JPH03287372A - 周面研削装置用単結晶インゴット回転装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、両端面に研削回転中心が記された単結晶イン
ゴットの周面を円柱形に研削するために、該単結晶イン
ゴットを一対のクランプ回転軸先端面で押圧保持し回転
駆動する周面研削装置用単結晶インゴット回転装置に関
する。

【従来の技術】

ＣＺ法又はＦＺ法により育成された単結晶インゴットは
、次のような工程を経て円柱形にされる。 （１）単結晶インゴットのコーン状両端部を軸に垂直な
方向に切断して、単結晶インゴットを略円柱形にする。 （２）単結晶インゴットを荷車に載せて手動で搬送し、
作業者が単結晶インゴットを把持して、単結晶インゴッ
トを回転装置の回転クランプ軸に保持させる。単結晶イ
ンゴットを手で回転させ、作業者の勘で、研削後の単結
晶インゴットの直径を最大にするための単結晶インゴッ
トの回転中心の、回転クランプ軸の回転中心からのずれ
量を判断する。作業者がハンマーで単結晶インゴットの
周面をたたいてこのずれをなくす。 （３）この状態で、回転クランプ軸を単結晶インゴット
の端面にさらに強く押し付ける。単結晶インゴットを回
転させ、砥石移動装置により、単結晶インゴットの周面
に砥石を押接移動させて、単結晶インゴットを円柱形に
研削する。

【発明が解決しようとする課題】

しかし、上記（２）の工程において、作業者の勘で上記
ずれ量を判断していたので、両中心の一致を正確に行な
うことができなかった。このため、単結晶インゴット周
面の削りしるが必要以上に大きくなり、無駄が生じてい
た。 本発明の目的は、このような問題点に鑑み、単結晶イン
ゴット回転装置の回転クランプ軸の回転中心線上にこの
研削回転中心を正確に一致させることを可能にする周面
研削装置用単結晶インゴット回転装置を提供することに
ある。

【課題解決手段及びその作用効果】

この目的を達成するために、本発明に係る両面研削装置
用単結晶インゴット回転装置では、回転中心線を互いに
一致させて対向配置させた一対の、軸芯部に貫通孔が形
成され回転クランプ軸と、研削回転中心が記された単結
晶インゴットの両端面に該回転クランプ軸の先端面を押
圧させて該単結晶インゴットを支持する手段と、該回転
クランプ軸を回転駆動させる手段と、映像信号を出力す
るカメラと、基端が該カメラの撮影レンズ側に配置され
、先端側が該貫通孔内に挿入配置された内視鏡と、該映
像信号に基づいて、該回転クランプ軸の回転中心線に対
する該研削回転中心の位置を検出する手段と、を備えて
いる。 本発明では、単結晶インゴットの端面をこれに略直角な
方向から観察することができるので、単結晶インゴット
回転装置の回転クランプ軸の回転中心線上に該研削回転
中心を正確に一致させることが可能となる。 また、該一致動作の自動化が可能となる。 前記内視鏡は、例えばライトガイドを備えたボアスコー
プであり、該ライトガイドの基端に光源が取り付けられ
、該光源からの光を該ボアスコープの先端から導出させ
て前記単結晶インゴットの端面を照明するように構成さ
れている。 この構成によれば、回転クランプ軸と単結晶インゴット
の端面を接近させても研削回転中心を明瞭に観察できる
ので、前記一致の正確度がより高くなる。 前記ボアスコープは、例えば、その外周面に軸受が環着
され、これが前記貫通孔に挿入支持されている。 この構成によれば、該挿入により、ボアスコープの光軸
と回転クランプ軸の中心線を一致させることができる。 したがって、回転クランプ軸の回転中心線に対する該研
削回転中心の位置の検出処理が容易になる。また、ボア
スコープの取付位置の調整が極めて容易になる。さらに
、回転クランプ軸が機械的に振動したり位置ずれしても
、ボアスコープの光軸と回転クランプ軸の中心線は常に
致するので、長期間にわたって、正確な前記−致を確保
することができる。

【実施例】

以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。 第１図は単結晶インゴット搬送・周面研削装置を示す。 処理対象としての単結晶インゴット１０は、その両端部
が軸方向に垂直に切断されて、略円柱形となっている。 この単結晶インゴット１０は、不図示の搬送ロボットで
回転中心マーカ１２に装着される。回転中心マーカ１２
は、軸方向に沿った複数箇所で周形状を測定し、その形
状に基づいて、単結晶インゴット１０を最大直径の円柱
形にするための研削回転中心線を求める。そして、この
中心線と単結晶インゴット１０の両端面の交点に研削中
心点ＭＡ、ＭＢを記す。この単結晶インゴット１０は、
前記搬送ロボットで、コンベア１４のコンベアベルト１
４１上に一定間隔をおいて取り付けられた支持台１４２
　（第４Ａ図）の上に置かれる。 工場の天井側には、同一形状の走行レール１６Ａ及び１
６Ｂが、互いに平行かつコンベア１４と直角な方向に、
配設されている。走行レール１６Ａ及び１６Ｂには、そ
れぞれ、同一構成の単結晶インゴット搬送・姿勢調整装
置２０Δ及び２０Ｂが、走行レール１６Ａ及び１６Ｂに
沿って走行自在に取り付けられている。 一方、工場の床上には、走行レール１６Ａ及び１６Ｂに
沿って、それぞれ同一構成の単結晶インゴット周面研削
装置２２１Ａ〜２２５Ａ及び２２１Ｂ〜２２５Ｂが、一
定間隔をおいて並置されている。 単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２ＯＡと単結晶イ
ンゴット周面研削装置２２１Ａ〜２２５Ａとは、通信線
ｉ８Ａを介して交信可能となっており、同様に、単結晶
インゴット搬送・姿勢調整装置２０Ｂと単結晶インゴッ
ト周面研削装置２２１Ｂ〜２２５Ｂとの間は、通信線１
８Ｂを介して交信可能となっている。通信線１８Ａと単
結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２ＯＡとの間及び通
信線１８Ｂと単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２０
Ｂとの間は、非接触で磁気的に結合されている。 単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２ＯＡと２０Ｂと
は同一動作をするので、以下、単結晶インゴット搬送・
姿勢調整装置２ＯＡのみについて説明する。 単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２ＯＡは、コンベ
ア１４上の単結晶インゴット１０を搬送して単結晶イン
ゴット周面研削装置２２１Δ〜２２５Ａに供給し、単結
晶インゴット周面研削装置２２１Ａ〜２２５Ａで円柱形
に研削された単結晶インゴット１１を、コンベア１４に
平行に配置されたコンベア２３上に載せる。 第２図は単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２ＯＡの
搬送処理手順を示す。 （１００）最初、単結晶インゴット周面研削装置２２１
Ａ〜２２５Ａは研削対象物を持っていないので、単結晶
インゴット搬送・姿勢調整装置２０Ａは、コンベア１４
上の単結晶インゴット１０を搬送してこれら単結晶イン
ゴット周面研削装置２２１Ａ〜２２５Ａに供給する。 （１０２）単結晶インゴット周面研削装置２２ｉＡ　（
ｉ＝１〜５）の何れかが、研削を終了して研削終了信号
を発すると、単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２Ｏ
Ａはこれを受信し、次のステップ１０４へ進む。 （１０４）単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２ＯＡ
は、研削終了信号発信元である単結晶インゴット周面研
削装置２２ｉＡＪ：まで走行する。 （１０６）次に、単結晶インゴット円面研削装置２２　
ｉＡに保持された円柱形単結晶インゴット１１を把持し
、これを単結晶インゴット周面研削装置２２ｉＡから取
り出す。 （１０ｇ）第１図に示す状態で、コンベア２３上まで走
行する。 （１１０）把持している円柱形単結晶インゴット１１を
コンベア２３上に載せる。 （１１２）次に、コンベア１４上まで走行する。 （１１４）コンベア１４上の単結晶インゴット１０を把
持し、持ち上げる。 （１１６）研削終了信号発信元である単結晶インゴット
周面研削装置２２ｉＡ上まで走行する。 （１１８）単結晶インゴット１０を降下させ、単結晶イ
ンゴット周面研削装置２２】Ａに供給する。 これにより、単結晶インゴット局面研削装置２２ｉＡは
、単結晶インゴット１０を保持し、単結晶インボッ）１
０の周面を研削して単結晶インゴット１０を円柱形にす
る。 ここで、単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２ＯＡの
概略構成を第４Ａ図に基づいて説明する。 この単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２ＯＡは、構
成要素２０１〜２０７からなる。 走行部２０１は、走行レール１６Ａに係止され、モータ
Ｍ１で走行レール１６Ａの長手方向に沿って走行する。 また、走行部２０１は、下端が姿勢調整部２０２の上端
に固着された垂直アーム２０３を、モータＭ２で昇降駆
動する。垂直アーム２０３と走行部２０１との間は、例
えば、ラックとピニオンで結合されている。 姿勢調整部２０２の下端には同一構成の２つのリスト２
０４が固着され、リスト２０４．２０４の各々には、同
一構成のハンド２０５．２０６が取り付けられている。 各ハンド２０５．２０６は、リスト２０４．２０４の各
々に備えられたトルクモータＭ４、Ｍ４で互いに上下反
対方向に同一距離だけ駆動される。例えば、上部に右ね
じが形成され下部に左ねじが形成された垂直配置の送り
ねじを、トルクモータＭ４で回転させることにより、こ
の送りねじの上部及び下部に螺合したナツトを介してハ
ンド２０５．２０６を上下動させる。リスト２０４．２
０４の各々にトルクモータＭ４、Ｍ４を備える必要ガあ
るのは、単結晶インゴット１０の直径がその部位により
異なるためである。 なお、姿勢調整部２０２には、後述するＸ−Ｙ−θ−φ
ステージ２４及び　Ｘ−Ｙ−θ−φステージ２４を駆動
するための４個のモータが搭載されている。 次に、上記ステップ１１４の詳細を第３図及び第４Ａ〜
４Ｇ図に基づいて説明する。 最初、単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２０Ａは、
第４Ａ図に示す如く、姿勢調整部２０２が走行部２０１
側（上限〉に位置している。また、ハンド２０５と２０
６とは互いに最大隔離れている。 （２００）この状態で、走行部２０１は姿勢調整部２０
２をコンベア１４上の単結晶インゴット１０の高さまで
下降させ、第４Ｂ図に示す状態で停止させる。 （２０２）コンベアベルト１４１を１ステツプ（コンベ
ア１４上の単結晶インゴット１０間の距離）移動させて
、第４Ｃ図に示す如く、ハンド２０５と２０６との間に
単結晶インゴット１０を位置させる。 （２０４）　　リスト２０４は、トルクモータＭ３をオ
ンにしてハンド２０５及び２０６を互いに接近する方向
に移動させ、第４Ｄ図に示す状態にする。トルクモータ
Ｍ３はオンにしたままである。 （２０６）走行部２０１は姿勢調整部２０２を上方へ上
限まで移動させ、第４Ｅ図に示す状態で停止させる。 以上のようにして、第２図に示すステップ１１４の処理
が実行される。 第２図に示すステップ１１０の処理は、第３図に示すス
テップ２１０からステップ２００へ逆方向に進むことで
実行される。 次に、第５図乃至第７図に基づいて、第１図の単結晶イ
ンゴット周面研削装置２２１Ａを説明する。 この単結晶インゴット周面研削装置２２１Ａの機械的構
成は、別体の単結晶インゴット回転装置４６と砥石移動
装置４８とからなる。砥石移動装置４８は、単結晶イン
ゴット回転装置４６に保持されて回転する単結晶インゴ
ット１０に対し砥石４９を前後左右に移動させる周知の
構成であり、省脱する。以下、単結晶インゴット回転装
置４６について説明する。 基台５０上に固定されたベースプレート５２上には、脚
板５４Ａ及び２本の平行なレール５６が固定されている
。２本のレール５６上には、スライダ５８が嵌合されて
おり、スライダ５８は、脚板５４Ａと直角な方向に、レ
ール５６に沿って移動自在となっている。スライダ５８
上には、脚板５４Ａに対向して、脚板５４Ｂが固定され
ている。 脚板５４Ｂ上には、油圧シリンダ６０がそのピストンロ
ッド６２をレール５６と平行にして固定されている。ピ
ストンロッド６２の先端はストッパ６４に固定され、ス
トッパ６４の下面にスライダ６５が固定され、スライダ
６５がレール５６に嵌合されている。ストッパ６４は、
これを蝋質するねじ６６により、レール５６に沿った任
意の位置で、レール５６に固定される。 第６図に示す如く、脚板５４Ａには、これを貫通する孔
の両端部にベアリング６８Ａが固定され、このベアリン
グ６８Ａに回転クランプ軸７０Ａが嵌入支持されている
。回転クランプ軸７０Ａの先端面には、ゴム環板Ｔ２Ａ
が貼着されている。脚板５４Ａの外側に突出した回転ク
ランプ軸？０Ａ基端部には、平歯車７４が嵌着されてい
る。一方、脚板５４Ａには、不図示のブラケットを介し
てモータ７６が固定され、このモータ７６の駆動軸７７
に、平歯車７４と噛合する平歯車７８が嵌着されている
。 したがって、モータ７６をオンにすると、回転クランプ
軸７０Ａが回転する。 回転クランプ軸７０Ａの軸芯部には、回転クランプ軸？
ＯＡと同心に、貫通孔７９Ａが形成されている。貫通孔
？９Ａ内には、外周面にベアリング８０Ａが嵌着された
ボアスコープ８２Ａの先端側が挿入支持されている。ボ
アスコープ８２Ａは、硬いパイプ８２１の基端部が基部
８２２に取り付けられ、基部８２２内に配設された接眼
レンズ８２３に対向して、基部８２２にＣＣＤカメラ８
４Ａが固定されている。この基部８２２は、不図示のブ
ラケットを介して下側の脚板５４Ａに支持されている。 パイプ８２１の基端には、光源８６Ａが固定されている
。光源８６Ａからの照明光は、バイブ８２１の内周面に
配置されたライトガイド（光ファイバ）８２４を通って
、ボアスコープ８２Ａの先端から外部に導出され、単結
晶インゴット１０の端面を照明する。単結晶インゴット
１０の端面からの反射光は、バイブ８２１内に配置され
た対物レンズ８２５、リレーレンズ８２６を通り、さら
に接眼レンズ８２３を通ってＣＣＤカメラ８４Ａ内のイ
メージセンサ（不図示）に結像される。ＣＣＤカメラ８
４Ａから取り出された映像信号は、確認用のモニターＴ
Ｖ８８Ａへ供給される。・ したがって、モニターＴＶ８８Ａの画面Ａ上には、単結
晶インフット１０の端面に記された研削中心点ＭＡに対
応した研削中心点像ＮＡが映る。 モニターＴＶ８８ＡにはＸＹ直交座標も映され、その交
点は、ボアスコープ８２Ａの光軸及び回転クランプ軸７
０Ａの回転中心線に対応している。 第７図は、脚板５４Ｂ側の構成を示す。この構成は、回
転クランプ軸７０Ｂが自由回転する以外は第６図と同一
になっており、同一構成要素には同一番号を付しかつへ
の代わりにＢを付して、その説明を省略する。 なお、第５図において、研削の際に研削屑及び冷却液が
飛び散るので、脚板５４Ａと５４Ｂ間の上面及び正面を
覆う不図示のスライドカバーがベースプレート５２の長
手方向に沿ってスライド自在に備えられ、また、脚板５
４Ａと５４Ｂ間の背面を覆い砥石４９が貫通して砥石４
９と共に移動する不図示のスライドシートが砥石移動装
置４８に備えられている。 第８図に示す如く、ＣＣＤカメラ８４Δ及び８４Ｂから
の映像信号は、位置計測器９０にも供給され、位置計測
器９０は、ＣＣＤカメラ８４Ａ及び８４Ｂの光軸からの
、研削中心点ＭＡ及びＭＢのずれ座標（△Ｘ　Ａ　％△
ＹＡ）及び（△ＸＢ％△ＹＢ）を求め、これをコントロ
ーラ９２へ供給する。第１３図（Ａ）は、研削中心点像
ＮＡ及びＮＢについてこれらの座標を示ず。コン）ｏ−
ラ９２は、姿勢調整部２０２に備えられたドライバ９４
を介して、Ｘ−Ｙ−θ−φステージ２４のＸステージ２
６、Ｙステージ２８、θステージ３０及びφステージ３
２を駆動し、上記ずれ座標を原点（０，Ｏ）に一致させ
る。ドライバ９４とコントローラ９２との間は、光又は
磁気で非接触に結合されている。 次に、第９図及び第１０図に基づいてＸ−Ｙ−θ−φス
テージ２４の構成を説明する。第１０図は第９図のＡ−
Ａ線拡大断面図である。 ベース２５には、その下面両側部に、レール２５１が紙
面垂直方向にして固定され、下面中央部に、送りねじ２
５２が紙面垂直方向にして不図示の軸受で支持され、モ
ータＭ５で回転駆動される。 一方、Ｘステージ２６の上面には、レール２５１が嵌合
されるスライダ２６１が固定されている。 また、Ｘステージ２６の上面中央部には、前記送りねじ
２５２が蝋質されるナツト２６２が固定されている。 したがって、モータＭ５をオンにすると、Ｘステージ２
６はベース２５に対し第９図紙面垂直方向へ移動する。 Ｘステージ２６の下面両側部には、脚板２６４が互いに
対向して固定され、脚板２６４に送りねじ２６５が回転
自在に支持されている。送りねじ２６５には、ハンド２
０５及び２０６の駆動部と同様に、右雄ねじと左雄ねじ
が左右対称に形成され、両雄ねじにナツト２６６が螺合
されている。 この送りねじ２６５は、脚板２６４に固定されたモータ
Ｍ６で回転駆動される。ナツト２６６は、スライドプレ
ート２６７の下面中央部に固定されている。スライドプ
レート２６７の上面側部には、スライダ２６９が固定さ
れている。このスライダ２６９は、Ｘステージ２６の下
面に第９図左右方向に固定されたレール２７０に嵌合さ
れている。スライドプレート２６７の下面側部には、テ
ーパブロック２６８が固定されている。テーパプロッタ
２６８の下面（傾斜面）にはレール２７１が固定され、
レール２７１は前記スライダ２６９と同一形状のガイド
２８１に嵌合され、ガイド２８１は、Ｙステージ２８の
上面両側部にテーパブロック２８２を介して固定されて
いる。 したがって、モータＭ６をオンにすると、テーパブロッ
ク２６８が互いに左右反対方向に移動し、同時に、Ｙス
テージ２８がＸステージ２６に対し矢印Ｙ方向に上下動
する。 Ｙステージ２８の下面一端部には連結片２８３が固定さ
れ、これに対応して、θステージ３０の上面一端部に連
結片３０１が固定され、連結片２８３及び３０１にビン
３０２が貫通されている。 θステージ３０の他端邪には、送りねじ３０３が蝋質さ
れ、送りねじ３０３の基端部に嵌着された平歯車３０４
が、θステージ３０の固定されたモータＭ７で回転駆動
される。送りねじ３０３の先端は、Ｙステージ２８の側
面に固定されたＬ字形２８４の水平部を押圧している。 したがって、モータＭ７をオンにすると、θステージ３
０は、Ｙステージ２８に対し、ビン３０２を中心として
矢印θ方向に回転移動する。 θステージ３０の下面には、ウオームホイールであるφ
ステージ３２がスペーサ３２１を介してビン３２２で回
転自在に支持されている。φステージ３２には、不図示
の軸受に支持されたウオーム３２３が噛合しており、こ
のウオーム３２３は、θステージ３０に固定されたモー
タＭ８により駆動される。 したがって、モータＭ８をオンにすると、φステージ３
２はθステージ３０に対し、ビン３２２を中心として矢
印φ方向に回転移動する。 φステージ３２には、第４Ａ図に示すリスト２０４が固
定されている（第９図には不図示）。 第１１図は、Ｘ−Ｙ−θ−φステージ２４による単結晶
インゴット１０の移動方向をＸ、Ｙ、θ、φで示す。θ
の回転中心はＸ軸に平行であり、φの回転中心はＹ軸に
平行である。 次に、第１２図及び第１３図に基づいて、姿勢調整部２
０２を下降させた状態で動作されるＸ−Ｙ−θ−φステ
ージ２４の姿勢調整動作を説明する。最初、研削中心点
像ＮＡ及びＮＢは第１３図に示す如くなっている。 （３００）この状態で、第１３図（Ｂ）に示す如く△ｘ
Ａ−ΔＸＢとなるように、φステージ３２を回転させる
。 （ピン３０２）次に、第１３図（Ｃ）に示す如くΔｘＡ
＝ΔＸ、＝Ｏとなるように、Ｘステージ２６を移動させ
る。 （平歯車３０４）次に、第１３図（Ｄ）に示す如くΔＹ
Ａ＝△ＹＩｌとなるように、θステージ３０を回転させ
る。 （３０６）次に、第１３図（Ｅ）に示す如くΔＹＡ＝Δ
Ｙ、＝０となるように、Ｙステージ２８を移動させる。 このようにして、研削中心点ＭＡ及びＭＢが回転クラン
プ軸７０Ａ及び７０Ｂの回転中心線上に正確に一致する
。 この状態で、油圧シリンダ６０をオンにして単結晶イン
ゴット１０を回転クランプ軸７０Ａ、７０Ｂ間に保持し
、モータ７６をオンにして単結晶インゴット１０を回転
させ、砥石移動装置４８により単結晶インゴット１０の
周面を研削する。これにより、はぼ最大直径の円柱形単
結晶インゴット１１を得ることができる。 なお、本発明には外にも種々の変形例が含まれる。 例えば、上記実施例では、内視鏡としてボアスコープ８
２Ａを用いた場合を説明したが、内視鏡先端側を貫通孔
７９Ａ内に挿入支持すればよいので、例えば、金属製パ
イプの基端部を貫通孔７９Ａ内に挿入し、該パイプの基
端部を脚板５４Ａに固定し、該バイブ内に軟性内視鏡の
先端側を挿入支持する構成であってもよい。 また、ボアスコープ８２Ａの光軸と回転クランプ軸７０
Ａの回転中心線は、必ずしも一致させる必要はない。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１３図は本発明の一実施例に係り、第１図
は単結晶インゴット搬送・周面研削装置の概略構成を示
す斜視図、 第２図は単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置２ＯＡの
処理手順を示すジェネラルフローチャート、 第３図は第２図のステップ１１４の詳細フローチャート
、 第４Ａ〜４Ｅ図は、第３図に対応した、単結晶インゴッ
ト搬送・姿勢調整装置２ＯＡの動作説明図、 第５図は単結晶インゴット周面研削装置２２１Ａの斜視
図、 第６図は第５図の脚板５４Ａ付近の詳細を示す一部断面
正面図、 第７図は第５図の脚板５４Ｂ付近の詳細を示す一部断面
正面図、 第８図は、単結晶インゴット搬送・周面研削装置の研削
中心位置合わせ部概略図、 第９図は、Ｘ’−Ｙ−θ−φステージ２４の正面図、 第１０図は第９図のＡ−Ａ線拡大断面図第１１図はｘ−
Ｙ−θ−φステージ２４による単結晶インボッ）１０の
移動方向を示す図、第１２図はコントローラ９２による
研削中心位置合わせの処理手順を示すフローチャート、
第１３図は、第１２図と対応させて、モニター画面へ及
びＢ上の研削中心点像ＮＡ及びＮＢの位置を示す図であ
る。 図中 １０．１１は単結晶インゴット １２は回転中心マーカ １４．２３はコンベア １６Ａ；１６Ｂは走行レール ２ＯＡ、２０Ｂは単結晶インゴット搬送・姿勢調整装置 ２０１は走行部 ２０２は姿勢調整部 ２０３は垂直アーム ２０４はリスト ２０５．２０６はハンド ２２ｉＡ、２２ｉＢ　（ｉ＝１〜５）は単結晶インゴッ
ト周面研削装置 ２４．２４ＡはＸ−Ｙ−θ−φステージ２５１．２７０
．２７１．５６はレール２６はＸステージ ８４　Ａ１ ８４ＢはＣＣＤカメラ ２６１．２６９．３２３．５８．６５はスライ　６　Ａ
１ ８６Ｂは光源 ダ 　８　Ａ１ ８８ＢはモニターＴＶ ２６２．２６６はナツト ２５２．２６５．３０３．３２４は送りねじ２６４．５
４Ａ、５４Ｂは脚板 ２６７．３０４は平歯車 ２６８．２８２はテーパブロック ２８はＹステージ ２８１はガイド ３０はθステージ ３２はφステージ ３２３はウオーム ４６は単結晶インゴット回転装置 ４８は砥石移動装置 ６０は油圧シリンダ ？ＯＡ、７０Ｂは回転クランプ軸 ７４．７８は平歯車 ７６、Ｍｌ−Ｍ８はモータ ８２Ａ、８２Ｂはボアスコープ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）、回転中心線を互いに一致させて対向配置させた一
   対の回転クランプ軸（７０Ａ、７０Ｂ）と、 研削回転中心（ＭＡ、ＭＢ）が記された単結晶インゴッ
   ト（１０）の両端面に該回転クランプ軸の先端面を押圧
   させて該単結晶インゴットを支持する手段（５４Ａ、５
   ４Ｂ、５８〜６４）と、該回転クランプ軸を回転駆動さ
   せる手段（６８Ａ、６８Ｂ、７４〜７８）と、 を有する周面研削装置用単結晶インゴット回転装置にお
   いて 該回転クランプ軸には軸芯部に貫通孔（７９Ａ、７９Ｂ
   ）が形成され、 映像信号を出力するカメラ（８４Ａ、８４Ｂ）と、 基端が該カメラの撮影レンズ側に配置され、先端側が該
   貫通孔内に挿入配置された内視鏡（８２Ａ、８２Ｂ）と
   、 該映像信号に基づいて、該回転クランプ軸の回転中心線
   に対する該研削回転中心の位置を検出する手段（９０）
   と、 を付設したことを特徴とする周面研削装置用単結晶イン
   ゴット回転装置。 ２）、前記内視鏡はライトガイド（８２４）を備えたボ
   アスコープ（８２Ａ、８２Ｂ）であり、該ライトガイド
   の基端に光源（８６Ａ、８６Ｂ）が取り付けられ、該光
   源からの光を該ボアスコープの先端から導出させて前記
   単結晶インゴットの端面を照明することを特徴とする請
   求項１記載の装置。 ３）、前記ボアスコープの外周面に軸受（８０Ａ、８０
   Ｂ）が環着されて前記貫通孔（７９Ａ、７９Ｂ）に挿入
   支持されていることを特徴とする請求項２記載の装置。