JPH0340943B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0340943B2 JPH0340943B2 JP59185444A JP18544484A JPH0340943B2 JP H0340943 B2 JPH0340943 B2 JP H0340943B2 JP 59185444 A JP59185444 A JP 59185444A JP 18544484 A JP18544484 A JP 18544484A JP H0340943 B2 JPH0340943 B2 JP H0340943B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- chute
- air passage
- electronic components
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、IC（集積回路）デバイス等の電子部
品を低温の雰囲気中で動作試験をするために恒温
槽部内の測定部へ被測定電子部品を搬送する電子
部品搬送装置に関し、特に電子部品のジヤミング
を防止すると共に処理個数を増大することができ
る電子部品搬送装置に関する。
品を低温の雰囲気中で動作試験をするために恒温
槽部内の測定部へ被測定電子部品を搬送する電子
部品搬送装置に関し、特に電子部品のジヤミング
を防止すると共に処理個数を増大することができ
る電子部品搬送装置に関する。
従来の技術
従来のこの種の電子部品搬送装置は、第４図に
示すように、マガジン１に収納された被測定電子
部品２を恒温槽部３内の測定部４へ供給する適宜
の傾斜角の分類シユート５を有すると共に、上記
測定部４の測定結果により電子部品２を分類して
マガジン６に収納する適宜の傾斜角の分類シユー
ト７を有していた。なお、符号４′は、電子部品
テスタに接続するケーブルである。そして、低温
試験をするには、上記恒温槽部３内に液体窒素を
導入して槽内を設定温度な保つが、このとき該恒
温槽部３の入口８又は出口９から低温の窒素ガス
が流出することがある。例えば、第５図に示すよ
うに、恒温槽部３の出口９側において、上下動す
るシヤツタ１０の部分から矢印Ａ，A′のように
窒素ガスが流出し、分類シユート７の表面が結露
することがあつた。このとき、上記分類シユート
７の滑走面を滑る電子部品２が結露部分に吸着し
て滑らなくなりジヤミングを起こすことがあつ
た。そこで、従来は、第５図に示すように、分類
シユート７の終端部に設けられたストツパ１１の
部分から、矢印Ｂのように斜め下から斜め上方に
向けて圧力エアを吹き出し、上記窒素ガスの流出
による結露を乾燥又は吹き飛ばし、ジヤミングを
防止していた。
示すように、マガジン１に収納された被測定電子
部品２を恒温槽部３内の測定部４へ供給する適宜
の傾斜角の分類シユート５を有すると共に、上記
測定部４の測定結果により電子部品２を分類して
マガジン６に収納する適宜の傾斜角の分類シユー
ト７を有していた。なお、符号４′は、電子部品
テスタに接続するケーブルである。そして、低温
試験をするには、上記恒温槽部３内に液体窒素を
導入して槽内を設定温度な保つが、このとき該恒
温槽部３の入口８又は出口９から低温の窒素ガス
が流出することがある。例えば、第５図に示すよ
うに、恒温槽部３の出口９側において、上下動す
るシヤツタ１０の部分から矢印Ａ，A′のように
窒素ガスが流出し、分類シユート７の表面が結露
することがあつた。このとき、上記分類シユート
７の滑走面を滑る電子部品２が結露部分に吸着し
て滑らなくなりジヤミングを起こすことがあつ
た。そこで、従来は、第５図に示すように、分類
シユート７の終端部に設けられたストツパ１１の
部分から、矢印Ｂのように斜め下から斜め上方に
向けて圧力エアを吹き出し、上記窒素ガスの流出
による結露を乾燥又は吹き飛ばし、ジヤミングを
防止していた。
発明が解決しようとする問題点
しかし、上記の従来技術においては、ジヤミン
グ防止のための圧力エアの吹き出し方向は、矢印
Ｂのように電子部品２の滑走方向Ｃに対して鋭角
で交わつており、上記圧力エアは上記滑走方向Ｃ
と反対方向のベクトル成分B′を有していた。し
たがつて、分類シユート７上を矢印Ｃのように滑
走してくる電子部品２に上記ベクトル成分B′に
よつてブレーキがかかり、滑走速度が小さくなる
ものであつた。このことから、分類シユート７で
分類してマガジン６に収納する処理個数が低下す
るものであつた。そこで、本発明はこのような問
題点を解決することを目的とする。
グ防止のための圧力エアの吹き出し方向は、矢印
Ｂのように電子部品２の滑走方向Ｃに対して鋭角
で交わつており、上記圧力エアは上記滑走方向Ｃ
と反対方向のベクトル成分B′を有していた。し
たがつて、分類シユート７上を矢印Ｃのように滑
走してくる電子部品２に上記ベクトル成分B′に
よつてブレーキがかかり、滑走速度が小さくなる
ものであつた。このことから、分類シユート７で
分類してマガジン６に収納する処理個数が低下す
るものであつた。そこで、本発明はこのような問
題点を解決することを目的とする。
問題点を解決するための手段
そして上記の問題点は本発明によれば、マガジ
ンに収納された被測定電子部品を低温試験用の恒
温槽部内の測定部へ供給する適宜の傾斜角の分類
シユートを有すると共に、上記測定部の測定結果
により電子部品をマガジンに分類収納する適宜の
傾斜角の分類シユートを有する電子部品搬送装置
において、上記分類シユートの恒温槽部入口近傍
又は分類シユートの恒温槽部出口近傍のいずれか
に、その下面側から電子部品の滑走面側に向けて
該電子部品の滑走方向と鋭角で交わる吹き出し方
向を有するエア通路を穿設し、このエア通路を介
して電子部品の滑走方向Ｃに沿うベクトル成分を
有する圧力エアを斜め上向きに吹き出すようにし
たことを特徴とする電子部品搬送装置を提供する
ことによつて解決される。
ンに収納された被測定電子部品を低温試験用の恒
温槽部内の測定部へ供給する適宜の傾斜角の分類
シユートを有すると共に、上記測定部の測定結果
により電子部品をマガジンに分類収納する適宜の
傾斜角の分類シユートを有する電子部品搬送装置
において、上記分類シユートの恒温槽部入口近傍
又は分類シユートの恒温槽部出口近傍のいずれか
に、その下面側から電子部品の滑走面側に向けて
該電子部品の滑走方向と鋭角で交わる吹き出し方
向を有するエア通路を穿設し、このエア通路を介
して電子部品の滑走方向Ｃに沿うベクトル成分を
有する圧力エアを斜め上向きに吹き出すようにし
たことを特徴とする電子部品搬送装置を提供する
ことによつて解決される。
作 用
本発明による電子部品搬送装置は、分配シユー
ト又は分類シユートの下面側から電子部品の滑走
面側に向けて該電子部品の滑走方向と鋭角で交わ
る吹出し方向を有するエア通路を穿設し、このエ
ア通路を介して電子部品の滑走方向に沿うベクト
ル成分を有する圧力エアを斜め上向きに吹き出す
ことにより、分配シユート又は分類シユートの表
面に付着した結露を乾燥又は吹き飛ばすと共に、
上記分配シユート又は分類シユート上を滑走する
電子部品をその滑走方向に沿つて押し出すもので
ある。
ト又は分類シユートの下面側から電子部品の滑走
面側に向けて該電子部品の滑走方向と鋭角で交わ
る吹出し方向を有するエア通路を穿設し、このエ
ア通路を介して電子部品の滑走方向に沿うベクト
ル成分を有する圧力エアを斜め上向きに吹き出す
ことにより、分配シユート又は分類シユートの表
面に付着した結露を乾燥又は吹き飛ばすと共に、
上記分配シユート又は分類シユート上を滑走する
電子部品をその滑走方向に沿つて押し出すもので
ある。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基いて詳細
に説明する。
に説明する。
本発明による電子部品搬送装置は、第４図に示
す従来例と同様に、マガジン１に収納されたIC
デバイス等の被測定電子部品２を低温試験用の恒
温槽部３内の測定部４へ供給する適宜の傾斜角の
分配シユート５を有すると共に、上記測定部４の
測定結果により電子部品２を分類してマガジン６
に収納する適宜の傾斜角の分類シユート７を有し
ている。
す従来例と同様に、マガジン１に収納されたIC
デバイス等の被測定電子部品２を低温試験用の恒
温槽部３内の測定部４へ供給する適宜の傾斜角の
分配シユート５を有すると共に、上記測定部４の
測定結果により電子部品２を分類してマガジン６
に収納する適宜の傾斜角の分類シユート７を有し
ている。
上記分配シユート５は、第１図に示すように、
恒温槽部３の入口８側に位置されており、マガジ
ン１内に収納された被測定電子部品２を自動滑走
により、上記恒温槽部３へ供給するものである。
そして、この分配シユー５の恒温槽部３の入口８
へ向う近傍には、その下面側から上面の電子部品
２の滑走面側に向けて（第２図参照）エア通路１
２が穿設されている。このエア通路１２は、上記
分配シユート５の滑走面な部分へ矢印Ｄのように
斜め上向きに圧力エアを吹き出すもので、この圧
力エアの吹き出し方向Ｄは分配シユート５上の電
子部品２の滑走方向Ｅと鋭角で交わるようにされ
ている。上記分配シユート５の下面側には、上記
エア通路１２と連続するノズル１３が形成された
ノズル部材１４が設けられると共に、絞り弁１５
が設けられている。この絞り弁１５は、圧力エア
の供給管１６と上記ノズル１３とを連結すると共
に、圧力エアの流量を調節するものである。
恒温槽部３の入口８側に位置されており、マガジ
ン１内に収納された被測定電子部品２を自動滑走
により、上記恒温槽部３へ供給するものである。
そして、この分配シユー５の恒温槽部３の入口８
へ向う近傍には、その下面側から上面の電子部品
２の滑走面側に向けて（第２図参照）エア通路１
２が穿設されている。このエア通路１２は、上記
分配シユート５の滑走面な部分へ矢印Ｄのように
斜め上向きに圧力エアを吹き出すもので、この圧
力エアの吹き出し方向Ｄは分配シユート５上の電
子部品２の滑走方向Ｅと鋭角で交わるようにされ
ている。上記分配シユート５の下面側には、上記
エア通路１２と連続するノズル１３が形成された
ノズル部材１４が設けられると共に、絞り弁１５
が設けられている。この絞り弁１５は、圧力エア
の供給管１６と上記ノズル１３とを連結すると共
に、圧力エアの流量を調節するものである。
そして、上記絞り弁１５を開いて供給管１６か
ら圧力エアを供給すると、ノズル１３及びエア通
路１２を介して矢印Ｄ方向に圧力エアが吹き出さ
れる。このとき、上記圧力エアの斜め上向きの吹
き出し方向は、矢印Ｄのように電子部品２の滑走
方向Ｅと鋭角で交わつているので、上記圧力エア
はその滑走方向Ｅに沿う方向のベクトル成分
D′を有している。したがつて、上記圧力エアの
矢印Ｄ方向の吹き出しにより、恒温槽部３の入口
８のシヤツタ１０の部分から矢印Ａ，A′のよう
に流出する低温の窒素ガスによつて上記分配シユ
ート５の表面に付着した結露を乾燥又は吹き飛ば
すことができると共に、滑走方向Ｅに沿う方向の
ベクトル成分D′により分配シユー５上を滑走す
る電子部品２を押し出し、その滑走速度を大きく
することができる。
ら圧力エアを供給すると、ノズル１３及びエア通
路１２を介して矢印Ｄ方向に圧力エアが吹き出さ
れる。このとき、上記圧力エアの斜め上向きの吹
き出し方向は、矢印Ｄのように電子部品２の滑走
方向Ｅと鋭角で交わつているので、上記圧力エア
はその滑走方向Ｅに沿う方向のベクトル成分
D′を有している。したがつて、上記圧力エアの
矢印Ｄ方向の吹き出しにより、恒温槽部３の入口
８のシヤツタ１０の部分から矢印Ａ，A′のよう
に流出する低温の窒素ガスによつて上記分配シユ
ート５の表面に付着した結露を乾燥又は吹き飛ば
すことができると共に、滑走方向Ｅに沿う方向の
ベクトル成分D′により分配シユー５上を滑走す
る電子部品２を押し出し、その滑走速度を大きく
することができる。
上記分類シユート７は、第３図に示すように、
恒温槽部３の出口９側に位置されており、測定部
４の測定結果により電子部品２を適宜分類して、
自動滑走によりマガジン６内へ収納するものであ
る。そして、この分類シユート７の恒温槽部３の
出口近傍には、第１図及び第２図に示す分配シユ
ート５の場合と同様に、その下面側から上面の電
子部品２の滑走面側に向けてエア通路１２′が穿
設されている。このエア通路１２′は、上記分類
シユート７の滑走面の部分へ矢印Ｆのように斜め
上向きに圧力エアを吹き出すもので、この圧力エ
アの吹き出し方向Ｆは分類シユート７上の電子部
品２の滑走方向Ｃと鋭角で交わるようにされてい
る。ノズル部材１４′、絞り弁１５′及び圧力エア
の供給管１６′は、第１図の分配シユート５の場
合と同様に構成されている。したがつて、上記絞
り弁１５′を開いて供給管１６′から圧力エアを供
給すると、ノズル１３′及びエア通路１２′を介し
て矢印Ｆ方向に斜め上向き圧力エアが吹き出さ
れ、その圧力エアには電子部品２の滑走方向Ｃに
沿う方向のベクトル成分F′が含まれることとな
る。
恒温槽部３の出口９側に位置されており、測定部
４の測定結果により電子部品２を適宜分類して、
自動滑走によりマガジン６内へ収納するものであ
る。そして、この分類シユート７の恒温槽部３の
出口近傍には、第１図及び第２図に示す分配シユ
ート５の場合と同様に、その下面側から上面の電
子部品２の滑走面側に向けてエア通路１２′が穿
設されている。このエア通路１２′は、上記分類
シユート７の滑走面の部分へ矢印Ｆのように斜め
上向きに圧力エアを吹き出すもので、この圧力エ
アの吹き出し方向Ｆは分類シユート７上の電子部
品２の滑走方向Ｃと鋭角で交わるようにされてい
る。ノズル部材１４′、絞り弁１５′及び圧力エア
の供給管１６′は、第１図の分配シユート５の場
合と同様に構成されている。したがつて、上記絞
り弁１５′を開いて供給管１６′から圧力エアを供
給すると、ノズル１３′及びエア通路１２′を介し
て矢印Ｆ方向に斜め上向き圧力エアが吹き出さ
れ、その圧力エアには電子部品２の滑走方向Ｃに
沿う方向のベクトル成分F′が含まれることとな
る。
なお、本発明は、分配シユート５又は分類シユ
ート７のいずれか一方にのみエア通路１２又は１
２′を設けて圧力エアを吹き出してもよいが、分
配シユート５及び分類シユート７の両方にそれぞ
れエア通路１２，１２′を設け各々のエア通路１
２，１２′から圧力エアを吹き出してもよい。後
者の場合は、恒温槽部３の入口８及び出口９の両
方においてジヤミングを防止すると共に、電子部
品２を滑走速度を大きくして処理個数を大幅に向
上することができる。
ート７のいずれか一方にのみエア通路１２又は１
２′を設けて圧力エアを吹き出してもよいが、分
配シユート５及び分類シユート７の両方にそれぞ
れエア通路１２，１２′を設け各々のエア通路１
２，１２′から圧力エアを吹き出してもよい。後
者の場合は、恒温槽部３の入口８及び出口９の両
方においてジヤミングを防止すると共に、電子部
品２を滑走速度を大きくして処理個数を大幅に向
上することができる。
発明の効果
本発明は以上のように構成されたので、低温試
験用の恒温槽部３の入口８又は出口９のシヤツタ
１０の部分から流出する低温の窒素ガスによつて
分配シユート５又は分類シユート７の表面に付着
した結露を、上記それぞれのシユート５，７に穿
設されたエア通路１２，１２′からの斜め上向き
の圧力エアの吹き出しにより、乾燥又は吹き飛ば
すことができると共に、電子部品２の滑走方向に
沿うベクトル成分により分配シユート５又は分類
シユート７上を滑走する電子部品２を積極的に押
し出すことができる。従つて、上記電子部品２の
それぞれのシユート５，７上でのジヤミング防止
効果を向上することができる。
験用の恒温槽部３の入口８又は出口９のシヤツタ
１０の部分から流出する低温の窒素ガスによつて
分配シユート５又は分類シユート７の表面に付着
した結露を、上記それぞれのシユート５，７に穿
設されたエア通路１２，１２′からの斜め上向き
の圧力エアの吹き出しにより、乾燥又は吹き飛ば
すことができると共に、電子部品２の滑走方向に
沿うベクトル成分により分配シユート５又は分類
シユート７上を滑走する電子部品２を積極的に押
し出すことができる。従つて、上記電子部品２の
それぞれのシユート５，７上でのジヤミング防止
効果を向上することができる。
また、上記圧力エアの電子部品２の滑走方向に
沿うベクトル成分によつて分配シユート５又は分
類シユート７上を滑走する電子部品２をその滑走
方向に沿つて押し出すことができ、その滑走速度
を大きくすることができる。したがつて、被測定
電子部品２を速やかに測定部４へ供給したり、測
定後の電子部品２を速やかにマガジン６に分類収
納することができ、電子部品２の測定の処理個数
を増大して測定能率を向上することができる。
沿うベクトル成分によつて分配シユート５又は分
類シユート７上を滑走する電子部品２をその滑走
方向に沿つて押し出すことができ、その滑走速度
を大きくすることができる。したがつて、被測定
電子部品２を速やかに測定部４へ供給したり、測
定後の電子部品２を速やかにマガジン６に分類収
納することができ、電子部品２の測定の処理個数
を増大して測定能率を向上することができる。
第１図は本発明による電子部品搬送装置の分配
シユートの部分を示す正面説明図、第２図はその
要部を示す断面図、第３図は分類シユートの部分
を示す正面説明図、第４図は従来及び本発明の電
子部品搬送装置の全体を示す正面図、第５図は従
来の電子部品搬送装置の分類シユートの部分を示
す正面説明図である。 １……マガジン、２……電子部品、３……恒温
槽部、４……測定部、５……分配シユート、６…
…マガジン、７……分類シユート、８……恒温槽
部入口、９……恒温槽部出口、１２……エア通
路、１３……ノズル。
シユートの部分を示す正面説明図、第２図はその
要部を示す断面図、第３図は分類シユートの部分
を示す正面説明図、第４図は従来及び本発明の電
子部品搬送装置の全体を示す正面図、第５図は従
来の電子部品搬送装置の分類シユートの部分を示
す正面説明図である。 １……マガジン、２……電子部品、３……恒温
槽部、４……測定部、５……分配シユート、６…
…マガジン、７……分類シユート、８……恒温槽
部入口、９……恒温槽部出口、１２……エア通
路、１３……ノズル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ マガジンに収納された被測定電子部品を低温
試験用の恒温槽部内の測定部へ供給する適宜の傾
斜角の分配シユートを有すると共に、上記測定部
の測定結果により電子部品をマガジンに分類収納
する適宜の傾斜角の分類シユートを有する電子部
品搬送装置において、上記分配シユートの恒温槽
部入口近傍又は分類シユートの恒温槽部出口近傍
のいずれかに、その下面側から電子部品の滑走面
側に向けて該電子部品の滑走方向と鋭角で交わる
吹き出し方向を有するエア通路を穿設し、このエ
ア通路を介して電子部品の滑走方向に沿うベクト
ル成分を有する圧力エアを斜め上向きに吹き出す
ようにしたことを特徴とする電子部品搬送装置。 ２ 上記エア通路を、分配シユートの恒温槽部入
口近傍及び分類シユートの恒温槽部出口近傍の両
方に穿設し、それぞれのエア通路から圧力エアを
吹き出すようにしたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の電子部品搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59185444A JPS6164134A (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | 電子部品搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59185444A JPS6164134A (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | 電子部品搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6164134A JPS6164134A (ja) | 1986-04-02 |
| JPH0340943B2 true JPH0340943B2 (ja) | 1991-06-20 |
Family
ID=16170898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59185444A Granted JPS6164134A (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | 電子部品搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6164134A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0434462Y2 (ja) * | 1985-03-13 | 1992-08-17 | ||
| JPS6318279A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-26 | Minato Electron Kk | Ｉｃハンドラの搬送方法及びその装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542073A (en) * | 1977-06-07 | 1979-01-09 | Canon Inc | Alignment unit |
| JPS58168250A (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-04 | Toshiba Corp | 試験ヘッド装置 |
-
1984
- 1984-09-06 JP JP59185444A patent/JPS6164134A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6164134A (ja) | 1986-04-02 |
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