JPH0341993B2 - - Google Patents
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- JPH0341993B2 JPH0341993B2 JP4841087A JP4841087A JPH0341993B2 JP H0341993 B2 JPH0341993 B2 JP H0341993B2 JP 4841087 A JP4841087 A JP 4841087A JP 4841087 A JP4841087 A JP 4841087A JP H0341993 B2 JPH0341993 B2 JP H0341993B2
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- varistor
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- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ発振器の異常電圧検出装置に関
し、特に簡易な回路で異常電圧を検出できるよう
に構成したレーザ発振器の異常電圧検出装置に関
する。
し、特に簡易な回路で異常電圧を検出できるよう
に構成したレーザ発振器の異常電圧検出装置に関
する。
ガスレーザ装置に使用されるレーザ管は内部の
ガスの状態等によつて、電気的なインピーダンス
が変化し、このためにレーザ管に供給される電圧
が変動する。例えば、レーザ管への電流帰還ルー
プを有するレーザ発振器において、電気的インピ
ーダンスが変動し、電流を一定になるように制御
していれば当然に供給電圧が変動する。これをそ
のまま放置すれば、インバータを構成している半
導体を損傷する原因となる。
ガスの状態等によつて、電気的なインピーダンス
が変化し、このためにレーザ管に供給される電圧
が変動する。例えば、レーザ管への電流帰還ルー
プを有するレーザ発振器において、電気的インピ
ーダンスが変動し、電流を一定になるように制御
していれば当然に供給電圧が変動する。これをそ
のまま放置すれば、インバータを構成している半
導体を損傷する原因となる。
このために従来より、インバータに供給される
電圧を検出し、基準の電圧を越えるときはアラー
ムを上げ、また危険電圧を越えたときは運転を停
止する等の制御をおこない、さらに、出力電圧を
一定に制御するために、出力電圧を検出して監視
する必要があつた。
電圧を検出し、基準の電圧を越えるときはアラー
ムを上げ、また危険電圧を越えたときは運転を停
止する等の制御をおこない、さらに、出力電圧を
一定に制御するために、出力電圧を検出して監視
する必要があつた。
しかし、計器用変圧器を使用するときは、電圧
が相当高いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が
必要であり、また高周波電源の周波数が高いので
高周波特性も必要であつた。このために非常に高
価な計器用変圧器を必要とした。
が相当高いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が
必要であり、また高周波電源の周波数が高いので
高周波特性も必要であつた。このために非常に高
価な計器用変圧器を必要とした。
また、コンデンサで電圧を分圧する方法ではレ
ーザ管への供給電力ラインと制御装置側のアース
を分離することができず、制御回路へのノイズ等
が混入する危険性が高いという問題点があつた。
ーザ管への供給電力ラインと制御装置側のアース
を分離することができず、制御回路へのノイズ等
が混入する危険性が高いという問題点があつた。
本発明の目的は上記問題点を解決し、簡単な回
路で異常電圧を検出できるように構成したレーザ
発振器の異常電圧検出装置を提供することにあ
る。
路で異常電圧を検出できるように構成したレーザ
発振器の異常電圧検出装置を提供することにあ
る。
本発明では上記の問題点を解決するために、第
１図に示すように、 レーザ管３に高周波電源を供給してレーザ発振
を行うレーザ発振器の異常電圧検出装置におい
て、 前記高周波電源を供給するコンバータ１に接続
され、非線型素子Ｂと基準電圧Ｖとからなる電圧
検出回路４と、 該非線型素子Ｂに流れる電流を検出する変流器
CTとを有し、 前記非線型素子Ｂに流れる電流によつて出力電
圧の異常を検出するように構成した発振器の異常
電圧検出装置が、 提供される。
１図に示すように、 レーザ管３に高周波電源を供給してレーザ発振
を行うレーザ発振器の異常電圧検出装置におい
て、 前記高周波電源を供給するコンバータ１に接続
され、非線型素子Ｂと基準電圧Ｖとからなる電圧
検出回路４と、 該非線型素子Ｂに流れる電流を検出する変流器
CTとを有し、 前記非線型素子Ｂに流れる電流によつて出力電
圧の異常を検出するように構成した発振器の異常
電圧検出装置が、 提供される。
非線型素子はコンバータの正規の電圧より少し
高い電圧に非線型点を有し、この電圧を越えると
急激に電流、抵抗の関係が変化する。従つて、コ
ンバータの出力電圧が基準電圧を越える非線型素
子には急激に電流が流れ、この電流を変流器で検
出することにより異常電圧を検出する。
高い電圧に非線型点を有し、この電圧を越えると
急激に電流、抵抗の関係が変化する。従つて、コ
ンバータの出力電圧が基準電圧を越える非線型素
子には急激に電流が流れ、この電流を変流器で検
出することにより異常電圧を検出する。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図に本発明の一実施例のブロツク図を示
す。図において、１コンバータであり、商用電源
を整流して直流に変換する。このコンバータは６
個のSCRであるＳ１〜Ｓ６で構成されている。
す。図において、１コンバータであり、商用電源
を整流して直流に変換する。このコンバータは６
個のSCRであるＳ１〜Ｓ６で構成されている。
２はインバータでありコンバータの直流出力電
圧を数ＭHzの高周波に変調する。これは４個の
FETのブリツジ回路によつて構成されている。
圧を数ＭHzの高周波に変調する。これは４個の
FETのブリツジ回路によつて構成されている。
３はレーザ管である。３１は石英ガラス等で形
成された管であり、内部にレーザ媒体ガス３２が
循環されている。３３ａ及び３３ｂは電極であ
り、この電極を介して管３１に高周波電源が印加
されている。この管３１内にあるレーザ媒質ガス
３２に高周波電源による放電をおこない、レーザ
光を発振、増幅させている。レーザ光の方向は紙
面と直角方向である。
成された管であり、内部にレーザ媒体ガス３２が
循環されている。３３ａ及び３３ｂは電極であ
り、この電極を介して管３１に高周波電源が印加
されている。この管３１内にあるレーザ媒質ガス
３２に高周波電源による放電をおこない、レーザ
光を発振、増幅させている。レーザ光の方向は紙
面と直角方向である。
４は電流検出回路であり、コンバータ１の出力
に接続されている。コンバータ１に接続された線
は変流器CTと結合されたダイオードＤ１に接続
されている。ダイオードＤ１は非線型素子である
バリスタＢに接続され、バリスタＢの反対側はア
ースに接続されている。また、バリスタはダイオ
ードＤ２に接続され、ダイオードＤ２の陽極側は
抵抗Ｒ１を介して基準電圧Ｖに接続されている。
に接続されている。コンバータ１に接続された線
は変流器CTと結合されたダイオードＤ１に接続
されている。ダイオードＤ１は非線型素子である
バリスタＢに接続され、バリスタＢの反対側はア
ースに接続されている。また、バリスタはダイオ
ードＤ２に接続され、ダイオードＤ２の陽極側は
抵抗Ｒ１を介して基準電圧Ｖに接続されている。
基準電圧Ｖはコンバータ１の正常な電圧より５
〜10％高い値にする。またバリスタＢの非線型
点、即ち抵抗特性が変化する点はこの基準電圧よ
り10V程度高いものを使用している。従つて、コ
ンバータ１の出力電圧が正常な場合は図の電圧
VSはバリスタＢの非線型点より低く、ダイオー
ドＤ１に電流は殆ど流れない。
〜10％高い値にする。またバリスタＢの非線型
点、即ち抵抗特性が変化する点はこの基準電圧よ
り10V程度高いものを使用している。従つて、コ
ンバータ１の出力電圧が正常な場合は図の電圧
VSはバリスタＢの非線型点より低く、ダイオー
ドＤ１に電流は殆ど流れない。
しかし、コンバータ１の電圧が高くなりバリス
タＢの非線型点を越えると、ダイオードＤ１には
急激に電流が流れる。この電流は変流器CTによ
つて検出することができる。
タＢの非線型点を越えると、ダイオードＤ１には
急激に電流が流れる。この電流は変流器CTによ
つて検出することができる。
５は制御装置であり変流器CTの電流の立ち上
がりを捕らえて異常電圧を検出する。そしてこれ
をアラームとして表示する。また、この電圧値が
危険電圧以上に達した場合はコンバータ１のサイ
リスタのゲート信号をオフにして運転を停止す
る。
がりを捕らえて異常電圧を検出する。そしてこれ
をアラームとして表示する。また、この電圧値が
危険電圧以上に達した場合はコンバータ１のサイ
リスタのゲート信号をオフにして運転を停止す
る。
第２図にコンバータ１の出力電圧と電流の関係
を示す。図において、縦軸は第１図の電圧VSを
表し、横軸は時間である。電圧VSが図のように
変化して時刻Ｔ１でバリスタＢの非線型点VBを
越えるとＩ（電流）が急激にバリスタＢに流れ、
この電流は変流器CTによつて検出することがで
きる。
を示す。図において、縦軸は第１図の電圧VSを
表し、横軸は時間である。電圧VSが図のように
変化して時刻Ｔ１でバリスタＢの非線型点VBを
越えるとＩ（電流）が急激にバリスタＢに流れ、
この電流は変流器CTによつて検出することがで
きる。
このように、簡単な構成で異常電圧を検出し、
インバータ２のFET等の半導体素子等を保護す
ることができる。また、変流器CTはコンバータ
１及びインバータ２等の回路とアースが接続され
ていないので、ノイズ等が制御装置５の回路に進
入する可能性も低い。
インバータ２のFET等の半導体素子等を保護す
ることができる。また、変流器CTはコンバータ
１及びインバータ２等の回路とアースが接続され
ていないので、ノイズ等が制御装置５の回路に進
入する可能性も低い。
上記の説明では、、非線型素子としてバリスタ
を使用したが、これ以外の例えば高圧のツエナー
ダイオード等の非線型素子を使用することもでき
る。
を使用したが、これ以外の例えば高圧のツエナー
ダイオード等の非線型素子を使用することもでき
る。
以上説明したように本発明では、異常電圧の検
非線型素子を使用して、その電流変化を変流器で
検出すように構成したので、簡易な回路構成で異
常電圧を検出することができ、また、制御装置の
回路にノイズが進入する可能性も低くすることが
できる。
非線型素子を使用して、その電流変化を変流器で
検出すように構成したので、簡易な回路構成で異
常電圧を検出することができ、また、制御装置の
回路にノイズが進入する可能性も低くすることが
できる。
第１図は本発明の一実施例のブロツク図、第２
図はバリスタＢの電圧と電流の関係を示す図であ
る。 １……コンバータ、２……インバータ、３……
レーザ管、４……電流検出回路、５……制御装
置。
図はバリスタＢの電圧と電流の関係を示す図であ
る。 １……コンバータ、２……インバータ、３……
レーザ管、４……電流検出回路、５……制御装
置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザ管に高周波電源を供給してレーザ発振
を行うレーザ発振器の異常電圧検出装置におい
て、 前記高周波電源を供給するコンバータに接続さ
れ、非線型素子と基準電圧とからなる電圧検出回
路と、 該非線型素子に流れる電流を検出する変流器と
を有し、 前記非線型素子に流れる電流によつて出力電圧
の異常を検出するように構成したレーザ発振器の
異常電圧検出装置。 ２ 前記非線型素子はバリスタであることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器
の異常電圧検出装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4841087A JPS63213985A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の異常電圧検出装置 |
| PCT/JP1988/000183 WO1988006810A1 (fr) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Dispositif de detection de la tension de sortie d'un oscillateur laser |
| DE8888901930T DE3870086D1 (de) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Anordnung zum nachweis der ausgangsspannung eines laser-oszillators. |
| EP91100898A EP0433266B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
| DE3851896T DE3851896T2 (de) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Ausgangsspannungsdetektionsvorrichtung in einem Laseroszillator. |
| EP88901930A EP0303712B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
| US07/269,743 US4876689A (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4841087A JPS63213985A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の異常電圧検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63213985A JPS63213985A (ja) | 1988-09-06 |
| JPH0341993B2 true JPH0341993B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=12802534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4841087A Granted JPS63213985A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の異常電圧検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63213985A (ja) |
-
1987
- 1987-03-03 JP JP4841087A patent/JPS63213985A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63213985A (ja) | 1988-09-06 |
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