JPH03296622A - 流量監視装置 - Google Patents
流量監視装置Info
- Publication number
- JPH03296622A JPH03296622A JP2100955A JP10095590A JPH03296622A JP H03296622 A JPH03296622 A JP H03296622A JP 2100955 A JP2100955 A JP 2100955A JP 10095590 A JP10095590 A JP 10095590A JP H03296622 A JPH03296622 A JP H03296622A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- gas
- error
- time
- meter
- Prior art date
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- Pending
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分舒〕
この発明は、気体または液体を用いた各種の装置に使用
される流量監視装置に関するものである。
される流量監視装置に関するものである。
第２図は、例えばガス流量を制御する場合の従来の流量
監視装置の一例を示す構成図である。この図において、
１は気体または液体のボンベで、ここではガスボンベ、
２はガスの流量を調節する流量計、３はガスの流量を設
定する設定手段となるポテンション、メータ、４はガス
の実流量を表示する表示手段となるディジタルメータ、
５は前記ガスの供給が行われる、例えば半導体製造装置
を制御する制御手段となる制御部、６はガスのＯ′Ｎ１
０ＦＦを切り換える電磁弁である。
監視装置の一例を示す構成図である。この図において、
１は気体または液体のボンベで、ここではガスボンベ、
２はガスの流量を調節する流量計、３はガスの流量を設
定する設定手段となるポテンション、メータ、４はガス
の実流量を表示する表示手段となるディジタルメータ、
５は前記ガスの供給が行われる、例えば半導体製造装置
を制御する制御手段となる制御部、６はガスのＯ′Ｎ１
０ＦＦを切り換える電磁弁である。
次に動作について説明する。
制御部５よりガスＯＮの信号が電磁弁６に出されると、
ガスボンベ１からガスが流れ、ポテンションメータ３で
設定された流量を流量計２が流す。
ガスボンベ１からガスが流れ、ポテンションメータ３で
設定された流量を流量計２が流す。
流量計２より流れたガスの実流量がディジタルメタ４へ
表示される。
表示される。
従来の流量制御は、設定流量と実流量の比較を流量計２
の内部で行っているが、流量計２でのエラーの信号がな
いために、ディジタルメータ４の表示を見ることにより
実流量の確認をしなければならず、作業者が常時監視す
ることが必要で、また、デ、ｆジタル、メータ４の表示
が見にくいなどの問題点があった。
の内部で行っているが、流量計２でのエラーの信号がな
いために、ディジタルメータ４の表示を見ることにより
実流量の確認をしなければならず、作業者が常時監視す
ることが必要で、また、デ、ｆジタル、メータ４の表示
が見にくいなどの問題点があった。
この発明りよ、上記のような問題点を解消するためにな
されたもので、設定流量と実流量を比較し、設定範囲を
一定時間超えた場合に、流量エラーとして装置の処理を
停止させ、作業者に警報を出すことのできる流量監視装
置を得ることを目的とする。
されたもので、設定流量と実流量を比較し、設定範囲を
一定時間超えた場合に、流量エラーとして装置の処理を
停止させ、作業者に警報を出すことのできる流量監視装
置を得ることを目的とする。
この発明に係る流量監視装置は、気体または液体の設定
流量と実流量とを常時監視して設定流量と実流量との誤
差を検出し、誤差が一定時間連続したとき警報を発生せ
しめる流量監視手段を具備したものである。
流量と実流量とを常時監視して設定流量と実流量との誤
差を検出し、誤差が一定時間連続したとき警報を発生せ
しめる流量監視手段を具備したものである。
この発明においては、設定流量と実流量との誤差を検出
し、この誤差が一定時間連続した場合には警報を出すよ
うにしたことから、気体または液体の設定流量と実流量
の誤差を生じたまま流し続けることがなくなる。
し、この誤差が一定時間連続した場合には警報を出すよ
うにしたことから、気体または液体の設定流量と実流量
の誤差を生じたまま流し続けることがなくなる。
以下、この発明の一実施例を第１図について説明する。
第１図において、１〜６は第２図のものと同しものであ
り、７は流量監視手段となる流量監視部であり、設定流
量、実流量、ガスＩＮ信号を入力し、流量エラー信号を
制御部５へ出力するものであり、これらで流量監視装置
が構成される。
り、７は流量監視手段となる流量監視部であり、設定流
量、実流量、ガスＩＮ信号を入力し、流量エラー信号を
制御部５へ出力するものであり、これらで流量監視装置
が構成される。
このように構成された流量監視装置において、制御部５
よりガスＯＮの信号が電磁弁６に出力され、ポテンショ
ンメータ３で設定された流量で流量計２が動作し、実流
量がディジタルメータ４に表示される。これと同時に、
流量監視部７にガスＯＮの信号が入力され、ポテンショ
ンメータ３の値とディジタルメータ４の値との比較を開
始する。
よりガスＯＮの信号が電磁弁６に出力され、ポテンショ
ンメータ３で設定された流量で流量計２が動作し、実流
量がディジタルメータ４に表示される。これと同時に、
流量監視部７にガスＯＮの信号が入力され、ポテンショ
ンメータ３の値とディジタルメータ４の値との比較を開
始する。
ところが、この状態でガスボンベ１が空になったとする
と、ポテンションメータ３で設定した設定流量と実流量
に誤差が生しる。そうすると、流量監視部７内でポテン
ションメータ３より設定された設定範囲を超えた時間を
計り、一定時間連続して設定範囲を超えるとガス流量エ
ラーとし、制御部５へ停止信号を送１、停止内容を流量
監視部７で表示させ、例えばブザーを鳴らして作業者へ
警報を出す。
と、ポテンションメータ３で設定した設定流量と実流量
に誤差が生しる。そうすると、流量監視部７内でポテン
ションメータ３より設定された設定範囲を超えた時間を
計り、一定時間連続して設定範囲を超えるとガス流量エ
ラーとし、制御部５へ停止信号を送１、停止内容を流量
監視部７で表示させ、例えばブザーを鳴らして作業者へ
警報を出す。
なお、上記実施例では、ポテンションメータ３の信号を
流量監視部７に入力したものを示したが、流量監視部７
にポテンションメータ３を取り付けてもよい。
流量監視部７に入力したものを示したが、流量監視部７
にポテンションメータ３を取り付けてもよい。
また、上記実施例ではガスの流量監視について説明した
が、その他の気体、ｗ１体でもよく、上記実施例と同様
の効果を秦する。
が、その他の気体、ｗ１体でもよく、上記実施例と同様
の効果を秦する。
以上説明したように、この発明は、気体または液体の設
定流量と実流量とを常時監視して設定流量と実流量との
誤差を検出し、誤差が一定時間連続したとき警報を発生
せしめる流量監視手段を具備したので、例えばガスが無
くなったりした場合でも、そのままの状態で放置してお
くことがなくなり、不良製品の発生を最小限に抑えるこ
とができ、作業者の負荷を軽くすることができる等の効
果がある。
定流量と実流量とを常時監視して設定流量と実流量との
誤差を検出し、誤差が一定時間連続したとき警報を発生
せしめる流量監視手段を具備したので、例えばガスが無
くなったりした場合でも、そのままの状態で放置してお
くことがなくなり、不良製品の発生を最小限に抑えるこ
とができ、作業者の負荷を軽くすることができる等の効
果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す構成図、第２図は従
来例を示す構成図である。 図において、１はガスボンベ、２は流量計、３はポテン
ションメータ、４ばディジタルメータ、５は制御部、６
は電磁弁、７は流量監視部である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
来例を示す構成図である。 図において、１はガスボンベ、２は流量計、３はポテン
ションメータ、４ばディジタルメータ、５は制御部、６
は電磁弁、７は流量監視部である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 気体または液体の流量を設定する設定手段と、前記気体
または液体の実流量を表示する表示手段と、前記気体ま
たは液体の流れを制御する制御手段とを備えた流量監視
装置において、前記気体または液体の設定流量と実流量
とを常時監視して前記設定流量と実流量との誤差を検出
し、前記誤差が一定時間連続したとき警報を発生せしめ
る流量監視手段を具備したことを特徴とする流量監視装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2100955A JPH03296622A (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 流量監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2100955A JPH03296622A (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 流量監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03296622A true JPH03296622A (ja) | 1991-12-27 |
Family
ID=14287781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2100955A Pending JPH03296622A (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 流量監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03296622A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2153743A1 (es) * | 1998-07-27 | 2001-03-01 | Valero Francisco Sanchez | Sistema de control para la medicion de fluidos combustibles y similares en instalaciones diversas. |
| JP2013502596A (ja) * | 2009-08-24 | 2013-01-24 | パーティクル・メージャーリング・システムズ・インコーポレーテッド | 流量がモニタリングされる粒子センサ |
| US10983040B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-04-20 | Particles Plus, Inc. | Particle counter with integrated bootloader |
| US11169077B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-11-09 | Particles Plus, Inc. | Personal air quality monitoring system |
| US11579072B2 (en) | 2013-03-15 | 2023-02-14 | Particles Plus, Inc. | Personal air quality monitoring system |
| US11835443B2 (en) | 2014-04-30 | 2023-12-05 | Particles Plus, Inc. | Real time monitoring of particle count data |
| US11988591B2 (en) | 2020-07-01 | 2024-05-21 | Particles Plus, Inc. | Modular optical particle counter sensor and apparatus |
| US12044611B2 (en) | 2013-03-15 | 2024-07-23 | Particles Plus, Inc. | Particle counter with integrated bootloader |
-
1990
- 1990-04-16 JP JP2100955A patent/JPH03296622A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2153743A1 (es) * | 1998-07-27 | 2001-03-01 | Valero Francisco Sanchez | Sistema de control para la medicion de fluidos combustibles y similares en instalaciones diversas. |
| JP2013502596A (ja) * | 2009-08-24 | 2013-01-24 | パーティクル・メージャーリング・システムズ・インコーポレーテッド | 流量がモニタリングされる粒子センサ |
| US8800383B2 (en) | 2009-08-24 | 2014-08-12 | Particle Measuring Systems, Inc. | Flow monitored particle sensor |
| US11579072B2 (en) | 2013-03-15 | 2023-02-14 | Particles Plus, Inc. | Personal air quality monitoring system |
| US11169077B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-11-09 | Particles Plus, Inc. | Personal air quality monitoring system |
| US11519842B2 (en) | 2013-03-15 | 2022-12-06 | Particles Plus, Inc. | Multiple particle sensors in a particle counter |
| US10983040B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-04-20 | Particles Plus, Inc. | Particle counter with integrated bootloader |
| US11913869B2 (en) | 2013-03-15 | 2024-02-27 | Particles Plus, Inc. | Personal air quality monitoring system |
| US12044611B2 (en) | 2013-03-15 | 2024-07-23 | Particles Plus, Inc. | Particle counter with integrated bootloader |
| US12405205B2 (en) | 2013-03-15 | 2025-09-02 | Particles Plus, Inc. | Personal air quality monitoring system |
| US11835443B2 (en) | 2014-04-30 | 2023-12-05 | Particles Plus, Inc. | Real time monitoring of particle count data |
| US11846581B2 (en) | 2014-04-30 | 2023-12-19 | Particles Plus, Inc. | Instrument networking for optical particle counters |
| US11988591B2 (en) | 2020-07-01 | 2024-05-21 | Particles Plus, Inc. | Modular optical particle counter sensor and apparatus |
| US12055474B2 (en) | 2020-07-01 | 2024-08-06 | Particles Plus, Inc. | Modular optical particle counter sensor and apparatus |
| US12436084B2 (en) | 2020-07-01 | 2025-10-07 | Particles Plus, Inc. | Modular optical particle counter sensor and apparatus |
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