JPH0339714A - Ｐｌｚｔライトバルブの電極形成方法 - Google Patents
Ｐｌｚｔライトバルブの電極形成方法Info
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- JPH0339714A JPH0339714A JP17528989A JP17528989A JPH0339714A JP H0339714 A JPH0339714 A JP H0339714A JP 17528989 A JP17528989 A JP 17528989A JP 17528989 A JP17528989 A JP 17528989A JP H0339714 A JPH0339714 A JP H0339714A
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- Japan
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- plzt
- forming
- electrode
- electrodes
- parallel
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、投射型デイスプレィや直視型デイスプレィな
どに用いられるＰＬＺＴライトバルブの電極形成方法に
関するものである。
どに用いられるＰＬＺＴライトバルブの電極形成方法に
関するものである。
［従来の技術］
近年、ＰＬＺＴ（例えば（Ｐ ｂｅ−ｓｚ Ｌａｏ、ａ
ｓ）（Ｚｒａ−＠４１＠＊ＩＫ）０３）を用いたＰＬＺ
Ｔライトバルブの研究開発が盛んになってきた。このよ
うなＰＬＺＴライトバルブを用いた投射型デイスプレィ
や直視型デイスプレィは高輝度、高精細化が期待されて
いるが、その電極構造が問題となっていた。
ｓ）（Ｚｒａ−＠４１＠＊ＩＫ）０３）を用いたＰＬＺ
Ｔライトバルブの研究開発が盛んになってきた。このよ
うなＰＬＺＴライトバルブを用いた投射型デイスプレィ
や直視型デイスプレィは高輝度、高精細化が期待されて
いるが、その電極構造が問題となっていた。
従来のＰＬＺＴを用いたＰＬＺＴライトバルブは１本出
願人が既に提案した特願昭６３−１０８６４８号（以下
、既出願という）の「従来の技術」の欄で説明したよう
に１表面電極法や平行板電極法などによって画素形成用
電極群を形成していた。すなわち。
願人が既に提案した特願昭６３−１０８６４８号（以下
、既出願という）の「従来の技術」の欄で説明したよう
に１表面電極法や平行板電極法などによって画素形成用
電極群を形成していた。すなわち。
表面電極法で形成された画素１は、原理的には第３図に
示すように、板面が入射光の光軸２と直交するＰＬＺＴ
板３の同一板面上に、対となる画素形成用の電極４．５
を形成していた。また、平行板電極法で形成された画素
１１は、原理的には第５図に示すように、ＰＬＺＴ１３
に設ける画素形成用の電極１４．１５の極板面がＰＬＺ
Ｔ１３を介して平行に対峙するとともに入射光の光軸２
と平行となるように形成されていた。
示すように、板面が入射光の光軸２と直交するＰＬＺＴ
板３の同一板面上に、対となる画素形成用の電極４．５
を形成していた。また、平行板電極法で形成された画素
１１は、原理的には第５図に示すように、ＰＬＺＴ１３
に設ける画素形成用の電極１４．１５の極板面がＰＬＺ
Ｔ１３を介して平行に対峙するとともに入射光の光軸２
と平行となるように形成されていた。
［発明が解決しようとする課！ｆｉ］
しかしながら、既出願の「発明が解決しようとする課題
」の欄で説明したように１表面電極法は、ＰＬＺＴ内部
の電界分布が不均一になってコントラストレシオが低下
するという問題点があり、平行板電極法は加工工程が複
雑でしかも高い加工精度が要求されるという問題点があ
った。すなわち。
」の欄で説明したように１表面電極法は、ＰＬＺＴ内部
の電界分布が不均一になってコントラストレシオが低下
するという問題点があり、平行板電極法は加工工程が複
雑でしかも高い加工精度が要求されるという問題点があ
った。すなわち。
表面電極法で形成された画素１は、第３図に示すように
、板面が入射光の光軸２と直交するＰＬＺＴ板３の同一
板面上に、対となる画素形成用の電極４，５を形成して
いたので、加工工程は簡単であるが、Ｗｔ電源から電極
４．５間に所定電圧を印加したときの電気力線７が第４
図のようになり、画素１内部の電界分布が不均一になっ
てコントラストレシオが低下するからである。また、平
行板電極法で形成された画素１１は、第５図に示すよう
に、ＰＬＺＴ１３に設ける画素形成用の電極１４．１５
の極板面がＰＬＺＴ１３を介して平行に対峙するととも
に入射光の光軸２と平行となるように形成されていたの
で、電源６から電極１４，１５間に所定電圧を印加した
起きの電気力線１７が第６図のようになり１画素１１内
の電界分布が不均一になるという問題点はないが、第５
図に示すような構成に形成するための加工工程が複雑で
しかも高い加工精度が要求されていたからである。
、板面が入射光の光軸２と直交するＰＬＺＴ板３の同一
板面上に、対となる画素形成用の電極４，５を形成して
いたので、加工工程は簡単であるが、Ｗｔ電源から電極
４．５間に所定電圧を印加したときの電気力線７が第４
図のようになり、画素１内部の電界分布が不均一になっ
てコントラストレシオが低下するからである。また、平
行板電極法で形成された画素１１は、第５図に示すよう
に、ＰＬＺＴ１３に設ける画素形成用の電極１４．１５
の極板面がＰＬＺＴ１３を介して平行に対峙するととも
に入射光の光軸２と平行となるように形成されていたの
で、電源６から電極１４，１５間に所定電圧を印加した
起きの電気力線１７が第６図のようになり１画素１１内
の電界分布が不均一になるという問題点はないが、第５
図に示すような構成に形成するための加工工程が複雑で
しかも高い加工精度が要求されていたからである。
本発明は、上述の間１題点に鑑みてなされたもので、既
出願のグリーンシートプロセスとは別の方法を提案する
ものであり１画素内部の電界分布を均一にして（すなわ
ち原理的な電気力線が第６図と同様になるようにして）
コントラストレシオの低下しない画素形成用電極群を、
簡単に形成することができる方法を提供することを目的
とするものである。
出願のグリーンシートプロセスとは別の方法を提案する
ものであり１画素内部の電界分布を均一にして（すなわ
ち原理的な電気力線が第６図と同様になるようにして）
コントラストレシオの低下しない画素形成用電極群を、
簡単に形成することができる方法を提供することを目的
とするものである。
［課題を解決するための手段］
本第１．第２発明は、加工の容易なＰＬＺＴグリーンシ
ートに所定の加工を施すことによって、焼成されたＰＬ
ＺＴグリーンシート（すなわち。
ートに所定の加工を施すことによって、焼成されたＰＬ
ＺＴグリーンシート（すなわち。
ＰＬＺＴシート）に複数の電極形成部を形成し、これら
の電極形成部に導電性ペーストを充填することによって
所定の画素形成用電極群を形成するようにした点で同一
である６本第１発明によるＰＬＺＴライトパルプの電極
形成方法は、ＰＬＺＴグリーンシートに複数の埋設片を
埋め込み、ついで前記ＰＬＺＴグリーンシートを焼成し
前記複数の埋設片を除去することによって複数の電極形
成部を形成し、これらの電極形成部に導電性ペーストを
充填することによって、極板面がＰＬＺＴを介して平行
に対峙するとともに入射光の光軸と平行になる画素形成
用電極群を形成してなることを特徴とするものである。
の電極形成部に導電性ペーストを充填することによって
所定の画素形成用電極群を形成するようにした点で同一
である６本第１発明によるＰＬＺＴライトパルプの電極
形成方法は、ＰＬＺＴグリーンシートに複数の埋設片を
埋め込み、ついで前記ＰＬＺＴグリーンシートを焼成し
前記複数の埋設片を除去することによって複数の電極形
成部を形成し、これらの電極形成部に導電性ペーストを
充填することによって、極板面がＰＬＺＴを介して平行
に対峙するとともに入射光の光軸と平行になる画素形成
用電極群を形成してなることを特徴とするものである。
そして、工程数を減らすために、埋設片をＰＬＺＴグリ
ーンシートの焼成時に加熱分解して除去可能な樹脂材料
で形成する。
ーンシートの焼成時に加熱分解して除去可能な樹脂材料
で形成する。
また１本第２発明方法は、ＰＬＺＴグリーンシートのシ
ート面に複数の電極形成部を形成してから前記ＰＬＺＴ
グリーンシートを焼成し、ついで前記複数の電極形成部
に導電性ペーストを充填することによって、極板面がＰ
ＬＺＴを介して平行に対峙するとともに入射光の光軸と
平行になる画素形成用電極群を形成してなることを特徴
とするものである。
ート面に複数の電極形成部を形成してから前記ＰＬＺＴ
グリーンシートを焼成し、ついで前記複数の電極形成部
に導電性ペーストを充填することによって、極板面がＰ
ＬＺＴを介して平行に対峙するとともに入射光の光軸と
平行になる画素形成用電極群を形成してなることを特徴
とするものである。
［作用］
本第１発明では、ＰＬＺＴグリーンシートに複数の埋設
片を埋め込み、ついで前記ＰＬＺＴグリーンシートを焼
成し前記埋設片を除去することによって複数の電極形成
部を形成し、これらの電極形成部に導電性ペーストを充
填することによって。
片を埋め込み、ついで前記ＰＬＺＴグリーンシートを焼
成し前記埋設片を除去することによって複数の電極形成
部を形成し、これらの電極形成部に導電性ペーストを充
填することによって。
極板面がＰＬＺＴを介して平行に対峙するとともに入射
光の光軸と平行になる画素形成用電極が形成される。こ
のとき、加工の容易なＰＬＺＴグリ−ンシートに複数の
埋設片を埋め込むので、埋め込み加工が容易である。Ｐ
ＬＺＴグリーンシートを焼成し埋設片を除去することに
よって複数の電極形成部を形成しているので１画素形成
用電極群の配置位置の精度を上げることができる。そし
て。
光の光軸と平行になる画素形成用電極が形成される。こ
のとき、加工の容易なＰＬＺＴグリ−ンシートに複数の
埋設片を埋め込むので、埋め込み加工が容易である。Ｐ
ＬＺＴグリーンシートを焼成し埋設片を除去することに
よって複数の電極形成部を形成しているので１画素形成
用電極群の配置位置の精度を上げることができる。そし
て。
埋設片をＰＬＺＴグリーンシートの焼成時に加熱分解し
て除去可能な樹脂材料で形成した場合には、埋設片を除
去する工程が不要になる。また１本第２発明方法では、
ＰＬＺＴグリーンシートのシート面に電極形成部を形成
してから前記ＰＬＺＴグリーンシートを焼成し、ついで
前記電極形成部に導電性ペーストを充填することによっ
て所定の画素形成用電極群が形成される。このとき、第
１発明のように埋設片の埋め込みと除去がないので、加
工が容易である。
て除去可能な樹脂材料で形成した場合には、埋設片を除
去する工程が不要になる。また１本第２発明方法では、
ＰＬＺＴグリーンシートのシート面に電極形成部を形成
してから前記ＰＬＺＴグリーンシートを焼成し、ついで
前記電極形成部に導電性ペーストを充填することによっ
て所定の画素形成用電極群が形成される。このとき、第
１発明のように埋設片の埋め込みと除去がないので、加
工が容易である。
［実施例］
以下１本第１発明の一実施例を第１図を用いて。
本第２発明の一実施例を第２図を用いて説明する。
まず、本第１発明の一実施例について説明する。
（イ）まず、第１図（ａ）に示すように、ＰＬＺＴグリ
ーンシート２１の両面に樹脂膜２３を塗布する。前記Ｐ
ＬＺＴグリーンシート２１は、焼成することによって電
気光学セラミックスであるＰＬＺＴ（例えば（Ｐ ｂａ
−ａｔ Ｌａｓ−ａｍ）（Ｚｒ＋＋−ｓｉ Ｔｉ＠−ａ
ｓ）Ｏｓ）となるものである、また、前記樹脂膜２３は
、所定温度に加熱することによって分解して蒸発し、除
去される樹脂材料で形成されている。
ーンシート２１の両面に樹脂膜２３を塗布する。前記Ｐ
ＬＺＴグリーンシート２１は、焼成することによって電
気光学セラミックスであるＰＬＺＴ（例えば（Ｐ ｂａ
−ａｔ Ｌａｓ−ａｍ）（Ｚｒ＋＋−ｓｉ Ｔｉ＠−ａ
ｓ）Ｏｓ）となるものである、また、前記樹脂膜２３は
、所定温度に加熱することによって分解して蒸発し、除
去される樹脂材料で形成されている。
（ロ）ついで、写真食刻法によって樹脂膜２３の不要部
分２３ｅを除去し、第１図（ｂ）に示すように、ＰＬＺ
Ｔグリーンシート２１の両面に電極形成部としての凹部
を形成するための埋設片２５．・・・を形成する。
分２３ｅを除去し、第１図（ｂ）に示すように、ＰＬＺ
Ｔグリーンシート２１の両面に電極形成部としての凹部
を形成するための埋設片２５．・・・を形成する。
（ハ）ついで、プレス加工などによって、第１図（Ｃ）
に示すように、埋設片２５、・・・をＰＬＺＴグリーン
シート２１内に埋め込む。
に示すように、埋設片２５、・・・をＰＬＺＴグリーン
シート２１内に埋め込む。
（ニ）ついで、ＰＬＺＴグリーンシート２１を焼成炉中
で焼成することによって電気光学セラミックスであるＰ
ＬＺＴシート２７にするとともに、埋設片２５、・・・
を加熱分解して蒸発させ、第１図（ｄ）に示すように、
ＰＬＺＴシート２７に電極形成部としての四部２９．・
・・を形成する。
で焼成することによって電気光学セラミックスであるＰ
ＬＺＴシート２７にするとともに、埋設片２５、・・・
を加熱分解して蒸発させ、第１図（ｄ）に示すように、
ＰＬＺＴシート２７に電極形成部としての四部２９．・
・・を形成する。
（ホ）ついで、スクリーン印刷などによりＰＬＺＴシー
ト２７の凹部２９．・・・に導電性ペーストを充填し。
ト２７の凹部２９．・・・に導電性ペーストを充填し。
所定温度で焼成することによって、第１図（θ）に示す
ように、画素３１、・・・を形成するための画素形成用
電極３３．３３と３５．３５．・・・を形成する。
ように、画素３１、・・・を形成するための画素形成用
電極３３．３３と３５．３５．・・・を形成する。
上述の（イ）〜（ホ）に記述したようにして画素形成用
電極３３，３３と３５．３５、・・・が形成されたＰＬ
ＺＴライトバルブにおいて、画素形成用電極３３および
３３と３５および３５とに所定電圧を印加して所定の画
素３１を選択した場合、画素形成用電極３３，３３と３
５．３５との極板面は、ＰＬＺＴを介して平行に対峙し
、かつ入射光の光軸２と平行になっている。このため、
画素３１内部の電界分布がほぼ均一化し、コントラスト
レシオの低下が生じない。
電極３３，３３と３５．３５、・・・が形成されたＰＬ
ＺＴライトバルブにおいて、画素形成用電極３３および
３３と３５および３５とに所定電圧を印加して所定の画
素３１を選択した場合、画素形成用電極３３，３３と３
５．３５との極板面は、ＰＬＺＴを介して平行に対峙し
、かつ入射光の光軸２と平行になっている。このため、
画素３１内部の電界分布がほぼ均一化し、コントラスト
レシオの低下が生じない。
前記実施例では、第１図（ａ）に示すように、ＰＬＺＴ
グリーンシート２１の両面に形成する樹脂膜２３は、必
要とする工程数を減らすために、所定温度に加熱すると
蒸発する樹脂材料で構成し、焼成時に埋設片２５．・・
・が蒸発するようにしたが１本発明はこれに限るもので
なく、例えば、焼成後に機械的または化学的方法によっ
て埋設片を除去するようにしてもよい。
グリーンシート２１の両面に形成する樹脂膜２３は、必
要とする工程数を減らすために、所定温度に加熱すると
蒸発する樹脂材料で構成し、焼成時に埋設片２５．・・
・が蒸発するようにしたが１本発明はこれに限るもので
なく、例えば、焼成後に機械的または化学的方法によっ
て埋設片を除去するようにしてもよい。
前記実施例では、第１図（ａ） （ｂ）に示すように、
まず、ＰＬＺＴグリーンシート２１の両面に樹脂膜２３
を形成し、ついで、樹脂膜２３の不要部分を除去するこ
とによってＰＬＺＴグリーンシート２１の両面に埋設片
２５、・・・を設けるようにしたが、本発明はこれに限
るものでなく、例えば、ＰＬＺＴグリーンシートの片面
に樹脂膜を形成したのち、不要部分を除去することによ
ってＰＬＺＴグリーンシートの片面に埋設片を設けるよ
うにしてもよく、または、樹脂材料ペーストのスクリー
ン印刷によって、直接ＰＬＺＴグリーンシートの両面ま
たは片面に埋設片を設けるようにしてもよい。
まず、ＰＬＺＴグリーンシート２１の両面に樹脂膜２３
を形成し、ついで、樹脂膜２３の不要部分を除去するこ
とによってＰＬＺＴグリーンシート２１の両面に埋設片
２５、・・・を設けるようにしたが、本発明はこれに限
るものでなく、例えば、ＰＬＺＴグリーンシートの片面
に樹脂膜を形成したのち、不要部分を除去することによ
ってＰＬＺＴグリーンシートの片面に埋設片を設けるよ
うにしてもよく、または、樹脂材料ペーストのスクリー
ン印刷によって、直接ＰＬＺＴグリーンシートの両面ま
たは片面に埋設片を設けるようにしてもよい。
つぎに１本第２発明の一実施例について説明する。
（イ）まず、第２図（ａ）に示すように、ＰＬＺＴグリ
ーンシート２１の両面に、パンチングなどにより電極形
成部としての凹部２９ａ、・・・を形成する。
ーンシート２１の両面に、パンチングなどにより電極形
成部としての凹部２９ａ、・・・を形成する。
（ロ）ついで、ＰＬＺＴグリーンシート２１を焼成炉中
で焼成することによって、第２図（ｂ）に示すように、
電気光学セラミックスであるＰＬＺＴシート２７にする
・ （ハ）ついで、ＰＬＺＴシート２７の凹部２９ａ、・・
・に導電性ペーストを充填し所定温度で焼成することに
よって、第２図（ｃ）に示すように１画素３１．・・・
を形成するための画素形成用電極３３．３３と３５．３
５、・・・を形成する。
で焼成することによって、第２図（ｂ）に示すように、
電気光学セラミックスであるＰＬＺＴシート２７にする
・ （ハ）ついで、ＰＬＺＴシート２７の凹部２９ａ、・・
・に導電性ペーストを充填し所定温度で焼成することに
よって、第２図（ｃ）に示すように１画素３１．・・・
を形成するための画素形成用電極３３．３３と３５．３
５、・・・を形成する。
上述の（イ）〜（ハ）に記述したようにして画素形成用
電極３３，３３と３５．３５、・・・が形成されたＰＬ
ＺＴライトバルブは、第１図に示すものと同様に１画素
形成用電極３３と３５との極板面がＰＬＺＴを介して平
行に対峙し、かつ入射光の光軸２と平行になっているの
で１画素３１内部の電界分布がほぼ均一化し、−コント
ラストレシオの低下が生じない。
電極３３，３３と３５．３５、・・・が形成されたＰＬ
ＺＴライトバルブは、第１図に示すものと同様に１画素
形成用電極３３と３５との極板面がＰＬＺＴを介して平
行に対峙し、かつ入射光の光軸２と平行になっているの
で１画素３１内部の電界分布がほぼ均一化し、−コント
ラストレシオの低下が生じない。
前記第１図および第２図に示す実施例では、複数の電極
形成部は複数の凹部で形成したが１本発明はこれに限る
ものでなく、例えば、複数の電極形成部は複数の貫通孔
で形成してもよい、このように複数の貫通孔で形成した
場合には１画素形成用ｍ極群を外部回路に接続するため
の接続用１１極の配線数を半減させることができる。
形成部は複数の凹部で形成したが１本発明はこれに限る
ものでなく、例えば、複数の電極形成部は複数の貫通孔
で形成してもよい、このように複数の貫通孔で形成した
場合には１画素形成用ｍ極群を外部回路に接続するため
の接続用１１極の配線数を半減させることができる。
［発明の効果〕
本第１発明によるＰＬＺＴライトバルブの電極形成方法
は、上記のように、加工の容易なＰＬＺＴグリーンシー
トに複数の埋設片を埋め込む工程と、ＰＬＺＴグリーン
シートを焼成し埋設片を除去して複数の電極形成部を形
成する工程と、これらの電極形成部に導電性ペーストを
充填することによって所定の画素形成用電極を形成する
工程とからなっているので、画素内部の電界分布が均一
でコントラストレシオが低下しない高ｗＩ細な画像を構
成するための画素形成用電極群を、簡単に形成すること
ができる。さらに、埋設片をＰＬＺＴグリーンシートの
焼成時に加熱分解して除去可能な樹脂材料で形成した場
合には、埋設片を除去する工程が不要になり、さらに簡
単になる。また。
は、上記のように、加工の容易なＰＬＺＴグリーンシー
トに複数の埋設片を埋め込む工程と、ＰＬＺＴグリーン
シートを焼成し埋設片を除去して複数の電極形成部を形
成する工程と、これらの電極形成部に導電性ペーストを
充填することによって所定の画素形成用電極を形成する
工程とからなっているので、画素内部の電界分布が均一
でコントラストレシオが低下しない高ｗＩ細な画像を構
成するための画素形成用電極群を、簡単に形成すること
ができる。さらに、埋設片をＰＬＺＴグリーンシートの
焼成時に加熱分解して除去可能な樹脂材料で形成した場
合には、埋設片を除去する工程が不要になり、さらに簡
単になる。また。
本第２発明方法では、加工の容易なＰＬＺＴグリーンシ
ートのシート面に複数のＱ形成部を形成してからＰＬＺ
Ｔグリーンシートを焼成する工程と、これらの電極形成
部に導電性ペーストを充填することによって所定の画素
形成用電極を形成する工程とからなっているので１画素
内部の電界分布が均一でコントラストレシオが低下しな
い高精細な画像を構成するための画素形成用電極群を。
ートのシート面に複数のＱ形成部を形成してからＰＬＺ
Ｔグリーンシートを焼成する工程と、これらの電極形成
部に導電性ペーストを充填することによって所定の画素
形成用電極を形成する工程とからなっているので１画素
内部の電界分布が均一でコントラストレシオが低下しな
い高精細な画像を構成するための画素形成用電極群を。
簡単に形成することができる。
第１１ （ａ）＝（ａ）は本第１・発明によるＰＬＺＴ
ライトバルブの電極形成方法の一実施例を示す工程の説
明図、第２図（ａ）−（ｃ）は本第２発明によるＰＬＺ
Ｔライトバルブの電極形成方法の一実施例を示す工程の
説明図、第３図は従来の表面電極法などで形成された内
部電界が不均一になる１画素の構成を示す斜視図、第４
図は第３図の電界分布を説明する説明図、第５図は従来
の平行板電極法などで形成された内部電界が均一になる
１画素の構成を示す斜視図、第６図は第５図の電界分布
を説明する説明図である。 １．１１・・・画素、２・・・入射光の光軸、３・・・
ＰＬＺＴ板、７，１７・・・電気力線、１３・・・ＰＬ
ＺＴ、 １４．１５．２２・・・画素形成用電極、２１
・・・ＰＬＺＴグリーンシート、２３・・・樹脂膜、２
５・・・埋設片、２７・・・ＰＬＺＴシート、２９．２
９ａ−凹部（ｆｌ！極形酸形成部３１・・・画素、３３
．３５・・・画素形成用電極。
ライトバルブの電極形成方法の一実施例を示す工程の説
明図、第２図（ａ）−（ｃ）は本第２発明によるＰＬＺ
Ｔライトバルブの電極形成方法の一実施例を示す工程の
説明図、第３図は従来の表面電極法などで形成された内
部電界が不均一になる１画素の構成を示す斜視図、第４
図は第３図の電界分布を説明する説明図、第５図は従来
の平行板電極法などで形成された内部電界が均一になる
１画素の構成を示す斜視図、第６図は第５図の電界分布
を説明する説明図である。 １．１１・・・画素、２・・・入射光の光軸、３・・・
ＰＬＺＴ板、７，１７・・・電気力線、１３・・・ＰＬ
ＺＴ、 １４．１５．２２・・・画素形成用電極、２１
・・・ＰＬＺＴグリーンシート、２３・・・樹脂膜、２
５・・・埋設片、２７・・・ＰＬＺＴシート、２９．２
９ａ−凹部（ｆｌ！極形酸形成部３１・・・画素、３３
．３５・・・画素形成用電極。
Claims (3)
- （１）ＰＬＺＴグリーンシートに複数の埋設片を埋め込
み、ついで前記ＰＬＺＴグリーンシートを焼成し前記複
数の埋設片を除去することによって複数の電極形成部を
形成し、これらの電極形成部に導電性ペーストを充填す
ることによって、極板面がＰＬＺＴを介して平行に対峙
するとともに入射光の光軸と平行になる画素形成用電極
群を形成してなることを特徴とするＰＬＺＴライトバル
ブの電極形成方法。 - （２）埋設片はＰＬＺＴグリーンシートの焼成時に加熱
分解して除去可能な樹脂材料で形成してなる請求項（１
）記載のＰＬＺＴライトバルブの電極形成方法。 - （３）ＰＬＺＴグリーンシートのシート面に複数の電極
形成部を形成してから前記ＰＬＺＴグリーンシートを焼
成し、ついで前記複数の電極形成部に導電性ペーストを
充填することによって、極板面がＰＬＺＴを介して平行
に対峙するとともに入射光の光軸と平行になる画素形成
用電極群を形成してなることを特徴とするＰＬＺＴライ
トバルブの電極形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17528989A JPH0339714A (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | Ｐｌｚｔライトバルブの電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17528989A JPH0339714A (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | Ｐｌｚｔライトバルブの電極形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339714A true JPH0339714A (ja) | 1991-02-20 |
Family
ID=15993514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17528989A Pending JPH0339714A (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | Ｐｌｚｔライトバルブの電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0339714A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5430570A (en) * | 1992-07-22 | 1995-07-04 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Light deflector |
-
1989
- 1989-07-06 JP JP17528989A patent/JPH0339714A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5430570A (en) * | 1992-07-22 | 1995-07-04 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Light deflector |
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