JPH0335511Y2 - - Google Patents

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JPH0335511Y2
JPH0335511Y2 JP1987169697U JP16969787U JPH0335511Y2 JP H0335511 Y2 JPH0335511 Y2 JP H0335511Y2 JP 1987169697 U JP1987169697 U JP 1987169697U JP 16969787 U JP16969787 U JP 16969787U JP H0335511 Y2 JPH0335511 Y2 JP H0335511Y2
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laser beam
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laser
optical element
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
    • B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案はレーザ加工機に関し、例えば被加工物
に所定間隔で多数の平行線を描いたり、被加工物
を所定間隔で平行に多数切断するのに好適なレー
ザ加工機に関する。
「従来の技術」 従来、レーザ加工機として、被加工物を載置す
る加工テ−ブルと、ベースフレームに設けられて
レーザ光線を上記被加工物に照射するフオーカス
ヘツドとを備え、上記加工テーブルとベースフレ
ームとを相互に交差するX−Y方向に相対移動さ
せて上記被加工物に所要のレーザ加工を施すレー
ザ加工機は周知である。
また、特殊なレーザ加工機として、回転部材の
回転軸線上にレーザ光線を放射させるとともに、
該回転部材の回転軸線上に分配器を設けて上記レ
ーザ光線を左右に水平に分岐させ、かつ分岐した
各レーザ光線をそれぞれ直角下方に反射させて被
加工物に照射するようにしたものが知られてい
る。(特開昭60−257983号公報)。
「考案が解決しようとする問題点」 ところで、被加工物に所定間隔で例えばX方
向に多数の平行線を描いたり、或いは被加工物を
所定間隔で平行に多数切断する場合には、前者
のレーザ加工機では、上記加工テ−ブルとフオー
カスヘツドを相対的にX方向に移動させて所要の
レーザ加工を施した後、上記加工テ−ブルとフオ
ーカスヘツドを相対的にY方向に所定間隔だけ
移動させ、再び加工テ−ブルとフオーカスヘツド
を相対的にX方向に移動させてレーザ加工を施
し、これを所要回数繰返すようにすればよい。
しかしながらそのようなレーザ加工機では、平
行線の数だけ上記作業を繰返さなければならない
ので、特にその数が多くなると加工時間に多くを
必要とするという欠点がある。
これに対し、後者のレーザ加工機は、上述した
ような用途のために開発されたものではないが、
上記回転部材の回転角度位置を制御すれば、上記
被加工物に向けて照射される2本のレーザ光線の
上記X方向に対する間隔を、上記所定間隔に一
致させることができる。したがつて、このレーザ
加工機によれば、上記平行線の数の半分だけ上記
作業を繰返せばよいので、加工時間を短くするこ
とができる。
しかしながら後者のレーザ加工機においては、
被加工物に向けて照射される上記2つのレーザ光
線のうち一方のレーザ光線の照射位置を基準照射
位置とした場合、上記回転部材の回転角度位置を
変更する度に基準照射位置が変動してしまうの
で、その都度補正を必要とし、特に上記間隔を
種々に変更しながら多数の平行線を引く場合に
は、誤差が生じ易くなるという問題が生じる。
「問題点を解決するための手段」 本考案はそのような事情に鑑み、上述した従来
周知のレーザ加工機において、上記フオーカスヘ
ツドを、上記ベースフレームに回転可能に軸支し
た回転フレームと、この回転フレームを回転させ
る回転駆動手段と、上記ベースフレームに設けら
れ、レーザ発振器からのレーザ光線を屈曲させて
該レーザ光線を上記回転フレームの回転軸線上で
上記被加工物に照射させる第1光学素子と、上記
回転フレームに設けられ、上記第1光学素子又は
他の第2光学素子によつて上記回転フレームの回
転軸線上に放射されたレーザ光線を屈曲させて上
記回転フレームに設けた第3光学素子に向けて放
射させる第4光学素子と、上記第4光学素子から
のレーザ光線を上記回転フレームの回転軸線と平
行に屈曲させて上記被加工物に照射させる上記第
3光学素子とから構成し、上記回転フレームの回
転角度位置を制御して、上記被加工物に向けて照
射される上記2本のレーザ光線の上記X方向とY
方向に対する間隔を調整するようにしたものであ
る。
「作用」 上記構成によれば、上記回転フレームの回転角
度位置を制御することによつて少なくとも2本の
レーザ光線の上記X方向とY方向に対する間隔を
調整することができるので、上述した後者のレー
ザ加工機と同様に加工時間を短くすることができ
る。
加えて、上記第1光学素子で屈曲されたレーザ
光線は回転フレームの回転軸線上で被加工物に照
射されるので、これをレーザ光線の基準照射位置
とした場合、上記回転フレームの回転角度位置を
変更して上記間隔を調整してもそのレーザ光線の
基準照射位置が変動することはなく、したがつて
上記間隔を調整する度に基準照射位置の補正を必
要とせず、上記間隔を種々に変更しながら多数
の平行線を引く場合であつても、誤差を生じさせ
ることなく容易にレーザ加工を断続することがで
きる。
「実施例」 以下図示実施例について本考案を説明すると、
第1図及び第2図において、被加工物1を載置す
る加工テ−ブル2は駆動機構3により一対のガイ
ドレール4に沿つて水平のY方向に往復移動され
るようになつている。そしてこの加工テ−ブル2
に跨がらせて配設した門型フレーム5に、フオー
カスヘツド6を上記Y方向と直交する水平のX方
向に往復移動自在に設けている。
上記フオーカスヘツド6を往復移動させる駆動
機構7は、門型フレーム5に軸支してフオーカス
ヘツド6のベースフレーム8に螺合させたねじ軸
9と、このねじ軸9に連結したサーボモータ10
とを備えており、そのサーボモータ10によつて
ねじ軸9を正逆に回転させることにより、上記フ
オーカスヘツド6のベースフレーム8を往復移動
させることができるようにしている。
上記フオーカスヘツド6のベースフレーム8に
は、第3図および第4図に示すように、鉛直方向
の回転軸線14を中心として平板状の回転フレー
ム15を回転自在に取付けている。すなわち上記
回転フレーム15には、その表面の一側上下位置
にブラケツト16,16′を取付けてあり、上方
のブラケツト16に上方に向けて支持軸17を、
下方のブラケツト16′に方向に向けて支持軸1
7′をそれぞれ固定している。他方、上記ベース
フレーム8の上下位置にもブラケツト18,1
8′を取付け、各ブラケツト18,18′に設けた
軸受19,19′によつて各支持軸17,17′を
それぞれ軸支している。
そして上方の支持軸17にベースフレーム8に
固定したサーボモータ20を連結し、そのサーボ
モータ20を正逆に回転駆動させることにより、
第4図の実線と想像線で示すように、上記回転フ
レーム15を上記回転軸線14を中心として揺動
させることができるようにしている。
然して、第1図に示すように、レーザ光線Lは
レーザ発振器25から鉛直上方に向けて放射され
るようになつており、そのレーザ光線Lの鉛直方
向の光軸上に3つのハーフミラー26a,26
b,26cと1つの全反射ミラー26dとを下方
から上方へ順次配設している。そして上記レーザ
発振器25から放射されたレーザ光線Lは、3つ
のハーフミラー26a,26b,26cによつて
4本のレーザ光線La,Lb,Lc,Ldに分岐され、
かつ各ミラー26a〜26dによりベースフレー
ム8に固定した4つのミラー27a,27b,2
7c,27d(第3図参照)のそれぞれに向けて、
上記ねじ軸9と平行な方向に放射されるようにな
つている。
上記4つのミラー27a〜27dは、回転フレ
ーム15の一側に形成した切り欠き部15a内に
配設して、それぞれ回転フレーム15の回転軸線
14上でベースフレーム8に固定している。そし
て上記ねじ軸9と平行な方向で放射されてきた最
も下方のレーザ光線Laは反射ミラー27aによ
つて鉛直下方に向けて反射され、集光レンズ28
aで集光されて加工テ−ブル2上の被加工物1に
照射されるようになつている。
これに対して、下から2番目のレーザ光線Lb
は、上記ミラー27bで回転軸線14上で鉛直上
方に反射された後、回転フレーム15に固定した
ミラー29bによつて上記回転フレーム15の表
面に沿つて水平方向に直角に反射され、次に回転
フレーム15に固定したミラー30bによつて上
記回転フレーム15の回転軸線14と平行な鉛直
下方に反射され、さらに集光レンズ28bで集光
されて被加工物1に照射されるようになつてい
る。
その他のレーザ光線Lc,Ldも、下から2番目
のレーザ光線Lbと同様に、それぞれ上記ミラー
27c,27d、回転フレーム15に固定したミ
ラー29c,29dおよび30c,30dによつ
て上記回転フレーム15の回転軸線14と平行な
鉛直下方に反射され、それぞれ集光レンズ28
c,28dによつて集光されて被加工物1に照射
されるようになつている。
上記鉛直下方に向けて被加工物1に照射される
4本のレーザ光線La〜Ldは、一直線上で被加工
物1に照射されるようになつており、かつ各レー
ザ光線La〜Ldの間隔を同一の間隔pとしている。
そしてこれに対応して、上記4つの集光レンズ2
8a〜28dは、上記回転フレーム15の下端部
に取付けた支持ブラケツト31に等ピツチpで設
けている。
さらに、上記回転フレーム15には、最下方の
レーザ光線Laを除く他のレーザ光線Lb〜Ldの光
軸上に、その透過を阻止するシヤツタ32b,3
2c,32dを設けている。
次に、上記サーボモータ20は図示しない制御
装置に接続してあり、この制御装置によつてサー
ボモータ20の回転を制御することができるよう
にしている。上記制御装置には、予め回転フレー
ム15の回転角度位置とレーザ光線La〜LdのX
方向における間隔およびY方向における間隔との
関係を記憶させてあり、レーザ加工を開始する際
に、X方向又はY方向におけるレーザ光線La〜
Ldの間隔を制御装置に入力すれば、制御装置は
自動的にサーボモータ20を制御して回転フレー
ム15を所要の回転角度位置に位置させるように
なつている。
以上の構成において、例えば被加工物1をX方
向に沿つて所定の間隔で平行線を描くには、第
4図に示すように、上記サーボモータ20を起動
して回転フレーム15を所要の角度まで回転さ
せ、被加工物に照射されるレーザ光線La〜Ldの
Y方向における間隔を上記間隔に一致させる。
そしてこの状態で、レーザ発振器25からのレ
ーザ光線La〜Ldを被加工物1に向けて照射する
とともに、駆動機構7によつてフオーカスヘツド
6をX方向の一側に向けて移動させれば、被加工
物1に上記間隔で4本の平行線を描くことがで
きる。このようにして上記被加工物1に4本の平
行線を描いたら、駆動機構3によつて被加工物1
を上記間隔の4倍の距離だけY方向に移動さ
せ、引続きフオーカスヘツド6をX方向の他側に
向けて移動させれば、再び被加工物1に上記間隔
で4本の平行線を描くことができる。
以上の作業を繰返すことによつて被加工物1に
4本ずつ平行線を描くことができ、それによつて
例えば最後の加工が3本の平行線を描けばよくな
つた場合には、第4番目のレーザ光線Ldに対す
るシヤツタ32dを閉じさせれば、3本だけの平
行線を描くことができる。
そして上記レーザ光線La〜LdのY方向に対す
る間隔を変更する場合には、新たな間隔に応じ
て回転フレーム15を所定の回転角度位置に位置
させればよい。その際、最下方のレーザ光線La
は回転フレーム15の回転軸線14上で被加工物
1に照射させるようにしているので、回転フレー
ム15が回転しても最下方のレーザ光線Laの照
射位置は変動することがなく、したがつてその調
整作業を簡単に行なうことができる。
なお、Y方向に平行線を描けることは明らかで
あり、またX−Y方向に対して斜めに平行線を描
くことができることも明らかである。さらに、レ
ーザ光線を屈曲させる光学素子としては上記実施
例に記載したミラーに限定されるものではなく、
プリズムであつてもよい。
また、上記実施例ではレーザ発振器25から放
射されたレーザ光線Lを複数本に分岐させてから
フオーカスヘツド6に導いているが、第5図に示
すように、レーザ発振器25から放射されたレー
ザ光線Lをベースフレーム8に設けたミラー40
によつて回転軸線14上で被加工物1に向けて照
射させるようにし、かつその回転軸線14上に設
けたハーフミラー41d,41c,41bで複数
本のレーザ光線La〜Ldに分岐させるようにして
もよい。またこの場合には、図示しないが上記サ
ーボモータ20は回転軸線14上から横方向にず
らした位置に設置して支持軸17に連動させれば
よい。
「考案の効果」 以上のように、本考案によれば、少なくとも2
本のレーザ光線によつて被加工物に所要間隔の平
行線を描いたり、所定間隔で平行に切断すること
ができるので、そのような加工に要する時間を短
くすることができる。そしてその平行線の間隔は
回転フレームの回転角度位置を制御することによ
つて容易に調整することができ、しかもその調整
を行なつても基準となるレーザ光線の基準照射位
置が変動することがないので、例えば上記間隔を
種々に変更しながら多数の平行線を引く場合等で
あつても、誤差が生じさせることなく容易にレー
ザ加工を継続することができるという効果が得ら
れる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す正面図、第2
図は第1図の平面図、第3図は第1図の要部を示
す拡大図、第4図は第3図の平面図、第5図は本
考案の他の実施例を示す第3図と同様な部分の概
略構成図である。 1……被加工物、2……加工テ−ブル、6……
フオーカスヘツド、8……ベースフレーム、14
……回転軸線、15……回転フレーム、20……
サーボモータ、25……レーザ発振器、26a〜
26d,27a〜27d,29b〜29d,30
b〜30d,40,41b〜41d……ミラー
(光学素子)、28a〜28d……集光レンズ、3
2b〜32d……シヤツタ、L,La〜Ld……レ
ーザ光線。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 被加工物を載置する加工テ−ブルと、ベースフ
    レームに設けられてレーザ光線を上記被加工物に
    照射するフオーカスヘツドとを備え、上記加工テ
    ーブルとベースフレームとを相互に交差するX−
    Y方向に相対移動させて上記被加工物に所要のレ
    ーザ加工を施すレーザ加工機において、 上記フオーカスヘツドを、上記ベースフレーム
    に回転可能の軸支した回転フレームと、この回転
    フレームを回転させる回転駆動手段と、上記ベー
    スフレームに設けられ、レーザ発振器からのレー
    ザ光線を屈曲させて該レーザ光線を上記回転フレ
    ームの回転軸線上で上記被加工物に照射させる第
    1光学素子と、上記回転フレームに設けられ、上
    記第1光学素子又は他の第2光学素子によつて上
    記回転フレームの回転軸線上に放射されたレーザ
    光線を屈曲させて上記回転フレームに設けた第3
    光学素子に向けて放射させる第4光学素子と、上
    記第4光学素子からのレーザ光線を上記回転フレ
    ームの回転軸線と平行に屈曲させて上記被加工物
    に照射させる上記第3光学素子とから構成し、上
    記回転フレームの回転角度位置を制御して、上記
    被加工物に向けて照射される上記2本のレーザ光
    線の上記X方向とY方向に対する間隔を調整する
    ことを特徴とするレーザ加工機。
JP1987169697U 1987-11-06 1987-11-06 Expired JPH0335511Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987169697U JPH0335511Y2 (ja) 1987-11-06 1987-11-06

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987169697U JPH0335511Y2 (ja) 1987-11-06 1987-11-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0172993U JPH0172993U (ja) 1989-05-17
JPH0335511Y2 true JPH0335511Y2 (ja) 1991-07-26

Family

ID=31459987

Family Applications (1)

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JP1987169697U Expired JPH0335511Y2 (ja) 1987-11-06 1987-11-06

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2022190924A1 (ja) * 2021-03-12 2022-09-15

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2022190924A1 (ja) * 2021-03-12 2022-09-15
WO2022190924A1 (ja) * 2021-03-12 2022-09-15 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理システム及び基板処理方法

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JPH0172993U (ja) 1989-05-17

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