JPH0341345A - 重量結露センサ - Google Patents
重量結露センサInfo
- Publication number
- JPH0341345A JPH0341345A JP1177540A JP17754089A JPH0341345A JP H0341345 A JPH0341345 A JP H0341345A JP 1177540 A JP1177540 A JP 1177540A JP 17754089 A JP17754089 A JP 17754089A JP H0341345 A JPH0341345 A JP H0341345A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- dew condensation
- insulating substrate
- weight
- electrode film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は重量と結露を単一の素子で検出できるセンサに
関するもので、調理器などに利用される。
関するもので、調理器などに利用される。
従来の技術
従来、重量センサとして、特公平１−１３５２号公報に
示されるように、一対の絶縁性基板を一定間隔で隔て、
接着層により固定し、さらに一対の絶縁性基板の互いに
対向する表面に電極膜を形成した静電容量型重量センサ
が知られている。一対の絶縁性基板の一方をダイアフラ
ムとして利用し、このダイアフラムに重量が印加された
ときのダイアプラムの変形を静電容量変化として検出す
ることにより、重量を検出している。
示されるように、一対の絶縁性基板を一定間隔で隔て、
接着層により固定し、さらに一対の絶縁性基板の互いに
対向する表面に電極膜を形成した静電容量型重量センサ
が知られている。一対の絶縁性基板の一方をダイアフラ
ムとして利用し、このダイアフラムに重量が印加された
ときのダイアプラムの変形を静電容量変化として検出す
ることにより、重量を検出している。
また、結露センサは種りの種類が知られているが、代表
的温度センサとして、「結露センサ」（ナショナルテク
ニカルレポート、Ｖｏ１２４． Ｎｏ、３１９７８４３
６−４４３頁、万円、他）に示されるように、吸水性樹
脂とカーボンから成る結露検知膜を絶縁性基板に形成し
た結露センサが知られている。結露検知膜のインピーダ
ンスが結露により変化することを利用して、結露を検出
している。
的温度センサとして、「結露センサ」（ナショナルテク
ニカルレポート、Ｖｏ１２４． Ｎｏ、３１９７８４３
６−４４３頁、万円、他）に示されるように、吸水性樹
脂とカーボンから成る結露検知膜を絶縁性基板に形成し
た結露センサが知られている。結露検知膜のインピーダ
ンスが結露により変化することを利用して、結露を検出
している。
このように、従来、重量と結露を個別に検出できるセン
サは公知であるが、単一の素子で両者を検出できるもの
は知られていない。
サは公知であるが、単一の素子で両者を検出できるもの
は知られていない。
発明が解決しようとする課題
例えば、電子レンジなどの調理器で食品重量を検出する
場合、十分な精度で検出するために、結露により誤動作
防止を必要とした。しかし、重量と結露を単一の素子で
検出できるセンサは知られテイナイので、この誤動作防
止をするには２個のそれぞれのセンサを使用しなければ
ならなかった。
場合、十分な精度で検出するために、結露により誤動作
防止を必要とした。しかし、重量と結露を単一の素子で
検出できるセンサは知られテイナイので、この誤動作防
止をするには２個のそれぞれのセンサを使用しなければ
ならなかった。
このため、湿度補償が複雑になり、高価格になるという
課題があった。
課題があった。
そこで本発明の目的は、重量と結露を単一の素子で検出
できる重量結露センサを提供することである。
できる重量結露センサを提供することである。
課題を解決するための手段
本発明の重量結露センサは、第１絶縁性基板と、前記第
１絶縁性基板の表面に形成された第１電極膜と、前記第
１電極膜と対向して一定の間隔で隔てられ、接着層によ
り固定された第２絶縁性基板と、前記第２絶縁性基板の
表面に前記電極膜と対向して形成された第２電極膜と、
前記第２絶縁性基板の他の表面に形成された一対の第３
電極膜と、前記一対の第３電極膜に電気的に接続された
結露検知膜とを備えた構成である。
１絶縁性基板の表面に形成された第１電極膜と、前記第
１電極膜と対向して一定の間隔で隔てられ、接着層によ
り固定された第２絶縁性基板と、前記第２絶縁性基板の
表面に前記電極膜と対向して形成された第２電極膜と、
前記第２絶縁性基板の他の表面に形成された一対の第３
電極膜と、前記一対の第３電極膜に電気的に接続された
結露検知膜とを備えた構成である。
作用
第１絶縁性基板をダイアフラムとして利用し、このダイ
アプラムに重量が印加されたときのダイアフラムの変形
を第１電極膜と第２電極膜の間の静電容量変化として検
出することにより重量を検出できる。また、第２絶縁性
基板の他の表面に形成された結露検知膜の抵抗値が結露
により変化するので、一対の第３電極膜の間の抵抗値変
化を検出することにより結露を検出できる。
アプラムに重量が印加されたときのダイアフラムの変形
を第１電極膜と第２電極膜の間の静電容量変化として検
出することにより重量を検出できる。また、第２絶縁性
基板の他の表面に形成された結露検知膜の抵抗値が結露
により変化するので、一対の第３電極膜の間の抵抗値変
化を検出することにより結露を検出できる。
実施例
以下、本発明の一実施例を添付図面にもとづいて説明す
る。第１図は本発明の重量結露センサの断面図である。
る。第１図は本発明の重量結露センサの断面図である。
第１絶縁性基板１の表面に第１電極膜２を形成し、他方
で第２絶縁性基板３の一方の表面に第２電極膜４を形成
した。この後、第１電極膜２と第２電極膜４とが互いに
対向するようにして、第１絶縁性基板１と第２絶縁性基
板３を接着層５を用いて一定間隔を隔て、固定した。次
に、第２絶縁性基板３の他の表面に一対の電極膜６およ
び結露検知膜７を形成した。第１および第２絶縁性基板
１．３として、アルミナ板、硝子板などが用いられる。
で第２絶縁性基板３の一方の表面に第２電極膜４を形成
した。この後、第１電極膜２と第２電極膜４とが互いに
対向するようにして、第１絶縁性基板１と第２絶縁性基
板３を接着層５を用いて一定間隔を隔て、固定した。次
に、第２絶縁性基板３の他の表面に一対の電極膜６およ
び結露検知膜７を形成した。第１および第２絶縁性基板
１．３として、アルミナ板、硝子板などが用いられる。
第１電極膜２、第２電極膜４および一対の第３電極膜６
として、焼成導電性厚膜あるいは薄膜、蒸着あるいはス
パッタ導電性薄膜などが用いられる。接着層５として、
焼成硝子膜、樹脂膜などが用いられる。また、結露検知
膜７として導電性吸湿膜が用いられる。
として、焼成導電性厚膜あるいは薄膜、蒸着あるいはス
パッタ導電性薄膜などが用いられる。接着層５として、
焼成硝子膜、樹脂膜などが用いられる。また、結露検知
膜７として導電性吸湿膜が用いられる。
アルミナ絶縁性基板１の厚さを約０．６陥、第１電極膜
２と第２電極膜４の対向面積を約２．５ＣＣ接接層６の
厚さ（アルミナ絶縁性基板１と感温基板３の間の間隔）
を約５０μｍとし、第２図に示すように、アルごす絶縁
性基板１の中央部に荷重を印加して、第１電極膜２と第
２電極膜４の間の静電容量値を測定した。荷重がＯｋｇ
、 ２ｋｇ、 ４ｋｇのとき、静電容量値は約５１
ｐＦ、約５４．５ＰＦ、約６０ｐＦを示し、荷重が増加
する共に静電容量値は増加した。しかし、例えば、荷重
をＯｋｇ一定に保ち、周囲の相対湿度が１００％を越え
て、第１電極膜２や第２電極膜４の表面に結露水が付着
するようになると、静電容量値は１％以上増加した。こ
の静電容量値の増加は２００ｇ以上の重量測定誤差に相
当するので、電子レンジなど調理器に用いられた場合、
誤動作を招き易い。このような場合、結露を検知して誤
動作を防止する必要がある。
２と第２電極膜４の対向面積を約２．５ＣＣ接接層６の
厚さ（アルミナ絶縁性基板１と感温基板３の間の間隔）
を約５０μｍとし、第２図に示すように、アルごす絶縁
性基板１の中央部に荷重を印加して、第１電極膜２と第
２電極膜４の間の静電容量値を測定した。荷重がＯｋｇ
、 ２ｋｇ、 ４ｋｇのとき、静電容量値は約５１
ｐＦ、約５４．５ＰＦ、約６０ｐＦを示し、荷重が増加
する共に静電容量値は増加した。しかし、例えば、荷重
をＯｋｇ一定に保ち、周囲の相対湿度が１００％を越え
て、第１電極膜２や第２電極膜４の表面に結露水が付着
するようになると、静電容量値は１％以上増加した。こ
の静電容量値の増加は２００ｇ以上の重量測定誤差に相
当するので、電子レンジなど調理器に用いられた場合、
誤動作を招き易い。このような場合、結露を検知して誤
動作を防止する必要がある。
導電性吸湿膜は結露条件でその抵抗値が急激に変化する
ので、結露検知膜７として有用である。
ので、結露検知膜７として有用である。
例えば、第２絶縁性基板３の他の表面に櫛形状の一対の
第３電極膜６とナイロンなどの吸湿性樹脂にカーボン粒
子を分散した導電性吸湿膜７を形成したとき、その抵抗
値は相対湿度９４％以下で２０にΩ以下であるが、相対
湿度１００％で２００ ｋΩ以上に急激に増加した。こ
の抵抗値変化から結露が検出できる。
第３電極膜６とナイロンなどの吸湿性樹脂にカーボン粒
子を分散した導電性吸湿膜７を形成したとき、その抵抗
値は相対湿度９４％以下で２０にΩ以下であるが、相対
湿度１００％で２００ ｋΩ以上に急激に増加した。こ
の抵抗値変化から結露が検出できる。
このように本発明の重量結露センサは、単一の素子で静
電容量値から重量を検出できるとともに結露検知膜７の
抵抗値から結露も検知できる。
電容量値から重量を検出できるとともに結露検知膜７の
抵抗値から結露も検知できる。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明によれば次に示す効果が
得られる。
得られる。
（１）単一の素子で重量と結露が同時に測定できる。
（２） このため結露に起因する重量測定の誤差によ
る誤動作を防止できる。
る誤動作を防止できる。
第１図は本発明の一実施例を示す重量温度センサの断面
図、第２図は重量測定時のダイアフラムの変形を示す断
面図である。 １・・・・・・第１絶縁性基板、２・・・・・・第１電
極膜、３・・・・・・第２絶縁性基板、４・・・・・・
第２電極膜、５・・・・・・接着層、６・・・・・・一
対の第３電極膜、７・・・・・・結露検知膜。
図、第２図は重量測定時のダイアフラムの変形を示す断
面図である。 １・・・・・・第１絶縁性基板、２・・・・・・第１電
極膜、３・・・・・・第２絶縁性基板、４・・・・・・
第２電極膜、５・・・・・・接着層、６・・・・・・一
対の第３電極膜、７・・・・・・結露検知膜。
Claims (3)
- （１）第１絶縁性基板と、 前記第１絶縁性基板の表面に形成された第１電極膜と、 前記第１電極膜と対向して一定の間隔で隔てられ、接着
層により固定された第２絶縁性基板と、前記第２絶縁性
基板の表面に前記電極膜と対向して形成された第２電極
膜と、 前記第２絶縁性基板の他の表面に形成された一対の第３
電極膜と、前記一対の第３電極膜に電気的に接続された
結露検知膜とから成る重量結露センサ。 - （２）結露検知膜が、相対湿度によりインピーダンスの
変化する膜で構成された特許請求の範囲第１項記載の重
量結露センサ。 - （３）結露検知膜が給水性樹脂とカーボン粒子で構成さ
れた特許請求の範囲第２項記載の重量結露センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1177540A JPH0341345A (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | 重量結露センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1177540A JPH0341345A (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | 重量結露センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341345A true JPH0341345A (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=16032732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1177540A Pending JPH0341345A (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | 重量結露センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341345A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102980696A (zh) * | 2012-12-05 | 2013-03-20 | 东南大学 | 一种微机械系统中接触式电阻压力传感器及其测量方法 |
| CN103196592A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-07-10 | 东南大学 | 微机械残余应力的测试结构及其测试方法 |
| KR20230082590A (ko) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | 주식회사 마스터벨그로우 | 결로 감지장치 및 이를 구비한 온실 환경 모니터링 시스템 |
-
1989
- 1989-07-10 JP JP1177540A patent/JPH0341345A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102980696A (zh) * | 2012-12-05 | 2013-03-20 | 东南大学 | 一种微机械系统中接触式电阻压力传感器及其测量方法 |
| CN103196592A (zh) * | 2013-04-10 | 2013-07-10 | 东南大学 | 微机械残余应力的测试结构及其测试方法 |
| KR20230082590A (ko) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | 주식회사 마스터벨그로우 | 결로 감지장치 및 이를 구비한 온실 환경 모니터링 시스템 |
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