JPH0328772A - 半導体ウエハ測定用プローブカード収納ケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体ウエハを測定する治工具に関するもの
である。

〔従来の技術〕

第４図は従来のプローブカード収納ケースの斜視図を示
すもので、図に卦いて、（１）はプローブカード、（２
）はプローブカード（１）に固定されたブロープ針、（
３）はプローブカード（１）を収納するためのケースの
溝である。

次に動作について説明する。

上下に向かい合った平行なケースの溝（３）にプロ？プ
カード（１）をはめこみ、プロープカード（１）をケー
スの溝（３）に沿って抜き差しすることによってプロー
ブカード（１）の収納・取り出しを行う。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のプローブカード収納ケースは以上のように構戒さ
れていたので、ケースの溝への抜き差し時にブローブ針
が周囲に当たらぬようブローブ針カバー等を装着するこ
とが必要で、また、ケースの溝間の間隔とプローブカー
ドのサイズが合わＺい場合、抜き差しが円滑に行ｉえな
いなどの問題点があった。

この発明は上記のよう■問題点を解消するためになされ
たもので、プロープ針カバーが不要にするとともに、プ
ローブカードの収納，取り出しが円滑ド行なえるプロー
ブカード収納ケースを？Ｇ　ルことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る半導体ウエハ測定用ブローブカ−　｝”
収納ケースは、プローブカード収納時のプロープ針部分
にカバーをすることなく収納トレイの上に置くだけでプ
ロープ針を保護，保管できるようにしたものである。

〔作用〕

この発明におけるプローブカード収納ケースは、収納ト
レイにあいた穴により、ブロープヵードをプロープ針の
露出したま１収納トレイに置いても、収納トレイとプロ
ーブ針の接触が回避されてブローブ針の損傷を防ぐ。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図によ・いて、（１）はブローブヵード、（２）ハフｏ
−フカ−　１’　（１）に固定されているプロープ針、
（４）　ハ７’ロープカード（１）を収納するトレイ、
（５）ハトレイ（４）とプロープ針（２）との接触を防
ぐために設けられた穴である。

次に動作について説明する。

収納するプローブカード（１）の場所の固定が置くだけ
でできる様なトレイ（４）とし、プローブカード（１）
をこのトレイ（４）に置いた時、プロープ針（２）の位
槓に対応するトレイ（４）の部分に、プロープ針（２）
が？レイ（４）に接触しないように充分なスペースの凹
型または貫通の穴（５）があけたものである。

第３図はこの発明の他の実施例を示すトレイ（４）の断
而側面図で、プローブカード（１）は複数個（図の場合
は３個）トレイ（４）に置かれて居り、プローブカード
（１）のターミナルビン（６）が上部に突出しているが
、トレイ（４）の上面がターミナルピン（６）より高く
なるように形或されて接触を防止している。

また、プローブ針（２）は穴（５）によって同様に保護
されている。

なお、上記実施例ではトレイ（４）のプロープ針（２）
の位置に対応する場所に穴をあけた場合を示したが、プ
■−プカード（１）を固定する場所さえあればいかなる
大きさの穴であってもよい。

また、上記実施例では半導体ウエハ測定用プローブカー
ドの場合について説明したが、様々な部品の付いた他の
電子基板であってもよく上記実施例と同様の効果を奏す
る。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、半導体ウエハプローブ
カードを収納するケースにブローブ針の先端が当たる場
所に穴をあけるようにしたので、プローブ針の損傷を防
ぐことができ、また、プロープカードの収納，取り出し
が簡単に行える効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるプローブカード収納
ケースを示す斜視図、第２図は第１図に釦けるトレイの
断面側面図、第３図はこの発明の他の実施例を示すトレ
イの断面側面図、第４図は従来のプローブカード収納ケ
ースを示す斜視図である。 図ニおいて、（１）ｌｄプローブカード、（２）はプロ
ープ針、（４）はトレイ、（５）は穴を示す。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体ウエハ測定用プローブカードを収納するケースに
   おいてプローブ針の先端があたる場所に凹型穴または貫
   通穴をあけたことを特徴とする半導体ウエハ測定用プロ
   ーブカード収納ケース。