JPH0333810A - 光学部品ユニット - Google Patents
光学部品ユニットInfo
- Publication number
- JPH0333810A JPH0333810A JP16690789A JP16690789A JPH0333810A JP H0333810 A JPH0333810 A JP H0333810A JP 16690789 A JP16690789 A JP 16690789A JP 16690789 A JP16690789 A JP 16690789A JP H0333810 A JPH0333810 A JP H0333810A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical parts
- housing
- optical component
- optical
- mounting
- Prior art date
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- Granted
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、光学部品およびこれを収納保持して他の装
置に取り付けられるハウジングを備えた光学部品ユニッ
トに関する。
置に取り付けられるハウジングを備えた光学部品ユニッ
トに関する。
［従来の技術］
従来、光学部品は、硝子単体で用いられ、画像装置の光
学系、半導体露光装置のＸＹステージ等に取付治具を介
して直接組み込まれていた。したがって、光学部品を保
持あるいは固定するようなハウジングユニットがなかっ
た。
学系、半導体露光装置のＸＹステージ等に取付治具を介
して直接組み込まれていた。したがって、光学部品を保
持あるいは固定するようなハウジングユニットがなかっ
た。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、上述従来例のように光学部品を直接装置に組み
込むことは、光学部品は通常硝子部品であるため、固定
による精度変化や取付・取外し時のわずかな衝撃によっ
てかけてしまったり、有効部と直接触れてしまうことに
よりきすの発生や汚れの混入が生じ、その結果、光学部
品の光学特性の低下を招くなど光学部品の取扱いに難点
があった。また、固定後の光学調整も、直接硝子部品に
対して行うために、高精度を得ることが難しいという問
題もあった。
込むことは、光学部品は通常硝子部品であるため、固定
による精度変化や取付・取外し時のわずかな衝撃によっ
てかけてしまったり、有効部と直接触れてしまうことに
よりきすの発生や汚れの混入が生じ、その結果、光学部
品の光学特性の低下を招くなど光学部品の取扱いに難点
があった。また、固定後の光学調整も、直接硝子部品に
対して行うために、高精度を得ることが難しいという問
題もあった。
本発明は、このような従来の光学部品が有する問題点に
鑑み、光学部品をきすや汚れから保護するとともに光学
部品の固定に際しての精度変化や調整の困難性を解消す
ることを目的とする。
鑑み、光学部品をきすや汚れから保護するとともに光学
部品の固定に際しての精度変化や調整の困難性を解消す
ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため本発明の光学部品ユニットは、
反射面を有する光学部品と、この光学部品を収納して保
持および保護するハウジングとを備える。
反射面を有する光学部品と、この光学部品を収納して保
持および保護するハウジングとを備える。
ハウジングは通常、光学部品を変形させないように保持
する手段と、切欠きを設けた取付部材とを備え、ハウジ
ングはその保持手段によって光学部品を保持し、および
その取付部材を介して他の装置に取り付けられる。
する手段と、切欠きを設けた取付部材とを備え、ハウジ
ングはその保持手段によって光学部品を保持し、および
その取付部材を介して他の装置に取り付けられる。
［作用］
この構成において、主として硝子で構成される光学部品
は常にハウジングによりきすや汚れから防護されかつ変
形を生じないように保持され、かっ他の装置への取付け
に際しては切欠きにより変形が防止される。したがって
、光学部品は破損や汚損あるいは変形による光学特性の
低下等を生じることなく他の装置に容易に組み込まれる
。また、取り付は後の光学的調整も容易になる。
は常にハウジングによりきすや汚れから防護されかつ変
形を生じないように保持され、かっ他の装置への取付け
に際しては切欠きにより変形が防止される。したがって
、光学部品は破損や汚損あるいは変形による光学特性の
低下等を生じることなく他の装置に容易に組み込まれる
。また、取り付は後の光学的調整も容易になる。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図および第２図は本発明の一実施例に係る光学部品
ユニットを示す正面図および側面断面図であり、内部の
構造がわかるように表わしである。
ユニットを示す正面図および側面断面図であり、内部の
構造がわかるように表わしである。
この光学部品ユニットは、はぼ直方体をしており、コー
ティングを施された反斜面２を有する硝子の反射ミラー
である光学部品１と、これを収納しているハウジング３
を備える。ハウジング３は光学部品１を変形量を抑えて
保持する保持機構および装置取付の為の取付部４を有し
、ハウジング３の本体はＡＪ：Ｌ、Ｃｕ、Ｆｅ、真ちゅ
う、ステンレス等の金属あるいは各種プラスチックで形
成される。取付部４には切欠き５が設けである。また、
ハウジング３には黒色、濃紺色等の各種反射防止塗料が
塗布される場合もある。
ティングを施された反斜面２を有する硝子の反射ミラー
である光学部品１と、これを収納しているハウジング３
を備える。ハウジング３は光学部品１を変形量を抑えて
保持する保持機構および装置取付の為の取付部４を有し
、ハウジング３の本体はＡＪ：Ｌ、Ｃｕ、Ｆｅ、真ちゅ
う、ステンレス等の金属あるいは各種プラスチックで形
成される。取付部４には切欠き５が設けである。また、
ハウジング３には黒色、濃紺色等の各種反射防止塗料が
塗布される場合もある。
このように光学部品はハウジング３に収納した光学部品
ユニットとされ、そして、取付けに際しては取付部４を
介してボルト等で締め付けることにより他の装置に固定
される。
ユニットとされ、そして、取付けに際しては取付部４を
介してボルト等で締め付けることにより他の装置に固定
される。
このようにすることにより、光学部品１は完全に保護さ
れ、装置に対する取付および取外しに際しては、直接触
れられることは無く、きすの混入や変形による光学特性
の低下が防止され、取扱いが容易になり、固定後の調整
も容易に行われるようになる。
れ、装置に対する取付および取外しに際しては、直接触
れられることは無く、きすの混入や変形による光学特性
の低下が防止され、取扱いが容易になり、固定後の調整
も容易に行われるようになる。
［他の実施例］
第３図および第４図は本発明の他の実施例を示す正面図
及び平面図であり、内部の構造がわかるように表わしで
ある。
及び平面図であり、内部の構造がわかるように表わしで
ある。
この光学部品ユニットはＬ型であり、コーティングを施
された反斜面２を有する硝子の反射ミラーであるＬ型の
光学部品１を、変形量を抑えた保持機構、及び装置取付
の為の取付部４を有したハウジング３に収納したもので
ある。取付部４には切欠き５が設けである。そしてこの
光学部品ユニットは、ハウジング３に光学部品１を収納
した状態で、取付ようとする装置に対して取付部４を用
いて固定される。
された反斜面２を有する硝子の反射ミラーであるＬ型の
光学部品１を、変形量を抑えた保持機構、及び装置取付
の為の取付部４を有したハウジング３に収納したもので
ある。取付部４には切欠き５が設けである。そしてこの
光学部品ユニットは、ハウジング３に光学部品１を収納
した状態で、取付ようとする装置に対して取付部４を用
いて固定される。
これによれば上述と同様に、光学部品ｌは完全に保護さ
れ、装置に対する取付および取外しに際しては、直接触
れられることは無く、きすの混入や変形による光学特性
の低下が防止され、取扱いが容易になり、固定後の調整
も容易に行われるようになる。
れ、装置に対する取付および取外しに際しては、直接触
れられることは無く、きすの混入や変形による光学特性
の低下が防止され、取扱いが容易になり、固定後の調整
も容易に行われるようになる。
なお、以上の実施例で、光学部品としては硝子の反射ミ
ラーを用いた例を示したが、各種プラスチックで構成さ
れた反射ミラーを用いてもよく、その場合にも同様の効
果が得られる。
ラーを用いた例を示したが、各種プラスチックで構成さ
れた反射ミラーを用いてもよく、その場合にも同様の効
果が得られる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、光学部品をハウジ
ングに収納した光学部品ユニットとして取扱うようにし
たため、直接光学部品に手を触れずに装置に組み込むこ
とができる。したがって、組込みの際、光学部品を痛め
たり汚したりすることなくしかもボルトを締めるだけで
簡単に他の装置に固定して取り付けることができる。
ングに収納した光学部品ユニットとして取扱うようにし
たため、直接光学部品に手を触れずに装置に組み込むこ
とができる。したがって、組込みの際、光学部品を痛め
たり汚したりすることなくしかもボルトを締めるだけで
簡単に他の装置に固定して取り付けることができる。
また、光学部品は変形を生じさせないような保持手段に
よってハウジング内に保持されかつハウジング固定用の
プレート（取付部）には切欠きが入れであることから、
光学部品の反射面の変形を生じさせることなく装置に取
り付けることができる。
よってハウジング内に保持されかつハウジング固定用の
プレート（取付部）には切欠きが入れであることから、
光学部品の反射面の変形を生じさせることなく装置に取
り付けることができる。
第１図は、本発明の一実施例に係る光学部品ユニットを
示す正面図、 第２図は、第１図の光学部品ユニットの側面断面図、 第３図は、本発明の他の実施例に係る光学部品ユニット
の正面図、そして 第４図は、第３図の光学部品ユニットの側面図である。 ：光学部品、 ：光学部品の反斜面、 ：ハウジング、 ：ハウジング取付部、 ：切欠き。
示す正面図、 第２図は、第１図の光学部品ユニットの側面断面図、 第３図は、本発明の他の実施例に係る光学部品ユニット
の正面図、そして 第４図は、第３図の光学部品ユニットの側面図である。 ：光学部品、 ：光学部品の反斜面、 ：ハウジング、 ：ハウジング取付部、 ：切欠き。
Claims (2)
- （１）反射面を有する光学部品と、この光学部品を収納
して保持および保護するハウジングとを具備することを
特徴とする光学部品ユニット。 - （２）ハウジングは光学部品を変形させないように保持
する手段と、切欠きを設けた取付部材とを備え、ハウジ
ングはその保持手段によって光学部品を保持し、および
その取付部材を介して他の装置に取り付けられる、請求
項１記載の光学部品ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1166907A JP2780112B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 光学部品ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1166907A JP2780112B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 光学部品ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0333810A true JPH0333810A (ja) | 1991-02-14 |
| JP2780112B2 JP2780112B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=15839853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1166907A Expired - Fee Related JP2780112B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 光学部品ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2780112B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840741U (ja) * | 1981-09-10 | 1983-03-17 | オリンパス光学工業株式会社 | 一眼レフレツクスカメラの可動反射鏡 |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP1166907A patent/JP2780112B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840741U (ja) * | 1981-09-10 | 1983-03-17 | オリンパス光学工業株式会社 | 一眼レフレツクスカメラの可動反射鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2780112B2 (ja) | 1998-07-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |