JPS5924964Y2 - エアマイクロメ−タ - Google Patents
エアマイクロメ−タInfo
- Publication number
- JPS5924964Y2 JPS5924964Y2 JP6537379U JP6537379U JPS5924964Y2 JP S5924964 Y2 JPS5924964 Y2 JP S5924964Y2 JP 6537379 U JP6537379 U JP 6537379U JP 6537379 U JP6537379 U JP 6537379U JP S5924964 Y2 JPS5924964 Y2 JP S5924964Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- pressure
- air supply
- supply source
- back pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は工作物の寸言、Ｄ ６１＝）は位置の測定等に
用いられるエアマイク タに関するものである。
用いられるエアマイク タに関するものである。
本考案の目的とするところは、エア供給源の圧力変動の
影響を除去して高精度な寸法あるいは位置測定が可能な
エアマイクロメータを提供することである。
影響を除去して高精度な寸法あるいは位置測定が可能な
エアマイクロメータを提供することである。
従来のエアマイクロメータは各種エア作動工具と共通の
エア供給源例えば工場内のエア供給管に接続して使用さ
れている。
エア供給源例えば工場内のエア供給管に接続して使用さ
れている。
このため他のエア作動工具において多量のエアを消費す
ると、前記エア供給管内のエアが不足し、これによって
エアマイクロメータへのエア供給圧が微小ながら変動し
、エアマイクロメータの測定精度を低下させる要因とな
っていた。
ると、前記エア供給管内のエアが不足し、これによって
エアマイクロメータへのエア供給圧が微小ながら変動し
、エアマイクロメータの測定精度を低下させる要因とな
っていた。
本考案は従来のこのような不具合を解決するためになさ
れたものであり、エア供給源のエア圧の変動に対応して
測定値の修正を行い、高精度な測定を可能にしたエアマ
イクロメータに関する。
れたものであり、エア供給源のエア圧の変動に対応して
測定値の修正を行い、高精度な測定を可能にしたエアマ
イクロメータに関する。
以下本考案の実施例を図面に基づいて説明すると、第１
図においてＷは測定物であり、この測定物Ｗに相対向し
て検出ノズル１０が設けられているこの検出ノズル１０
にはエア供給源１１よりエア供給路１２、固定ノズル１
３ならびに背圧室１４を介してエアが供給されており、
この検出ノズル１０より測定物Ｗに固って放出されてい
る。
図においてＷは測定物であり、この測定物Ｗに相対向し
て検出ノズル１０が設けられているこの検出ノズル１０
にはエア供給源１１よりエア供給路１２、固定ノズル１
３ならびに背圧室１４を介してエアが供給されており、
この検出ノズル１０より測定物Ｗに固って放出されてい
る。
そしてこの検出ノズル１０に対して測定物Ｗが相対的に
前進したときの前記背圧室１４の圧力変化を圧力検出器
１５にて検出するようになっている。
前進したときの前記背圧室１４の圧力変化を圧力検出器
１５にて検出するようになっている。
この圧力検出器１５は前記圧力変化を電気信号として検
出するもので、例えば周知の拡散型半導体圧力変換器を
用いると便利である。
出するもので、例えば周知の拡散型半導体圧力変換器を
用いると便利である。
ここで前記背圧室１４内のエアの背圧とすきまＬの関係
を線図で表わすと、第２図から明らかなようにすきまＬ
Ｘを変化させることにより背圧はカーブイを描いて変化
するが、このカーブイはエア供給源のエア圧を高めた場
合にはカープロのように変化し、またエア圧を低くした
場合にはカーブハのように変位する。
を線図で表わすと、第２図から明らかなようにすきまＬ
Ｘを変化させることにより背圧はカーブイを描いて変化
するが、このカーブイはエア供給源のエア圧を高めた場
合にはカープロのように変化し、またエア圧を低くした
場合にはカーブハのように変位する。
このことから明らかなようにエア供給圧の変動は同じす
きまＬＸに対して△Ｐ１あるいは△Ｐ２の誤差を生じさ
せ、正確なすきまＬの測定を不可能にする。
きまＬＸに対して△Ｐ１あるいは△Ｐ２の誤差を生じさ
せ、正確なすきまＬの測定を不可能にする。
本考案はかかるエア供給源のエア圧の変動による測定誤
差を防止するために次のような装置を備えている。
差を防止するために次のような装置を備えている。
すなわち１６はエア供給源１１のエア圧の変動を検出す
る圧力検出器であり、例えば前記圧力検出器１５と同一
構成のものが使用される。
る圧力検出器であり、例えば前記圧力検出器１５と同一
構成のものが使用される。
そしてこの圧力検出器１６からの出力は増巾器１７を介
して演算増巾器１８に入力されており、この演算増巾器
１９によって前記圧力検出器１５より増巾器１９を介し
て入力される信号と減算処理されるようになっている。
して演算増巾器１８に入力されており、この演算増巾器
１９によって前記圧力検出器１５より増巾器１９を介し
て入力される信号と減算処理されるようになっている。
かかる演算処理によってエア供給源のエア圧の変動によ
る誤差が相殺され、正確な背圧測定が可能となる。
る誤差が相殺され、正確な背圧測定が可能となる。
２１は前記演算増巾器１８からＡＤ変換器２０を介して
出力される測定値をディジタル表示するディジタル表示
器、２２は供給エア圧を調整するレギュレータバルブで
ある。
出力される測定値をディジタル表示するディジタル表示
器、２２は供給エア圧を調整するレギュレータバルブで
ある。
次に上記構成における作動を説明する。
先ずエア供給源が正規のエア圧であるとする。
測定物Ｗを検出ノズル１０に対向させるとエアの流出が
制限され、背圧室１４の背圧は第２図に示すようにＰｘ
となり、この背圧が圧力検出器１５にて検出され、さら
に電気信号に変換されて演算増巾器１８に人力される。
制限され、背圧室１４の背圧は第２図に示すようにＰｘ
となり、この背圧が圧力検出器１５にて検出され、さら
に電気信号に変換されて演算増巾器１８に人力される。
この場合のエア供給源のエア圧は圧力検出器１６にて検
出され、増巾器１７を介して補正値が演算増巾器１８に
与えられる。
出され、増巾器１７を介して補正値が演算増巾器１８に
与えられる。
エア圧は正規の圧力であるからこの場合の圧力検出器１
６の検出信号に対する増巾器１７から出力される補正値
は零となるように設定されている。
６の検出信号に対する増巾器１７から出力される補正値
は零となるように設定されている。
従って背圧Ｐｘに基づく圧力検出器１５からの検出信号
はＡＤ変換器２０にてディジタル信号に変換されディジ
タル表示器２１にて寸法値Ｌｘが表示される。
はＡＤ変換器２０にてディジタル信号に変換されディジ
タル表示器２１にて寸法値Ｌｘが表示される。
これに対し前記検出ノズル１０のすきまが変化しない状
態でエア圧が変動した場合には第２図口のカーブで示す
ように、圧力検出器１５で検出される背圧はＰＸ＋△Ｐ
１となり、寸法誤差△Ｌ１を含むことになる。
態でエア圧が変動した場合には第２図口のカーブで示す
ように、圧力検出器１５で検出される背圧はＰＸ＋△Ｐ
１となり、寸法誤差△Ｌ１を含むことになる。
したがってこの場合のエア圧の変動を検出する圧力検出
器１６からの信号は増巾器１７にて補正値△Ｐ１を演算
増巾器１８に与えるようにしておき両者の差が演算され
る。
器１６からの信号は増巾器１７にて補正値△Ｐ１を演算
増巾器１８に与えるようにしておき両者の差が演算され
る。
この結果エア圧変動による寸法誤差△Ｌ１は補正され、
正規のエア圧と同様の正しい寸法ＬＸが表示される。
正規のエア圧と同様の正しい寸法ＬＸが表示される。
前記したように本考案のエアマイクロメータはエア供給
源のエア圧の変動を圧力検出器によって直接検出し、こ
の検出信号によって測定値を自動的に修正するようにし
たものであるため、高精度かつ信頼性の高い測定が可能
となる。
源のエア圧の変動を圧力検出器によって直接検出し、こ
の検出信号によって測定値を自動的に修正するようにし
たものであるため、高精度かつ信頼性の高い測定が可能
となる。
また常時エア源のエア圧を監視するものであるため、エ
ア圧が短時間に急激な変化を生じた場合にも対処できる
利点がある。
ア圧が短時間に急激な変化を生じた場合にも対処できる
利点がある。
さらに本考案は、前記圧力検出器をエア供給路の途中に
接続することによってエア供給源のエア圧の変動を直接
検出するようにしたものであるため、エア供給路を分岐
させたり、また圧力設定用の弁要素を余分に設ける必要
がなく、従って温度の影響に伴って弁要素の絞り開度が
変化して設定圧が変化することもなく、エア供給源の圧
力変動を正確に測定できるとともにノズル以外からのエ
アの流出もないため、エアの消費量を少なくすることか
−できる利点か゛ある。
接続することによってエア供給源のエア圧の変動を直接
検出するようにしたものであるため、エア供給路を分岐
させたり、また圧力設定用の弁要素を余分に設ける必要
がなく、従って温度の影響に伴って弁要素の絞り開度が
変化して設定圧が変化することもなく、エア供給源の圧
力変動を正確に測定できるとともにノズル以外からのエ
アの流出もないため、エアの消費量を少なくすることか
−できる利点か゛ある。
図面は本考案の実施例を示し、第１図は本考案装置の回
路図、第２図はエアマイクロメータにおける背圧とすき
まの関係を示す特性線図である。 １０・・・・・・検出ノズル、１１・・・・・・エア供
給源、１２・・・・・・エア供給路、１３・・・・・・
固定ノズル、１４・・・・・・背圧室、１５、１６・・
・・・・圧力検出器、１８・・・・・・演算増巾器、Ｌ
・・・・・・すきま、Ｗ・・・・・・測定物。
路図、第２図はエアマイクロメータにおける背圧とすき
まの関係を示す特性線図である。 １０・・・・・・検出ノズル、１１・・・・・・エア供
給源、１２・・・・・・エア供給路、１３・・・・・・
固定ノズル、１４・・・・・・背圧室、１５、１６・・
・・・・圧力検出器、１８・・・・・・演算増巾器、Ｌ
・・・・・・すきま、Ｗ・・・・・・測定物。
Claims (1)
- エア供給源からのエアをエア供給路、固定ノズルならび
に背圧室を介して測定物と相対向する検出ノズルへ供給
するとともにこの検出ノズルと測定物とのすきまによる
前記背圧室の圧力変化を検出するエアマイクロメータに
おいて、前記背圧室にはこの背圧室の圧力変化を検出し
て電気信号として出力する第１圧力検出器を接続し、ま
た前記エア供給路の途中にエア供給源の圧力変動を直接
検出して電気信号として出力する第２圧力検出器を接続
し、これら圧力検出器より出力される電気信号を演算増
巾器にて演算して前記エア供給源のエア圧の変動を補正
した測定信号を出力するようにしたことを特徴とするエ
アマイクロメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6537379U JPS5924964Y2 (ja) | 1979-05-16 | 1979-05-16 | エアマイクロメ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6537379U JPS5924964Y2 (ja) | 1979-05-16 | 1979-05-16 | エアマイクロメ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55165209U JPS55165209U (ja) | 1980-11-27 |
| JPS5924964Y2 true JPS5924964Y2 (ja) | 1984-07-23 |
Family
ID=29299371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6537379U Expired JPS5924964Y2 (ja) | 1979-05-16 | 1979-05-16 | エアマイクロメ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5924964Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58140403U (ja) * | 1982-03-18 | 1983-09-21 | 日本精工株式会社 | 空気マイクロメ−タ |
-
1979
- 1979-05-16 JP JP6537379U patent/JPS5924964Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55165209U (ja) | 1980-11-27 |
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