JPH034036Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、半導体製造の初期工程で半導体単結
晶インゴツトのオリエンテ−シヨンフラツト（以
下OFという）面を確認する際や、その後の単結
晶結晶軸の方位測定をする際に用いられる測定用
治具に関する。

〔従来の技術〕

半導体デバイスの製造工程においては、デバイ
ス特性との関係から、用いられる半導体単結晶ウ
エ−ハは、その結晶方位が一定になるよう管理さ
れている。この管理の手段は、円形ウエ−ハの外
周の一部分を平らに切り欠き、この面を基準にす
ることにより行なう。この切り欠き面をOF面と
いい、半導体製造工程の初期段階、すなわち単結
晶インゴツトの状態のとき、その決められた側面
を研削することによりOF面を形成している。OF
面形成後、確認のため、Ｘ線回析法によりOF面
の測定を行ない、さらに単結晶の結晶軸方位測定
をする。ここで、OF面確認のためにはインゴツ
ト側面のOF面を、結晶軸測定にためにはインゴ
ツト断面を計測することになる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ところが、このとき用いられる計測機器は、
OF面確認時と結晶軸測定時とで第６図及び第７
図に示すように、別々の形状のワ−ク載置部で構
成されているため交換の必要がある。交換の際
は、ワ−ク載置部１０，１０′の取り外し、取り
付けの操作がボルト１１に依つているため面倒で
時間がかかり、しかも載置部が重量物のため危険
がともない作業効率ひいては生産効率を低下させ
ていた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、前記のような問題点を解決すべくな
されたもので、 斜面及び／又は上面に若干の幅をもつ一以上の
直線溝１を奥行方向に穿設したＶブロツク型受器
２と、 前記直線溝１の断面形状に略一致する断面形状
を有し、前記直線溝に対して摺動可能な突部３を
備え且つ、前記Ｖブロツク型受器２の斜面及び／
又は上面に密着して摺動できる面をその一構成面
として前記突部以外にもつ断面多角形のワ−ク載
置器４と、 前記ワ−ク載置器４にその上面後端部に直立し
て設けられた、Ｘ線回析用窓５を有するワ−ク支
持体６と、 から成り、 Ｖブロツク型受器２に穿説された直線溝１とワ
−ク載器器４の突部３とが係合摺動可能であるこ
とにより、ワ−ク載置器が、Ｖブロツク型受器か
ら適宜着脱できるようにしたものである。

〔作用〕

本考案においては、Ｖブロツク型受器に穿設さ
れた直線溝に、ワ−ク載置器の突部が係合摺動す
る。Ｖブロツク型受器の斜面及び／又は上面に密
着する一面を有するワ−ク載置器は、したがつ
て、前記直線溝をあたかもレ−ルとするような状
態でＶブロツク型受器上に納まることになる。
OF面確認時は、Ｖブロツク型受器にワ−ク載置
器を取り付けた状態で用いられ（これを第１図及
び第２図に示す）、結晶方位測定時には、ワ−ク
載置器を外したＶブロツク型受器のみの状態で使
用される（これを第４図及び第５図に示す）。

以下、実施例をあげながら本考案をさら詳説す
る。

〔実施例〕

第１図及び第２図に示すように、ワ−ク載置器
４をＶブロツク型受器２にセツトした装置にOF
面を形成したシリコン単結晶インゴツト７を載せ
OF面の確認を行なつた。次に、ワ−ク載置器を
Ｖブロツク型受器から取り外し、Ｖブロツク型受
器上に第４図及び第５図に示すようにシリコン単
結晶インゴツト７をセツトし結晶軸方位測定を行
なつた。

OF確認終了から、Ｖブロツク型受器をワ−ク
載置器から取外し結晶軸方位測定が終了するまで
に要した時間は、インゴツト１本当りほぼ４分
で、従来の12分に比し約１／３に短縮され、作業
効率が向上した。

ワ−ク載置器４のＶブロツク型受器２への取り
付けは、Ｖブロツク型受器斜面下に穿設された直
線溝１に、ワ−ク載置器下部に設けられている突
部３を係合させ奥行方向に摺動スライドさせて行
ない、取り外しはこの逆を行なう。

また、OF面確認時に用いるワ−ク載置器上の
ワ−ク支持体６にはＸ線回析用窓５が設けてあ
り、ここから計測用のＸ線８が入射し、OF面で
反射してＸ線回析器の受信側へ向かう。

〔考案の効果〕

本考案は、以上のような構成によりOF面確認
時と、結晶方位測定時とで従来のように治具交換
作業を行なう必要はなく、適宜ワ−ク載置器を取
り付け域は取り外しを行なえばいい。この作業
は、従来のように、ボルトの取り外しや、重量物
の移動等の時間と人手のかかるしかも危険なもの
ではなく、ただ、Ｖブロツク型受器に穿設された
直線溝とワ−ク載置器の突部とを係合させて取り
付け、もしくは取り外しを行なうのみであるか
ら、きわめて簡単で安全なしかも効率的なものと
なる。

また装置の安定性についても、ワ−ク載置器を
Ｖブロツク型受器に搭載している状態では、ワ−
ク載置器は突部以外の面でもＶブロツク型受器に
摺動可能に密着接しているから、ガタつくことは
ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案を用いたOF面確認のための
測定状態を示す平面図、第２図は、本考案を用い
たOF面確認のための測定状態を示す正面図、第
３図は、本考案の一実施例に用いられるワ−ク載
置器の斜視図、第４図は本考案を用いた結晶方位
の測定状態を示す平面図、第５図は、本考案を用
いた結晶方位の測定状態を示す正面図、第６図
は、従来のOF面確認のための測定装置の要部縦
断面図、第７図は、従来の結晶方位測定のための
測定装置の要部縦断面図、第８図は、本考案を用
いたOF面確認のための他の測定状態を示す正面
図。 １……直線溝、２……Ｖブロツク型受器、３…
…突部、４……ワ−ク載置器、５……Ｘ線回析用
窓、６……ワ−ク支持体、７……シリコン単結晶
インゴツト、８……Ｘ線、１０，１０′……ワ−
ク載置部、１１……ボルト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 斜面及び／又は上面に若干の幅をもつ一以上の
   直線溝を奥行方向に穿設したＶブロツク型受器
   と、 前記直線溝の断面形状に略一致する断面形状を
   有し、前記直線溝に対し摺動可能な突部を備え且
   つ、前記Ｖブロツク型受器の斜面及び／又は上面
   に密着して摺動できる面をその一構成面として前
   記突部以外にもつ断面多角形のワ−ク載置器と、 前記ワ−ク載置器に、その上面後端部に直立し
   て設けられた、Ｘ線回析用窓を有するワ−ク支持
   体と、 から成り、 前記直線溝と前記突部とが係合摺動可能である
   ことにより、前記ワ−ク載置器が、前記Ｖブロツ
   ク型受器から適宜着脱できることを特徴とする結
   晶方位−オリエンテ−シヨンフラツト面測定用治
   具。