ
ート等を注入することでフレーム１０の自重を増
せる構造とする。

また、第９図、第１０図に示すように、将来、
アングル１９を設けて分岐ダクト、配管などの細
ものの配管等に対応できるようにフレーム１０の
内側、外側に計12ケ所ブラケツト２０を取付けて
おく。

以上のような構成において、フレーム１０は、
第１１図に示すように、クリーンルーム床下の全
面にわたつて互い違いに市松模様を描くように配
設する。

取付けに当つては、治具を用いてブラケツト８
のレベルのすみ出し、アンカーボルト穴のすみ出
しを行ない、ブラケツト８をアンカーボルト２１
により柱２に取付ける。ここで、アンカーボルト
２１回りは発塵源とならないように十分シールを
しておく。フレーム１０に防振ゴム１４を取付け
ておき、４本の鋼材９をブラケツト８上でレベル
の凹凸がないように組立て、ブラケツト８に取付
け、防振ゴム１４を固定することで取付けが完了
する。

（発明の効果） 前述のとおり、この発明によれば、鋼材を四辺
形に枠組みして防振水平架台フレームを形成し、
このフレームに配管あるいはダクトを取付け、フ
レームの角部と柱のブラケツトの間に防振装置を
介在させるようにしたため、次のような効果を奏
する。

() 従来のように配管・ダクト毎に防振装置を
必要とせず、低コストで容易に防振支持を行な
える。

() 従来のような煩雑な防振計算を必要としな
い。

() 人間の通るスペースを容易に確保できる。

() 柔軟性のある配管・ダクトの配設を行なう
ことができる。

() フレームの鋼材を２本の平行な角形鋼とす
れば、吊りボルト用の穴明けなどの加工が不要
となる。また、ほこりが溜りにくく清掃も容易
である。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図はこの発明に係る防振
支持装置を示す斜視図、平面図、横断面図、第４
図、第５図、第６図はそのフレームを示す正面図
断面図、平面図、第７図、第８図はフレームの角
部の詳細を示す平面図、正面図、第９図、第１０
図はフレームの他の状態を示す平面図、正面図、
第１１図はフレームの配置状態を示す平面図、第
１２図は防振検討フローを示すチヤート図、第１
３図、第１４図は従来の防振構造を示す平面図断
面図、第１５図はその鋼材を示す斜視図である。 １……クリーンルーム床、２……柱、３……
梁、４……鋼材、５……配管、６……ダクト、７
……防振装置、８……ブラケツト、９……鋼材、
１０……防振水平架台フレーム、１１……配管、
１２……ダクト、１３……吊りボルト、１４……
防振ゴム、１５……ボルト、１６……ブラケツ
ト、１７……ボルト・ナツト、１８……盲板、１
９……アングル、２０……ブラケツト、２１……
アンカーボルト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 隣り合つて林立する４つの柱に、その角部を
   ブラケツトを介して取付けられるように鋼材を四
   辺形に枠組みして防振水平架台フレームを形成
   し、この防振水平架台フレームに配管あるいはダ
   クトを取付け、防振水平架台フレームの角部と前
   記ブラケツトの間に防振装置を介在させたことを
   特徴とする配管・ダクトの防振支持装置。