JPS63213986A - レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 - Google Patents
レ−ザ発振器の出力電圧検出装置Info
- Publication number
- JPS63213986A JPS63213986A JP62048411A JP4841187A JPS63213986A JP S63213986 A JPS63213986 A JP S63213986A JP 62048411 A JP62048411 A JP 62048411A JP 4841187 A JP4841187 A JP 4841187A JP S63213986 A JPS63213986 A JP S63213986A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency power
- transformer
- voltage
- output voltage
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ発振器の出力電圧検出装置に関し、特に
低電圧で安価に構成できるようにしたし一ザ発振器の出
力電圧検出装置に関する。
低電圧で安価に構成できるようにしたし一ザ発振器の出
力電圧検出装置に関する。
レーザ管は内部のガスの状態等によって、電気的なイン
ピーダンスが変化し、このためにレーザ管に供給される
電圧が変動し、高周波電源装置の出力電圧が変動する。
ピーダンスが変化し、このためにレーザ管に供給される
電圧が変動し、高周波電源装置の出力電圧が変動する。
例えば、レーザ管への電流帰還ループを有するレーザ発
振器において、電気的インピーダンスが変動すれば、電
流を一定になるように制御していれば当然に供給電圧が
変動する。これをそのまま放置すれば、高周波電源内の
インバータを構成している半導体等を損傷する原因とな
る。また、安定な供給電圧を得るために出力電圧を監視
する必要もある。
振器において、電気的インピーダンスが変動すれば、電
流を一定になるように制御していれば当然に供給電圧が
変動する。これをそのまま放置すれば、高周波電源内の
インバータを構成している半導体等を損傷する原因とな
る。また、安定な供給電圧を得るために出力電圧を監視
する必要もある。
このために従来より、高周波電源装置の出力電圧を検出
し、基準の電圧を越えときはアラームを上げ、また危険
電圧を越えたときは運転を停止する等の制御を行い、さ
らに、出力電圧を一定に制御するために、出力電圧を検
出して監視する必要があった。従って、レーザ発振器に
おいて、高周波電源装置の出力電圧の監視、測定は重要
である。
し、基準の電圧を越えときはアラームを上げ、また危険
電圧を越えたときは運転を停止する等の制御を行い、さ
らに、出力電圧を一定に制御するために、出力電圧を検
出して監視する必要があった。従って、レーザ発振器に
おいて、高周波電源装置の出力電圧の監視、測定は重要
である。
従来これらの測定は計器用変圧器または分割コンデンサ
を使用して行われてきた。
を使用して行われてきた。
しかし、計器用変圧器を使用するときは、電圧が相当高
いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が必要であり、ま
た高周波電源の周波数が高いので高周波特性も必要であ
った。このために非常に高価な計器用変圧器を必要とし
た。
いので相当の絶縁耐圧を有する変圧器が必要であり、ま
た高周波電源の周波数が高いので高周波特性も必要であ
った。このために非常に高価な計器用変圧器を必要とし
た。
また、コンデンサで電圧を分圧する方法ではレーザ管へ
の供給電力ラインと制御装置側のアースを分離すること
ができず、制御回路へのノイズ等が混入する危険性が高
いという問題点があった。
の供給電力ラインと制御装置側のアースを分離すること
ができず、制御回路へのノイズ等が混入する危険性が高
いという問題点があった。
本発明の目的は上記問題点を解決し、低電圧で安価に構
成できるようにしたレーザ発振器の出力電圧検出装置を
提供することにある。
成できるようにしたレーザ発振器の出力電圧検出装置を
提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、第１図に示
すように、 高周波電源装置（１）とレーザ管（４）の間に昇圧トラ
ンス（２）を有するレーザ発振器の出力電圧検出装置に
おいて、 前記トランス（２）の−次側のアース側に電流を検出す
る変流器（５）を設け、 該変流器（５）の電流から前記高周波電源装置（１）の
出力電圧を検出するように構成したことを特徴とするレ
ーザ発振器の出力電圧検出装置が、提供される。
すように、 高周波電源装置（１）とレーザ管（４）の間に昇圧トラ
ンス（２）を有するレーザ発振器の出力電圧検出装置に
おいて、 前記トランス（２）の−次側のアース側に電流を検出す
る変流器（５）を設け、 該変流器（５）の電流から前記高周波電源装置（１）の
出力電圧を検出するように構成したことを特徴とするレ
ーザ発振器の出力電圧検出装置が、提供される。
変流器をトランスの一次巻線のアース側に設けたので、
変流器の電圧は非常に低いものでたりる。
変流器の電圧は非常に低いものでたりる。
この変流器からの電流値とトランスの一次側の入力イン
ピーダンスとの積から出力電圧を計算することができる
。
ピーダンスとの積から出力電圧を計算することができる
。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例のブロック図を示す。
図において、１は高周波電源装置であり、商用電源を整
流して直流に変換し、これを高周波インバータによって
高周波の電圧に変換する。２は昇圧用のトランスであり
、高周波電源装置からの高周波電源を必要な電圧まで昇
圧する。３はマツチング回路であり、トランス２とレー
ザ管とのインピーダンスマツチングをとり、高周波電源
装置からの電力を効率よくレーザ管に供給する。本実施
例ではπ型のマツチング回路を使用している。３１及び
３３は並列リアクタンスを構成するコンデンサであり、
３２は直列リアクタンスを構成するインダクタンスであ
る。
流して直流に変換し、これを高周波インバータによって
高周波の電圧に変換する。２は昇圧用のトランスであり
、高周波電源装置からの高周波電源を必要な電圧まで昇
圧する。３はマツチング回路であり、トランス２とレー
ザ管とのインピーダンスマツチングをとり、高周波電源
装置からの電力を効率よくレーザ管に供給する。本実施
例ではπ型のマツチング回路を使用している。３１及び
３３は並列リアクタンスを構成するコンデンサであり、
３２は直列リアクタンスを構成するインダクタンスであ
る。
４はレーザ管である。４１は石英ガラス等で形成された
管であり、内部にレーザ媒質ガス４２が循環されている
。４３ａ及び４３ｂは電極であり、この電極を介して管
４１に高周波電源が印可されいる。この管４１内にある
レーザ媒質ガス４２に高周波電源による放電をおこない
、レーザ光を発振、増幅させている。レーザ光の方向は
紙面と直角方向である。
管であり、内部にレーザ媒質ガス４２が循環されている
。４３ａ及び４３ｂは電極であり、この電極を介して管
４１に高周波電源が印可されいる。この管４１内にある
レーザ媒質ガス４２に高周波電源による放電をおこない
、レーザ光を発振、増幅させている。レーザ光の方向は
紙面と直角方向である。
５は変流器であり、トランス２の一次側のアースに設け
られている。従って、変流器５の電圧は非常に低く、変
流器５の絶縁電圧は低いものでたりる。また、変流器５
はアースがレーザ放電用の電力ラインから分離されてお
り、ノイズ等が混入する可能性も低い。
られている。従って、変流器５の電圧は非常に低く、変
流器５の絶縁電圧は低いものでたりる。また、変流器５
はアースがレーザ放電用の電力ラインから分離されてお
り、ノイズ等が混入する可能性も低い。
６は制御装置であり、変流器５からの電流信号値とトラ
ンスの一次側の入力インピーダンスの積から高周波電源
装置ｌから出力される高周波電源の電圧を算出すること
ができる。これは、変流器５からの電流信号値をＤＡコ
ンバータによってディシイタル値に変換し、予めトラン
スの一次側の入力インピーダンス値をディシイタル値と
して記憶しておき、両者の積から求めることができる。
ンスの一次側の入力インピーダンスの積から高周波電源
装置ｌから出力される高周波電源の電圧を算出すること
ができる。これは、変流器５からの電流信号値をＤＡコ
ンバータによってディシイタル値に変換し、予めトラン
スの一次側の入力インピーダンス値をディシイタル値と
して記憶しておき、両者の積から求めることができる。
この検出電圧によって、高周波電源装置１内で使用され
ているＦＥＴ等を保護することができる。
ているＦＥＴ等を保護することができる。
これらの電圧値を予め定められた基準電圧値と比較して
、基準電圧値を所定の値以上越えているときはアラーム
を表示する。また、この電圧値が危険電圧以上に達した
場合は運転を停止する。さらに、この電圧を監視して、
自動的に電圧を一定に保つように制御することもできる
。
、基準電圧値を所定の値以上越えているときはアラーム
を表示する。また、この電圧値が危険電圧以上に達した
場合は運転を停止する。さらに、この電圧を監視して、
自動的に電圧を一定に保つように制御することもできる
。
上記の説明でトランスの一次側に変流器を設けたが、ト
ランス２を３巻トランスとして、特別の変流器を設ける
ことなく構成することもできる。
ランス２を３巻トランスとして、特別の変流器を設ける
ことなく構成することもできる。
以上説明したように本発明では、高周波電源装置の出力
電圧の検出をトランスの一次側のアース側に設けた変流
器から検出した電流から得るように構成しているので、
変流器の絶！！電圧が低（、安価な変流器を使用でき、
簡単な構成で高周波電源装置の出力電圧を測定すること
ができる。
電圧の検出をトランスの一次側のアース側に設けた変流
器から検出した電流から得るように構成しているので、
変流器の絶！！電圧が低（、安価な変流器を使用でき、
簡単な構成で高周波電源装置の出力電圧を測定すること
ができる。
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。
Claims (1)
- （１）高周波電源装置とレーザ管の間に昇圧トランスを
有するレーザ発振器の出力電圧検出装置において、 前記トランスの一次側のアース側に電流を検出する変流
器を設け、 該変流器の電流から前記高周波電源装置の出力電圧を検
出するように構成したことを特徴とするレーザ発振器の
出力電圧検出装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62048411A JPS63213986A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
| DE3851896T DE3851896T2 (de) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Ausgangsspannungsdetektionsvorrichtung in einem Laseroszillator. |
| DE8888901930T DE3870086D1 (de) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Anordnung zum nachweis der ausgangsspannung eines laser-oszillators. |
| EP91100898A EP0433266B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
| US07/269,743 US4876689A (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
| PCT/JP1988/000183 WO1988006810A1 (fr) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Dispositif de detection de la tension de sortie d'un oscillateur laser |
| EP88901930A EP0303712B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-02-19 | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62048411A JPS63213986A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63213986A true JPS63213986A (ja) | 1988-09-06 |
| JPH0341994B2 JPH0341994B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=12802562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62048411A Granted JPS63213986A (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63213986A (ja) |
-
1987
- 1987-03-03 JP JP62048411A patent/JPS63213986A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0341994B2 (ja) | 1991-06-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0482705A2 (en) | Circuit arrangement | |
| JPH05188155A (ja) | 車両検出システム | |
| JP2007103102A (ja) | 高周波電源装置 | |
| JPS63178718A (ja) | 高電圧発生装置および電気アークから該装置を防護する方法 | |
| EP0433266B1 (en) | Output voltage detecting device in a laser oscillator | |
| JPH0341992B2 (ja) | ||
| JPS63213986A (ja) | レ−ザ発振器の出力電圧検出装置 | |
| US4887272A (en) | Laser oscillator device | |
| JPH0341995B2 (ja) | ||
| JPH07297474A (ja) | 気体レーザ装置 | |
| JP3540227B2 (ja) | 電力変換装置 | |
| JP2868058B2 (ja) | 誘導加熱装置 | |
| JPH0341993B2 (ja) | ||
| JPH06302888A (ja) | 高周波電源装置及びレーザ発振装置 | |
| EP0315696A1 (en) | Laser oscillator | |
| SU1356102A1 (ru) | Устройство дл защиты от утечки тока в электрической сети переменного тока | |
| JP2724824B2 (ja) | 直流高電圧発生装置 | |
| JPS63273379A (ja) | レ−ザ発振装置用ロゴスキ−コイル | |
| JPS6244436B2 (ja) | ||
| JPH0750873Y2 (ja) | インバータ電源回路 | |
| JPS5843220Y2 (ja) | 増幅形計器用変圧器 | |
| JPH01143374A (ja) | 交流放電励起レーザ装置 | |
| JPH0413872B2 (ja) | ||
| JPH07111424A (ja) | 絶縁増幅器 | |
| JPH01248967A (ja) | コッククロフト高圧整流器の電圧制御回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |