JPH03293231A - ウェーハ移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｕ産業上の利用分野１ 本発明は、縦型ＣＶＤ拡散装置に於けるウェハの移載に
関するものである。

［従来の技術］ 半導体素子の製造プロセスの１つにＣＶＤ処理がある。

これは所要枚数のシリコンのウェハをＣＶＤ装置内て加
熱し、化学気相堆積（ＣＶＤ＞させるものであるか、Ｃ
ＶＤ処理の均質化を図る為、製品用ウェーハを挾む様に
列の両端部には各複数枚のダミーウェーハが配列されて
おり、更に製品用ウェーハの途中、所要の間隔て検査用
のモニタウェーハが各１枚配列されている。これを第３
図により略述する。

拡散炉内ではウェーハ１はボート２によって支持される
様になっており、拡散炉てウェーハ１をＣＶＤ処理する
場合は、先ず、ポー１〜２にウェーハ１が所要の配列と
なる様挿入し、ウェハ１が挿入されなボー１〜２を拡散
炉１刊こ装入する。一般には拡散炉内は全域に亘って均
一な温度分布にはなってなく、従って前記ボー１〜２に
は処理すべきウェーハ１数に対し充分余裕のある数（例
えばウェーハの処理枚数の１．５倍の数）だけのウェー
ハ収納スペースを備えており、ウェーハを処理する場合
は温度分布の均一な箇所に対応させ、或はウェーハの枚
数に応じてポー１〜２のウェーハ収納位置を選定する様
になっている。

ポート２のウェーハ配列の上端部、下端部にはそれぞれ
適宜数のダミーウェーハ１ｂからなる、ダミーウェーへ
群３，４が収納され、モニタウェーハ１Ｃを挾んで所定
枚数の製品用ウェーハ１ａからなる製品用ウェーへ群５
が収納され、更にモニタウェーハ１Ｃを挾んで順次製品
用ウェーハ群５が収納されている。最下部の製品用ウェ
ーへ群５と前記ダミーウェーハ群４との間にはモニタウ
ェーハ１Ｃか挿入されている。　ウェーハ移載装置はカ
セットに装填されなウェーハを前記ボーｌ〜へ移載し、
又処理後のウェーハを空のカセッ１〜へ装填する一連の
作業を行うものである６従来のウェーハ移載装置につい
て第４図に於いて説明する。

第４図に示されるものは、枚葉式（１枚ずつ移送する方
式）のウェーハ移載装置を示しており、ハンドリングユ
ニット６の周囲にはウェハ１が装填されたカセット７が
同一円周上に所要数配置され、スパンドリンクユニット
６に隣接して移載用エレベータ８、ロード・アンロード
レベタ９が設けられ、移載用エレベータ８のボー１〜受
台１０は前記円周を含む円筒面の母線に沿って昇降する
様になっており、ロード・アンロードエレベータ９のボ
ート受台１１の」一方には縦型拡散炉１２か設けられて
いる。又、移載用エレベータ８とロード・アンロードニ
レベタ９との間にはボート２の移替えを行う移替えユニ
ツＩ〜１３か設けられている。

前記ハンドリンクユニッ１−６は前記円周の中心を中心
に回転し且昇降する回転アーム１４と該回転アーム１４
に沿って半径方向に進退するウェハ吸着ヂャック１５を
備え、カセッ１〜７に装填されたウェーハ１を一枚ずつ
吸着して取出し、移載用エレベータ８に乗置されたポー
１〜２に上側から順次移載して行く。移載用エレベータ
８はウェーハ１の移載の進行に追従して、−段ずつ下降
する。

ウェーハ１の移載の完了したボート２は移替えユニット
１３によって移載用エレベータ８からロード・アンロー
ドエレベータ９へ移替えられ、ロード・アンロードエレ
ベータ９はボート２を拡散炉１２内へ装入する。

ＣＶＤ処理か完了するとボート２が拡散炉１２より取出
され、更に移替えユニット１３により移載用エレベータ
８に移替えられ、ハンドリングユニット６により上記し
たと逆の手順でカセッ１へ７へ装填される。

上記した従来の移載装置は枚葉式であったが、第５図に
示す様に一括式のものもある。

これは、ウェーハ吸着チャック１５が２５組の吸着プレ
ート１６を備え、カセット７に装填されている２５枚の
ウェーハ１を全部−括してチャッキングしボート２へ移
載を行うものである。

［発明か解決しようとする課題］ 然し、上記した従来の枚葉方式の移載装置、−括方式の
移載装置には以下に述べる様な不具合かある。

前記したボート２に挿入されるウェーハの配列、上段、
下段のダミーウェーハの枚数を各何枚にするか、あるい
はモニタウェーハを製品用ウェーハの何枚目打に且何枚
設けるかは処理を行う条件、或は顧客の処理仕様によっ
て異なる。

前者の枚葉方式はウェーハを一枚ずつ移載して行くのて
、ウェーハの如何なる配列にも対応できる。然し、動作
回数が著しく多く、その為移載時間が長くなり、効率か
悪い。又、動作回数が多いということは発塵の可能性が
確率的に増大し、製品品質に悪影響を与える。

これに対し、後者−括方式は、移載時間か短く、極めて
能率的であるという利点はあるが、２５枚−括で処理し
ている為、ウェーハ移載時にウェーハの配列を整えるこ
とはできない。従って、カセットにウェーハを装填する
際に所定の配列となる様、ダミーウェーハ、モニタウェ
ハ、製品用ウェーハを混在さぜる様にしている。カセッ
トへのウェーハの装填作業は手作業であり、種類の異な
るウェーハを所定の配列となる様装填する作業は非常に
煩雑であり、能率も悪く、又誤挿入も避けられないのが
現状であっな。

本発明は斯かる実情に鑑み、枚葉方式の長所と一括方式
の長所とを充分に発揮させ得るウェハの移載装置を提供
しようとするものである。

［課題を解決する為の手段］ 本発明は、ウェーハ移載用のプレートを所要枚数具備し
たウェーハ移載装置に於いて、前記プレートのうち少な
くとも１枚を残して回転可能と１〜たことを特徴とする
ものである。

し作用］ ウェーハを所要枚数−括で移送する場合は、各吸着プレ
ートを垂直方向に同し位置として、同時にウェーハを吸
着して移送動作を行い、例えばウェーハ１枚を移送する
場合は、１枚の吸着プレートを残し他の吸着グレー１〜
を回転させ、該１枚の吸着プレーー１〜にウェーハを吸
着してウェーハの移送を行う。

［実施（’ｆｉｌＥ 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する６ 第１図、第２図て示ずものは本実施例に係るウェーハ移
載装置の特に、ウェーハ把持部１８を示しており、該ウ
ェーバ把持部１８は例えば第４図、第５図て示ず回転ア
ーノ＼１４に半径方向に進退可能に設けられるものであ
る。

以下、前記把持部１８について説明する。

中空のケース１９内部には、回転ボス１〜２０を鉛直な
軸心を中心に回転自在となる様に軸受２１を介して下プ
レート２２に設け、該回転ボス１〜２０の下部には被動
ギア２３を固着する。

又、ケース１９の内部、下プレート２２にはブリッジ２
４を介してモータ２５を取イイけ、該モータ２５の出力
１（１（２６には駆動ギア２７を固着し、該駆動ギア２
７６ｊ：前記被動キア２３に噛合ぜしめる５前記駆動ギ
ア２７に近接させて、角度検出セン→ノー２８を設け、
該角度検出センサ２８は前記駆動ギア２７に固着した検
知プレート２９を検知して回転角度を検出する様になっ
ている。

前記回転ポスト２０はその上端部がＬプレート３０を貫
通しており、該回転ポスト２０の上端にプレート保持盤
３１を複数枚固着し、該保持盤３１と３１との間に第２
、第３、第４、第５の４枚の吸着プレート３３．３４．
３５．３６を気密に固着する。

該各吸着プレー１−は中空となっており、中空部は図示
しない真空源に電磁弁を介して連通され、又それぞれの
吸着プレーｈ　３３．３４．３５．３６のゴー面にはウ
ェーハ吸着用の孔３７が穿設しである。

前記」ニプレ−１−３０の上面には、該上プレー１−３
０と前記プレート保持盤３７との開に、回転ボス１〜２
０と同心のプレート保持リンク３８を固着し、該保持リ
ンク３８に第１の吸着プレート３２を気密にＵｆＪ＠す
る。該第１の吸着プレー１−３２は前記しな第２〜第５
の吸着プレート３３．３４．３５．３６と同様図示しな
い真空源に電磁弁を介して連通ずる、以下、作動を説明
する２ 第Ｊ〜第５の吸着プレート３２．３３３４．３５３６で
一度にウェーハ１を吸着して移載する場合は、吸着プレ
ート３２，３３，３４，３５．３６を第１図中実線の位
置とする。

次に、５枚以下のウェーハ１を移送する端数処理を行う
場合は、前記モータ２５を駆動し、出力軸２６、駆動ギ
ア２７、被動ギア２３を介して回転ポスト２０を回転さ
せ、該回転ボス１〜２０の土、端に取付けである第２〜
第４吸着プレート３３．３４．３５３６を所要角度例え
ば、第１図想像線で示づ゛様に９０°回転する。

第２〜第４吸着プレート３３．３４．３５．３６の回転
により、第］吸着プレート３２のみかウェーハを移載で
きる状態となり、ウコ：−ハを１枚ずつ移載することが
可能となる。

端数処理が完了し、再びウェーハを５枚同時に移載する
場合には、前記モータ２５を駆動し回転ボス１〜２０を
逆転して第２〜第４吸着プレート３３．３４，３５．３
６を第１図中実線の位置に戻す。

尚、吸着プレーＩ・の回転位置の検出は、前記した角度
検出センサ２８、検知ブレー１へ２９によって行う。

又、」−一実施例てはウェーハカセットに収納されるウ
ェーハの枚数が２５枚であることを考慮し、吸着プレー
トの枚数を’２５”の約数である“′５パとしたが、吸
着プレートの枚数を２５枚とし、そのうち２４枚を回転
可能としてもよい。

更に、−１−一実施例ては、−Ｉ−側４枚の吸着フ゛レ
ートを回転可能としたが、下側４枚の吸着プレ　０ −１〜を回転可能とする、又真空吸着法でないプレート
とする等、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更を
加え得ることは勿論である。

［発明の効果コ 以上述べた如く本発明によれば、ウェーハを複数枚−括
で移送すること及び１枚ずつ移送することが適宜選択し
て行え、ウェーハの移送を能率よく行えると共にウェー
ハの任意の配列に対応することができるという優れた効
果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部を示す斜視図、第２図
は同前断面図、第３図はポートでのウェーハの配列を示
す説明図、第４図、第５図はそれぞれ従来のウェーハ移
載装置を示す説明図である。 １はウェーハ、２０は回転ポスト、２５はモータ、３２
．３３，３４．３５は吸着プレートを示す。 １ ３６へ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）ウェーハ移載用のプレートを所要枚数具備したウェ
   ーハ移載装置に於いて、前記プレートのうち少なくとも
   １枚を残して回転可能としたことを特徴とするウェーハ
   移載装置。