JPH0335932U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0335932U JPH0335932U JP9597589U JP9597589U JPH0335932U JP H0335932 U JPH0335932 U JP H0335932U JP 9597589 U JP9597589 U JP 9597589U JP 9597589 U JP9597589 U JP 9597589U JP H0335932 U JPH0335932 U JP H0335932U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transports
- floats
- large number
- injection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図及び第２図は、この考案の一実施例を示
すウエーハ搬送装置の原理図、第３図は、従来の
ウエーハ搬送装置を説明する一部断面視側面図で
ある。 １０……搬送路、１１ａ，１１ｂ……噴射ノズ
ル、１２ａ，１２ｂ……開閉バルブ、１４１，…
…１４４……センサ、Ａ……ウエーハ。
すウエーハ搬送装置の原理図、第３図は、従来の
ウエーハ搬送装置を説明する一部断面視側面図で
ある。 １０……搬送路、１１ａ，１１ｂ……噴射ノズ
ル、１２ａ，１２ｂ……開閉バルブ、１４１，…
…１４４……センサ、Ａ……ウエーハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハ搬送路に沿つて多数配置した流体噴射
ノズルより流体を順次噴射させてウエーハを浮上
搬送する装置において、 ウエーハを正方向へ浮上搬送させる噴射ノズル
と、ウエーハを逆方向に浮上搬送させる噴射ノズ
ルとを、各々ウエーハ搬送路に沿つて多数設ける
とともに、 浮上させているウエーハの位置を検知して、正
逆いずれかの方向に沿つて浮上位置から前の噴射
ノズルのバルブを開成して、順次噴射させ、かつ
浮上位置から後の噴射ノズルのバルブを閉成させ
る信号を発生するセンサを複数個設けたことを特
徴とするウエーハ搬送位置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9597589U JPH0335932U (ja) | 1989-08-16 | 1989-08-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9597589U JPH0335932U (ja) | 1989-08-16 | 1989-08-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0335932U true JPH0335932U (ja) | 1991-04-08 |
Family
ID=31645204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9597589U Pending JPH0335932U (ja) | 1989-08-16 | 1989-08-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0335932U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014010862A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Fujitsu Ltd | ライブラリ装置 |
-
1989
- 1989-08-16 JP JP9597589U patent/JPH0335932U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014010862A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Fujitsu Ltd | ライブラリ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07228342A (ja) | 気流搬送装置およびその制御方法 | |
| JPH0335932U (ja) | ||
| JP2521445B2 (ja) | 気体浮上式搬送設備における搬送方法 | |
| JPH01160200U (ja) | ||
| JPH0629085B2 (ja) | 床下エア供給式エアパレツトにおける供給エアの制御方式 | |
| JPH0419521U (ja) | ||
| JPH03128592U (ja) | ||
| JPH0195928U (ja) | ||
| JPS6312092Y2 (ja) | ||
| JPH06193746A (ja) | ゲートバルブ | |
| JPH01172171U (ja) | ||
| JPH0214055U (ja) | ||
| JPS6135984U (ja) | 人体局部洗浄装置のノズル構造 | |
| JPH0340198U (ja) | ||
| JPS6390123U (ja) | ||
| JPS6424831U (ja) | ||
| JPH037126U (ja) | ||
| JPH0327290U (ja) | ||
| JPH0261851U (ja) | ||
| JPS6424830U (ja) | ||
| JPH0417424U (ja) | ||
| JPH0247200U (ja) | ||
| KR930000354A (ko) | 캐리어 자주식 컨베이어 | |
| JPH0257170U (ja) | ||
| JPH032089U (ja) |