JPH0331363B2 - - Google Patents
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- JPH0331363B2 JPH0331363B2 JP4441684A JP4441684A JPH0331363B2 JP H0331363 B2 JPH0331363 B2 JP H0331363B2 JP 4441684 A JP4441684 A JP 4441684A JP 4441684 A JP4441684 A JP 4441684A JP H0331363 B2 JPH0331363 B2 JP H0331363B2
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- pattern
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
（技術分野）
本発明は、印刷配線板用フオトマスク等のパタ
ーン間隙幅の測定方式に関する。 （従来技術） 従来、印刷配線板製造工程の一過程で行なわれ
るフオトマスクの検査は自動化がなされておら
ず、作業者が、ルーペ、座標測定機等を用い目視
により多大な工数を費して検査を行なつており、
目視検査であるためフオトマスクの欠陥検出率が
低く２重、３重の検査が必要であつた。 近年印刷配線板の製造技術の向上に伴い急速に
高密度化がなされ、パターン間隙幅も微細にな
り、フオトマスクパターンの間隙幅の測定規格と
検査規格はさらに厳しくなつてきている。そのた
め従来方法は一層多大の検査工数が必要となり、
疲労による検査ミスの増大及び個人差による測定
のバラツキなどの無視できない欠点があつた。 （発明の目的） 本発明の目的は、上記欠点を除去することによ
り、自動的にかつ正確に測定できるところのフオ
トマスク等のパターン間隙幅の測定方式を提供す
ることにある。 （発明の構成） 本発明のパターン間隙測定方式は、フオトマス
ク等のパターン間隙幅の測定方式において、それ
ぞれパターン拡大処理回路を介して縦続接続され
たＮ個の画像メモリと、該画像メモリにそれぞれ
接続された消去判定回路とを備え、前記フオトマ
スク等のパターンの２値化された画像を実時間で
第１番目の前記画像メモリに記憶されると同時
に、前記パターン拡大処理回路によりその記憶さ
れた前記画像の一部を切出し各ビツトの状態の組
合せにより１ビツト拡大処理を行ないその結果を
次段の前記画像メモリへ出力する一連の前記画像
の記憶・切出し・拡大の処理を第Ｎ番目の前記画
像メモリに記憶されるまで行ない、得られたＮ個
の１ビツト毎にパターンの拡大された前記画像に
対し、前記消去判定回路により実時間でその拡大
された前記画像の一部を切出し各ビツトの状態の
組合せでパターン間隙幅の消去判定を行ない消去
と判定された場合は消去判定信号を出力させ、該
消去判定信号が第Ｘ番目の前記画像メモリより出
力された場合のパターン間隙幅をＸビツトと判定
することから構成される。 （実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。 第１図は、本発明の一実施例に用いるパターン
拡大処理過程の説明図である。１〜Ｋビツトを持
つ受光素子で構成される一次元光センサ１を受光
素子の列方向に対して垂直方向に定ピツチで移動
させながら一次元光センサ１でフオトマスクを光
学的に読取り、二値化（パターン部を“１”、間
隙部を“０”とする）した画像信号を、実時間で
Ｋビツトのシフトレジスタ２列と３ビツトシフト
レジスタで構成される第１番目の画像メモリ２−
１に記憶する。同時に２ビツト×２ビツトで二値
化された画像を切り出し、パターン拡大処理回路
３−１で処理した結果を第２番目の画像メモリ２
−２へ出力する。第２番目の画像メモリ２−２に
は、パターンの１ビツト拡大された画像が記憶さ
れている。さらに第２番目の画像メモリ２−２に
ついても同様に２ビツト×２ビツトで画像の切出
しを行ない、パターン拡大処理回路３−２で処理
し、さらに１ビツト、パターンを拡大して第３番
目の画像メモリ２−３へ出力する。以下同様の処
理をＮ回繰返し、第Ｎ番目の画像メモリ２−Ｎに
記憶するまで行なう。 この処理により、被検査パターンの画像からＮ
ビツトパターン拡大した画像まで、１ビツトパタ
ーン拡大される毎の画像すべて実時間で記憶する
ことができ、かつ実時間で読出すことが可能とな
る。 第２図及び第３図はそれぞれパターン拡大処理
回路３−１，３−２，…の一例を示す回路図であ
る。第１図の画像メモリ２−１〜２−Ｎより切出
された４個の画像の単位ビツト４−１〜４−４に
対して、いずれか１個のビツトがパターン部であ
る場合に、パターン拡大処理回路３ａは拡大され
たパターン信号を次段に出力する。 しかしながらすべてのパターン拡大操作に第２
図のパターン拡大処理回路３ａを適用すると第１
表の(1)、(2)に示すように水平・垂直パターンに対
しては１ビツトずつパターン拡大されるが、斜め
45°のパターンに対しては、そのパターン拡大割
合が√２ビツトずつとなり水平・垂直パターンよ
りも急速にパターン拡大が行なわれ不具合が生ず
る。
ーン間隙幅の測定方式に関する。 （従来技術） 従来、印刷配線板製造工程の一過程で行なわれ
るフオトマスクの検査は自動化がなされておら
ず、作業者が、ルーペ、座標測定機等を用い目視
により多大な工数を費して検査を行なつており、
目視検査であるためフオトマスクの欠陥検出率が
低く２重、３重の検査が必要であつた。 近年印刷配線板の製造技術の向上に伴い急速に
高密度化がなされ、パターン間隙幅も微細にな
り、フオトマスクパターンの間隙幅の測定規格と
検査規格はさらに厳しくなつてきている。そのた
め従来方法は一層多大の検査工数が必要となり、
疲労による検査ミスの増大及び個人差による測定
のバラツキなどの無視できない欠点があつた。 （発明の目的） 本発明の目的は、上記欠点を除去することによ
り、自動的にかつ正確に測定できるところのフオ
トマスク等のパターン間隙幅の測定方式を提供す
ることにある。 （発明の構成） 本発明のパターン間隙測定方式は、フオトマス
ク等のパターン間隙幅の測定方式において、それ
ぞれパターン拡大処理回路を介して縦続接続され
たＮ個の画像メモリと、該画像メモリにそれぞれ
接続された消去判定回路とを備え、前記フオトマ
スク等のパターンの２値化された画像を実時間で
第１番目の前記画像メモリに記憶されると同時
に、前記パターン拡大処理回路によりその記憶さ
れた前記画像の一部を切出し各ビツトの状態の組
合せにより１ビツト拡大処理を行ないその結果を
次段の前記画像メモリへ出力する一連の前記画像
の記憶・切出し・拡大の処理を第Ｎ番目の前記画
像メモリに記憶されるまで行ない、得られたＮ個
の１ビツト毎にパターンの拡大された前記画像に
対し、前記消去判定回路により実時間でその拡大
された前記画像の一部を切出し各ビツトの状態の
組合せでパターン間隙幅の消去判定を行ない消去
と判定された場合は消去判定信号を出力させ、該
消去判定信号が第Ｘ番目の前記画像メモリより出
力された場合のパターン間隙幅をＸビツトと判定
することから構成される。 （実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。 第１図は、本発明の一実施例に用いるパターン
拡大処理過程の説明図である。１〜Ｋビツトを持
つ受光素子で構成される一次元光センサ１を受光
素子の列方向に対して垂直方向に定ピツチで移動
させながら一次元光センサ１でフオトマスクを光
学的に読取り、二値化（パターン部を“１”、間
隙部を“０”とする）した画像信号を、実時間で
Ｋビツトのシフトレジスタ２列と３ビツトシフト
レジスタで構成される第１番目の画像メモリ２−
１に記憶する。同時に２ビツト×２ビツトで二値
化された画像を切り出し、パターン拡大処理回路
３−１で処理した結果を第２番目の画像メモリ２
−２へ出力する。第２番目の画像メモリ２−２に
は、パターンの１ビツト拡大された画像が記憶さ
れている。さらに第２番目の画像メモリ２−２に
ついても同様に２ビツト×２ビツトで画像の切出
しを行ない、パターン拡大処理回路３−２で処理
し、さらに１ビツト、パターンを拡大して第３番
目の画像メモリ２−３へ出力する。以下同様の処
理をＮ回繰返し、第Ｎ番目の画像メモリ２−Ｎに
記憶するまで行なう。 この処理により、被検査パターンの画像からＮ
ビツトパターン拡大した画像まで、１ビツトパタ
ーン拡大される毎の画像すべて実時間で記憶する
ことができ、かつ実時間で読出すことが可能とな
る。 第２図及び第３図はそれぞれパターン拡大処理
回路３−１，３−２，…の一例を示す回路図であ
る。第１図の画像メモリ２−１〜２−Ｎより切出
された４個の画像の単位ビツト４−１〜４−４に
対して、いずれか１個のビツトがパターン部であ
る場合に、パターン拡大処理回路３ａは拡大され
たパターン信号を次段に出力する。 しかしながらすべてのパターン拡大操作に第２
図のパターン拡大処理回路３ａを適用すると第１
表の(1)、(2)に示すように水平・垂直パターンに対
しては１ビツトずつパターン拡大されるが、斜め
45°のパターンに対しては、そのパターン拡大割
合が√２ビツトずつとなり水平・垂直パターンよ
りも急速にパターン拡大が行なわれ不具合が生ず
る。
【表】
（例えば、７ビツトの間隙幅を想定する。第１表
より、水平・垂直パターンの間隙幅に対しては、
７回のパターン拡大処理で間隙幅が消去されるの
に対し、斜め45°の間隙幅は５回のパターン拡大
処理で間隙幅が消去され、この回数は間隙幅を示
すビツト数が多くなればなるほど著しくなる。） 上記の不具合点を解決する手段として、第３図
のように、水平・垂直パターンに対しては１ビツ
トパターン拡大するが、斜め45°のパターンに対
してはパターン拡大を行なわないような方法をと
る。すなわち１対角線上の画像の単位ビツト４−
５，４−８のいずれかがパターン部であり、かつ
他の対角線上の画像の単位ビツト４−６，４−７
のいずれかがパターン部である場合のみ拡大され
たパターン信号を出力する斜めパターン補正拡大
処理回路３ｂを使用し水平・垂直及び斜めのパタ
ーン拡大の均一化を計る。 第１表中の(3)は、斜めパターン補正拡大処理回
路３ｂを２回目と６回目に行なつた場合の斜め
45°のパターンの拡大割合を示したもので、例え
ば７回拡大した場合には7.070となり0.070ビツト
だけ余分に拡大されたことになるがこの値は無視
できるほど小さい。 従つて７回の拡大過程の２回目と６回目を斜め
パターン補正拡大処理回路３ｂで処理するブロツ
クをＮ／７個すなわち、パターン補正拡大処理回
路３ｂを2N／７個、パターン拡大処理回路３ａ
を5N／７個接続すればＮビツトの均等のとれた
パターンの拡大を行なうことができる。 第４図は本発明の一実施例に用いる画像消去瞬
間判定の消去判定回路のブロツク図である。 画像メモリ２−１〜２−Ｎから３ビツト×３ビ
ツトで画像の一部を切出し、消去判定回路５によ
り次段のパターン拡大処理で消去されるべき間隙
幅を検出する。第５図はパターン間隙の消去瞬間
画像例６−１〜６−３であり、３ビツト×３ビツ
トで切出された画像（斜線で塗りつぶされた部分
がパターン部）は、次段のパターン拡大処理で間
隙幅が消去すると判定される。この方法により29
＝512通りのすべてのパターンに対し、各々消去
瞬間の判定処理を行なう。 上記１ビツトずつパターン拡大処理されたパタ
ーンを持つＮ個の画像メモリ２−１〜２−Ｎの
各々に消去判定回路５を接続し、Ｎ個の画像のい
ずれかに間隙の消去瞬間画像６−１〜６−３が存
在すれば、その画像メモリ２−１〜２−Ｎに接続
された消去判定回路５により消去判定信号７が出
力され次のパターン拡大処理で間隙幅が消去する
ことを検出する。 例えば、Ｘビツトの幅の間隙幅は、パターンを
Ｘ−１ビツト拡大すれば消去瞬間画像６−１〜６
−３となり、第Ｘ番目の画像メモリ２−Ｘに間隙
の消去瞬間画像６−１〜６−３が記憶され、第Ｘ
番目の画像メモリ２−Ｘに接続された消去判定回
路５により消去瞬間を検出する。 Ｘビツト幅の間隙はＸビツトのパターン拡大を
すれば消去されるため、被測定間隙幅が何ビツト
パターン拡大されて消去したかを計数し、パター
ン間隙幅を計測する。 すなわち、画像メモリ２−Ｘで切出された３ビ
ツト×３ビツトの画像で表わされる間隙がＸ回目
のパターン拡大処理で消去する場合、画像メモリ
２−Ｘに記憶されている画像を消去判定回路５に
より検出し、間隙幅がＸビツトあると測定する。 （発明の効果） 以上、詳細に説明したとおり、本発明によれ
ば、上記の構成により、パターンの実時間拡大処
理結果を利用するだけでパターン間隙幅を、正確
に、かつ短時間にしかも完全に自動的に測定する
ことができるパターン間隙幅の測定方式が得られ
る。
より、水平・垂直パターンの間隙幅に対しては、
７回のパターン拡大処理で間隙幅が消去されるの
に対し、斜め45°の間隙幅は５回のパターン拡大
処理で間隙幅が消去され、この回数は間隙幅を示
すビツト数が多くなればなるほど著しくなる。） 上記の不具合点を解決する手段として、第３図
のように、水平・垂直パターンに対しては１ビツ
トパターン拡大するが、斜め45°のパターンに対
してはパターン拡大を行なわないような方法をと
る。すなわち１対角線上の画像の単位ビツト４−
５，４−８のいずれかがパターン部であり、かつ
他の対角線上の画像の単位ビツト４−６，４−７
のいずれかがパターン部である場合のみ拡大され
たパターン信号を出力する斜めパターン補正拡大
処理回路３ｂを使用し水平・垂直及び斜めのパタ
ーン拡大の均一化を計る。 第１表中の(3)は、斜めパターン補正拡大処理回
路３ｂを２回目と６回目に行なつた場合の斜め
45°のパターンの拡大割合を示したもので、例え
ば７回拡大した場合には7.070となり0.070ビツト
だけ余分に拡大されたことになるがこの値は無視
できるほど小さい。 従つて７回の拡大過程の２回目と６回目を斜め
パターン補正拡大処理回路３ｂで処理するブロツ
クをＮ／７個すなわち、パターン補正拡大処理回
路３ｂを2N／７個、パターン拡大処理回路３ａ
を5N／７個接続すればＮビツトの均等のとれた
パターンの拡大を行なうことができる。 第４図は本発明の一実施例に用いる画像消去瞬
間判定の消去判定回路のブロツク図である。 画像メモリ２−１〜２−Ｎから３ビツト×３ビ
ツトで画像の一部を切出し、消去判定回路５によ
り次段のパターン拡大処理で消去されるべき間隙
幅を検出する。第５図はパターン間隙の消去瞬間
画像例６−１〜６−３であり、３ビツト×３ビツ
トで切出された画像（斜線で塗りつぶされた部分
がパターン部）は、次段のパターン拡大処理で間
隙幅が消去すると判定される。この方法により29
＝512通りのすべてのパターンに対し、各々消去
瞬間の判定処理を行なう。 上記１ビツトずつパターン拡大処理されたパタ
ーンを持つＮ個の画像メモリ２−１〜２−Ｎの
各々に消去判定回路５を接続し、Ｎ個の画像のい
ずれかに間隙の消去瞬間画像６−１〜６−３が存
在すれば、その画像メモリ２−１〜２−Ｎに接続
された消去判定回路５により消去判定信号７が出
力され次のパターン拡大処理で間隙幅が消去する
ことを検出する。 例えば、Ｘビツトの幅の間隙幅は、パターンを
Ｘ−１ビツト拡大すれば消去瞬間画像６−１〜６
−３となり、第Ｘ番目の画像メモリ２−Ｘに間隙
の消去瞬間画像６−１〜６−３が記憶され、第Ｘ
番目の画像メモリ２−Ｘに接続された消去判定回
路５により消去瞬間を検出する。 Ｘビツト幅の間隙はＸビツトのパターン拡大を
すれば消去されるため、被測定間隙幅が何ビツト
パターン拡大されて消去したかを計数し、パター
ン間隙幅を計測する。 すなわち、画像メモリ２−Ｘで切出された３ビ
ツト×３ビツトの画像で表わされる間隙がＸ回目
のパターン拡大処理で消去する場合、画像メモリ
２−Ｘに記憶されている画像を消去判定回路５に
より検出し、間隙幅がＸビツトあると測定する。 （発明の効果） 以上、詳細に説明したとおり、本発明によれ
ば、上記の構成により、パターンの実時間拡大処
理結果を利用するだけでパターン間隙幅を、正確
に、かつ短時間にしかも完全に自動的に測定する
ことができるパターン間隙幅の測定方式が得られ
る。
第１図は、本発明の一実施例に用いるパターン
拡大処理システムの構成を示すブロツク図。第２
図、第３図はそれぞれ第１図のパターン拡大処理
回路の一例の回路図。第４図は、本発明の一実施
例に用いる消去判定回路のブロツク図。第５図は
そのパターン間隙の消去瞬間画像例を示す図であ
る。 １……一次元光センサ、２−１〜２−Ｎ……画
像メモリ、３−１，３−２，３−３，３−Ｘ……
パターン拡大処理回路、３ａ……パターン拡大処
理回路、３ａ……斜めパターン補正拡大処理回
路、４，４−１〜４−８……画像の単位ビツト、
５……消去判定回路、６−１〜６−３……消去瞬
間画像、７……消去判定信号。
拡大処理システムの構成を示すブロツク図。第２
図、第３図はそれぞれ第１図のパターン拡大処理
回路の一例の回路図。第４図は、本発明の一実施
例に用いる消去判定回路のブロツク図。第５図は
そのパターン間隙の消去瞬間画像例を示す図であ
る。 １……一次元光センサ、２−１〜２−Ｎ……画
像メモリ、３−１，３−２，３−３，３−Ｘ……
パターン拡大処理回路、３ａ……パターン拡大処
理回路、３ａ……斜めパターン補正拡大処理回
路、４，４−１〜４−８……画像の単位ビツト、
５……消去判定回路、６−１〜６−３……消去瞬
間画像、７……消去判定信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ フオトマスク等のパターン間隙幅の測定方式
において、それぞれパターン拡大処理回路を介し
て縦続接続されたＮ個の画像メモリと、該画像メ
モリにそれぞれ接続された消去判定回路とを備
え、前記フオトマスク等のパターンの２値化され
た画像を実時間で第１番目の前記画像メモリに記
憶させると同時に、前記パターン拡大処理回路に
よりその記憶された前記画像の一部を切出し各ビ
ツトの状態の組合せにより１ビツト拡大処理を行
ないその結果を次段の前記画像メモリへ出力する
一連の前記画像の記憶・切出し・拡大の処理を第
Ｎ番目の前記画像メモリに記憶されるまで行な
い、得られたＮ個の１ビツト毎にパターンの拡大
された前記画像に対し、前記消去判定回路により
実時間でその拡大された前記画像の一部を切出し
各ビツトの状態の組合せでパターン間隙幅の消去
判定を行ない消去と判定された場合は消去判定信
号を出力させ、該消去判定信号が第Ｘ番目の前記
画像メモリより出力された場合のパターン間隙幅
をＸビツトと判定することを特徴とするパターン
間隙幅の測定方式。 ２ 一連の画像の拡大処理が、水平・垂直パター
ンは拡大し斜めパターンの拡大は行なわない第１
の拡大処置と、水平・垂直・斜めパターンを共に
拡大する第２の拡大処理を設け、前記第１の拡大
処理を2N／７回、前記第２の拡大処理を5N／７
回行なうように設定したことからなる特許請求の
範囲第１項記載のパターン間隙幅の測定方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4441684A JPS60187805A (ja) | 1984-03-08 | 1984-03-08 | パタ−ン間隙幅の測定方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4441684A JPS60187805A (ja) | 1984-03-08 | 1984-03-08 | パタ−ン間隙幅の測定方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60187805A JPS60187805A (ja) | 1985-09-25 |
| JPH0331363B2 true JPH0331363B2 (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=12690889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4441684A Granted JPS60187805A (ja) | 1984-03-08 | 1984-03-08 | パタ−ン間隙幅の測定方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60187805A (ja) |
-
1984
- 1984-03-08 JP JP4441684A patent/JPS60187805A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60187805A (ja) | 1985-09-25 |
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