JPH0341U - - Google Patents

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JPH0341U
JPH0341U JP14373289U JP14373289U JPH0341U JP H0341 U JPH0341 U JP H0341U JP 14373289 U JP14373289 U JP 14373289U JP 14373289 U JP14373289 U JP 14373289U JP H0341 U JPH0341 U JP H0341U
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rotating shaft
fitting hole
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JP14373289U
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  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例の断面図、第２図
はそのハウジングの正面図、第３図は同じくその
ハウジングおよび回転軸を示す部分拡大断面図、
第４図Ａ，Ｂは各々同じくその動作説明図、第５
図は従来のゲートバルブの断面図である。 １…真空槽である処理室、２…イオン源、３…
真空槽である予備室、５…ハウジング、６…搬入
物、７…搬入物通過路、８…軸嵌合孔、９…回転
軸、１０…通過孔、１１，１２…シール材。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空槽に開口した搬入物通過路およびこの
    搬入物通過路と交差する軸嵌合孔を有するハウジ
    ングと、前記搬入物通過路に連通する通過孔を有
    し前記軸嵌合孔に回転自在に嵌合して前記搬入物
    通過路を開閉する回転軸と、前記回転軸の外面に
    設けられて前記搬入物通過路を閉じる前記回転軸
    の回転角度で前記軸嵌合孔内面の前記搬入物通過
    路の開口周縁を密閉するシール材とを備えた真空
    処理装置。 (2) シール材のシヨア硬さを５５〜７０とした
    請求項(1)記載の真空処理装置。
JP14373289U 1989-02-23 1989-12-12 Pending JPH0341U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14373289U JPH0341U (ja) 1989-02-23 1989-12-12

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2117589 1989-02-23
JP14373289U JPH0341U (ja) 1989-02-23 1989-12-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0341U true JPH0341U (ja) 1991-01-07

Family

ID=31717458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14373289U Pending JPH0341U (ja) 1989-02-23 1989-12-12

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0341U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002212955A (ja) * 2001-01-22 2002-07-31 Kanai:Kk アンカーボルトの位置出し定規と位置決め装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002212955A (ja) * 2001-01-22 2002-07-31 Kanai:Kk アンカーボルトの位置出し定規と位置決め装置

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