JPH033764U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH033764U JPH033764U JP6380989U JP6380989U JPH033764U JP H033764 U JPH033764 U JP H033764U JP 6380989 U JP6380989 U JP 6380989U JP 6380989 U JP6380989 U JP 6380989U JP H033764 U JPH033764 U JP H033764U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abnormality
- laser device
- gas
- pump
- gas laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案にかかる除塵器つきガスレーザ
装置の構成図、第２図は第１図の側断面図、第３
図は従来の技術を示す構成図、第４図は第３図の
側断面図。 １……レーザ容器、｛２……除塵用フイルタ、
３……ポンプ、１３……モータ｝不純物除去のた
めの手段、｛１１……電流検出器、１２……制御
装置｝不純物除去のための手段が正常に作動して
いないときそれを検出する手段、１５……表示装
置−表示手段。
装置の構成図、第２図は第１図の側断面図、第３
図は従来の技術を示す構成図、第４図は第３図の
側断面図。 １……レーザ容器、｛２……除塵用フイルタ、
３……ポンプ、１３……モータ｝不純物除去のた
めの手段、｛１１……電流検出器、１２……制御
装置｝不純物除去のための手段が正常に作動して
いないときそれを検出する手段、１５……表示装
置−表示手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 内部に発生した塵などの不純物を除く手段を
備えたガスレーザ装置において、その不純物除去
のための手段が正常に作動していないときにそれ
を検出する手段を備えたことを特徴とするガスレ
ーザ装置。 ２ 不純物除去の手段として、ポンプと除塵フイ
ルタとを備え、レーザ装置から該ポンプによつて
一部のガスを抽出し、抽出したガスを除塵フイル
タの中を通して除塵した後にレーザ装置に戻す手
段を備えたガスレーザ装置に於いて、該ポンプの
異常を検出する手段を設けたことを特徴とした請
求項第１項記載のガスレーザ装置。 ３ 上記異常検出の手段として、該ポンプを駆動
するモータの電流を測定し、その値を正常なとき
の値と比較することによつて異常か否かを判断す
る手段を備えたことを特徴とした請求項第１項及
び第２項記載のガスレーザ装置。 ４ 上記異常検出手段によつて異常と判断された
ときにレーザの発振を止める手段を備えたことを
特徴とした請求項第１項ないし第３項記載のガス
レーザ装置。 ５ 上記検出手段によつて異常と判断されたとき
、そのことを表示する手段を設けたことを特徴と
した請求項第１項ないし第３項記載のガスレーザ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6380989U JPH033764U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6380989U JPH033764U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH033764U true JPH033764U (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=31594187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6380989U Pending JPH033764U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH033764U (ja) |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP6380989U patent/JPH033764U/ja active Pending
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