JPH0330127B2 - - Google Patents
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- JPH0330127B2 JPH0330127B2 JP60012947A JP1294785A JPH0330127B2 JP H0330127 B2 JPH0330127 B2 JP H0330127B2 JP 60012947 A JP60012947 A JP 60012947A JP 1294785 A JP1294785 A JP 1294785A JP H0330127 B2 JPH0330127 B2 JP H0330127B2
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Landscapes
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Description
〈技術分野〉
本発明はカラー液晶表示装置に関し、特にその
カラー表示用電極構造に関するものである。 〈従来技術〉 液晶パネル構造が比較的簡単でかつフルカラー
表示が可能でありまたパネルに用いているガラス
基板厚に起因する表示の色ずれがほとんどない表
示品位の良好なカラー液晶表示装置として、液晶
パネルの内部に多色カラーフイルター層を整列配
置した液晶表示装置が既に商品化されている。こ
のうち、代表的なカラー液晶表示装置のパネル構
造を第２図に示す。相対する２枚のガラス基板１
の対向面上にマトリツクス電極を構成する信号側
透明電極２と走査側透明電極２′が形成されその
上に配向層３がコートされている。信号側透明電
極２上には重畳して赤、緑、青の三原色カラーフ
イルター層４，４′，４″が層設され、また両ガラ
ス基板１の配向層３間にはツイステツドネマテイ
ツク液晶５が介設され、電界印加に応答した液晶
分子の配向変換に基く光学効果によりカラー表示
が実行される。ガラス基板１の外方には液晶分子
の配向変換を顕視化する偏光板６が偏光方向を平
行位にして配置されている。７は偏光方向、８は
透明電極２，２′に接続される電源、９は背面側
に設置された白熱灯、螢光灯、EL発光灯等の光
源、１０は観測者を示す。 第２図に示すパネル構造では、透明電極２上
に、カラーフイルター層４，４′，４″が形成され
ているが、この構造では第３図に印加電圧対光透
過率特性として示す如くカラーフイルター層４，
４′，４″での電圧降下により特性曲線が11から12
に変化し閾値電圧Vthが、高くなるという問題が
ある。尚、図中の曲線11はカラーフイルター層が
ない場合、12はカラーフイルター層がある場合の
印加電圧対光透過率特性曲線である。 液晶を用いたXYマトリツクス表示装置では、
大容量の情報を表示するためには、必然的に電極
数が増加する。この場合、信号側電極のみならず
走査側電極も増加する。そのため、一定フレーム
周波数内で１本の走査側電極に割り当てられる動
作期間が短縮されることになり表示コントラスト
は低下する。 ところで、大容量の情報を表示可能なXYマト
リツクス液晶パネルを駆動する方法として次の２
つの代表的な駆動方法が考えられる。 (1) 一方の基板面上でXY方向に交差させた各電
極の交点にスイツチング素子を付加したアクテ
イブ・マトリツクス法 (2) 電圧オン・オフ時に、液晶に印加される実効
電圧の比（動作マージン）を最大にするように
バイアス電圧を最適化する電圧平均化法。 上記(1)の方法では、実質的なスタテイツク駆動
ができ、オン時に充分な電圧が印加できるため、
良好な表示コントラストが得られる反面XY電極
の交点にスイツチング素子として薄膜トランジス
タを形成することから従来の液晶パネルに比較し
て工程が極めて繁雑になり、また均一な特性を有
するスイツチング素子を作製することが困難であ
るという問題がある。一方、(2)の方法では走査す
る電極数Ｎが増加するとオン・オフ時に液晶に印
加される実効電圧の比
カラー表示用電極構造に関するものである。 〈従来技術〉 液晶パネル構造が比較的簡単でかつフルカラー
表示が可能でありまたパネルに用いているガラス
基板厚に起因する表示の色ずれがほとんどない表
示品位の良好なカラー液晶表示装置として、液晶
パネルの内部に多色カラーフイルター層を整列配
置した液晶表示装置が既に商品化されている。こ
のうち、代表的なカラー液晶表示装置のパネル構
造を第２図に示す。相対する２枚のガラス基板１
の対向面上にマトリツクス電極を構成する信号側
透明電極２と走査側透明電極２′が形成されその
上に配向層３がコートされている。信号側透明電
極２上には重畳して赤、緑、青の三原色カラーフ
イルター層４，４′，４″が層設され、また両ガラ
ス基板１の配向層３間にはツイステツドネマテイ
ツク液晶５が介設され、電界印加に応答した液晶
分子の配向変換に基く光学効果によりカラー表示
が実行される。ガラス基板１の外方には液晶分子
の配向変換を顕視化する偏光板６が偏光方向を平
行位にして配置されている。７は偏光方向、８は
透明電極２，２′に接続される電源、９は背面側
に設置された白熱灯、螢光灯、EL発光灯等の光
源、１０は観測者を示す。 第２図に示すパネル構造では、透明電極２上
に、カラーフイルター層４，４′，４″が形成され
ているが、この構造では第３図に印加電圧対光透
過率特性として示す如くカラーフイルター層４，
４′，４″での電圧降下により特性曲線が11から12
に変化し閾値電圧Vthが、高くなるという問題が
ある。尚、図中の曲線11はカラーフイルター層が
ない場合、12はカラーフイルター層がある場合の
印加電圧対光透過率特性曲線である。 液晶を用いたXYマトリツクス表示装置では、
大容量の情報を表示するためには、必然的に電極
数が増加する。この場合、信号側電極のみならず
走査側電極も増加する。そのため、一定フレーム
周波数内で１本の走査側電極に割り当てられる動
作期間が短縮されることになり表示コントラスト
は低下する。 ところで、大容量の情報を表示可能なXYマト
リツクス液晶パネルを駆動する方法として次の２
つの代表的な駆動方法が考えられる。 (1) 一方の基板面上でXY方向に交差させた各電
極の交点にスイツチング素子を付加したアクテ
イブ・マトリツクス法 (2) 電圧オン・オフ時に、液晶に印加される実効
電圧の比（動作マージン）を最大にするように
バイアス電圧を最適化する電圧平均化法。 上記(1)の方法では、実質的なスタテイツク駆動
ができ、オン時に充分な電圧が印加できるため、
良好な表示コントラストが得られる反面XY電極
の交点にスイツチング素子として薄膜トランジス
タを形成することから従来の液晶パネルに比較し
て工程が極めて繁雑になり、また均一な特性を有
するスイツチング素子を作製することが困難であ
るという問題がある。一方、(2)の方法では走査す
る電極数Ｎが増加するとオン・オフ時に液晶に印
加される実効電圧の比
〔ジ酸無水物〕
【式】
【式】
コートした後、約200℃で１時間焼成を行ない
第５図(B)に示す如く保護膜１１を得る。この保護
膜１１上にイオンプレーテイング法で第５図(C)に
示す如く透明導電膜２として例えば酸化インジウ
ムを蒸着する。この場合の蒸着条件は基板温度
200℃、真空度４×10-4torr（O2リーク）膜厚2000
〜3000Å、速度〜５Å、面抵抗20Ω以下に設定し
た。この透明導電膜は次のような工程を通してパ
ターン化される。即ち、フオトレジスト１２であ
るAZ1400−31（シユプレイ社製）をスピンナーで
第５図(D)に示す如くコートする。このフオトレジ
ストを90℃で25分間プリベークした後第５図(E)に
示す如く所定のマスク１３を用いて露光する。次
に、AZデイベロツパー：水＝１：１の現像液を
用いて現像を行ない第５図(F)に示すようなレジス
ト電極パターン１４を得る。その後、140℃で30
分間ポストベークを行なつた後、HCl−FeCl3系
のエツチヤント液を用いて第５図(G)に示すように
透明導電膜２のエツチヤントを行なう。透明導電
膜２のエツチングが完了した後レジストの剥離を
アセトンの溶媒のもとで、超音波洗浄により行な
つて第５図(H)に示す如くマトリツクス電極構造の
一方の電極群となる透明電極２を得る。 以上の工程により得られた電極構造を有するガ
ラス基板１を液晶表示装置の一方の液晶パネル基
板とし、他方の液晶パネル基板を第２図に示すよ
うに透明電極２′の形成されたガラス基板とし、
透明電極２，２′を直交配列させて両ガラス基板
１を対向させる。透明電極２，２′表面には第２
図同様に液晶分子配向層３を層設し、またツイス
テツドネマテイツク配向された液晶５を封入して
液晶パネルを構成する。両ガラス基板１に形成さ
れた透明電極２，２′でマトリツクス電極構造が
形成され、マトリツクスの各交点に対応して赤、
緑、青のカラーフイルター層４，４′，４″が順次
正規配列されることとなる。従つて、透明電極
２，２′を選択して電圧を印加することによりマ
トリツクス型のフルカラー表示が実行される。こ
の場合カラーフイルター層４，４′，４″は透明電
極２とガラス基板１の間に介在しており、液晶５
に印加される電界の外に位置するため、液晶に印
加される実効電界強度を低下することがなく閾値
特性をあげることもない。電界が印加された部分
の液晶５は液晶分子が配向変換され、これに基く
光学効果が液晶パネルの外部に設けられた偏光板
によつて顕視化される。 カラーフイルター４，４′，４″と透明電極２間
の保護膜１１は下地層に対して剥離することなく
強固に密着し、カラーフイルター層４，４′，
４″を被覆する。またこの上に形成される透明電
極２はパターニングが容易で高精度の成形体とな
る。 〈発明の効果〉 以上詳説した如く、カラーフイルター層の上部
に200℃程度の加熱で完全にポリイミド化するポ
リシリコーンイミド膜を設け、さらにその膜上に
イオンプレーテイング法で透明導電膜を設けパタ
ーン電極を形成することにより、カラーフイルタ
ー層による液晶への印加電圧の降下が解消される
と共に高デユーテイー駆動に必要な抵抗値の低い
透明電極を形成することが可能となり、カラーフ
イルター層のクラツクやハガレがなくなつた。こ
のようなカラー表示用電極構造により、液晶層に
効率よく電圧が印加され表示コントラストの優れ
た均一なフルカラー表示が行なわれる。
第５図(B)に示す如く保護膜１１を得る。この保護
膜１１上にイオンプレーテイング法で第５図(C)に
示す如く透明導電膜２として例えば酸化インジウ
ムを蒸着する。この場合の蒸着条件は基板温度
200℃、真空度４×10-4torr（O2リーク）膜厚2000
〜3000Å、速度〜５Å、面抵抗20Ω以下に設定し
た。この透明導電膜は次のような工程を通してパ
ターン化される。即ち、フオトレジスト１２であ
るAZ1400−31（シユプレイ社製）をスピンナーで
第５図(D)に示す如くコートする。このフオトレジ
ストを90℃で25分間プリベークした後第５図(E)に
示す如く所定のマスク１３を用いて露光する。次
に、AZデイベロツパー：水＝１：１の現像液を
用いて現像を行ない第５図(F)に示すようなレジス
ト電極パターン１４を得る。その後、140℃で30
分間ポストベークを行なつた後、HCl−FeCl3系
のエツチヤント液を用いて第５図(G)に示すように
透明導電膜２のエツチヤントを行なう。透明導電
膜２のエツチングが完了した後レジストの剥離を
アセトンの溶媒のもとで、超音波洗浄により行な
つて第５図(H)に示す如くマトリツクス電極構造の
一方の電極群となる透明電極２を得る。 以上の工程により得られた電極構造を有するガ
ラス基板１を液晶表示装置の一方の液晶パネル基
板とし、他方の液晶パネル基板を第２図に示すよ
うに透明電極２′の形成されたガラス基板とし、
透明電極２，２′を直交配列させて両ガラス基板
１を対向させる。透明電極２，２′表面には第２
図同様に液晶分子配向層３を層設し、またツイス
テツドネマテイツク配向された液晶５を封入して
液晶パネルを構成する。両ガラス基板１に形成さ
れた透明電極２，２′でマトリツクス電極構造が
形成され、マトリツクスの各交点に対応して赤、
緑、青のカラーフイルター層４，４′，４″が順次
正規配列されることとなる。従つて、透明電極
２，２′を選択して電圧を印加することによりマ
トリツクス型のフルカラー表示が実行される。こ
の場合カラーフイルター層４，４′，４″は透明電
極２とガラス基板１の間に介在しており、液晶５
に印加される電界の外に位置するため、液晶に印
加される実効電界強度を低下することがなく閾値
特性をあげることもない。電界が印加された部分
の液晶５は液晶分子が配向変換され、これに基く
光学効果が液晶パネルの外部に設けられた偏光板
によつて顕視化される。 カラーフイルター４，４′，４″と透明電極２間
の保護膜１１は下地層に対して剥離することなく
強固に密着し、カラーフイルター層４，４′，
４″を被覆する。またこの上に形成される透明電
極２はパターニングが容易で高精度の成形体とな
る。 〈発明の効果〉 以上詳説した如く、カラーフイルター層の上部
に200℃程度の加熱で完全にポリイミド化するポ
リシリコーンイミド膜を設け、さらにその膜上に
イオンプレーテイング法で透明導電膜を設けパタ
ーン電極を形成することにより、カラーフイルタ
ー層による液晶への印加電圧の降下が解消される
と共に高デユーテイー駆動に必要な抵抗値の低い
透明電極を形成することが可能となり、カラーフ
イルター層のクラツクやハガレがなくなつた。こ
のようなカラー表示用電極構造により、液晶層に
効率よく電圧が印加され表示コントラストの優れ
た均一なフルカラー表示が行なわれる。
第１図は本発明の１実施例の説明に供する電極
構造の要部構成図である。第２図は従来のカラー
液晶表示装置の構成図である。第３図はカラーフ
イルター層を設けることにより閾電圧が高くなる
ことを示す透過率−電圧特性図である。第４図は
カラーフイルター層の上に透明電極を設けた電極
構造を説明する断面図である。第５図は第１図に
示すカラーフイルター側基板の製作工程図であ
る。 １……ガラス基板、２，２′……透明電極、３
……配向層、４，４′，４″……カラーフイルター
層（赤、緑、青）、５……液晶、６……偏光板、
７……偏光方向、８……電源、９……白熱灯、１
０……観測者、１１……保護膜。
構造の要部構成図である。第２図は従来のカラー
液晶表示装置の構成図である。第３図はカラーフ
イルター層を設けることにより閾電圧が高くなる
ことを示す透過率−電圧特性図である。第４図は
カラーフイルター層の上に透明電極を設けた電極
構造を説明する断面図である。第５図は第１図に
示すカラーフイルター側基板の製作工程図であ
る。 １……ガラス基板、２，２′……透明電極、３
……配向層、４，４′，４″……カラーフイルター
層（赤、緑、青）、５……液晶、６……偏光板、
７……偏光方向、８……電源、９……白熱灯、１
０……観測者、１１……保護膜。
Claims (1)
- １ 液晶表示パネルを構成する基板内面にカラー
フイルター層を配置するとともに該カラーフイル
ター層を被覆するポリシリコーンイミド層を保護
層として設け、該保護層上に透明導電膜の電極層
を形成したことを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60012947A JPS61170779A (ja) | 1985-01-24 | 1985-01-24 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60012947A JPS61170779A (ja) | 1985-01-24 | 1985-01-24 | 液晶表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61170779A JPS61170779A (ja) | 1986-08-01 |
| JPH0330127B2 true JPH0330127B2 (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=11819472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60012947A Granted JPS61170779A (ja) | 1985-01-24 | 1985-01-24 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61170779A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2551574B2 (ja) * | 1987-03-11 | 1996-11-06 | 株式会社日立製作所 | 液晶表示装置 |
-
1985
- 1985-01-24 JP JP60012947A patent/JPS61170779A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61170779A (ja) | 1986-08-01 |
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