JPH0342328Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0342328Y2 JPH0342328Y2 JP1983148591U JP14859183U JPH0342328Y2 JP H0342328 Y2 JPH0342328 Y2 JP H0342328Y2 JP 1983148591 U JP1983148591 U JP 1983148591U JP 14859183 U JP14859183 U JP 14859183U JP H0342328 Y2 JPH0342328 Y2 JP H0342328Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap
- measured
- sensor
- gap sensor
- sleeve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、被測定物とギヤツプセンサとの間の
隙間を一定の検出可能範囲に保つようにギヤツプ
センサの位置を制御してこのギヤツプセンサの移
動量をセンサ移動検出手段で検出し、ギヤツプセ
ンサおよびセンサ移動検出手段の出力を加算する
ことにより被測定物の変位を検出する非接触形変
位検出装置に関する。
隙間を一定の検出可能範囲に保つようにギヤツプ
センサの位置を制御してこのギヤツプセンサの移
動量をセンサ移動検出手段で検出し、ギヤツプセ
ンサおよびセンサ移動検出手段の出力を加算する
ことにより被測定物の変位を検出する非接触形変
位検出装置に関する。
第１図は被測定物１の変位を検出する非接触形
変位検出装置を示すもので、図中２は外周にねじ
加工が施され被測定物１との間に隙間Ｈをあけて
配置されたギヤツプセンサ、３はこのギヤツプセ
ンサ２に接続された中継ケーブル、４は支持板５
にギヤツプセンサ２を固定する固定ナツトであ
る。
変位検出装置を示すもので、図中２は外周にねじ
加工が施され被測定物１との間に隙間Ｈをあけて
配置されたギヤツプセンサ、３はこのギヤツプセ
ンサ２に接続された中継ケーブル、４は支持板５
にギヤツプセンサ２を固定する固定ナツトであ
る。
このような非接触形変位検出装置による被測定
物１の変位検出は、隙間Ｈと、ギヤツプセンサ２
の出力データとの間に一定の関係があることを利
用して行なわれる。すなわち、較正済みのギヤツ
プセンサ出力と隙間Ｈとの関係をあらかじめ求め
ておき、ギヤツプセンサアンプ（図示せず）でギ
ヤツプセンサ２の出力電圧を読取ることにより被
測定物１の変位を検出するものである。
物１の変位検出は、隙間Ｈと、ギヤツプセンサ２
の出力データとの間に一定の関係があることを利
用して行なわれる。すなわち、較正済みのギヤツ
プセンサ出力と隙間Ｈとの関係をあらかじめ求め
ておき、ギヤツプセンサアンプ（図示せず）でギ
ヤツプセンサ２の出力電圧を読取ることにより被
測定物１の変位を検出するものである。
ところで、以上の如く構成された非接触形変位
検出装置で検出可能な変位量はギヤツプセンサ２
の径Ｄによつて決まるので、被測定物が大きく変
位するときは、径Ｄの大きなギヤツプセンサ２を
用いなければその変位を検出することができな
い。したがつて、変位が大きいにも拘らず径Ｄの
大きなギヤツプセンサを取付けるスペースを確保
できない場合、または第２図のように隙間Ｈが経
時的に変化して、隙間Ｈがギヤツプセンサ２の検
出可能範囲Ａを越える程度に大きくなつた場合に
は、被測定物１の変位を検出できない欠点があつ
た。
検出装置で検出可能な変位量はギヤツプセンサ２
の径Ｄによつて決まるので、被測定物が大きく変
位するときは、径Ｄの大きなギヤツプセンサ２を
用いなければその変位を検出することができな
い。したがつて、変位が大きいにも拘らず径Ｄの
大きなギヤツプセンサを取付けるスペースを確保
できない場合、または第２図のように隙間Ｈが経
時的に変化して、隙間Ｈがギヤツプセンサ２の検
出可能範囲Ａを越える程度に大きくなつた場合に
は、被測定物１の変位を検出できない欠点があつ
た。
本考案はこのような事情にもとづいてなされた
もので、その目的は、ギヤツプセンサの径を大き
くすることなしに、被測定物の大きな変位も検出
することができる非接触形変位検出装置を提供す
ることにある。
もので、その目的は、ギヤツプセンサの径を大き
くすることなしに、被測定物の大きな変位も検出
することができる非接触形変位検出装置を提供す
ることにある。
そしてこのような目的を達成するために、本考
案に係る非接触形変位検出装置は、ギヤツプセン
サを被測定物に対して進退移動させることによつ
て被測定物とギヤツプセンサとの間の隙間を一定
の検出可能範囲に保つとともに、ギヤツプセンサ
の移動量をセンサ移動検出手段で検出し、ギヤツ
プセンサの出力とセンサ移動検出手段の出力とを
加算することにより被測定物の変位を検出するよ
うに構成されている。
案に係る非接触形変位検出装置は、ギヤツプセン
サを被測定物に対して進退移動させることによつ
て被測定物とギヤツプセンサとの間の隙間を一定
の検出可能範囲に保つとともに、ギヤツプセンサ
の移動量をセンサ移動検出手段で検出し、ギヤツ
プセンサの出力とセンサ移動検出手段の出力とを
加算することにより被測定物の変位を検出するよ
うに構成されている。
したがつて、被測定物とギヤツプセンサとの間
の隙間は一定の検出可能範囲に保たれるのでギヤ
ツプセンサとしては大径のものを使用する必要が
なく、しかも被測定物の大きな変位も検出するこ
とができる。
の隙間は一定の検出可能範囲に保たれるのでギヤ
ツプセンサとしては大径のものを使用する必要が
なく、しかも被測定物の大きな変位も検出するこ
とができる。
以下、本考案の詳細を第３図に示す実施例にも
とづいて説明する。なお第１図と同一の部分は同
一符号で示してある。
とづいて説明する。なお第１図と同一の部分は同
一符号で示してある。
ギヤツプセンサ２はスリーブ６の内周ねじ部に
一端側より螺合して、固定ナツト７で固定されて
いる。なお、上記スリーブ６の外周は中央部から
他端までを小径に形成されており、その他端側の
周壁には軸方向に長い切欠き８が設けてある。こ
の切欠き８は、ギヤツプセンサ２に接続された中
継ケーブル３を導出するためのものである。
一端側より螺合して、固定ナツト７で固定されて
いる。なお、上記スリーブ６の外周は中央部から
他端までを小径に形成されており、その他端側の
周壁には軸方向に長い切欠き８が設けてある。こ
の切欠き８は、ギヤツプセンサ２に接続された中
継ケーブル３を導出するためのものである。
スリーブ６は、ホルダー９内に摺動自在に収容
されている。そしてホルダー９の一端にはばね受
けナツト１０が螺合され、このばね受けナツト１
０と前記固定ナツト７との間には圧縮コイルばね
１１が介挿されている。またホルダー９内の他端
側にはセンサ移動検出手段としての差動トランス
１２が固定ねじ１３により固定されている。この
差動トランス１２は二重円筒コイル内に可動軸１
４を挿入した構成のもので、可動軸１４の位置に
応じた大きさの電圧がコイルより出力される。そ
してこの差動トランス１２はギヤツプセンサ２よ
りはるかに大きい変位を検出することができる。
上記可動軸１４はホルダー９の内方へ延び、内外
周にねじ加工が施されたナツト１５を介して前記
スリーブ６の他端側に螺合されている。なお図中
１６は可動軸１４をナツト１５に固定するための
固定ナツトであり、１７はホルダー９の内周に突
設されて前記スリーブ６の外周小径部を摺合させ
る環状突起である。そしてホルダー９の周壁に
は、環状突起１７とスリーブ６の外周段部との間
の環状空間に連通するガス供給管１８が接続され
るとともに、前記中継ケーブル３を導出するため
のケーブル導通口１９が形成されている。
されている。そしてホルダー９の一端にはばね受
けナツト１０が螺合され、このばね受けナツト１
０と前記固定ナツト７との間には圧縮コイルばね
１１が介挿されている。またホルダー９内の他端
側にはセンサ移動検出手段としての差動トランス
１２が固定ねじ１３により固定されている。この
差動トランス１２は二重円筒コイル内に可動軸１
４を挿入した構成のもので、可動軸１４の位置に
応じた大きさの電圧がコイルより出力される。そ
してこの差動トランス１２はギヤツプセンサ２よ
りはるかに大きい変位を検出することができる。
上記可動軸１４はホルダー９の内方へ延び、内外
周にねじ加工が施されたナツト１５を介して前記
スリーブ６の他端側に螺合されている。なお図中
１６は可動軸１４をナツト１５に固定するための
固定ナツトであり、１７はホルダー９の内周に突
設されて前記スリーブ６の外周小径部を摺合させ
る環状突起である。そしてホルダー９の周壁に
は、環状突起１７とスリーブ６の外周段部との間
の環状空間に連通するガス供給管１８が接続され
るとともに、前記中継ケーブル３を導出するため
のケーブル導通口１９が形成されている。
しかして、ホルダー９は外周中央部にねじ加工
が施され、支持板５に挿通して固定ナツト４によ
り固定されている。
が施され、支持板５に挿通して固定ナツト４によ
り固定されている。
ここで、ギヤツプセンサ２の位置（すなわちス
リーブ６の位置）は、（ばね１１の弾力）＝（スリ
ーブ６の受圧面積×ガス圧力）となるように決定
されるが、ガス圧力はギヤツプセンサ２の出力に
もとづいて隙間Ｈをギヤツプセンサ２の検出可能
範囲に保つように制御される。
リーブ６の位置）は、（ばね１１の弾力）＝（スリ
ーブ６の受圧面積×ガス圧力）となるように決定
されるが、ガス圧力はギヤツプセンサ２の出力に
もとづいて隙間Ｈをギヤツプセンサ２の検出可能
範囲に保つように制御される。
次に、この非接触形変位検出装置の作用を第４
図にもとづいて説明する。なお第４図中Ｉはギヤ
ツプセンサ２の出力、は差動トランス１２の出
力を示す。
図にもとづいて説明する。なお第４図中Ｉはギヤ
ツプセンサ２の出力、は差動トランス１２の出
力を示す。
まず、ギヤツプセンサ２の初期設定時t0〜t1に
はギヤツプセンサ２がコイルばね１１の弾力によ
り第３図における右方向へ移動しており、隙間Ｈ
が大きくあいている。
はギヤツプセンサ２がコイルばね１１の弾力によ
り第３図における右方向へ移動しており、隙間Ｈ
が大きくあいている。
そこで、ガス供給管１８を通してホルダー９内
に圧力ガスを供給し、ギヤツプセンサ２をコイル
ばね１１の弾力に抗して第３図における左方向へ
移動させ、隙間Ｈがギヤツプセンサ２の検出可能
範囲Ａのほぼ中心となるように調整するt1〜t2。
に圧力ガスを供給し、ギヤツプセンサ２をコイル
ばね１１の弾力に抗して第３図における左方向へ
移動させ、隙間Ｈがギヤツプセンサ２の検出可能
範囲Ａのほぼ中心となるように調整するt1〜t2。
そして被測定物１がt3より振動し始めた場合、
被測定物１の静的変位が小さく、隙間Ｈがギヤツ
プセンサ２の検出可能範囲Ａ内に充分収まつてい
るうちは、ギヤツプセンサ２を移動させることな
くギヤツプセンサ２の出力により被測定物１の振
動の振幅（動的変位）を検出することができる。
被測定物１の静的変位が小さく、隙間Ｈがギヤツ
プセンサ２の検出可能範囲Ａ内に充分収まつてい
るうちは、ギヤツプセンサ２を移動させることな
くギヤツプセンサ２の出力により被測定物１の振
動の振幅（動的変位）を検出することができる。
ところがt4以降、被測定物１の静的変位が漸次
増加し始めたとすると、隙間Ｈが大きく変位する
ので、ギヤツプセンサ２の出力からこれを検出
し、ガス圧力を調整してギヤツプセンサ２を、隙
間Ｈの静的変位を抑える方向へ移動する。このギ
ヤツプセンサ２の移動量は、差圧トランス１２の
可動軸１４の移動として差圧トランス１２の出力
から求められる。したがつてギヤツプセンサ２の
出力と差圧トランス１２の出力とを加算すること
により被測定物１の経時的変位（動的変位と静的
変位）を検出することができる。
増加し始めたとすると、隙間Ｈが大きく変位する
ので、ギヤツプセンサ２の出力からこれを検出
し、ガス圧力を調整してギヤツプセンサ２を、隙
間Ｈの静的変位を抑える方向へ移動する。このギ
ヤツプセンサ２の移動量は、差圧トランス１２の
可動軸１４の移動として差圧トランス１２の出力
から求められる。したがつてギヤツプセンサ２の
出力と差圧トランス１２の出力とを加算すること
により被測定物１の経時的変位（動的変位と静的
変位）を検出することができる。
そこで、このような構成にすることにより、被
測定物１が大きく変位する場合でもギヤツプセン
サ２としては小径のもので足り、挟いスペースで
も設置することができる。
測定物１が大きく変位する場合でもギヤツプセン
サ２としては小径のもので足り、挟いスペースで
も設置することができる。
以上詳述したように、本考案の非接触形変位検
出装置は、ギヤツプセンサを被測定物に対して進
退移動させることによつて被測定物とギヤツプセ
ンサとの間の隙間を一定の検出可能範囲に保つと
ともに、ギヤツプセンサの移動量をセンサ移動検
出手段で検出し、ギヤツプセンサの出力とセンサ
移動検出手段の出力とを加算することにより被測
定物の変位を検出するように構成されている。
出装置は、ギヤツプセンサを被測定物に対して進
退移動させることによつて被測定物とギヤツプセ
ンサとの間の隙間を一定の検出可能範囲に保つと
ともに、ギヤツプセンサの移動量をセンサ移動検
出手段で検出し、ギヤツプセンサの出力とセンサ
移動検出手段の出力とを加算することにより被測
定物の変位を検出するように構成されている。
したがつて、被測定物とギヤツプセンサとの間
の隙間は一定の検出可能範囲に保たれるのでギヤ
ツプセンサとしては大径のものを使用する必要が
なく、しかも被測定物の大きな変位も検出するこ
とができる。
の隙間は一定の検出可能範囲に保たれるのでギヤ
ツプセンサとしては大径のものを使用する必要が
なく、しかも被測定物の大きな変位も検出するこ
とができる。
第１図は従来例を示す断面図、第２図はギヤツ
プセンサ出力の経時的変化を示す線図、第３図は
本考案の一実施例を示す断面図、第４図はギヤツ
プセンサ出力および差動トランス出力の経時的変
化を示す線図である。 １……被測定物、２……ギヤツプセンサ、６…
…スリーブ、９……ホルダー、１１……圧縮コイ
ルばね、１２……差動トランス、１４……可動
軸、１８……ガス供給管。
プセンサ出力の経時的変化を示す線図、第３図は
本考案の一実施例を示す断面図、第４図はギヤツ
プセンサ出力および差動トランス出力の経時的変
化を示す線図である。 １……被測定物、２……ギヤツプセンサ、６…
…スリーブ、９……ホルダー、１１……圧縮コイ
ルばね、１２……差動トランス、１４……可動
軸、１８……ガス供給管。
Claims (1)
- 被測定物に対向して設けられたホルダーと、こ
のホルダー内の一端側に圧縮コイルばねを介して
進退自在に収納されたスリーブと、前記ホルダー
内の他端側に収納されかつ前記スリーブの他端側
に固定された可動軸を内通するセンサ移動検出器
と、前記スリーブの中心孔の一端側に取り付けら
れ前記被測定物との隙間に応じて出力を変化させ
るギヤツプセンサと、前記センサ移動検出器と同
軸上に配され前記被測定物とギヤツプセンサとの
隙間が常に一定の検出可能範囲を保持するように
スリーブ外周部とホルダー内周壁との間に形成さ
れた空間内に加圧ガスを給排気調整する位置制御
手段とを備え、前記ギヤツブセンサの出力とセン
サ移動検出器の出力とを加算することにより、被
測定物の変位を検出することを特徴とする非接触
形変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14859183U JPS6056209U (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 非接触形変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14859183U JPS6056209U (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 非接触形変位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6056209U JPS6056209U (ja) | 1985-04-19 |
| JPH0342328Y2 true JPH0342328Y2 (ja) | 1991-09-05 |
Family
ID=30330091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14859183U Granted JPS6056209U (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 非接触形変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6056209U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4715944B2 (ja) * | 2009-04-03 | 2011-07-06 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、および三次元形状計測プログラム |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5313408Y2 (ja) * | 1972-04-24 | 1978-04-11 | ||
| GB1551218A (en) * | 1975-05-13 | 1979-08-22 | Rolls Royce | Probe for use in displacement measuring apparatus |
| JPS5786710A (en) * | 1980-11-19 | 1982-05-29 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Measuring device for three-dimensional configuration |
| JPS5793202A (en) * | 1980-12-01 | 1982-06-10 | Toyota Motor Corp | Measurer for three-dimensional displacement |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP14859183U patent/JPS6056209U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6056209U (ja) | 1985-04-19 |
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