JPH03294166A - スタンパ裏面研磨方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学的な変化で情報信号を伝達する光記録媒体
の製造工程に係わる加工方法及び装置に関し、特に、電
鋳工程後における電鋳層の裏面研磨方法及び装置に関す
る。

〔従来の技術〕

近年、オーディオコンパクトディスク（ＣＤ）やビデオ
ディスク（ＶＤ）などレーザビジョンのように、レーザ
光により情報の記録／再往が可能な光デイスク記録媒体
が広く普及しており、また、再生専用のみならず追記型
や書き換え型も使用されてきている。

この光デイスク記録媒体はディスクのドライブ装置の制
御系が複雑であったり、価格的に高価であるなど未だ課
題は残されているものの、光の波長と同じ程度の小さな
光スポットで信号を記録し再生しているので、磁気記録
にくらべて１桁から２桁程度高い非常に高密度の記録が
でき、更に、情報の遺り取りが光ビームを使った非接触
な方法であるので、信号面が擦り減ることがなく、記録
の不揮発性（記録したデータの保持）にも優れている等
多くの面で従来の記録媒体よりも優れた点があり、大き
な期待がもたれている。

この様な光デイスク記録媒体は、アナログ信号である情
報信号をデジタル信号に変換して記録することにより、
ダイナミックレンジを上げ、雑音に強い記録としている
。一般にアナログ信号からデジタル信号への変換はパル
ス符号変調（ＰＣＭ）により行われており、ＰＣＭ信号
に変調された情報信号は、光スポットによりディスク上
の記録膜に凹凸のビット、反射膜の有無、変形、屈折率
変化、磁化反転といったマークを書き込むことにより記
録されている。

光ディスクの製造工程には、レプリカを作り出すための
電鋳工程が複数あり、前記電鋳工程は、フォトレジスト
面に導電性を付与しこのフォトレジスト原盤をスルフォ
ミン酸ニッケル浴によりニッケル電鋳し、このフォトレ
ジスト面から該フォトレジスト面の形状が転写されたニ
ッケル層（電鋳層）を剥離してニッケルマスター盤を得
る時、或はこのマスター盤からマザー盤を得るとき、更
にマザー盤からスタンパ−盤を得るとき等に用いられて
いる。これらの各電鋳工程の後にはそれぞれ電鋳層の表
面、即ちスタンパ盤、マザー盤、マスター盤の裏面研磨
工程がある。

そして、多数の前記スタンパ−盤を作った後は、前記ス
タンパ−盤を用いたプレス工程によって製品上のピント
を樹脂に形成し、その上に例えばアルミニウムの反射膜
を形成し、更に保護膜コートをしてＬ述の光ディスクが
製造される。

尚、本明細書においては、上述のスタンパ盤、マザー盤
、マスター盤の裏面の研磨を総称して便宜上、単に「ス
タンパ裏面研磨」と称することにする。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述の電鋳工程後においては、電鋳工程時の電鋳液が通
常５０°Ｃ程度に保たれた状態で行われるために、電鋳
工程後における冷却による熱収縮により、ガラス原盤と
電鋳原版材（フォトレジスト膜、マスター盤或はマザー
盤）とが剥離し易い状態にあることに加えて、電鋳直後
の研磨工程にあっては従来では第３図に示すような押え
治具３０が使用されていたことによる問題があった。

前記押え治具３０はリング状（図示は一部分）のもので
、ターンテーブル２の上に置いたガラス原盤１６（電鋳
層１７が形成されている）の外周部分を押さえつける構
造となっている。すなわち、脚部３１を前記ターンテー
ブル２に接するようにするとともに押え部分３２を前記
ガラス盤１６の外周に当接した状態で、押え治具上部を
貫通した複数の締め付はポルｔ−１１により前記ターン
テーブル２に固定し押さえつける。そして、前記ターン
テーブル２を回転させ、かつ給水しながら研磨テープを
適宜押しつけて前記電鋳層１７の表面であるスタンパ裏
面を研磨する。この研磨工程にて発生する研磨廃液Ａは
遠心力により前記電鋳層１７の半径外方に流れ、そのほ
とんどは前記押え部分３２の端面３３に一定間隔で開口
した排出溝３４を介して治具内側空間２０に流れ、該治
具内側空間２０からは例えば前記脚部３１に形成した穴
や前記ターンテーブル２に形成した穴を介して排水され
る。

このようにスタンパ裏面の外周を前記押え部３２により
飛び飛びに押さえるとにより、研磨廃液Ａを前記排出溝
３４から排水出来るが、この廃液が前記電鋳層１７の外
周縁部からガラス盤側へ回り込むことにより、例えば前
記ガラス原盤１６と電鋳原版材（マスター盤作成のとき
はフォトレジストが電鋳原版材である）との剥離部分に
侵入する可能性がある。

このことは、上記のようにスタンパ裏面の外周を飛び飛
びに押えることにより、該スタンパ裏面を押圧する部分
と押圧しない部分とにおいて押圧力の不均衡が生じ、こ
れにより前記ガラス原盤１６と前記電鋳原版材を含んだ
電鋳層１７との間の特にプライマ塗布部分が剥離し易い
。従って、この剥離が生じると、研磨くずを含んだ研磨
廃液が剥離部分に侵入する結果、前記電鋳原版材や前記
電鋳層１７にキズあるいはディフェクトを住しる問題が
あった。

本発明の目的は上記問題点を解消することにあり、ガラ
ス原盤と該原盤上の電鋳原版材や電鋳層等の処理物との
剥離現象を効果的に回避できるとともに、たとえ剥離が
生じても研磨の際の研磨廃液が前記ガラス原盤と電鋳原
版材との間に侵入することを防止できるスタンパ裏面研
磨方法及び装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明にかかる上記目的は、　１）光記録媒体の記録面
を形成するときの電鋳工程の後、回転するターンテーブ
ルに装着したガラス原盤上のスタンパ裏面を研磨すると
きに、押え治具により前記ガラス原盤と共にスタンパ裏
面の外周全域を円周方向に隙間なく押さえ、且つ前記押
え治具の内方領域を給水しながら研磨し、研磨くずを含
有した研磨廃液を前記押え治具の上を通過させて放射状
に排水することを特徴とするスタンパ裏面研磨方法なら
びに、この方法を実施可能にした装置、即ち５、回転す
るターンテーブルに装着したガラス原盤上のスタンパ裏
面に給水しながら該スタンパ裏面を自動研磨するスタン
パ裏面研磨装置において、前記ターンテーブル上には前
記スタンパ裏面を該ターンテーブル側に押圧する環状の
押え治具が設けられており、前記押え治具は前記ガラス
原盤全周を囲む環状になされ、前記ターンテーブルに係
合する脚部及びガラス原盤中心方向に張り出して前記ス
タンパ裏面の外周縁部を全周にわたって押さえる上端部
からなる断面略逆り字状に構成され、更に前記上端部の
下側面には前記スタンパ裏面と密着可能な弾性部材が全
周に設けられ、かつ前記上端部の上側面が前記ガラス原
盤の中心に向かって該上方面の高さが低くなるような傾
斜面に構成されたことを特徴とするスタンパ裏面研磨装
置によって達成することができる。

［実施態様〕 以下、添付図面を参照して本発明の一実施態様を説明す
る。ただし本発明は本実施態様のみに限定されない。

第１図は光デイスク記録媒体の製造工程における本発明
のスタンパ裏面研磨装置の部分断面概略図であり、第２
図は第１図に示す押え治具の部分の断面拡大斜視図であ
る。

先ず、光デイスク記録媒体の製造工程について簡単に説
明する。最初の工程として、表面研磨や超音波洗浄した
円盤状のガラス原盤を作成する。

このガラス原盤の表面に形成するフォトレジストの該ガ
ラス原盤への密着を高めるためにプライマ塗布を行い、
その上に短波長のみに感光するフォトレジストを例えば
スピンコード等により塗布し、引き続いて適宜加熱し乾
燥してフォトレジスト層が形成されたガラス原盤１６（
フォトレジスト盤とも云う）を作成する。次に、前記ガ
ラス原盤１６を記録装置（カティング装置）にセットし
てレーザー光により所望の信号を書き込む。

その後、前記ガラス原盤１６のフォトレジスト層を現像
・水洗してから、該フォトレジスト層の現像面を乾式法
あるいは湿式法により金属膜を形成して導電性を付与し
、しかる後に前記フォトし・シスト層の現像面上に電鋳
工程によって電鋳層１７である例えばニッケルメンキ膜
を形成する。この比較的肉厚な前記電鋳層１７を前記フ
ォトレジスト層から剥離してマスター盤を得る。更に、
前記マスター盤を電鋳原版材（母体）とし７て電鋳して
形成した電鋳層を該マスター盤から剥離することを何度
か繰り返すことにより複数のマザー盤を作り、これらの
マザー盤を電鋳母体として同様に形成した電鋳層を剥離
することにより多数のスタンパ−盤を作ることができる
。

前記各研磨処理を行うスタンパ裏面研磨装置について第
１図を参照して説明する。

前記スタンパ裏面研磨装置１は、前記ガラス原盤１６を
その中央に載置するターンテーブル２を備えている。前
記ターンテーブル２は回転軸３に直結あるいは適宜減速
機等を介して接続されたモータ４により所望の回転速度
にて回転できるように構成されている。また、前記ター
ンテーブル２には、前記ガラス原盤１６の全周を囲む位
置にリング状の押え治具５を装着できるようになされて
いる。さらに、装着された前記ガラス原盤１６に対向す
る側には、ローラ１２に掛けられた研磨テープ１３と研
磨時において適量の純粋を供給する給水管１４が設置さ
れている。なお、前記研磨テープ１３と給水管１４は研
磨時において前記ガラス原盤１６に対向すればよく、前
記ガラス原盤１６の装着時等においては邪魔になるので
待機位置と作用位置の間を移動可能に構成されている。

前記押え治具５は、ガラス原盤中心方向に張り出した上
端部７と前記ターンテーブル２の例えば溝に当接する脚
部６とからなる断面略逆り字状の構成である。そして、
前記押え治具５は前記上端部７の下側面１９にスタンパ
裏面である電鋳層１７の表面と密着可能な弾性部材であ
るＯリングが全周に設けられており、また、前記上端部
７の上側面８は前記ガラス原盤１６の中心に向かって該
上側面８の高さが低くするような傾斜面に構成されてい
る。

前記押え治具５は前記上端部７に形成された複数のボル
ト挿入孔１５に締め付はボルト１１を通して前記ターン
テーブル２に固定される。

こうのように構成されたスタンパ裏面研磨装置１は例え
ばクラス１０，０００程度のクリーンルームに設置され
ている。そして、前述した光記録媒体の記録面を形成す
るときの電鋳工程の後のガラス原盤１６を前記スタンパ
裏面研磨装置１に装着し、前記ガラス原盤１６上のスタ
ンパ裏面（電鋳層１７の表面）に給水しながら、この給
水部分近傍にてアルミナ等を含有した前記研磨テープ１
３を適宜繰り出すようにして研磨を行う。この研磨工程
は、通常、荒仕上げを行った後に仕上げをしてスタンパ
裏面の平滑性を高める。このときに、前記押え治具５の
下側面１９により前記電鋳層１７の外周全域が完全に押
さえつけてられているが、この押さえつけは前記０リン
グ１０により弾性的にされているので、押さえっけの圧
力のばらつきを抑制し、押さえつけられた面及びその下
方内部の損傷を効果的防止できると共に、治具内側空間
２０の密閉性を高めることができる。前記治具内側空間
２０の密閉性が高められると、研磨時における研磨廃液
は、前記ガラス原盤１６とその上に形成された処理物と
の接合端面と隔離されるので、接合端面部分に例え剥離
が発生したとしても該剥離部分に研磨廃液が侵入するの
を防止することができる。

また、前記上端部７の上側面８が前記ガラス原盤１６の
中心に向かって該上側面８の高さが低くなる傾斜面に構
成されでいるので、研磨廃液は前記上端部７の先端部分
に溜まることなく前記上側面８に沿って流れ、前記押え
治具５の上を通って放射状にターンテーブル外方に効果
的に排水される。

従って、スタンパ裏面研磨における締め付けが確実にで
き、また、スタンパ表面側とガラス原盤との間に研磨廃
液が侵入するようなトラブルを防止することができる。

前記実施態様においては、前記上側面８を直線の傾斜面
に構成したが、その傾斜角度αを例えば４５°程度に設
定するとともに、前記上端部７の先端面８ａの肉厚ｔを
０．２ｍｍ程度に設定することができるが、この肉厚り
の寸法は限りなくゼロに近づけることが望ましく、本発
明においては、当然これらの寸法は前記押え治具５の締
め付は力、材質や肉厚等の各種条件により適宜設定する
ことができるだけでなく、前記先端面８ａを糸面取りの
構成にしたり、或いは前記上側面８を適宜湾曲（凹状あ
るいは凸状の何れでもよい）した傾斜面に構成すること
もできる。

更に、前記実施態様においては、前記０リング１０を一
つ設けた構成としたが、本発明はこれに限るものではな
く、例えば同心状に複数設けた構成にすることができる
。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、スタンパ裏面研磨
をするときに、押え治具の下側面に設けた弾性部材によ
りスタンパ裏面の外周全域が押さえるので、押さえっけ
の圧力を安定させ、押さえつけられた面及びその下方内
部の損傷を効果的防止できると共に、研磨処理物の確実
な固定を保証することができ、また、 前記弾性部材により研磨領域と研磨領域以外のスタンパ
外周縁部とを該外周縁部が研磨廃液に接しないように隔
離されるので、研磨時における研磨廃液は、例えばガラ
ス原盤とその上に形成された処理物との接合端面部分に
例え剥離が発生したとしても該剥離部分に研磨廃液が侵
入するのを極めた効果的に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施態様であって、光デイスク記録
媒体の製造工程におけスタンパ裏面研磨装置の部分断面
概略図であり、第２図は第１図に示す押え治具の部分の
断面拡大斜視図、第３図は従来のスタンパ裏面研磨装置
の一部断面を示す部分斜視図である。 図中符号： １・・・スタンパ裏面研磨装置、 ２・・・ターンテーブル、　　　３・・・回転軸、４・
・・モータ、 ５．３０・・・押え治具、 ６．３１・・　脚部、　　　７・・・上端部、８・・・
上側面、　　９・・・下側面、１０・・・Ｏリング、 １１・・・締め付はボルト、 １２・・・ローラ、　　１３・・・研磨テープ、１４・
・・給水管、　　１５・・・ボルト挿入孔、１６・・・
ガラス原盤、　　１７・・・電鋳層、１８・・・電鋳用
導電リング、 １９・・・下側面、 ２０・・・治具内側空間。 （ほか３名） 第　　１ 図 第　　２ 図 払 手続補正書 第 図 刃 平成２年６月２ｆ日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）光記録媒体の記録面を形成するときの電鋳工程の後
   、回転するターンテーブルに装着したガラス原盤上のス
   タンパ裏面を研磨するときに、押え治具により前記ガラ
   ス原盤と共にスタンパ裏面の外周全域を円周方向に隙間
   なく押さえ、且つ前記押え治具の内方領域を給水しなが
   ら研磨し、研磨くずを含有した研磨廃液を前記押え治具
   の上を通過させて放射状に排水することを特徴とするス
   タンパ裏面研磨方法。 ２）回転するターンテーブルに装着したガラス原盤上の
   スタンパ裏面に給水しながら該スタンパ裏面を自動研磨
   するスタンパ裏面研磨装置において、前記ターンテーブ
   ル上には前記スタンパ裏面を該ターンテーブル側に押圧
   する環状の押え治具が設けられており、前記押え治具は
   前記ガラス原盤全周を囲む環状になされ、前記ターンテ
   ーブルに係合する脚部及びガラス原盤中心方向に張り出
   して前記スタンパ裏面の外周縁部を全周にわたって押さ
   える上端部からなる断面略逆Ｌ字状に構成され、更に前
   記上端部の下側面には前記スタンパ裏面と密着可能な弾
   性部材が全周に設けられ、かつ前記上端部の上側面が前
   記ガラス原盤の中心に向かって該上方面の高さが低くな
   るような傾斜面に構成されたことを特徴とするスタンパ
   裏面研磨装置。