JPH0341752A - Icチップ・キャリアパッケージ - Google Patents

Icチップ・キャリアパッケージ

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JPH0341752A
JPH0341752A JP2122868A JP12286890A JPH0341752A JP H0341752 A JPH0341752 A JP H0341752A JP 2122868 A JP2122868 A JP 2122868A JP 12286890 A JP12286890 A JP 12286890A JP H0341752 A JPH0341752 A JP H0341752A
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Denise B Harris
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子アセンブリの接続に関し、さらに詳細には
表面取り付は式ICチップ・キャリアに関する。
表面取り付はデバイス(SMD)はプリント配線板(P
WB)または他の適合性ある基板の表面上に配置するよ
うに設計された電子コンポーネントである。抵抗、キャ
パシタ、ダイオード、トランジスタ及び集積回路(IC
)のようなコンポーネントをSMDとして設計すること
が可能であり、その場合リード線の代わりに平坦なイン
ターフェイス用表面または非常に短いリード線を設ける
。これらのコンポーネントのインターフェイス用表面ま
たは短いリード線はPWB上の対応電気接続部と整列す
るコンタクトパッドとして働く。
これらのコンポーネントは通常、キャリアの外側表面上
のコンタクトパッドがキャリア内に収納されるコンポー
ネントと電気的に接続される所望の構成を実現するため
セラミックスまたはプラスチック製のキャリア内に取り
付けまたは組み込まれる。
SMDには種々の利点がある。その1つは、これらのデ
バイスのサイズがそれらが取って代わる従来型のリード
線付きコンポーネントより30乃至60%小さいことで
ある。SMDを用いる場合リード線付きコンポーネント
のリード線を挿入するためPWBに孔部を設ける必要は
ない。このためSMDを互いに密接させて取り付けるこ
とができるだけでなく、PWBの両側にSMDを取り付
けることも可能である。これらの要因により、多数のS
MDを取り付けたPWBの全体的サイズ及び重量はリー
ド線付きコンポーネントを用いるPWBよりも小さい。
SMDの1つの特殊なタイプとしてICチップ・キャリ
アがある。ICチップは脆弱で且つ本来的に小型である
ため、チップを構造的に補強し且つICチップへ外部か
らの電気的接続を可能にするチップキャリア内に取り付
けるのが普通である。チップを封止したセラミック製キ
ャリア内に取り付けるとチップを外部の環境から気密隔
離することができるという別の利点が得られる。
しかしながら、現在用いられているチップキャリアの設
計法を用いるとすると、ICチップがかなりの量の熱を
発生する高電力デバイスの場合種々の問題がある。その
第1は、SMD方式によればチップキャリアのサイズを
減少できるがICチップから熱を除去するために必要な
熱伝達方式に関しては同じである。このためICチップ
からの熱の伝達を促進して小型のチップキャリア内のI
Cチップから熱を除去出来るようにするチップキャリア
の設計法が必要となる。
第2に、従来、ICチップと共に用いる減結合キャパシ
タはPWB上の別の場所に取り付けICチップと電気的
に接続するか或いはキャパシタをチップキャリアの外側
に取り付けていたため、減結合キャパシタをICチップ
だけに接続する場合でもチップキャリアと減結合キャパ
シタとの間を外部で接続する必要があった。
3番目に、チップキやリアの製造にセラミックス材料を
用いるが、セラミックスはチップキャリアの製造時ある
程度収縮するという問題がある。
これはキャリアの外側のコンタクトパッドをPWB上の
保合パッドと整列させるには正確なパターンを形成する
位置に置く必要があるためSMDチップキャリアにとっ
て社重大である。
コンタクしパッド間の距離が小さくなるにつれて、正確
なパターンに配列することがさらに肝要となる。
第1図はバッドグリッドアレーを有する空洞部が上向き
のチップキャリア10を示す。チップキャリア10は本
体15とその本体に形成した上向き空洞部20とより成
る。rcチップ25が空洞部20の底に取り付けられて
いる。本体15は空洞部20が一連の棚部30を有する
ような形状を持つ。棚部30の表面からトレース31と
して知られる電気接続用ストリップが本体15を貫通し
て導電路32へ延び、これらの導電路が本体15内を下
方に延びて各導電路32が本体15の底面から突出しチ
ップキャリア10のコンタクトパッド35と接続される
ように構成されている。ボンディングワイヤ34がIC
チップ25上の接続部から本体15の棚部30上の対応
トレース31へ延びる。この構成によるとICチップ2
5の各チップ接続部が本体15の底面のバッド35と電
気的に接続される。パッケージの蓋40を本体15に固
定して空洞部20が完全に覆われるようにした保護手段
を設ける。本体15の底面のバッド35は本体15の底
面の全体領域に広がるグリッドアレーを形成するか或い
は本体15の周面の周りの単一列に限定されたバッドを
形成するように構成されている。ICチップからの接続
部の数がほぼ一定であるとしてチップキャリアのサイズ
が着実に減少すると、本体15の周縁部の周りに単一列
のバッドを設けようとしてもバッド35には最小サイズ
の限界があるため不可能であり、従って本体の底面の領
域全体を利用するためにバッドグリッドアレー式の配列
を用いることが必要となる。
チップキャリア10はPWB 45に固定され、このP
WBの表面上にはチップキャリア10上のバッド35が
整列する相互接続バッド(図示せず)が設けられている
。バッド35ははんだを用いてPWBの相互接続パッド
との各接触部においてPWB 45に固定するか或いは
外部の機械的手段によりチップキャリア10がPWB4
5に固定されるようにする。通常ICチップと共に用い
られる減結合キャパシタ50はチップキャリア10に近
接する位置でPWB45に固着され、減結合キャパシタ
50とチップキャリア10との間が電気的に接続される
。場合によっては、減結合キャパシタ15をチップキャ
リア10の外面上に取り付ける。減結合キャパシタ以外
の電子コンポーネントを上述したと同じようにチップキ
ャリアに関し取り付けることも可能である。
本体15はセラミックで作ることができるが、その場合
製造時に収縮が生じる。バッド35が正確なパターンを
形成するようにチップキャリア10を製造するに必要な
製造公差があるため、本体15の設計及び製造につき収
縮後のバッドの位置がわかるように配慮する必要がある
。本体製造に用いるセラミック材料の収縮は一様である
が、予測可能な収縮誤差の範囲があり、基部を製造した
後のバッド35の位置を正確に知ることは非常に難しい
さらに、ICチップ25がかなりの量の熱を発生するた
めこの熱を効果的に除去してチップ25が損傷を受ける
可能性を排除する必要がしばしばある。通常、PWB4
5には接着性インターフェイス60を介して熱シンク5
5を固定する。
ICチップ25が発生する熱はまず本体15を通り次い
で各バッド35を伝導してPWB45の関連の相互接続
パッドへ流れる。ここから、PWB45を通過し接着性
インターフェイス60を通って矢印57で示すように熱
シンク55に至り、そこで熱が除去される。高電力IC
チップでは発生する全ての熱を除去するものとしてこの
熱伝達路は適当なものとは言えない。
本発明の目的は、高電力ICチップから熱を効率的に除
去するチップキャリアを提供することにある。
本発明の別の目的は減結合キャパシタをチップキャリア
の本体内に直接取り付けることが可能t、1チップキャ
リアを提供することにある。
本発明のさらに別の目的はチップキャリア上の外側から
の電気接続用コンタクトバッドの位置を正確に知ること
のできるチップキャリアを提供することにある。
上記の目的に鑑みて、本発明は、平坦な頂面、平坦な底
面及び突出した複数のチップ接続部を有するICチップ
が取り付けられる床面と壁部とを有する空洞部より成り
、外側表面を有する少なくとも1つのボンディング用棚
部が空洞部の壁部に沿って空洞部の床面から延びる、電
気絶縁性の材料で形成した本体と、各々が本体の頂面に
おいて所定のパターンを形成するように終端する第1の
端部とボンディング用棚部の外側表面において終端する
第2の端部とを有する、本体内部の導電性材料で形成し
た複数の導電躍と、各チップ接続部から対応導電路の第
2端部へそれらの間に電流路を形成するように延びる電
気的接続手段と、本体に固定されて空洞部を完全に覆う
カバープレートと、本体の空洞部の開口と整列関係にあ
る開口を有し、複数のコンタクトパッドが貫通する、本
体の頂面に固定した平坦な電気絶縁層とより成り、各コ
ンタクトパッドが本体からの関連の1つの導電路の第1
端部と接触し、且つその関連の導電路より大きい横断面
積を有し、さらに各コンタクトパッドが電気絶縁層を正
確な所定の位置で貫通することにより本体の製造に起因
する導電路の第1端部の位置の寸法上のばらつきを補償
し、かくして導電路の第1端部と、係合される外部の電
気接続部との間に整列及び電気的接続関係が得られるこ
とを特徴とするICチップ・キャリアパッケージを提供
する。
以下、添付図面を参照して本発明を実施例につき詳細に
説明する。
本発明の好ましい実施例を第2乃至5図に示す。第1図
と同様、第2図はチップキャリア100を示し、キャリ
アは平坦な頂面120と平坦な底面125とを有する本
体115を具備する。本体115内には空洞部130が
設けられ、その床面135と壁部140が画定される。
空洞部130内の第1のボンディング用棚部145 と
第2のボンディング用棚部150とが空洞部の壁部14
0に沿って空洞部の床面135から延びる。複数の電気
接続用ストリップまたはトレース153が各ボンディン
グ用棚部145.150の表面から本体115を貫通し
て導電路155と交差し、この導電路は上方に延びて本
体の頂面120を貫通し突出する。ICチップ11i0
が空洞部の床面135上に取り付けられている。ICチ
ップ160から複数のボンディングワイヤ165が延び
てICチップ160をボンディング用棚部145.15
0上の対応トレース153と電気的に接続する。
ICチップ180からボンディング用棚部のトレース1
53へ延びるワイヤ165の長さを最小限に抑えるため
、空洞部の床面135からの第1のボンディング用棚部
145の高さを空洞部の床面135からのICチップ1
60の高さに非常に近いものにする。さらに、ICチッ
プ160から延びる各ボンディングワイヤ165間の距
離をピッチとして定義するが、ICチップではこの距離
は0.010cm(0,004イチ)のオーダである。
ボンディングワイヤ165は通常ボンディング用棚部1
45.150上のトレース153に接合される。典型的
なICチップ160に固着されるボンディングワイヤ間
のピッチは非常に小さいため、現在用いられているワイ
ヤボンディング法によりワイヤ165を145で示すよ
うな単一の棚部に固着するのはこの現在の製造技術を限
界を超えている。この解決策として、ボンディングワイ
ヤ165をそれらがチップ11i0から延びるところで
はほぼ平行な関係に保ち、それらの間の距離をピッチと
同じ大きさにするが、ワイヤが固着されるトレース15
3を複数の棚部に沿って互い違いにする。このようにす
ると、2つの棚部を用いるため、単一の棚部上の2つの
隣接するボンディングワイヤ165間の距離はICチッ
プ接続部におけるピッチの2倍に等しくなり、ワイヤ1
65をボンディング用棚部145゜150の表面上のト
レース!53に接合可能となる。
ICチップ160から出るワイヤ185のピッチがこれ
よりも大きい場合、単一のボンディング用棚部145だ
けを用いても良い。
ボンディング用棚部145.150は空洞部の壁部14
0の全長に亘って延びていないことを注意されたい。こ
のため減結合キャパシタ170のような他のコンポーネ
ントをICチップ160と共に空洞部130内に取り付
けることが可能となる。減結合キャパシタ170とボン
ディング用棚部145.150上のトレース153との
間の電気的接続はボンディングワイヤ175によって行
なうことができる。
さらに、必要に応じて、空洞部の床面の一部または全部
を金属化し、キャパシタ170に電気的に接続して、キ
ャパシタ170の一方の端子にボンディングワイヤ17
5を固着し、空洞部の床面上にあるキャパシタ170の
他方の端子に第2の固着を行なうようにしてもよい。金
属化したセグメント(図示せず)を次いでトレースによ
り本体115内の導電路に電気的に接続する。
典型的なトレース153の幅は約0.010cm (0
,004インチ)である。この大きさはボンディングワ
イヤ165を固着するには受は入れ可能なものであるが
、チップキャリアに外部から接続を行なうための領域を
提供する点からみれば実際的でない。
さらに、上述したように、本体115の製造時、本体を
構成するセラミックス材料が収縮する傾向がある。この
ために、平坦な頂面120上の導電路155の位置にお
ける本体115の収縮は一様である。本体の形成に用い
るセラミックス材料の収縮は一様であり且つ予測可能な
収縮誤差の範囲があるが、基部を製造した後におけるパ
ッドの位置を正確に知ることは非常に困難である。従っ
て、チップキャリア上における外部からのコンタクトポ
イントの位置が解っているチップキャリアを提供するこ
とが重要となる。
トレース153及び導電路155を説明を簡単にするた
め電気的コネクタと呼ぶ。本体115の最初の設計及び
本体内の導電路155の位置を計算により本体115が
収縮しても導電路155が正しい位置にくるようにする
ことが可能であるが、これはかなり複雑な手続きを必要
とするため本発明が簡単な解決法を提供する。整列及び
電気接続用手段200は中央開口210を有する薄く平
坦な電気絶縁性矩形層205より成る。この層205に
は複数のコンタクトバッド215が設けられ、整列及び
電気接続手段200を本体115の平坦な頂面120上
に配置すると、コンタクトパッド215が本体115の
平坦な頂面120を貫通する導電路155とほぼ整列す
る関係となる。各コンタクトパッド215の半径は均等
であり導電路155の半径よりも意図的に大きくしであ
る。
各コンタクトパッド215の半径は本体を構成するセラ
よツク材料、導電路の半径及びコンタクトパッド215
と対応導電路155との間の所望されるオーバーラツプ
の程度を含む多数の要因により決定される。
本体115の端縁部の収縮が最も大きいため、この端縁
部における収縮の量を計算してこの値をバッド215と
導電路155との間の所望のオーバーラツプの大きさを
表わす値と共に導電路155の半径に加える。この和を
バッド215の最小半径の値として用いると、それぞれ
の導電路との接触を確実にし且つ少なくとも所望のオー
バーラツプが得られるパッドのサイズが決まる9本体1
15の表面上の層205についてはパッド215をそれ
ぞれの導電路155上に位置させるためのものとして説
明したが、バッド215を1i1205を用いずに導電
路155上に直接配置することは全く問題ない。
しかしながら、パッド215のサイズは同じものとする
。次に本体115上のグラウンドバッド220について
考察する。バッド215が導電路155に接続されるの
と同様、グラウンドパッド220も導電路に接続される
。これらは大きいサイズを持つため、1つのグラウンド
バッド220により2個以上の導電路155をカバーさ
せるか或いは導電路をグラウンドバッド220の形状と
一致するように設計することもできる。本体115の内
側周面の周りに1!部225を設けてiii 230に
より空洞部130が覆われチップ160が空洞部130
内に封止されるようにしてもよい。
第3及び4図はそれぞれ第2図に示したチップキャリア
の平面図及び断面図である。第2図に示した同一部品は
第3及び第4図においても同一の参照番号により指示さ
れる。
第5図はチップキャリア100の使用例を示す。
チップキャリアのコンタクトパッド215はPWB30
0上の係合用パッド(図示せず)と整列する関係にある
チップキャリア100をP W B 300に固定する
には種々の方法がある。コンタクトパッド215をP 
W B 30G上の相互接続パッドに直接はんだ付けし
てもよい、しかしながら、この場合チップキャリア10
0とP W B 300との間のはんだ接合部を点検し
てその接続が完全であるか否かを検証するのは困難であ
る。さらに、チップキャリア100をP W B 30
0から取り外すことが必要な場合、チップキャリア上の
最も内側のコンタクトパッド215は接近不能なためチ
ップキャリア100をP W B 300から取り外す
ことは困難であろう。
チップキャリア100をP W B 300に固定する
第2の好ましい方法として変形自在な圧着インターフェ
イス240を用いる方法がある。変形自在な圧着インタ
ーフェイス240を第6図に示す、絶縁性の平坦なフレ
ーム245が、コンタクトパッド250を形成すべくフ
レーム145内の孔部に挿入した細い導電ワイヤ製の織
り物状詰め物を有する。
コンタクトパッド250はPWBの相互接続パッド及び
コンポーネントのコンタクトパッドと整列する関係に配
列されている。コンポーネントの変形自在なインターフ
ェイス240はthe C1nchCon+panyに
よりCIN::^PSE ”の商標名で製造されている
。変形自在な圧着インターフェイスには他の種類のもの
も市販されているが、キャリアの相互接続パッドとコン
ポーネントのコンタクトパッドとの間に電気的接触関係
が得られる限り何れを用いてもよい。
このインターフェイスはコンタクトパッド215とP 
W B 300上のコンタクトパッドとの間に配置する
。次いでチップキャリア100を変形自在な圧着インタ
ーフェイス240がコンタクトバッド215トP W 
B 30Gのコンタクトパッドとの間において僅かに圧
縮されるようにP W B 300に固定する。
チップキャリア100をP W B 300に固定する
1つの方法として、チップキャリア100の周縁部の周
りにチップキャリア100がP W B 300に固定
されるようにエポキシ樹脂を用いる方法がある。
チップキャリア100をP W B 300に固定する
もう1つの方法は、P W 8300と共に平坦なプレ
ート310を用いてチップキャリア10Gを変形自在な
圧着インターフェイス240に対して圧縮し、これによ
り圧着インターフェイス240をP W B 300に
圧縮することである。その後平坦なプレー) 31Gを
P W B 300に別の手段で固定する。これを行な
う方法としてはボルトのような機械的手段によるか或い
は平坦なプレート31OとP W B 300との間に
スペーサーを用い、その両方をエポキシ樹脂で固定する
ことである。
本発明の特徴の1つとして、平坦なプレート310を熱
伝導性材料で形成しプレート310を熱シンクとして働
かせる。この構成によるとICチップ160から前述し
た空洞部が上向きのチップキャリアの場合とは全く異な
る熱伝達路が得られるためこれは非常に重要な特徴であ
る。この熱伝達路は本体115をその厚さ方向に横断し
てコンタクトパッド215からP W B 30Gに延
びる必要はない。熱伝達を生ぜしめる非常に短い且つ効
率のよい熱伝導路が得られる。ICチップ160を空洞
部の床面135に取り付けると、矢印315で示す熱伝
達路が空洞部の床面から直接熱シンクとして働く平坦な
プレート310へ延びる。チップキャリア100に熱シ
ンクを直接付着させるため第1図の従来型の熱除去方法
よりも非常に短い熱伝達路が形成されるので熱の除去が
非常に効率よく行なわれる。
第5図に示す熱伝達路の熱インピーダンスの予測値はほ
ぼ0.46℃/ワットである。これは本体115が酸化
アルミニウムのセラミックスで形成され空洞部の床の厚
みが0.038cm(0,015インチ)であるとした
場合、の計算結果である。第1図に示す空洞部が上向き
のチップキャリアの熱インピーダンスの予測値は3.6
4℃/ワットである。第1図のチップキャリアと第5図
のチップキャリアとの間の熱伝達効率を比較すると本発
明のものが一段と優れていることがわかる。
最後に、基部115と棚部145.150は同一材料で
形威し、この材料としてはセラミックスである酸化アル
ミニウム、ベリリアまたは窒化アルミニウムの1つを用
いるとよいことに注意されたい。
本発明を特定の実施例につき説明したが、本発明の精神
及び範囲から逸脱することなく多数の変形例または設計
変更が当業者にとっては容易に想到されるであろう。こ
れらの変形例及び設計変更は全て本発明の精神及び範囲
内に含まれるものと理解されたい。
【図面の簡単な説明】
第1図は、パッドグリッドアレーを有する従来型の空洞
部上向きのチップキャリアを示す断面図である。 第2図は、パッドグリッドアレーを有する空洞部が下向
きのチップキャリアを示す斜視図である。 第3図は、第2図に示したパッドグリッドアレーを有す
る空洞部が下向きのチップキャリアの平面図である。 第4図は、第2図に示したパッドグリッドアレーを有す
る空洞部が下向きのチップキャリアの断面図である。 第5図は、空洞部が下向きのチップキャリアをPWBと
熱シンクとの間に配置して熱伝達の最適化を図る態様を
示す。 第6図は、PWBとチップキャリアとを電気的相互接続
する変形自在な圧着インターフェイスを詳細に示す斜視
図である。 100・・・・チップキャリア 115・・・・本体 130・・・・空洞部 145.150・・・・ボンディング用棚部153 ・
・・・トレース 155・・・・導電路 160・・・・ICチップ 185 ・・・・ボンディングワイヤ 200・・・・整列及び電気的接続手段215・・・・
コンタクトパッド 240・・・・変形自在な圧着インターフェイス300
・・・・プリント配線板(PWB)310・・・・平坦
なプレート

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)平坦な頂面、平坦な底面及び突出した複数のチッ
    プ接続部を有するICチップが取り付けられる床面と壁
    部とを有する空洞部より成り、外側表面を有する少なく
    とも1つのボンディング用棚部が空洞部の壁部に沿って
    空洞部の床面から延びる、電気絶縁性の材料で形成した
    本体と、各々が本体の頂面において所定のパターンを形
    成するように終端する第1の端部とボンディング用棚部
    の外側表面において終端する第2の端部とを有する、本
    体内部の導電性材料で形成した複数の導電路と、各チッ
    プ接続部から対応導電路の第2端部へそれらの間に電流
    路を形成するように延びる電気的接続手段と、本体に固
    定されて空洞部を完全に覆うカバープレートと、本体の
    空洞部の開口と整列関係にある開口を有し、複数のコン
    タクトパッドが貫通する、本体の頂面に固定した平坦な
    電気絶縁層とより成り、各コンタクトパッドが本体から
    の関連の1つの導電路の第1端部と接触し、且つその関
    連の導電路より大きい横断面積を有し、さらに各コンタ
    クトパッドが電気絶縁層を正確な所定の位置で貫通する
    ことにより本体の製造に起因する導電路の第1端部の位
    置の寸法上のばらつきを補償し、かくして導電路の第1
    端部と、係合される外部の電気接続部との間に整列及び
    電気的接続関係が得られることを特徴とするICチップ
    ・キャリアパッケージ。
  2. (2)空洞部内に取り付けた少なくとも1つのキャパシ
    タをさらに備えることを特徴とする請求項第(1)項に
    記載のICチップ・キャリアパッケージ。
  3. (3)平坦で変形自在な圧着インターフェイスが電気絶
    縁層のコンタクトパッドと隣接し接触する関係にあり、
    このため前記インターフェイスが電気絶縁層と、係合す
    るコンポーネントの表面との間で圧縮されると撓曲して
    電気絶縁層のコンタクトパッドと、係合されるコンポー
    ネント上のコンタクトとの間に電流路を形成することを
    特徴とする請求項第(1)項に記載のICチップ・キャ
    リアパッケージ。
  4. (4)電気的接続手段がそれぞれチップの接続部とボン
    ディング用棚部の表面の対応導電路との間で電気的接続
    を行なうように接合された複数のワイヤであることを特
    徴とする請求項第(3)項に記載のICチップ・キャリ
    アパッケージ。
  5. (5)本体の電気絶縁性材料が酸化アルミ ニウム、ベリリア及び窒化アルミニウムより成る群から
    選択したセラミックスであることを特徴とする請求項第
    (4)項に記載のICチップ・キャリアパッケージ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000349177A (ja) * 1999-06-08 2000-12-15 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置とその製造方法

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0452752B1 (en) * 1990-04-16 1996-12-18 Fujitsu Limited Chip carrier for enabling production of high performance microwave semiconductor device by disposing semiconductor chip thereon
JP3047986B2 (ja) * 1990-07-25 2000-06-05 株式会社日立製作所 半導体装置
US5679977A (en) * 1990-09-24 1997-10-21 Tessera, Inc. Semiconductor chip assemblies, methods of making same and components for same
US5148265A (en) 1990-09-24 1992-09-15 Ist Associates, Inc. Semiconductor chip assemblies with fan-in leads
US5148266A (en) * 1990-09-24 1992-09-15 Ist Associates, Inc. Semiconductor chip assemblies having interposer and flexible lead
US7198969B1 (en) 1990-09-24 2007-04-03 Tessera, Inc. Semiconductor chip assemblies, methods of making same and components for same
US20010030370A1 (en) * 1990-09-24 2001-10-18 Khandros Igor Y. Microelectronic assembly having encapsulated wire bonding leads
US5155661A (en) * 1991-05-15 1992-10-13 Hewlett-Packard Company Aluminum nitride multi-chip module
US5280413A (en) * 1992-09-17 1994-01-18 Ceridian Corporation Hermetically sealed circuit modules having conductive cap anchors
WO1994025979A1 (en) * 1993-04-30 1994-11-10 Lsi Logic Corporation Integrated circuit with lead frame package having internal power and ground busses
US5420460A (en) * 1993-08-05 1995-05-30 Vlsi Technology, Inc. Thin cavity down ball grid array package based on wirebond technology
JP2541487B2 (ja) * 1993-11-29 1996-10-09 日本電気株式会社 半導体装置パッケ―ジ
US5834824A (en) 1994-02-08 1998-11-10 Prolinx Labs Corporation Use of conductive particles in a nonconductive body as an integrated circuit antifuse
US5726482A (en) * 1994-02-08 1998-03-10 Prolinx Labs Corporation Device-under-test card for a burn-in board
US5808351A (en) * 1994-02-08 1998-09-15 Prolinx Labs Corporation Programmable/reprogramable structure using fuses and antifuses
US5917229A (en) * 1994-02-08 1999-06-29 Prolinx Labs Corporation Programmable/reprogrammable printed circuit board using fuse and/or antifuse as interconnect
US5583378A (en) * 1994-05-16 1996-12-10 Amkor Electronics, Inc. Ball grid array integrated circuit package with thermal conductor
US5471011A (en) * 1994-05-26 1995-11-28 Ak Technology, Inc. Homogeneous thermoplastic semi-conductor chip carrier package
US5650593A (en) * 1994-05-26 1997-07-22 Amkor Electronics, Inc. Thermally enhanced chip carrier package
US5478420A (en) * 1994-07-28 1995-12-26 International Business Machines Corporation Process for forming open-centered multilayer ceramic substrates
US5962815A (en) 1995-01-18 1999-10-05 Prolinx Labs Corporation Antifuse interconnect between two conducting layers of a printed circuit board
US5701233A (en) * 1995-01-23 1997-12-23 Irvine Sensors Corporation Stackable modules and multimodular assemblies
JP3004578B2 (ja) * 1995-05-12 2000-01-31 財団法人工業技術研究院 熱放散増強のための多熱導伝路とパッケージ統合性及び信頼性向上のための縁の周りを囲むキャップからなる集積回路パッケージ
US5906042A (en) * 1995-10-04 1999-05-25 Prolinx Labs Corporation Method and structure to interconnect traces of two conductive layers in a printed circuit board
US5767575A (en) * 1995-10-17 1998-06-16 Prolinx Labs Corporation Ball grid array structure and method for packaging an integrated circuit chip
US5872338A (en) 1996-04-10 1999-02-16 Prolinx Labs Corporation Multilayer board having insulating isolation rings
US5831810A (en) * 1996-08-21 1998-11-03 International Business Machines Corporation Electronic component package with decoupling capacitors completely within die receiving cavity of substrate
US6034427A (en) * 1998-01-28 2000-03-07 Prolinx Labs Corporation Ball grid array structure and method for packaging an integrated circuit chip
TW430959B (en) * 1998-04-22 2001-04-21 World Wiser Electronics Inc Thermal enhanced structure of printed circuit board
FR2789541B1 (fr) 1999-02-05 2001-03-16 Novatec Sa Soc Procede de realisation de modules electroniques a connecteur a billes ou a preformes integre brasables sur circuit imprime et dispositif de mise en oeuvre
US6288344B1 (en) * 1999-08-20 2001-09-11 Cardiac Pacemakers, Inc. Integrated EMI shield utilizing a hybrid edge
US6612852B1 (en) 2000-04-13 2003-09-02 Molex Incorporated Contactless interconnection system
US6362972B1 (en) * 2000-04-13 2002-03-26 Molex Incorporated Contactless interconnection system
TW445558B (en) * 2000-04-14 2001-07-11 Via Tech Inc Manufacturing method for cavity-down plastic ball grid array package substrate
US6395998B1 (en) * 2000-09-13 2002-05-28 International Business Machines Corporation Electronic package having an adhesive retaining cavity
WO2002027792A2 (en) * 2000-09-27 2002-04-04 Conexant Systems, Inc. Low inductive wire bond chip packaging
US6645791B2 (en) * 2001-04-23 2003-11-11 Fairchild Semiconductor Semiconductor die package including carrier with mask
US7042067B2 (en) * 2002-03-19 2006-05-09 Finisar Corporation Transmission line with integrated connection pads for circuit elements
US7254149B2 (en) 2002-03-19 2007-08-07 Finisar Corporation Submount, pedestal, and bond wire assembly for a transistor outline package with reduced bond wire inductance
US20040105244A1 (en) * 2002-08-06 2004-06-03 Ilyas Mohammed Lead assemblies with offset portions and microelectronic assemblies with leads having offset portions
US7109573B2 (en) * 2003-06-10 2006-09-19 Nokia Corporation Thermally enhanced component substrate
US6954360B2 (en) * 2003-08-22 2005-10-11 Nokia Corporation Thermally enhanced component substrate: thermal bar
DE102004007690B3 (de) * 2004-02-16 2005-10-13 Infineon Technologies Ag Integrierte Schaltungsanordnung
US7190056B2 (en) * 2004-03-31 2007-03-13 Nokia Corporation Thermally enhanced component interposer: finger and net structures
US7489517B2 (en) * 2004-04-05 2009-02-10 Thomas Joel Massingill Die down semiconductor package
US7852635B1 (en) * 2004-05-25 2010-12-14 Lineage Power Corporation Multi-connection via
US7629683B1 (en) * 2006-02-28 2009-12-08 Juniper Networks, Inc. Thermal management of electronic devices
US9490188B2 (en) * 2014-09-12 2016-11-08 International Business Machines Corporation Compute intensive module packaging
US9496194B2 (en) 2014-11-07 2016-11-15 International Business Machines Corporation Customized module lid
WO2022011202A1 (en) 2020-07-09 2022-01-13 GT Technologies Rocker arm assembly
US20240206066A1 (en) * 2022-12-20 2024-06-20 Qualcomm Incorporated Hybrid circuit board device to support circuit reuse and method of manufacture

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5785244A (en) * 1980-11-18 1982-05-27 Fujitsu Ltd Semiconductor device
JPS5875859A (ja) * 1981-10-30 1983-05-07 Fujitsu Ltd 半導体装置
JPS58197863A (ja) * 1982-05-14 1983-11-17 Nec Corp 半導体装置
US4561006A (en) * 1982-07-06 1985-12-24 Sperry Corporation Integrated circuit package with integral heating circuit
US4506938A (en) * 1982-07-06 1985-03-26 At&T Bell Laboratories Integrated circuit chip carrier mounting arrangement
US4608592A (en) * 1982-07-09 1986-08-26 Nec Corporation Semiconductor device provided with a package for a semiconductor element having a plurality of electrodes to be applied with substantially same voltage
US4551746A (en) * 1982-10-05 1985-11-05 Mayo Foundation Leadless chip carrier apparatus providing an improved transmission line environment and improved heat dissipation
US4513353A (en) * 1982-12-27 1985-04-23 Amp Incorporated Connection of leadless integrated circuit package to a circuit board
US4513355A (en) * 1983-06-15 1985-04-23 Motorola, Inc. Metallization and bonding means and method for VLSI packages
GB2164213B (en) * 1984-09-06 1988-07-13 Nec Corp Structure for connecting leadless chip carrier
US4655524A (en) * 1985-01-07 1987-04-07 Rogers Corporation Solderless connection apparatus
US4648666A (en) * 1985-07-03 1987-03-10 Amp Incorporated Electrical connector
US4760335A (en) * 1985-07-30 1988-07-26 Westinghouse Electric Corp. Large scale integrated circuit test system
US4705917A (en) * 1985-08-27 1987-11-10 Hughes Aircraft Company Microelectronic package
US4676564A (en) * 1985-10-28 1987-06-30 Burroughs Corporation Access device unit for installed pin grid array
US4703984A (en) * 1985-10-28 1987-11-03 Burroughs Corporation Flexible access connector with miniature slotted pads
JPS62112354A (ja) * 1985-11-12 1987-05-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 集積回路パツケ−ジ
US4750089A (en) * 1985-11-22 1988-06-07 Texas Instruments Incorporated Circuit board with a chip carrier and mounting structure connected to the chip carrier
US4699593A (en) * 1986-01-14 1987-10-13 Amp Incorporated Connector having contact modules for a substrate such as an IC chip carrier
US4733172A (en) * 1986-03-08 1988-03-22 Trw Inc. Apparatus for testing I.C. chip
US4695870A (en) * 1986-03-27 1987-09-22 Hughes Aircraft Company Inverted chip carrier
FR2603739B1 (fr) * 1986-09-05 1988-12-09 Cimsa Sintra Boitier de composant electronique muni de broches de connexion comportant un micro-boitier amovible
JPS63250845A (ja) * 1987-04-08 1988-10-18 Hitachi Ltd 半導体パツケ−ジ構造体
US4807019A (en) * 1987-04-24 1989-02-21 Unisys Corporation Cavity-up-cavity-down multichip integrated circuit package
JPS63301552A (ja) * 1987-06-01 1988-12-08 Nec Corp 配線基板
JP2517024B2 (ja) * 1987-12-08 1996-07-24 新光電気工業株式会社 セラミックパッケ―ジとその製造方法
US4860165A (en) * 1988-04-27 1989-08-22 Prime Computer, Inc. Semiconductor chip carrier package
US4933808A (en) * 1989-05-11 1990-06-12 Westinghouse Electric Corp. Solderless printed wiring board module and multi-module assembly

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000349177A (ja) * 1999-06-08 2000-12-15 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置とその製造方法

Also Published As

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