JPH03297577A - プラズマ加工機のスタンドオフ制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電極と被切断材との間にプラズマアークを発
生させて被切断材を切断するプラズマ切断機のトーチと
被切断材との距離を制御するスタンドオフ制御方法に関
する。

〔従来の技術〕

プラズマ切断機は、電極の周囲にノズルを設け、作動ガ
スの流路を形成するとともに、電極の先端前方において
電極と被切断材との間に発生させたプラズマを絞り、プ
ラズマを高温にするとともに、プラズマアークの大きさ
を一定にして良好な切断面形状が得られるようにしてい
る。ところが、電極とノズルとからなるトーチと被切断
材との間隔が変動するよ、プラズマアークが持続できな
かったり、プラズマアークの大きさが変化して良好な切
断形状を得ることができない。このため、プラズマ切断
機においては、トーチと被切断材との間隔（スタンドオ
フ）を一定に保持して良好な切断を行うことができるよ
うにしている。

スタンドオフを制御する場合、電極またはノズルと被切
断材との間の電圧（アーク電圧）がスタンドオフと比例
する関係にあることが知られており、しばしばこれを利
用して電極と被切断材との間の電圧、またはノズルと被
切断材との間の電圧を検出し、これらの電圧を一定の値
に保持することがしばしば行われる（例えば、特開昭５
７−１９５５８２号公報）。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上記した従来のアーク電圧を検出してスタンド
オフを一定に保持する方法は、検出したアーク電圧の％
　ｆｊ％電圧に対する偏差の大きさに対応させてトーチ
の変位量を変化させるだけであるため、偏差が大きい場
合に予め定めたスタンドオフにするのに時間がかかり、
応答遅れか生して充分な切断精度を得ることができない
。また、偏差が異常に大きくなった場合には、スタンド
オフ制御を行う回路とは異なる異常電圧検出回路により
検知し、アークをオフするようにしており、切断作業の
能率を低下させる。しかも、従来は、偏差電圧が負側に
の大きく振れた場合には、トーチが下降し始めるととも
に、異常電圧検出回路によってアークがオフされて偏差
が正に変わるため、トーチの下降が継続してトーチが被
切断材と衝突し、トーチや被切断材を損傷させる危険が
ある。

本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされ
たもので、設定値にに対するスタンドオフのずれを迅速
に修正することができるプラズマ切断機のスタンドオフ
制御方法を提供することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

一ヒ記の目的を達成するために、本発明に係るプラズマ
切断機のスタンドオフ制御方法は、電極または電極周囲
のノズルと被切断材との間の電圧を検出し、この電圧に
基づいてトーチと前記被切断材との距離を予め定めた値
に制御するプラズマ切断機のスタンドオフ制御方法にお
いて、前記電極またはノズルと被切断材との間の電圧を
検出して基準電圧に対する偏差を求め、この偏差の大き
さに応じて前記トーチの昇降速度を大きくすることを特
徴としている。

１・−チの昇降速度は、電極または電極周囲のノズルと
被切断材との間の電圧の基準電圧に対する偏差が、予め
定めた第１の値の範囲内のときには零とし、かつ偏差が
第１の値の範囲を超えたときには、トーチの昇降速度を
直線的に増大させるとともに、偏差が予め定めた第２の
値以上のときには、１・−チの昇降速度をより大きな割
合をもって直線的に増大させるようにすることができる
。また、偏差が予め定めた第３の値を超えたときには、
１−−チを高速上昇させるようにするとよい。

〔作用〕

上記の如く構成した本発明は、電極または電極周囲のノ
ズルと被切断材との間の電圧を基準電圧と比較し、両者
の差の大きさに応じてトーチの昇降速度を大きくするた
め、トーチを所定のスタンドオフの位置に迅速に戻すこ
とができ、被切断材の切断を良好に、精度よく行うこと
ができる。

偏差が予め定めた第１の値の範囲内にある場合には、ト
ーチを昇降させないようにすると、より切断精度を良好
にすることができる。すなわち、スタンドオフの微小な
変動に対しても調整を行うようにすると、トーチが常に
上下動し、かえって切断面がギザギザとなって良好な切
断を行うことができない。そこで、スタンドオフの変動
が一定の範囲内にある場合、すなわち偏差が予め定めた
範囲内（不感帯）にある場合には、スタンドオフの調整
を行わず、良好な切断面形状が得られるようにする。

偏差が不感帯を超えた場合には、トーチ昇降速度を偏差
の大きさに比例させて大きくし、トーチを迅速に所定の
スタンドオフ位置に戻せるようにしている。また、偏差
が予め定めた第２の値を超えた場合には、トーチの昇降
速度の偏差に対する比例させる割合をより大きくし、で
きるだけ早くトーチを所定のスタンドオフになるように
し、良好な切断を行えるようにしている。しかも、偏差
が小さくなるにつれてトーチの昇降速度が小さくなるた
め、トーチのオーバシュートイを避けることができる。

なお、偏差が予め定めた第３の値を超えた場合には、プ
ラズマ切断機に異常が生じたものとしてトーチを高速上
昇させ、トーチが被切断材に接触することが防止してい
る。

〔実施例］ 本発明のプラズマ切断機のスタンドオフ制御方法の好ま
しい実施例を、添付図面に従って詳説する。

第２図は、本発明のスタンドオフ制御方法を実施例する
装置の一例を示すブロック図である。

第２図において、トランスファアーク型のプラズマ切断
機ロボットのトーチ１０は、電極１２の周囲に図示しな
い作動ガスの流路を形成するノズル１４が配置しである
。そして、電極１２は、直流型ａｔｅを介してノズル１
４と被切断材１８とに電気的に接続され、ノズル１４と
の間にパイロットアークを発生するとともに、被切断材
１８との間にメインプラズマアーク２０を発生ずるよう
になっている。一方、ノズル１４は、下端部が狭く絞ら
れており、プラズマアーク２０を絞って高温プラズマが
得られるようにしである。

また、電極１２とノズル１４とのそれぞれと被切断材１
８とは、電圧検出器２４．２６に接続しである。この電
圧検出器２４は、電極１２と被切断材１８との間の電圧
（アーク電圧）を検出し、検出電圧ｅ、を詳細を後述す
るスタンドオフ補正演算器２８に入力する。そして、電
圧検出器２６は、ノズル１４と被切断材１８との間の電
圧（アーク電圧）を検出し、検出電圧ｅ２をスタンドオ
フ補正演算器２８に入力する。

スタンドオフ補正演算器２８は、人力してきた検出電圧
ｅｌ　　ｅ２からトーチの昇降方向、昇降速度、昇降量
等の補正量を求め、出力側に接続しである制御装置３０
に入力する。制御装置３０は、スタンドオフ補正演算器
２８からの制御量に基づき、ロボットのトーチ１０を昇
降させる昇降装置３２を駆動してトーチ１ｏを昇降させ
、トーチ１０と被切断材１８との間隔が所定のスタンド
オフＨ０となるようにする。

スタンドオフ補正演算器２８は、第３図に示したように
、電極消耗・スタンドオフ検出器３４と基準電圧演算設
定器３６と、これらの信号が入力する偏差演算器３７と
、この偏差演算器３７が出力した偏差に基づいて、トー
チ１０を昇降させる補正量を求める補正量演算器３８と
からなっている。

電極消耗・スタンドオフ検出器３４は、電圧検出器２４
．２６が出力する検出電圧ｅｌ、ｅＺを受けて後述する
ように電極１２の消耗量を求め、消耗量に応じた電極消
耗信号を図示しない表示装置等に出力するとともに、実
際のスタンドオフ量Ｈを求めてそれに応じたスタンドオ
フ信号ＥＨを減算器３７に出力する。また、基準電圧演
算設定器３６は、被切断材１８の板厚、材質、ノズル径
、目標スタンドオフＨ０、切断速度データに基づいた基
準電圧Ｅ。を偏差演算器３７に出力する。

補正量演算器３８は、第１図に示したようなテーブルを
有し、偏差演算器３７が出力するスタンドオフ信号Ｅ、
の基準電圧Ｅ。に対する偏差ΔＥに基づいて、トーチ１
０をスタンドオフＨｏに戻すための、偏差ΔＥに応じた
大きさの補正電圧ΔＥ　１１を制御装置３０に出力する
。すなわち、補正量演算器３８が有するテーブルは、予
め定めた第１の偏差の範囲±ΔＥ、においでは、補正信
号を出力せず、偏差ΔＥが＋ΔＥｌと＋ΔＥ２との間に
あると、偏差が大きくなるに従いトーチ１０の上昇速度
を大きくするような補正電圧へＥｕを出力し、偏差ΔＥ
が　−ΔＥ、と一ΔＥ２との間にあると、偏差が大きく
なるに従いトーチ１０の下降速度を大きくするような補
正電圧−ΔＥ、を出力するようになっている。さらに、
テーブルは、偏差ΔＥが±ΔＥ２を超えると、偏差の大
きさに応じたトーチ１０の上昇または下降速度の変化の
割合をより大きくした補正電圧を出力する。そして、偏
差へＥが予め定めた第３の値±ΔＥ３を超０ えると、装置ムこ異常が生したものとして、１−−チ１
０を急、速に上昇させるようになっている。

上記の如く構成した装置によるプラズマ切断機のスタン
ドオフ制御方法１よ次の如くして行われる。

アーク電圧ｅば、スタンドオフＨの値によって変化し、
スタンドオフ１１との間に、第４回のような比例関係が
ある。そして、設定するスタンドオフＨ、ば、被切断材
１８の材質、厚さ、トーチ１０のノズル１４の径、切断
速度■によって定まる。

そこで、スタンドオフ補正演算器２８の基準電圧演算設
定器３Ｇは、被切断材ＩＥＩの材質、厚さ、ｌ・−チ１
０のノズル１４の径、目標スタンドオフＩ］。等が図示
しないキーボードや操作パネル等から入力されると、標
準切断速度■。（例えば、１ｍ　／　ｓ　）に対するア
ーク電圧ｅ。を次の（１）式により演算し、これを基準
電圧Ｅ。とじて減算器３７に出力する・ ｃ　ｏ　＝　（Ｋｓ＋＋Ｋｓｚ　（Ｉ（ｏ　＋Ｋｔ　＞
　ｌ　ＸＫ）１（１） ただし、ここにＫＳＩ、ＫＳ２、Ｋｔ、Ｋｕは、被切断
材１８の材質や厚さによって予め実験等により求められ
、第５図に示したように、テーブルとして補正量演算器
３８内に格納しである。

なお、基準電圧演算設定器３６は、内部に被切断材１８
の材質、板厚、ノズル径、切断速度の各値によって定ま
るスタンドオフに対応した第４図のようなテーブルを格
納しておき、被切断材１８の材質やノズル径などと設定
スタンドオフＨ８とが操作パネル等によって与えられた
ときに、被切断材１８の材質やノズル径の値などに対応
したテーブルを選択し、入力されたスタンドオフＨｏに
よって定まる基準電圧Ｅ。を出力するようにしてもよい
。

制御装置３０には、被切断材１８を切断する形状、切断
速度等の切断プログラムが与えられており、電極１２−
被切断材１８間がアーク電圧ｅ。

となる位置までロボッＩ−の昇降装置３２を介してトー
チ１０を下陣させ、切断を開始する。

一方、電圧検出器２４．２６は、切断が開始されると、
１０ｍｓ等の所定時間毎に電極１２−被切断材１８間検
出電圧ｃ１と１・−チ１〇−被切断材１８間検出電圧ｅ
２とを検出し、スタンドオフ補正演算器２８の電極消耗
・スタンドオフ検出器３４に入力する。

ところで、電圧検出器２４．２６が検出したアーク電圧
ｅｌ、ｅ２ば、スタンドオフ■］。を一定に保持したと
しても、電極が消耗することにより、第６図のように変
化する。そこで、電極消耗・スタンドオフ検出器３４は
、次の（２）式から電極消耗成分Ｅｐと、（３）式によ
りスタンドオフ成分Ｅｓを演算し、これらの式から求め
た電極１２の消耗量を求め、消耗量に応じた電極消耗信
号を図示しない表示装置等に出力して表示させる。

Ｅ　ｐ　＝　ａ　ｅ　ｌ＋　ｂ　ｅ　２　−−−−−−
−−−（２）Ｅ　ｓ　＝　ａ　’　ｅ　、　十ｂ　’　
ｅ　ｚ　　−−−−−−−−（３］そして、電圧検出器
２４は、検出した検出電圧ｅ１に、第６図に示した電極
１２の消耗による電圧の上昇分を除去したスタンドオフ
信号Ｅ、を偏差演算器３７に出力する。

基準電圧演算設定器３６には、トーチ１０が切断を開始
すると、図示しない切断速度検出器が検出した切断速度
、または制御装置３０から切断速度データ（切断速度■
）が人力してくる。そして、基準電圧演算設定器３６は
、切断速度■が入力してくると、切断速度Ｖに応じてア
ーク電圧Ｃ０を補正して基準電圧Ｅ。とじて出力する。

すなわち、アーク電圧ｅは、切断速度■との間に第７図
のような関係を有しており、切断速度Ｖが大きくなると
低下し、切断速度■が小さくなると上屑する。このため
、トーチ１０が設定スタンドオフＨ６に保持されている
としても、切断速度Ｖが変化するよ、偏差演算器３７が
出力する偏差が大きくなり、補正量演算器３８がトーチ
１０を昇降させるための補正信号を出力し、トーチ１０
がスタンドオフＨ，からずれ、切断形状を悪化させる。

そこで、基準電圧演算設定器３６は、被切断材１８の材
質、板厚、ノズル径、スタンドオフＨ、の各稙に対応し
て格納しである第７図のテーブルから、スタンドオフＨ
８に対応して求められたアーク電圧ｅの切断速度■の変
化に対する補正４ 電圧ΔｅＶを求め、基準電圧Ｅ。を Ｅ、””ｅ、±Δｅｖ　　　−＝−−−−−−（４）の
ように演算して偏差演算器３７に出力する。すなわち、
切断速度が基準より遅くなった場合に、ｅｏから電圧の
上昇分Δｅνを減算した値を基準電圧Ｅ。とじて出力し
、切断速度が基準より速くなった場合に、ｅｏに電圧の
低下分Δｅｖを加えた値を基準電圧Ｅ０として出力する
。ただし、切断速度■がある値、例えば２　ｍ　／　ｓ
を超えた場合には、補正量Δｅｖが一定となる。なお、
この切断速度Ｖによる基準電圧Ｅ０の補正は、次の演算
によって行ってもよい。

０〈Ｖ≦Ｋｖ２のとき、 Ｅｏ　＝ｅｏ　　Ｉ’（Ｖｌｘ　（ｖ　　１　）　　’
−”−’−”−−−−（５）Ｖ＞Ｋｖ□のとき、 ＥＯ＝ｅｏ　−ＫＶＩＸ　（Ｋｖｚ−１）　　−一−−
−−−（６）ここに、Ｋｖ、、Ｋｖ□は、第５図に示し
た補正係数である。

偏差演算器３７は、電極消耗・スタンドオフ検出器３４
が出力したスタンドオフ信号ＥＨの基準電圧Ｅ。に対す
る偏差ΔＥを求め、補正量演算器３８に出力する。すな
わち、偏差演算器３７は、トーチ１０のスタンドオフ量
が設定値Ｈ８より大きくなって、スタンドオフ信号Ｅ、
が基準電圧Ｅ。より大きな場合には、スタンドオフ信号
Ｅ、の大きさに応した正の偏差＋八Ｅを出力し、逆の場
合には負の偏差−ΔＥを出力する。

補正量演算器３８は、第１図に示したテーブルに基づい
て、入力してきた偏差へＥに対応してトーチ１０をスタ
ンドオフＨ６に急速に戻すための補正電圧へＥ□を制御
装置３０に出力する。そして、制御装置３０は、補正電
圧ΔＥｌｌを受けると、トーチ１０の昇降速度とトーチ
１０の昇降量とを求め、昇降装置３２を駆動してΔＥ　
Ｉ＋に応した速度でトーチ１０昇降させ、昇降設定スタ
ンドオフＨ０に戻す。

このように、実施例においては、電極１２−被切断材１
８間の検出電圧ｅ、の基準電圧Ｅｏに対する偏差へＥの
大きさに応じてトーチ１０の昇降速度を大きくするため
、トーチ１０が設定スタンドオフＨ６からずれた場合に
、速やかにスタンドオフＨ，に戻され、良好な切断を行
うことができる。しかも、偏差へＥの小さい部分に補正
信号を出力しない不惑帯を設けているため、設定スタン
ドオフＨ８近辺におけるトーチ１０の不安定な変動を防
止でき、切断面を良好にすることができる。

さらに、実施例においては、電極１２の消耗によるアー
ク電圧の変化と、切断速度■の変化にたいするアーク電
圧の変化とを補正しているため、より良好な切断を行う
ことができる。また、トーチ１０の昇降速度の変化の割
合を、偏差ΔＥの小さな部分で小さくしているため、ト
ーチ１０のオーバーシュートを防（ことができる。

なお、前記実施例においては、アーク電圧として電極１
２−被切断材１８間検出電圧ｅ、を用いてスタンドオフ
Ｈ６を制御する場合について説明したが、ノズル１４−
被切断材１８間の検出電圧ｅ２を利用してスタンドオフ
Ｈ８の制御を行ってもよい。

第８図は、他の実施例を説明するフローチャー　７ トである。

スタンドオフ補正演算器２８の基準電圧演算設定器３６
には、第３図の破線に示したように、電圧検出器２４．
２６による検出電圧ｅｌｓｅ２が入力するようになって
いる。そして、基準電圧演算設定器３６は、入力してき
た検出電圧ｅ、または検出電圧ｅ２に基づいて基準電圧
Ｅ。を求めるようになっている。

すなわち、制御装置３０は、切断開始の命令が与えられ
ると、トーチ１０を被切断材１８から所定の高さまで下
條させる（第４図ステップ５０）。

トーチ１０が下降して所定の高さに達するとリミットス
イッチ（図示せず）と作動しくステップ５２）、トーチ
１０が所定の高さに達したことが検知される。その後、
制御装置３０は、トーチ１０の下降速度を落としてトー
チ１０をピアス高さにし、ピシングをする（ステップ５
４．５６）。そして、制御装置３０は、ピアシングが終
了すると、トーチ１０をさらに下降させ、切断高さにし
て切断を開始する（ステップ５８．６０）。

８ この切断高さ、すなわち設定スタンドオフＨ８は、前記
したように被切断材１８の材質、厚さ、１〜−チ１０の
ノズル１４の径等によって異なり、予め実験などによっ
て求めた値がキーボードや操作パネル等から制御装置３
０に与えである。

トーチ１０がスタンドオフ■］。に保たれて切断が開始
されると、電圧検出器２４．２６は、所定の時間（例え
は、０．１秒毎）に電圧を検出し、検出電圧ｅ、　　ｅ
２を基準電圧演算設定器３６と電極消耗・スタンドオフ
検出器３４とに入力する。

基準電圧演算設定器３６は、電圧検出器２４．２６から
入力してくる最初の数個（例えば３個）の検出電圧ｅ、
または検出電圧Ｃ２を読み込め（ステップ６２）、これ
らの平均値を求めて基準電圧Ｅｏとして出力する（ステ
ップ６４）。

そして、基準電圧演算設定器３６は、切断が進行するに
伴い、前記した切断速度■の変化に対する補正をした基
準電圧Ｅ。を出力する（ステップ６８）。一方、電極消
耗・スタンドオフ検出器３４は、前記したと同様に、電
極１２の消耗による補正をしたスタンドオフ信号ＥＨを
偏差演算器３７に出力する。以下、前記実施例と同様に
して切断を行い、切断が終了すると、トーチ１０を上昇
させる（ステップ゛１Ｏ１７２）。

このように、切断開始時のアーク電圧を基準電圧Ｅ。と
すると、電極の消耗による影響を除去できるとともに、
基準電圧Ｅ。の設定が容易となる。

なお、前記実施例においては、Ｉ・ランスファアク型の
プラズマ切断機について説明したが、プラズマ切断機は
ノン１−ランスファアーク型のであってもよい。また、
前記実施例においては、プラズマ切断機について説明し
たが、プラズマ溶接機についても適用することができる
。そして、前記実施例においては、補正量演算器３８の
有するテブルが、原点を中心とした点対称である場合に
ついて説明したが、点対称にする必要はなく、特に−八
Ｅ３の絶対値は→−ΔＥ３の絶対値より小さくして、ト
ーチ１０が被切断＋Ｊ’　］、　８に接触するのを確実
に防止することが望ましい。そして、第１図に示したテ
ーブルの±ΔＥ１、±ΔＥ　２　、±ΔＥ３および各線
分の傾斜は、実験等により適宜に決定することができる
。

〔発明の効果１ 以上に説明したように、本発明によれば、電極または電
極周囲のノズルと被切断材との間の電圧を基準電圧と比
較し、両者の差の大きさに応してトーチの昇降速度を大
きくするため、トーチを所定のスタンドオフの位置に迅
速に戻すことができ、スタンドオフのずれを迅速に修正
することができて、被切断材の切断を良好に、精度よく
行うことができる。

また、偏差が予め定めた第１の値の範囲内にある場合に
は、トーチを昇降させないようにすると、より切断精度
を良好にすることができる。すなわち、スタンドオフの
微小な変動に対しても調整を行うようにすると、トーチ
が常に上下動し、かえって切断面がギザギザとなって良
好な切断を行うことができない。そこで、スタンドオフ
の変動が一定の範囲内にある場合、すなわち偏差が予め
定めた範囲内（不感帯）にある場合には、スタンド１ オフの調整を行わず、良好な切断面形状が得られるよう
にする。

偏差が不感帯を超えた場合には、１・−チ昇降速度を偏
差の大きさに比例させて大きくし、トーチを迅速に所定
のスタンドオフ位置に戻せるようにしている。また、偏
差が予め定めた第２の値を超えた場合には、トーチの昇
降速度の偏差に対する比例させる割合をより大きくし、
できるだけ早くトーチを所定のスタンドオフになるよう
にし、良好な切断を行えるようにしている。しかも、偏
差が小さくなるにつれてトーチの昇降速度が小さくなる
ため、Ｉ・−チのオーバシコ、−１−イを避けることが
できる。なお、偏差が予め定めた第３の値を超えた場合
には、プラズマ切断機に異常が生したものとしてトーチ
を高速上昇させ、ているため、トーチが被切断材に接触
することが防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るプラズマ切断機のスタン
ドオフ制御方法を説明する偏差とトーチの昇降速度との
関係を示す図、第２図は実施例の２ 方法を実施するプラズマ切断装置のブロック図、第３図
は前記装置のスタンドオフ補正演算器の詳細説明図、第
４図はスタンドオフ量とアーク電圧との関係を示す図、
第５図はスタンドオフ補正演算器の基準電圧演算設定器
がアーク電圧を演算するためのテーブルの一例を示す図
、第６回は電極の消耗度とアーク電圧との関係を示す図
、第７図は切断速度とアーク電圧との関係を示す図、第
８図は基準電圧を設定する方法の他の実施例を説明する
フローチャートである。 １０−−−−）−チ、１２−−一電極、１４　−−−−
−ツスル、１８−−−−−被切断材、２０−・−プラズ
マアーム２４．２６−＝−電圧検出器、２８−・−スタ
ンドオフ補正演算器、３０−−−−一制御装置、３２−
−−−ｍ−昇降装置、３４−−−−−一電極消耗・スタ
ンドオフ検出器、３６−−−−−−基準電圧演算設定器
、３８　−−−−一補正量演算器。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）電極または電極周囲のノズルと被切断材との間の
   電圧を検出し、この電圧に基づいてトーチと前記被切断
   材との距離を予め定めた値に制御するプラズマ切断機の
   スタンドオフ制御方法において、前記電極またはノズル
   と被切断材との間の電圧を検出して基準電圧に対する偏
   差を求め、この偏差の大きさに応じて前記トーチの昇降
   速度を大きくすることを特徴とするプラズマ切断機のス
   タンドオフ制御方法。
2. （２）前記トーチの昇降速度は、前記偏差が予め定めた
   第１の値の範囲内のときには零とし、かつ前記偏差が前
   記第１の値の範囲を超えたときには、前記トーチの昇降
   速度を直線的に増大させるとともに、前記偏差が予め定
   めた第２の値以上のときには、前記トーチの昇降速度を
   より大きな割合をもって直線的に増大させることを特徴
   とする請求項１に記載のプラズマ切断機のスタンドオフ
   制御方法。
3. （３）前記偏差が予め定めた第３の値を超えたときには
   、前記トーチを高速上昇させることを特徴とする請求項
   ２に記載のプラズマ切断機のスタンドオフ制御方法。