JPH0335609A - 圧電共振子及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、厚みすベリ（原動素子を有する圧電共振子及
びその製造方法に関し、特に、圧電共振子の薄型化を図
る場合に有用である。

〔従来技術〕

従来、この種の圧電共振子では、たとえば第７図及び第
８図に示す如く、エネルギー閉込型の厚みすべり振動素
子７の薄肉方向両面端部にそれぞれ端子部８，８が設け
られており、この厚みすべり振動素子７の幅方向薄肉両
測部には、隙間を介してスペーサ９，９が各々配設され
ている。

そして、上記各スペーサ９の側部の上記厚みすべり振動
素子７の振動部７□と対応する位置には、必要に応し、
該厚みすべり振動素子７の側部から離間する方向へ凹部
９ユが刻設される。

そして、上記厚みすべり振動素子７とスペーサ９．９と
を挟んで、端子部８を有する例の両面に」二記振動部７
＆を囲むようにして形成された接着層１０．１０を介し
て被覆シート１１．１１が接着固定されている。この場
合、上記接着層１０により、該厚みすべり振動素子７の
撮動スペースが６１１１呆される。

更に、上記厚みすべり振動素子７上の」二記端子部８の
一部が露出し得るように、上記被覆ソート１１の一部１
１．が欠切されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、上記したような従来構造の圧電共振子では、
所望する周波数によって厚みすべり振動素子７の薄肉方
向の肉厚寸ｌ去（端子部８及び電極部を有する方向に関
する肉厚寸法）ｔの値が決定される。

上記周波数を例えば３．５８　ＭＨｚに設定しようとす
る場合、肉厚寸法ｔは０．３５　＋ｎ程度にする必要が
ある。従って、圧電共振子全体の薄肉方向の肉厚寸法Ｔ
を例えば０．５　ｍｍ以下にしようとする場合、厚みす
べり振動素子７の表裏面に配備される接着１１０．１０
及び被覆シート１１．１１のみの総肉厚寸法は０．１５
ｍｍ以下にしなければならず、材料的に十分な強度を有
する被覆シート１１を選定することができない。

その結果、強度的に十分に耐え得る構造の圧電共振子を
得ることができない。

そこで、本発明の目的とするところは、所望の周波数を
得る際に厚みすべり１辰動素子の肉厚寸法に影響される
ことなく、強度的に十分耐え得る構造の圧電共振子及び
その製造方法を提供することである。

〔課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明が採用する主たる手
段は、その要旨とするところが、基板の両側部にそれぞ
れ電極部を設けてその中央部を厚みすべり振動部となす
と共に各電極部に対向させて間隙を介してスペーサを配
設し、上記基板及び上記スペーサを挟んでその両面に、
上記厚みすべり振動部を空隙を介して覆う被覆シートを
設けた点に係る圧電共振子である。

更に上記圧電共振子を製造するために、本発明が採用す
る主たる手段は、その要旨とするところが、板状のスペ
ーサ部材と両面に電極を有して厚みすべり振動部を構成
する板状の基材とを上記電極を有する側を覆うようにし
て交互に重ね合わせて上記厚みすベリ１辰動部に対して
間隙ができるようにその長手方向両端部を接着固定し、
上記基材及びスペーサ部材を所定の肉厚寸法にてその長
手方向に対して直角に切断した後、その切断両面に板状
の被覆シート部材を重ね合わせて上記厚みすべり振動部
を空隙を介して覆うようにして上記被覆シート部材を接
着固定し、その長手方向に対して直角に所定の幅寸法に
て切断して圧電共振子を製造するようにした点に係る圧
電共振子の製造方法である。

〔実施例〕

以下添付図面を参照して、本発明を具体化した実施例に
つき説明し、本発明の理解に供する。尚、以下の実施例
は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的
範囲を限定する性格のものではない。

ここに、第１図は本発明の一実施例に係る圧電共振子の
斜視図、第２図は上記圧電共振子の分解斜視図、第３図
は上記圧電共振子を構成する厚みすべり振動素子の斜視
図、第４図ｆａｔ、　Ｆｂｌはそれぞれ上記圧電共振子
に通用することのできる他側のスペーサの斜視図、第５
図は上記圧電共振子を製造する場合の手順を示す説明図
、第６図は本発明の他の実施例に係る圧電共振子の分解
斜視図である。

この実施例に係る圧電共振子では、第１図、第２図及び
第３図に示す如く、平面視で矩形薄板状（肉厚寸法ｔ）
の基板の幅方向（幅寸法Ｗ）の両側部に、それぞれ電極
部１３．１３が設けられ、厚みすべり振動素子１２が形
成されている。

更に、上記厚みすべり振動素子１２の他の両側部には、
上記電極部１３．１３に繋がる端子部１４．１４が設け
られている。

面この場合、上記電極部１３．端子部１４は、例えばス
バノタ法により形成される。

そして、上記厚みすべり１辰勤素子１２の上記各電極部
１３．１３側には、該電極部１３゜１３に列間させて隙
間を介してそれぞれスペーサ１５１５が配設されている
。上記厚みすべり振動素子１２と上記スペーサ１５．１
５とは、それぞれ接着層＋６．１６．１６．１６により
接着固定されている。

この場合、上記Ｉｆ着層１６．１６．・・からなる隙間
により、上記厚みすベリ１辰勤素子１２の厚みすベリ１
辰勤部１２．の幅方向（１辰動方向）に関する振動スペ
ースが確保される。

更に、上記厚みすベリ１辰動素子１２とスペーサ１５．
１５とを挟んでその両面に、該厚みすべり１辰勤素子１
２の厚みすべり振動部１２ｍを囲むようにして形成され
た接着層１７．１７を介して被覆シー）１８．１８が接
着固定されている。

この場合、上記厚みすべり振動部１２１を囲むようにし
て形成された接着層１７により空隙が形成され、該厚み
すべり＠動部１２ａの厚み方向に関する振動スペースが
確保される。

上記被覆シート１８には、当該圧電共振子を装備する際
に上記端子部１４．１４への配線作業を容易化するため
に、一部１８．．１８．が半円形状にそれぞれ欠切され
ている。

この場合、上記のような欠切部に代えて、第１図に二点
鎖線で示されるように該被覆ノート１８を直線状に欠切
しても良い。この露出端子部には、スパノタ法等により
電極を付着させ、更にデイノブ法等により半田で覆うこ
とができる。

本実施例に係る圧電共振子は上記したように構成されて
いる。

引き続き、第５図に基づいて、上記圧電共振子の製造手
順について説明する。

まず、板状のスペーサ部材２１と、両面にｍ＋屯２２．
２２を有して厚みずべり１原動部２３（１２ａを構成す
る板状の基材２４　（厚みすべり振動素子１２）とが、
上記電極２２．２２を有する側を覆うようにして交互に
重ね合わせられる。この時、） 上記厚みすべり振動部２３（１２，１に対して間隙がで
きるように、上記スペーサ部材２１と基材２４とはその
長手方向両端部で接着層２５により接着固定される（第
５図（イ））。引続き、上記基材２４及びスペーサ部材
２１が所定の肉厚寸法にてその長平方向に対して直角に
切断された後、その切断両面に板状の被覆シート部材２
６．２６が市ね合わせられる。この時、上記厚みすベリ
１辰勤部１２ａを空隙を介して覆うようにして上記被覆
ノート部材２６．２６が接着固定される（第５図（１−
１）　）　、そして、その長平方向に対して直角に所定
の幅寸性にて切断（同図（ハ）における破線の位置にて
切断）することにより、当該圧電共振子が製造される。

従って、上記手順によれば、当該圧電共振子を極めて効
率良く大量に製造することができる。

また、上記手順にて製造された圧電共振子では、薄板状
の厚みすべり１辰勤素子１２の幅方向の両側部に電極１
３．１３が設けられていることから、所望の周波数を得
るためには、厚みすべり振ｌＩ］素子１２の幅方向に関
して寸法Ｗの値を決定すれば良く、比較的自由に決定し
得る。換言すれば、従来の圧電共振子のように厚みすベ
リ１辰動素子の肉厚寸法（１）を変えることなく、所望
の周波数を選択し得る。

実験結果では、例えば３．５８Ｍ１−１ｚの周波数を得
る場合に上記りの値をＱ、１５５ｗ、Ｗの値を０．３５
ｎに設定したところ、極めて良好な電気的特性を得るこ
とができた。

従って、本実施例に係る圧電共振子では、上記厚みすベ
リ（原動素子１２の薄肉方向の肉厚寸法ｔの値に影響さ
れることなく所望の周波数を得ることが可能であるため
、被覆シート１８としては、材料的、構造的に十分な強
度を有するものを選択し得る。

更に、上記のような構造とすることにより、従来構造の
圧電共振子の場合よりも更に薄形化を可能とするもので
ある。

向、上記接着層１７は、硬化前に流動性を有する接着剤
を塗布することにより形成されるか、あるいは基材入り
フィルム状接着剤からなる枠状体を貼り付けることによ
り形成される。

また、必ずしも上記接着層１７のみで上記厚みｒべり１
原動部１２ａの振動スペースを確保するものに限らず、
被覆ソート１８の上記厚みすべり振動部１２．に対向し
た部分に凹部１８し　（第６図参照）を形成し、上記接
着層１７（第１図参照）と協働して、若しくは凹部１８
ｂ単独で該厚みすベリ１辰動部１２ａの振動スペースを
確保するようにしてもよい。

更に、前記スペーサ】５に代えて、第４図１８＋や第６
図に示すように、スペーサ１９．１９’の測部の上記厚
みすべり振動素子１２の振動部＋２゜と対応する位置に
、該振動部１２□の測部から離間する方向へ凹部１９ａ
　、　　］　９ａ　’を刻設したものを用いても良い。

また、第４囲い）に示すように、スペーサ２０の１１１
部の上記厚みすべり振動部１２ｍの両端部と対応する位
置に、それぞれ上記厚みすべり振動素子１２から離間す
る方向へ凹部２０ａ、２０−を刻設したものを用いても
良い。

〔発明の効果〕

本発明は、上記したように、基板の両側部にそれぞれ電
極部を設けてその中央部を厚みすべり振動部となすと共
に各電極部に対向させて間隙を介してスペーサを配設し
、上記基板及び上記スペーサを挟んでその両面に、上記
厚みすべり振動部を空隙を介して覆う被覆シートを設け
たことを特徴とする圧電共振子である。

従って、所望の周波数を得るためには、電極部を有する
基板の幅方向の寸法を決定すれば良く、該基板の肉厚守
成を任意に設定できる。そのため、被覆シートとしては
、材料的、構造的に十分な強度を有するものを選択し得
る。

また、本発明は、上記したように板状のスペーサ部材と
両面に電極を有して厚みすべり振動部を構成する板状の
基材とを上記電極を有する側を覆うようにして交互に重
ね合わせて上記厚みすべり振動部に対して間隙ができる
ようにその長平方向両端部を接着固定し、上記基材及び
スペーサ部材を所定の肉厚寸法にてその長手方向に対し
て直角に切断した後、その切断両面に板状の被覆シート
部材を重ね合わせて上記厚みすべり振動部を空隙を介し
て覆うようにして上記被覆シート部材を接着固定し、そ
の長手方向に対して直角に所定の幅寸法にて切断して圧
電共振子を製造するようにしたことを特徴とする圧電共
振子の製造方法である。

従って、上記圧電共振子を極めて効率良く製造すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る圧電共振子の斜視図、
第２図は上記圧電共振子の分解斜視図、第３図は上記圧
電共振子を構成する厚みすべり振動素子の斜視図、第４
図１８＋、　（ｂｌはそれぞれ上記圧電共振子に通用す
ることのできる化１列のスペーサの斜視図、第５図は上
記圧電共振子を製造する場合の手順を示す説明図、第６
図は本発明の他の実施例に係る圧電共振子の分解斜視図
、第７図は従来の圧電共振子の斜視図、第８図は上記従
来の圧電共振子の分解斜視図である。 〔符号の説明〕 １２・・・厚みすべり振動素子 １２、．２３・・厚みすべり振動部 １３・・・電極部 １５、　１９．　１９’、　　２０・・・スペーサ１６
．１７．２５・・・接着層 １８・・・被覆シート ］　８ｂ　、　　ｌ　９ａ　、　　ｌ　９．　　、　２
０ａ　’・・凹部２１・・・スペーサ部材 ２２・・・電極 ２４・・・基材 ２６・・・被覆シート部材

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. １．基板の両側部にそれぞれ電極部を設けてその中央部
   を厚みすべり振動部となすと共に各電極部に対向させて
   間隙を介してスペーサを配設し、上記基板及び上記スペ
   ーサを挟んでその両面に、上記厚みすべり振動部を空隙
   を介して覆う被覆シートを設けたことを特徴とする圧電
   共振子。
2. ２．板状のスペーサ部材と両面に電極を有して厚みすべ
   り振動部を構成する板状の基材とを上記電極を有する側
   を覆うようにして交互に重ね合わせて上記厚みすべり振
   動部に対して間隙ができるようにその長手方向両端部を
   接着固定し、上記基材及びスペーサ部材を所定の肉厚寸
   法にてその長手方向に対して直角に切断した後、その切
   断両面に板状の被覆シート部材を重ね合わせて上記厚み
   すべり振動部を空隙を介して覆うようにして上記被覆シ
   ート部材を接着固定し、その長手方向に対して直角に所
   定の幅寸法にて切断して圧電共振子を製造するようにし
   たことを特徴とする圧電共振子の製造方法。