JPH0330256U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0330256U JPH0330256U JP8941389U JP8941389U JPH0330256U JP H0330256 U JPH0330256 U JP H0330256U JP 8941389 U JP8941389 U JP 8941389U JP 8941389 U JP8941389 U JP 8941389U JP H0330256 U JPH0330256 U JP H0330256U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- vacuum chamber
- slit
- slit hole
- generating means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の全体を示す一実施態様の図で
ある。第２図は本考案の効果を示す図である。 １……レーザ光発生手段、２……反射鏡Ａ、３
……反射鏡Ｂ、４……窓ガラス、５……スリツト
板、６……スリツト孔、７……真空チヤンバー、
８……基板又はターゲツト、９……レーザ光束通
過跡。
ある。第２図は本考案の効果を示す図である。 １……レーザ光発生手段、２……反射鏡Ａ、３
……反射鏡Ｂ、４……窓ガラス、５……スリツト
板、６……スリツト孔、７……真空チヤンバー、
８……基板又はターゲツト、９……レーザ光束通
過跡。
Claims (1)
- レーザ光発生手段、真空チヤンバー内へのレー
ザ光導入口、スリツト孔を有するスリツト板をこ
の順序で有し、真空チヤンバー内にレーザ光束を
導入して真空蒸着する装置において、前記スリツ
ト板のスリツト孔を移動可能に設けるとともに、
前記レーザ光発生手段と真空チヤンバー内へのレ
ーザ光束導入口との間に、前記スリツト孔の移動
に合わせてレーザ光束を移動するためのレーザ光
束移動手段を設けたことを特徴とするレーザ光導
入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8941389U JPH0330256U (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8941389U JPH0330256U (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0330256U true JPH0330256U (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=31638992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8941389U Pending JPH0330256U (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0330256U (ja) |
-
1989
- 1989-07-28 JP JP8941389U patent/JPH0330256U/ja active Pending
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