JPH0340925A - 磁気ヘッドスライダー材料 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、磁気ヘッドスライダ−材料に関する。特に、
記録媒体とのなじみ、金属性磁性膜との熱整合性等に優
れ、薄膜磁気ヘッド装着に適した磁気ヘッドスライダ−
材料に関するものである。

従来技術 一般に、磁気ヘッドスライダ−材料は、非磁性材料であ
るが、耐摩耗性を始め精密加工性、加工能率、高強度、
組織の緻密性、さらには記録媒体とのなじみ、潤滑性、
金属性磁性膜との熱的整合性や被着強度などの諸特性が
要求されている。

従来、コンピューター用をはじめオーディオ用、ＶＴＲ
用の記録再生用磁気ヘッドにはフェライト、パーマロイ
が用いられ、スライダー材料としては、ＡＩ、Ｏ，−Ｔ
ｉＣ系（特開昭５５−１６３６６５号）が、最適な材料
の一つとされていた。

しかしながら、この材料は、記録媒体とのなじみ、潤滑
性の点で必ずしも安定な材料とはいえず、ＡＩ、Ｏ，−
ＴｉＣ系の熱膨張係数も、７５〜８０　ｘ　１０　’／
℃であり、これら材料表面に金属性磁性膜等を形成させ
た場合、機能部材と薄膜との熱膨張係数の差が大きく、
熱整合性及び被着強度の面で問題があった。

また、ヘッド材料のフェライトは磁性を持つため、スラ
イダー材料に適さず、Ａｌ、Ｏ。

ＴｉＣ系材料を使用せざるを得なかった。

今日、磁気記録の高密度化、高速化に伴い、薄膜磁気ヘ
ッド化が進められている。記録再生のための磁気回路部
材としては高周波域の磁気特性がすぐれたセンダストあ
るいはアモルファス薄膜が使用されており、この材料に
適したスライダー材料が必要となってきた。

本発明者等は、上記欠点を解決すべく鋭意検討した結果
、以下の発明をなした。

発明の構成 即ち、本発明は、（１）　ＣｏｘＮ　ｉ　、−ｘｏ。

（ただし０．２≦ｘ≦１．８）で表わされることを特徴
とする磁気ヘッドスライダ−材料。

（２）Ｃｏｏ、ＮｉＯを基本組成として、Ｍｎｏ％Ｔｉ
ｅ、、ＡＩ２Ｏ３、ＣａＯの中から選ばれた少なくとも
１種をＯ０１〜５ｗｊ％添加した上記（１）記載の磁気
ヘッドスライダ−材料、（３）ＣｏＯ、ＮｉＯを基本組
成として、１〜５ｗＬ％のＹ２Ｏ３、あるいは０゜１〜
ｌＷｔ、％のＴｉＮ、または０．３〜２ｗ℃％のＢ、Ｏ
，のうち、少なくとも１種を添加した上記（１）記載の
磁気ヘッドスライダ−材料、（４）ＭｇＯ、ＣａＯ、Ｃ
ｏＯ、ＮｉＯから成る組成の混合セラミックスにおいて
、ＭｇＯ，ＣａＯそれぞれが３０モル％以下含有し、か
つ残部がＣｏｘＮｉ、−ｘｏ、（ただし０．２≦ｘ≦１
．８）から成り、岩塩型構造を有する上記（１）記載の
磁気ヘッドスライダ−材料に関する。

発明の詳細な説明 本発明は、上記の欠点を解決したもので、金属性磁性膜
との熱整合性や被着強度にすぐれ、＃４摩耗性、精密加
工性、高強度、組織の緻密性、さらには記録媒体とのな
じみ、潤滑性等の諸特性を満足する磁気へラドスライダ
材料を提供することが目的である。

磁気ヘッドスライダ−の−例を第１図に示す。金属磁性
体膜（１）をボンディングガラス（２）により接着し、
非磁性基板（３）で保護したもの（コア）を装備した部
材がスライダーである。

本発明者等は、かかる観点から多くの材料を検討し、Ｃ
ｏｘＮ　ｉ２−ｘＯ２（ただし　０．２≦ｘ≦１．８）
なる組成の酸化物が有効であることを見い出した。木組
威範囲内では、熱膨張係数は１２８〜ｌ　５０　Ｘ　１
０”／℃に容易に調整できる。また硬度（ビッカース硬
度）は５５０〜６００でセンダストの物性値に近いもの
である。

また、添加材についても検討を続け、上記組成を基本組
成として、Ｍｎ○、Ｔ　ｉ　Ｏ，、Ａｌ２Ｏ３、ＣａＯ
の中から選ばれた少なくとも１種を０．１〜５　ｗ　ｔ
％添加した場合は、Ｍ　ｎ　Ｏは焼結性が促進し、Ｔ　
：　Ｏ，、ＣａＯは硬度の増加をもたらし、Ａｌ、○、
は粒成長の抑制に効果を有する。あるいは１〜５ｗｔ％
をＹ２Ｏ，添加した場合は、粒成長の抑制に効果がある
。また０、１〜１ｗｔ％のＴｉＮ添加の場合は、硬度の
増加をもたらす。または０．３〜２ｗｔ％のＢ１０．添
加の場合は、焼結性の促進をもたらす これらの添加材により硬度は６００〜７００となり、セ
ンダストの値により近い値となるため均質性の点で好ま
しい。

さらにＣｏｘＮｉ、−ｘｏ、（ただし　０．２≦ｘ≦１
．８）と他の酸化物との混合セラミックスについても検
討し、ＭｇＯ，ＣａＯ１Ｃ００、ＮｉＯから成る組成の
混合セラミックスにおいて、ＭｇＯ，ＣａＯそれぞれが
３０モル％以下含有し、かつ残部がＣｏｘＮｉ、−ｘＯ
□（ただし０．２≦ｘ≦１．８）から成り、岩塩型構造
を有する場合でも上記目的を達成することを見出した。

ＭｇＯ，ＣａＯは焼結促進の効果があり硬度が増加し、
また熱膨張率もＣａＯ、ＮｉＯと比べて大きな差がない
ことから有効である。

範囲外では熱膨張率の低下が著しく、偏析が生じ密度が
低下するので望ましくない。

さらに詳述すれば、例えば、市販の酸化物を原料として
、所望組成になるよう秤量し、ボールミルにより混合す
る。混合は例えばエタノール中湿式ボールミルで１０〜
３０時間行なう。

乾燥後、ＣＩＰ成形し、例えばＮ、中８５０−１１００
℃で仮焼し、次いで粗砕機を用いて粉砕し、１００〜２
００μｍの篩で篩分けを行なう。

仮焼粉はさらに例えばエタノール中湿式ボールミルで２
０〜７２時間処理し、１μｍ以下に微粉砕する。

これを造粒後、ＣＩＰ成形し、例えば０１中１２３０〜
１４０ｏ℃で焼結し、その後、ＨＴＰ処理を行なう。Ｈ
ＩＰ処理条件は、８００〜１２００　ｋｇ　／　ｃｏ！
、１２００〜１３５０°Ｃ１１〜２０８間が望ましい。

このようにして得られた焼結体は、研削及び切削により
磁気ヘッドスライダ−に加工される。

加工されたスライダーは要求される緒特性すなわち剛摩
耗性、精密加工性、高強度、組織の緻密性、さらには記
録媒体とのなじみ、潤滑性等を満足し、特に被着する企
属性磁性膜に近い熱膨張係数を有し、金属外磁性膜との
熱整合性や被着強度に、従来にないすぐれた性能を示す
。

特に、木材料はセンダストとほぼ同様の熱膨張係数を有
することから、磁気ヘッドと同じ材料であるため、均質
性にも優れ、より好ましい。

［実施例］ Ｃｏｏ、ＮｉＱを原料にＣ（＋ＮｉＯ，組成となるよう
に調整し混合した。これをＮ３　中ｉ　ｏｏｏ℃で仮焼
後、エタノール−の湿式ボールミルで２２時間粉砕した
。この粉砕粉をＣＩＰ成形後０１　中１３５０℃で焼結
した。

ＨＩＰ処理は、１２８０℃、ｌｏｏｏｋｇ／Ｃボ、１時
間行なった。

この実施例による焼結体の物性値は以下のとおりである
。

■密度　　　　６．５ｇ／ｃｎＪ ■硬度　Ｔ（ｖ７ＱＱ ■抗折力　　　　３０ｋｇ／ｍｍ ■平均結晶粒径　　６．８μｍ ■熱膨張率　　１３６ｘｌＯ“７℃ なお、熱膨張係数は材料の組成によりその値が決定され
、表１に示すように１２８〜１５０ｘｌＯ“７℃の特性
を示す。

表１には、比較例としてＡｌ、○、−ＴｉＣ系、チタン
酸カルシウムおよびセンダストの熱膨張係数を併記する
。

表１ このｈ’ｔ＝結体を研削及び切削により加工したところ
、ｔ？ｉ密加密性工性好で、磁気ヘッドスライダ−とし
て充分機能した。

発明の詳細 な説明したように、（１）本組成の材料は、熱膨張率、
硬度とも磁性膜構造体とほぼ同等の特性を得ることがで
きる。

このため、耐摩耗性、精密加工性、高強度、組織の緻密
性、さらには記録媒体とのなじみ、潤滑性等の緒特性を
満足できる。

（２）特に金属性磁住薄膜との熱整合性や被着強度に、
従来材料にないすぐれた性能を有するため、薄膜磁気ヘ
ッド装着に最適である。

【図面の簡単な説明】

図１は、磁気ヘッドスライダ−概観図の一例である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｃｏ＿ｘＮｉ＿２＿−＿ｘＯ＿２（ただし０．２
   ≦ｘ≦１．８）で表わされることを特徴とする磁気ヘッ
   ドスライダー材料
2. （２）ＣｏＯ、ＮｉＯを基本組成として、 ＭｎＯ、ＴｉＯ＿２、Ａｌ＿２Ｏ＿２、ＣａＯの中から
   選ばれた少なくとも１種を０．１〜５ｗｔ％添加したこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッド
   スライダー材料
3. （３）ＣｏＯ、ＮｉＯを基本組成として、 １〜５ｗｔ％のＹ＿２Ｏ＿３、あるいは０．１〜１ｗｔ
   ％のＴｉＮ、または０．３〜２ｗｔ％のＢ＿２Ｏ＿３の
   うち、少なくとも１種を添加したことを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドスライダー材料
4. （４）ＭｇＯ、ＣａＯ、ＣｏＯ、ＮｉＯか ら成る組成の混合セラミックスにおいて、ＭｇＯ、Ｃａ
   Ｏそれぞれが３０モル％以下含有し、かつ残部がＣｏ＿
   ｘＮｉ＿２＿−＿ｘＯ＿２（ただし０．２≦ｘ≦１．８
   ）から成り、岩塩型構造を有することを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドスライダー材料