JPH0338351A - サーマルヘッド及びその製造方法 - Google Patents
サーマルヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0338351A JPH0338351A JP1174499A JP17449989A JPH0338351A JP H0338351 A JPH0338351 A JP H0338351A JP 1174499 A JP1174499 A JP 1174499A JP 17449989 A JP17449989 A JP 17449989A JP H0338351 A JPH0338351 A JP H0338351A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- layer
- substrate
- thermal head
- protruding
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、サーマルヘッド及びその製造方法に関するも
のである。
のである。
従来の技術
従来のサーマルヘッドは、第８図に示すように基板ｌａ
上に蓄熱層２ａを設け、次に複数の発熱抵抗体３ａを所
定間隔離して連続的に設け、次に各発熱抵抗体３ａの両
側に電極４ａを設け、最後に、図示していないが、耐磨
耗層を形成して構成していた。
上に蓄熱層２ａを設け、次に複数の発熱抵抗体３ａを所
定間隔離して連続的に設け、次に各発熱抵抗体３ａの両
側に電極４ａを設け、最後に、図示していないが、耐磨
耗層を形成して構成していた。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、従来の如く平面上の蓄熱層２ａ上に発熱
抵抗体３ａを設けた場合には、各発熱抵抗体３ａには大
きな熱容量体が当接した状態になっているので、発熱抵
抗体３ａとしては通電時に発熱しにくく、またその後の
通電停止時には冷えにくいものになってしまうものであ
った。これは、サーマルヘッドにおいては、通電時の応
答性が悪く、通電停止時ににじみが発生しやすいという
問題になるのであった。
抵抗体３ａを設けた場合には、各発熱抵抗体３ａには大
きな熱容量体が当接した状態になっているので、発熱抵
抗体３ａとしては通電時に発熱しにくく、またその後の
通電停止時には冷えにくいものになってしまうものであ
った。これは、サーマルヘッドにおいては、通電時の応
答性が悪く、通電停止時ににじみが発生しやすいという
問題になるのであった。
そこで本発明は、応答性が良く、にじみが起きにくいサ
ーマルヘッドを提供することを目的とするものである。
ーマルヘッドを提供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
そして、この目的を達成するために、本発明は、基板上
に複数個の突起体を所定間隔離してほぼ連続的に配置し
、各突起体の上面の両側には電極を設け、これらの電極
間には発熱抵抗体を設けたものである。
に複数個の突起体を所定間隔離してほぼ連続的に配置し
、各突起体の上面の両側には電極を設け、これらの電極
間には発熱抵抗体を設けたものである。
作用
以上の手段によれば、突起体上に発熱抵抗体が設けられ
ているので、各発熱抵抗体下の熱容量を小さくすること
ができ、この結果として、通電時には応答性が良くなり
、通電停止時にはにじみが起きにくくなる。
ているので、各発熱抵抗体下の熱容量を小さくすること
ができ、この結果として、通電時には応答性が良くなり
、通電停止時にはにじみが起きにくくなる。
実施例
以下に本発明の一実施例を示す。
第１図において、１はアルミからなる絶縁性の基板で、
この基板１の上には主に二酸化ケイ素からなる蓄熱層２
が設けられており、この蓄熱層２上には、第２図以降を
用いて詳細に説明するが、電極１発熱抵抗体、耐磨耗層
が設けられている。
この基板１の上には主に二酸化ケイ素からなる蓄熱層２
が設けられており、この蓄熱層２上には、第２図以降を
用いて詳細に説明するが、電極１発熱抵抗体、耐磨耗層
が設けられている。
すなわち、第２図に示すが如く基板上に蓄熱層２を設け
、蓄熱層２の上に第３図のクロム、ニソケル、タンタル
、チタン、モリブデン、タングステン、コバルト、鉄の
少なくとも１つからなる複数の電極４を所定間隔離して
連続的にスパッタ等の方法で設けている。そして、次に
第３図のものを電気炉に入れ、上面から、蓄熱層２のガ
ラスの軟化点より３０〜５０℃低い温度で約６〜１０分
間、電極４の酸化を防ぐため窒素雰囲気中で加熱する。
、蓄熱層２の上に第３図のクロム、ニソケル、タンタル
、チタン、モリブデン、タングステン、コバルト、鉄の
少なくとも１つからなる複数の電極４を所定間隔離して
連続的にスパッタ等の方法で設けている。そして、次に
第３図のものを電気炉に入れ、上面から、蓄熱層２のガ
ラスの軟化点より３０〜５０℃低い温度で約６〜１０分
間、電極４の酸化を防ぐため窒素雰囲気中で加熱する。
その結果、第４図の如く電極４部分が隆起する。これは
高温で熱することにより、電極４は応力により剥離しよ
うとするが、蓄熱層２のガラスも高温で熱せられ粘度が
低くなっており、電極４に引っばられるためであり、そ
の形状を拡大すると第５図の如く電極４は蓄熱層２から
の突起体２Ａ上に設けられた状態となる。
高温で熱することにより、電極４は応力により剥離しよ
うとするが、蓄熱層２のガラスも高温で熱せられ粘度が
低くなっており、電極４に引っばられるためであり、そ
の形状を拡大すると第５図の如く電極４は蓄熱層２から
の突起体２Ａ上に設けられた状態となる。
次に、この状態で第６図の如く、フォトリソエツチング
等により電極４の両端間をけする。そして、この上部に
スクリーン印刷法により、酸化ルテニウムからなる発熱
抵抗体３を直線状に印刷し、約１２０℃で約１５分間乾
燥した後、約８００℃の温度で焼成する。このような状
態では、第７図の如く電極４間及び突起体２Ａ間の湾の
中にも発熱抵抗体３が落ちている。ただし、突起体２Ａ
間の凹部の発熱抵抗体３は、突起体２Ａの高さが高いた
め、上の面と電気的にショートしないのでフォトリソ−
エツチング工程なしで個別の発熱抵抗体３を構成するこ
とができる。
等により電極４の両端間をけする。そして、この上部に
スクリーン印刷法により、酸化ルテニウムからなる発熱
抵抗体３を直線状に印刷し、約１２０℃で約１５分間乾
燥した後、約８００℃の温度で焼成する。このような状
態では、第７図の如く電極４間及び突起体２Ａ間の湾の
中にも発熱抵抗体３が落ちている。ただし、突起体２Ａ
間の凹部の発熱抵抗体３は、突起体２Ａの高さが高いた
め、上の面と電気的にショートしないのでフォトリソ−
エツチング工程なしで個別の発熱抵抗体３を構成するこ
とができる。
次に、この状態から、主に二酸化ケイ素からなる耐磨耗
層５をスクリーン印刷した後、発熱抵抗体３とほぼ同じ
方法で乾燥、焼成したものが第１図である。
層５をスクリーン印刷した後、発熱抵抗体３とほぼ同じ
方法で乾燥、焼成したものが第１図である。
本実施例においては、電極４材料としてクロム ニッケ
ル、タンタル、チタン、モリブデンタングステン、コバ
ルト、鉄の少なくとも１つで構成したが、この上部に金
をＭＯＤ法等により設ければ、電極４の酸化を防ぐとと
もに、電極４の配線抵抗を下げることができ、−層効果
的である。
ル、タンタル、チタン、モリブデンタングステン、コバ
ルト、鉄の少なくとも１つで構成したが、この上部に金
をＭＯＤ法等により設ければ、電極４の酸化を防ぐとと
もに、電極４の配線抵抗を下げることができ、−層効果
的である。
発明の効果
以上のように、本発明は、基板上に複数個の突起体を所
定間隔離してほぼ連続的に配置し、各突起体の上面の両
側には電極を設け、これらの電極間には発熱抵抗体を設
けたので、各発熱抵抗体下の熱容量を小さくすることが
でき、この結果として、通電時には応答性が良くなり、
通電停止時にはにじみが起きにくくなった。
定間隔離してほぼ連続的に配置し、各突起体の上面の両
側には電極を設け、これらの電極間には発熱抵抗体を設
けたので、各発熱抵抗体下の熱容量を小さくすることが
でき、この結果として、通電時には応答性が良くなり、
通電停止時にはにじみが起きにくくなった。
第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図〜第７図は
その製造方法を示す斜視図、第８図は従来例の斜視図で
ある。 １・・・・・・基板、２・・・・・・蓄熱層、３・・・
・・・発熱抵抗体、４・・・・・・電極、５・・・・・
・耐磨耗層。
その製造方法を示す斜視図、第８図は従来例の斜視図で
ある。 １・・・・・・基板、２・・・・・・蓄熱層、３・・・
・・・発熱抵抗体、４・・・・・・電極、５・・・・・
・耐磨耗層。
Claims (5)
- （１）基板上に、複数個の突起体を所定間隔離してほぼ
連続的に配置し、各突起体の上面の両側には電極を設け
、これらの電極間には発熱抵抗体を設けたサーマルヘッ
ド。 - （２）突起体上の電極間部分に凹部を設け、この凹部に
発熱抵抗体を設けた、請求項（１）に記載のサーマルヘ
ッド。 - （３）電極は、クロム、ニッケル、タンタル、チタン、
モリブデン、タングステン、コバルト、鉄の、少なくと
も１つで構成した請求項（１）または（２）に記載のサ
ーマルヘッド。 - （４）基板上に蓄熱層を設け、次にこの蓄熱層上に複数
の電極を所定間隔離してほぼ連続的に設け、次に加熱す
ることにより電極部分の蓄熱層を隆起させて複数個の突
起体を設け、次にこの突起体上の電極の両端間部分を除
去し、次にこの除去した部分に発熱抵抗体を設けること
を特徴とするサーマルヘッドの製造方法。 - （５）電極は、クロム、ニッケル、タンタル、チタン、
モリブデン、タングステン、コバルト、鉄の、少なくと
も１つで構成した請求項（４）に記載のサーマルヘッド
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1174499A JPH0338351A (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | サーマルヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1174499A JPH0338351A (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | サーマルヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0338351A true JPH0338351A (ja) | 1991-02-19 |
Family
ID=15979565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1174499A Pending JPH0338351A (ja) | 1989-07-05 | 1989-07-05 | サーマルヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0338351A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007196163A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 噴霧器 |
| JP2008238667A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Kyocera Corp | 記録ヘッドおよびその製造方法、並びに記録装置 |
-
1989
- 1989-07-05 JP JP1174499A patent/JPH0338351A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007196163A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Yoshino Kogyosho Co Ltd | 噴霧器 |
| JP2008238667A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Kyocera Corp | 記録ヘッドおよびその製造方法、並びに記録装置 |
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