JPH0342429A - 基板の収納・取り出し管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、半導体ウェハや液晶表示装置用ガラス基板な
どの製造工程中のフォトリソグラフィー工程で使用され
る露光用マスクやレチクル等の薄板状の露光用基板を収
納・保管する収納棚と、この収納棚から取り出された露
光用基板を露光機に搬送するために前記露光用基板を一
時的に収納する基板ホルダとの間で、露光用基板の受け
渡しを管理する基板の収納・取り出し管理システムに関
する。

〈従来の技術〉 近年、半導体製造ラインのフォトリソグラフィー工程に
おいて、ラインの自動化が急速に進められている。特に
、少量多品種の製造ラインでは、半導体ウェハに回路パ
ターンを焼き付けるためのマスクやレチクルのような露
光用基板（以下、単に基板という）の数は膨大になり、
これらの基板群の中から所望の基板を間違いなく取り出
し、迅速に露光機にセツティングして、工程の処理能率
を向上させたいという要請が強い。

このような要請に応えるために、例えば、特開昭６３−
２２４４８号公報に開示されたような基板搬送装置があ
る。

この基板搬送装置は、収納棚から取り出された複数個の
基板を一時的に収納する移動可能なカセットライブラリ
（本発明では、基板ホルダと称する）から、所要の基板
を取り出して露光機に搬送する途中で、基板に付加され
た基板情報を検知し、この基板情報を露光機に伝送して
露光機を予め初期設定しておくことによって、基板の交
換に要する時間を短縮しようとするものである。

〈発明が解決しようとする課題〉 上述の基板搬送装置は、カセットライブラリと露光機と
の間の基板の受け渡しを自動化することによって工程の
処理能率を向上させようとするものであり、その点では
有効である。

しかし、上記の基板搬送装置を使用しても、多数の基板
が収納された収納棚から所要の基板を取り出してカセッ
トライブラリに収納し、さらには使用済みの基板をカセ
ットライブラリから収納棚に収納するという作業が人手
によって行われているため、基板の取り出し・収納に時
間を要し、しかも間違いが起こりやすいという問題点が
ある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、収納棚からの所要の基板の取り出しや、収納棚への
基板の収納を迅速、かつ正確に行うことができる基板の
収納・取り出し管理システムを提供することを目的とし
ている。

く課題を解決するための手段〉 本発明は、このような目的を達成するために、次のよう
な構成をとる。

即ち、本発明は、複数個の露光用基板を収納・保管する
収納棚と、前記収納棚と露光機との間で所要の露光用基
板を受け渡しするために該露光用基板を一時的に収納す
る基板ホルダとを備え、前記収納棚と基板ホルダとの間
の露光用基板の受け渡しを管理する基板の収納・取り出
し管理システムであって、 前記所要の露光用基板を把持して前記収納棚または基板
ホルダの所要箇所に出し入れする基板把持手段と、 前記基板把持手段を収納棚と基板ホルダとの間で搬送す
る搬送手段と、 前記収納棚の水平および垂直位置情報と、各露光用基板
が！３！置される奥行き位置に係る情報とを記憶する棚
情報記憶手段と、 取り出し・収納すべき露光用基板の識別情報、および／
または該露光用基板の収納位置情報を指定する指定手段
と、 各露光用基板ごとの識別情報に対応した収納位置情報を
記憶する収納位置記憶手段と、前記指定手段から与えら
れた収納位置情報に基づき、あるいは前記指定手段から
与えられた露光用基板の識別情報に応じた収納位置情報
を前記収納位置記憶手段から読み出すことに基づいて、
前記搬送手段の水平・垂直方向の動きを制御し、かつ該
収納位置情報に基づいて前記棚情報記憶手段から読み出
した奥行き位置情報に基づいて前記基板把持手段の奥行
き方向の動きを制御する制御手段と、 を備えたものである。

く作用〉 本発明の作用は次のとおりである。

蕗１１」■ｕ□阻チ也旦 収納棚から取り出すべき露光用基板の識別情報が指定手
段によって指定されると、収納位置記憶手段から当該識
別情報に対応する収納位置情報が読み出される。制御手
段は、この収納位置情報に基づき、搬送手段の水平・垂
直方向の動きを制御して、基板把持手段に把持された露
光用基板を収納棚の指定位置に搬送する。基板把持手段
は、その位置に保管されている露光用基板を把持して取
り出す。取り出された露光用基板は、搬送手段によって
基板ホルダにまで搬送されて、基板ホルダの所要位置に
搬入される。

江見五茎板且塁豊 露光用基板を収納棚の所定位置に収納する態様としては
、次のような態様がある。例えば、指定手段から、その
露光用基板の収納位置を直接指定する態様であり、他の
例としては、指定手段から露光用基板の識別情報を指定
する場合である。

指定手段によって露光用基板の収納位置情報が与えられ
た場合はその収納位置情報に基づき、あるいは指定手段
によって露光用基板の識別情報が与えられた場合には、
その識別情報に対応した収納位置情報を収納位置記憶手
段から読み出すことに基づき、制御手段は、搬送手段の
水平・垂直方向の動きを制御して、基板把持手段に把持
された露光用基板を収納棚の所定位置にまで搬送する。

そして、その収納位置情報に対応する奥行き位置情報を
棚情報記憶手段から読み出し、この情報に基づき基板把
持手段の奥行き方向の動きを制御して、その露光用基板
を収納棚内の所定の奥行き位置にＮＩｉ置する。

〈実施例〉 以下、本発明の一実施例を詳細に説明する。

第１図は、実施例に係る基板の収納・取り出し管理シス
テムのＭ１略図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ
）は正面図である。

図中、符号ｌは複数個の露光用基板を水平・垂直方向に
それぞれ区画して収納・保管する収納棚である。この収
納棚ｌには、露光用基板としての例えばレチクルが収納
される。レチクルは第２図に示すようなレチクルケース
４に収納されている。

レチクルケース４には、開閉自在の前蓋３が設けられて
おり、この前蓋３の前面に、収納されているレチクル２
の機種や属性などを識別するための識別情報としてのバ
ーコード５が貼り付けられている。レチクルケース４の
両側面には、レチクルケース４の受渡し時に係止される
ツメ６と案内用のガイド７とが形成されている。

収納棚１の細部構造を第３図に示す。各レチクルケース
４が個別に載置される棚は、左右一対の棚ガイド８から
構成されており、各硼ガイド８の底面にはレチクルケー
ス４を支える支持ビン９と、レチクルケース４の左右方
向の動きを規制するガイドビンＩＯとが立設されている
。

第１図に戻って、符号１１は収納棚１から取り出された
レチクルケース４を、図示しない露光機に移送するため
に、これを−次的に収納する基板ホルダである。この基
板ホルダ１１は螺軸１２に螺合されたホルダ載置台１３
に載置され、前記螺軸１２をパルスモータ８０で回転駆
動することにより、基板ホルダ１１を所定の基板受渡し
高さに設定できるように構成されている。

符号１４は、レチクルケース４を把持して収納棚Ｉに出
し入れする基板把持手段としての基板把持機構である。

この基板把持機構１４は、搬送機構１５によって収納棚
１の水平（図中、Ｘ方向）・垂直方向（図中、Ｙ方向）
の任意の位置に搬送される。

搬送機構１５は、垂直搬送機構として基板把持機構１４
に螺合された螺軸１６とこれを駆動するパルスモータ１
７を含み、また、水平搬送機構としてランク・ビニオン
機構１８とこれを駆動するパルスモータ１９などを含む
。

基板把持機構１４のｔｌＩ戒を第４図に示す。

同図（ａ）は基板把持機構１４の平面図、同図（ｂ）は
その正面図である。

基板把持機構１４のベース板２０は、上述した螺軸１６
と、ガイド棒２１に沿って昇降し、このベース板２０に
、基板把持機構１４を収納棚１の奥行き方向（図中、Ｚ
方向）に移動させるための駆動機構として、パルスモー
タ２２と、このパルスモータ２２によって駆動される螺
軸２３が取付けられている。２４は、レチクルケース４
を下方から支えるための支持プレートであり、この支持
プレート２４に螺軸２３が螺合されているとともに、ガ
イド棒２３ａが挿通されている。支持プレート２４には
、レチクルケース４の端部を上方から押さえ込んで、そ
の動きを規制するための押さえプレート２５と、これに
ピン結合されたエアーシリンダ２６とが設けられている
。

押さえプレート２５は先端部がｒ　Ｔ　Ｊの字形状をし
ており、その基部に遊嵌された軸２７の両端が支持プレ
ート２８のガイド孔２９に挿通・支持されている。

ガイド穴２９は水平の長孔状で、その前方端部（第４図
（ｂ）における左側端部）が傾斜状に下方に屈曲してい
る。これによりエアーシリンダ２６のロッド２６ａが縮
退したときには、押さえプレート２５は上方に位置し、
ロッド２６ａが伸長したときには、輪軸２７の端部がガ
イド孔２９の前方端部の窪みに落ち込んで、押さえプレ
ート２５が下降し、レチクルケース４を押さえ込むよう
になっている。

なお、基板把持機構１４の支持プレート２４には、レチ
クルケース４を検出するための光学センサＳ１、Ｓ２と
、レチクルケース４に貼着されたバーコード５を３売み
取るためのバーコードリーダＳ３が付設されている。こ
のバーコードリーダＳ３は、収納槽１に収納すべきレチ
クル２の識別情報を指定するための指定手段に相当して
いる。

第１図に戻って、符号３０は、基板把持機構１４と基板
ホルダＩｔとの間でレチクルケース４の受渡しを行うた
めの受渡し機構である。この受渡し機構３０の構成を第
５図に示す、同図（ａ）は平面図、同図（ロ）は（ａ）
図の１−［矢視図、同図（Ｃ）は（８１図の■−■矢視
図である。

第５図において、符号３１はレチクルケース４を側面側
から把持する一対の把持アームである。各把持アーム３
１の先端部内側には、レチクルケース４の側面に形成さ
れたツメ６に係合する凹部３２が形成されている。各把
持アーム３１の基部は、ロークリアクチュエータ３３に
それぞれ連結されており、このロークリアクチュエータ
３３を駆動することにより、把持アーム３１が開閉動作
するように構成されている。

各ロークリアクチュエータ３３は、移動ベース３４に取
付けられている。移動ベース３４には、螺軸３５が螺合
されているとともに、ガイド棒３６が挿通されており、
螺軸３５に連結されたパルスモータ３７を駆動すること
により、把持アーム３１が移動ベース３４と一体となっ
て前後動（Ｚ方向に移動）するように構成されている。

３８は、螺軸３５およびガイド捧３６が取付けられてい
るベース板であり、このベース板３８に螺軸５１が螺合
されるとともに、ガイド棒５２が挿通されおり、前記螺
軸５１がパルスモータ５３（第１図（ａ）参照）に回転
駆動されることにより、受渡し機構３０がＸ方向に移動
するように構成されている。ベース板３日の長手方向側
面には側板３９がそれぞれ設けられており、各側板３９
には、レチクルケース４の受渡し時にレチクルケース４
のガイド７を下方から支持する複数個のガイドローラ４
０と、レチクルケース４の底面を支持する支持ローラ４
１とが取付けられている。

また、第５図（Ｃ）に示すように、側板３９には、Ｌ形
リンク４３が揺動自在に支持されており、各り形リンク
４３の先端部には、レチクルケース４が基板ホルダ１１
または基板把持機構１４から受け渡されたときに、レチ
クルケース４の側面に当接してこれを位置決めする位置
決めローラ４２が取付けられている。このＬ形リンク４
３の下端は棒状カム４４に当接している。第５図（ｂ）
に示すように、移動ベース３４に取付けられたカムホロ
ワ４５に当接している棒状カム４４のカム面の原点側（
第５図（ｂ）における右！＠）には凹部４６が形成され
ている。このカム面に当接してカムホロワ４５が転勤す
ることにより、棒状カム４４が上下動して、位置決めロ
ーラ４２を開閉動作するように構成されている。

上述した棒状カム４４は、ベース板３８に上下動自在に
支持されたブツシュロッド４７の先端に当接している。

ブツシュロッド４７の下端にはカムホロワ４８が取付け
られており、このカムホロワ４８が固定ベース４９上で
Ｘ方向に取付けられた棒状カム５０上を転勤することに
より、ブツシュロッド４７の作用によっても棒状カム４
４を上下動できるように構戒されている。

次に、第６図を参照して、本実施例の制御系の構成を説
明する。

６０は、本発明における制御手段に相当するＣＰＵであ
り、このＣＰｔＪ６０は入出力インターフェイス６７を
介して、上述した基板の収納・取り出し装置のパルスモ
ータＩ７．１９．２２．３７．５３、エアーシリンダ２
６、ロークリアクチュエータ３３、バーコードリーダＳ
３、および装置の各所に設置されたセンサ群に接続され
ている。

６１は装置の動作プログラムを記憶するＲＯＭ、６２は
棚情報記憶部６３と収納位置記憶部６４を含むＲＡＭで
ある。棚情報記憶部６３には、収納１ＩＩｔの各機の水
平および垂直位置情報と、レチクルケース４が各棚内に
配置されるべき奥行き位置情報とが記憶されている。こ
の奥行き位置情報は、レチクルケース４が柵におけるｉ
３！置位置の基準としての支持ピン９に対して、各機の
奥行き方向の一定の位置に載置されるよう、各機ごとに
予め作成されて設定されるデータである（第３図参照）
、また、収納位置記憶部６４には、各レチクルケース４
の識別情報に対応付けて、各レチクルケース４を収納す
べき収納棚１の水平・垂直の収納位置情報が記憶されて
いる。

６５は、レチクル２の識別情報や、そのレチクル２の収
納位置情報を指定するキーボードであり、このキーボー
ド６５は上述したバーコードリーダＳ３と相まって、本
発明における指定手段に対応している。６６は人力され
た情報やオペレータに対するメツセージなどを表示する
ＣＲＴである。

６８は、複数台のレチクル収納棚を管理する工程コント
ローラ７０を介してホストコンピュータ７１との間で通
信するための通信インターフェイスである。ホストコン
ピュータ７Ｉは、例えば半導体装置製造ラインの全体を
管理するものである。

次に、上述した構成を備えたシステムの動作について説
明する。

（Ａ）レチクル２の取り出し動作 （１）　　レチクル２の識別情報の入力収納ｍ１に収納
・保管されている多数のレチクル２の中から、所望のレ
チクル２を取り出すために、キーボード６５から取り出
したいレチクル２の識別情報をキー人力する。あるいは
、所望のレチクル２を取り出すべき時刻が予め決まって
いるような管理された工程では、そのレチクル２の識別
情報と取り出し時刻を、ホストコンピュータ７１から工
程コントローラ７０および通信インターフェイス６８を
介して伝送して、ＲＡＭ６２内に記憶させておき、予め
定められた取り出し時刻になったときに、ＲＡＭ６２内
に記憶された所要のレチクル２の識別情報を自動的に読
み出すようにすることもできる。

（２）搬送機構１５の水平・垂直方向移動上述のように
して取り出すべきレチクル２の識別情報が与えられると
、ＣＰｔＪ６０はその識別情報に対応したレチクル２の
水平・垂直位置情報をＲＡＭ６２の収納位置記憶部６４
から読み出し、この水平・垂直位置情報に基づき、搬送
機構１５の水平方向駆動用のパルスモータ１９と垂直方
向駆動用のパルスモータ１７とをそれぞれ駆動制御ｎシ
て、基板把持機構１４を該レチクル２が収納された棚位
置に移動させる。

（３）基板把持機構１４の奥行き方向移動基板把持機＄
１１４が収納ｍｌの所定位置に移動すると、パルスモー
タ２２が駆動されることにより、支持プレート２４が収
納ＪＩＩｌの奥行き方向に移動されて、棚内のレチクル
ケース４の下方に挿入される。このとき、エアーシリン
ダ２６のロンド２６ａは縮退して、押さえプレート２５
は上方の位置にある。

支持プレート２４が移動しているときに、光学センサＳ
ｌの検出信号により、その棚内にレチクルケース４が収
納されているどうかが確認される。レチクルケース４が
収納されていることが確認されると、基板把持機構１４
はさらに奥方向に駆動される。そして、レチクルケース
４の先端部が支持プレート２４の前の光学センサＳ２の
位置にまで達したときに、光学センサＳ２の検出信号に
基づきパルスモータ２２が停止される。このとき、基板
把持ＩＩ　ｔＩ　１４に設けられたバーコードリーダＳ
３によって、そのレチクルケース４のバーコード５を読
み取り、指定されたレチクル２の識別情報と比較して、
誤りがないかどうかを確認するようにしてもよい。

（４）　　レチクルケース４の把持動作パルスモータ２
２が停止すると、搬送機構１５の垂直方向搬送用のパル
スモーク１７が駆動されて、支持プレート２４が僅かに
上昇駆動される。これにより、棚ガイド８の支持ピン９
にｉａ置されていたレチクルケース４が支持プレート２
４に移載される。

そして、エアーシリンダ２６のロッド２６ａが伸長駆動
されることにより、押さえプレート２５が前方に押し出
される。押さえプレート２５の軸２７がガイド孔２９に
沿って前進して、その先端部窪みに落ち込むと、押さえ
プレート２５が下降し、支持プレート２４と押さえプレ
ート２５とによってレチクルケース４の端部が把持され
る。

（５）　　レチクルケース４の搬送動作レチクルケース
４が基板把持機構１４に把持されると、パルスモータ２
２が逆転駆動されることにより、基板把持機構１４に把
持されたレチクルケース４が収納［Ｍ　１から取り出さ
れる。そして、搬送機構１５のパルスモータ１９とパル
スモータ１７とが駆動されることにより、基板把持機構
１４はレチクルケース４の受渡し位Ｗ（第１図に実線で
示す基板把持機構１４の位置）にまで搬送される。

（６）基板把持機構１４から受渡し機構３０へのレチク
ルケース４の受渡し動作 基板把持機構１４が受渡し位置に搬送されたことが、図
示しないセンサで検出されると、同じく受渡し位置で待
機している受渡し機構３０のパルスモータ′３７が駆動
されることにより、移動ベース３４が前方に繰り出され
る。このとき、ロークリアクチュエータ３３は把持アー
ム３１が開状態になるように設定されている。移動ベー
ス３４が所定位置にまで繰り出されるとパルスモータ３
７が停止するとともに、ロークリアクチュエータ３３が
駆動されて把持アーム３１が閉状態になり、把持アーム
３１の凹部３２がレチクルケース４のツメ６に係合する
。

レチクルケース４が把持アーム３１に把持されると、基
板把持機構１４の押さえプレート２５が上昇駆動される
。そして、受渡し機構３０のパルスモータ３７が逆転駆
動されることにより移動ベース３４が後退する。基板把
持機構１４から受渡し機構３０へレチクルケース４が移
載されるとき、レチクルケース４のガイド７がガイドロ
ーラ４０で案内され、続いてレチクルケース４の底面が
支持ローラ４１で支持されて所定位置にまで移動される
。

レチクルケース４が所定位置にまで移動して停止される
と、移動ベース３４に取付けられたカムホロワ４５が棒
状カム４４の凹部４６に達することにより棒状カム４４
が下降する。こうして、棒状カム４４の上面に当接して
いるＬ形リンク４３が内側に変位して、位置決めローラ
４２がレチクルケース４の側面に当接し、レチクルケー
ス４の左右位置が位置決めされる。

（７）受渡し機構３０から基板ホルダ１１へのレチクル
ケース４の搬入動作 前記（６）のようにしてレチクルケース４が受渡し機構
３０に移載されると、受渡し機構３０のパルスモータ５
３が駆動されることにより、受渡し機構３０が基板ホル
ダ１１の待機位置方向に水平駆動される。

受渡し機構３０が基板ホルダ１１に対向する位置に達し
たことが、図示しないセンサで検出されるとパルスモー
タ５３が停止される。受渡し機構３０の停止位置におい
て、固定ベース４９上の棒状カム５０は凸面になってい
る。そのため、受渡し機構３０が停止位置にきたとき、
棒状カム５０によってブツシュロッド４７が突き上げら
れて棒状カム４４が上昇し、■、形リンク４３が外側に
変位することにより、位置決めローラ４２とレチクルケ
ース４との接触状態が解除される。

レチクルケース４の基板ホルダ１１への搬入に際しては
、パルスモータ３７が駆動されて移動ベース３４が前方
に繰り出されることにより、基板ホルダ１１内へレチク
ルケース４が挿入される。レチクルケース４が基板ホル
ダｌｌ内へ挿入されると、ロークリアクチュエータ３３
が駆動されて把持アーム３１が開状態に変位される。そ
して、パルスモータ３７が逆転駆動されて移動ベース３
４が定位置に戻されると、さらにパルスモータ５３が逆
転駆動されて受渡し機構３０が元の受渡し位置（第１図
（ａ）の実線で示した受渡し機構３０の位置）に戻され
る。

以上のような動作が繰り返し行われることにより、指定
されたレチクル２が収納１１１１１から順次に取り出さ
れて、基板ホルダＩＩに搬入される。

必要なレチクル２が基板ホルダＨ内に全て搬入されると
、人手あるいは自動搬送によって、基板ホルダ１１が露
光機にまで移送される。

ＣＢ）次に、基板ホルダ１１に入れられた使用済みレチ
クル２を収納棚１に収納するための動作について説明す
る。

（１１基４反ホルダ１１からのレチクルケース４の取り
出し動作 基板ホルダ１１からレチクルケース４を取り出すときは
、受渡し機構３０を基板ホルダ１１に対向する位置に設
定し、パルスモータ３７を駆動して移動ベース３４を前
進させ、把持アーム３１によって基板ホルダ１１内のレ
チクルケース４を把持して基板ホルダ１１から搬出する
。次にパルスモーク５３が駆動され、レチクルケース４
は基板把持機構１４への受渡し位置に搬送される。

（２）受渡し機構３０から基板把持機構１４へのレチク
ルケース４の受渡し 受渡し機構３０が基板把持機構１４への受渡し位置に達
して停止すると、パルスモータ３７が駆動されて移動ベ
ース３４が繰り出される。このとき、基板把持機構１４
の押さえプレート２５が開状態で待機しており、受渡し
８ｇ横３０から繰り出されたレチクルケース４がセンサ
Ｓ２で検出されることにより、押さえプレート２５が閉
状態に駆動される。レチクルケース４が基板把持機構１
４に把持されると、把持アーム３１は開状態に駆動され
、続いて移動ベース３４が後退した後、基板ホルダ１１
への受渡し位置にまで駆動されて、次のレチクルケース
４を搬出する。

（３）　　レチクルケース４の識別情報の読み取りレチ
クルケース４が基板把持機構１４に受け取られると、基
板把持機構１４に設けられたバーコードリーダＳ３によ
って、レチクルケース４の貼り付けられたバーコード５
が読み取られる。バーコード５を読み取ることによって
得られたレチクル２の識別情報はＣＰＵ６０に送られる
。ＣＰＵ６０は、この識別情報に対応するレチクル２の
収納位置情報（収納棚１の水平・垂直位置情報）をＲＡ
Ｍ６２の収納位置記憶部６４から読み出す。

（４）　　レチクルケース４の搬送動作ＣＰ［Ｊ６０は
、収納位置記憶部６４から読み出した当該レチクル２の
水平・垂直位置情報に基づき、搬送機！１１５のパルス
モータ１７．１９を駆動して、基レチクルケース４を所
定の棚位置にまで搬送する。

（５）　　レチクルケース４の収納動作レチクルケース
４が所定の棚位置にまで達すると、ＣＰＵ６０はそのレ
チクル２の収納位置情報に基づき、当該棚位置の奥行き
位置情報をＲＡＭ６２の棚情報記憶部６３から読み出す
、ＣＰＵ６０ば、この奥行き位置情報に基づき、基板把
持機構１４のパルスモータ２２を駆動することにより、
支持プレート２４と押さえプレート２５で把持されてい
るレチクルケース４を前方に繰り出して、その棚内に挿
入する。このとき、支持プレート２４の先端部に取付け
られた光学センサＳ１によって、その棚位置に他のレチ
クルケース４が入っていないかどうかが確認される。他
のレチクルケース４が入っていなければ、把持されたレ
チクルケース４がさらに繰り出されて所定の奥行き位置
にまで移送される。

レチクルケース４が所定位置に達すると、パルスモータ
２２が停止されるとともに、押さえプレート２５が上方
に駆動されて、レチクルケース４の把持状態が解除され
る。続いて、搬送機構１５のパルスモータ１７が駆動さ
れて、支持プレート２４が僅かに下降される。これによ
り支持プレート２４上のレチクルケース４が、棚ガイド
８の支持ピン９上に移載される。

レチクルケース４が収納棚１の所定位置に収納されと、
パルスモータ２２が逆転して支持プレート２４が後退し
、続いて搬送機構１５のパルスモータｌ７１９が駆動さ
れることにより、基板把持機構１４は次のレチクルケー
ス４を受けるために受渡し機構３０との受渡し位置に戻
される。

以上の動作が繰り返し行われることにより、基仮ホルダ
１１内のレチクルケース４が、各々に対応した棚位置に
順に収納される。

なお、上述の動作説明では、レチクルケース４を収納棚
ｌの所定に収納する場合に、レチクルケース４のバーコ
ード５をｔ売み取ることによって、そのレチクル２の収
納位置情報をＲＡＭ６２から読み出すようにしたが、こ
れは収納位置情報をキーボード６５から直接に入力する
ようにしてもよい。

また、上述した実施例では基板ホルダ１１を前方に引き
出せるようにするために、基板ホルダ１１と基板把持機
構１４との間のレチクルケース４の受渡しを、受渡し機
構３０を介して行った。このようにすることるより、第
１図に示す装置を工程内の壁面に取付けすることができ
るので、省スペース化を図ることができる。一方、基板
ホルダ１１を後方から引き出すことが許容される場合に
は、受渡し機構３０を設ける必要はなく、基板ホルダ１
１と基板把持機構１４との間で、レチクルケース４を直
接に受渡しするように構成してもよい、このような装置
によれば、受渡し機構３０を設けない分だけ、装置の構
成を簡略化することができる。

さらに、実施例では露光用基板としてレチクルを例にと
って説明したが、露光用マスクの場合も同様であること
はいうまでもない。

また、実施例ではレチクルケース４を収納棚１から取り
出す際に、基板把持機構１４の支持プレート２４に設け
られた光学センサＳ２の検出信号に基づきパルスモータ
２２の動きを制御しているが、レチクルケース４の収納
時と同様に種情報記憶部６３に記憶された奥行き位置情
報に基づいてパルスモータ２２の動きを制御してレチク
ルケース４を取り出すようにしてもよい。

〈発明の効果〉 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、収納
棚からの露光用基板の取り出しや、収納棚への露光用基
板の収納を自動的に行なえるように構成したから、人手
によって行っていた従来と比較して、所要の露光用基板
を迅速、かつ正確に取り出し・収納することができ、フ
ォトリソグラフィー工程の処理効率が向上する。

また、本発明は、収納棚の各棚位置の水平・垂直位置情
報ととともに、各々の棚位置に応じて露光用基板を載置
すべき奥行き位置情報を予め記憶しておき、露光用基板
の収納時には、この奥行き情報に対応した位置に露光用
基板を載置するようにしたから、個々の棚位置にセンサ
を設置して、奥行き位置を決める場合に比較して、装置
の構成が簡単になる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図は本発明の一実施例に係り、第１図
は基板の収納・取り出し管理システムを構成する各機構
部を示した概略図、第２図はレチクルケースの外観斜視
図、第３図は収納棚の柵ガイドの斜視図、第４図は基板
把持機構の説明図、第５図は受渡し機構の説明図、第６
図は制御系の概略構成を示したブロック図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数個の露光用基板または露光用基板を収納した
   収納ケース（以下、単に露光用基板と記す）を収納・保
   管する収納棚と、前記収納棚と露光機との間で所要の露
   光用基板を受け渡しするために該露光用基板を一時的に
   収納する基板ホルダとを備え、前記収納棚と基板ホルダ
   との間の露光用基板の受け渡しを管理する基板の収納・
   取り出し管理システムであって、 前記所要の露光用基板を把持して前記収納棚または基板
   ホルダの所要箇所に出し入れする基板把持手段と、 前記基板把持手段を収納棚と基板ホルダとの間で搬送す
   る搬送手段と、 前記収納棚の水平および垂直位置情報と、各露光用基板
   が載置される奥行き位置に係る情報とを記憶する棚情報
   記憶手段と、 取り出し・収納すべき露光用基板の識別情報、および／
   または該露光用基板の収納位置情報を指定する指定手段
   と、 各露光用基板ごとの識別情報に対応した収納位置情報を
   記憶する収納位置記憶手段と、 前記指定手段から与えられた収納位置情報に基づき、あ
   るいは前記指定手段から与えられた露光用基板の識別情
   報に応じた収納位置情報を前記収納位置記憶手段から読
   み出すことに基づいて、前記搬送手段の水平・垂直方向
   の動きを制御し、かつ該収納位置情報に基づいて前記棚
   情報記憶手段から読み出した奥行き位置情報に基づいて
   前記基板把持手段の奥行き方向の動きを制御する制御手
   段と、 を備えたことを特徴とする基板の収納・取り出し管理シ
   ステム。