JPH0342509B2 - - Google Patents
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- JPH0342509B2 JPH0342509B2 JP3784785A JP3784785A JPH0342509B2 JP H0342509 B2 JPH0342509 B2 JP H0342509B2 JP 3784785 A JP3784785 A JP 3784785A JP 3784785 A JP3784785 A JP 3784785A JP H0342509 B2 JPH0342509 B2 JP H0342509B2
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- glass
- eprom
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- Non-Volatile Memory (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はEPROMパツケージ製造用治具に関す
る。更に詳しくは、EPROMセラミツクパツケー
ジに紫外線導入用ガラスを融着する治具としてガ
ラス状炭素からなるものを使用してなることを特
徴とするEPROMパツケージ製造用治具に関する
発明である。
る。更に詳しくは、EPROMセラミツクパツケー
ジに紫外線導入用ガラスを融着する治具としてガ
ラス状炭素からなるものを使用してなることを特
徴とするEPROMパツケージ製造用治具に関する
発明である。
従来、図面の第３図に示す様なガラス窓を取り
つけはEPROMセラミツクパツケージを作るに
は、黒鉛製治具１の上に孔のあいたセラミツク板
３を置いて、セラミツク板の孔にガラス円板４を
はめこみ、その上に治具を治具５の開孔６がガラ
ス円板４に嵌合する様に置き、ついで黒鉛製治具
２を治具５の開孔６にはめこんで錘とし、この様
にして得られたセツトを窒素、アルゴン等の不活
性ガス雰囲気の電気炉中で900℃前後で約２時間
加熱し、ガラスを溶融してセラミツク板に融着さ
せてガラス窓のついたセラミツクパツセージを製
造する方法が採られていた。
つけはEPROMセラミツクパツケージを作るに
は、黒鉛製治具１の上に孔のあいたセラミツク板
３を置いて、セラミツク板の孔にガラス円板４を
はめこみ、その上に治具を治具５の開孔６がガラ
ス円板４に嵌合する様に置き、ついで黒鉛製治具
２を治具５の開孔６にはめこんで錘とし、この様
にして得られたセツトを窒素、アルゴン等の不活
性ガス雰囲気の電気炉中で900℃前後で約２時間
加熱し、ガラスを溶融してセラミツク板に融着さ
せてガラス窓のついたセラミツクパツセージを製
造する方法が採られていた。
この場合、治具の表面状態が溶融ガラスに転写
されることを防ぐために、治具１及び治具２のガ
ラスに接した面は研磨しておく必要があつた。
されることを防ぐために、治具１及び治具２のガ
ラスに接した面は研磨しておく必要があつた。
従来、治具に黒鉛を使用した場合、次の様な欠
点があつた。
点があつた。
(1) 黒鉛は柔らかく、黒鉛粉末がガラスにつき、
後工程で洗浄が必要である。また黒鉛粉の汚れ
による不良品が多く出る。
後工程で洗浄が必要である。また黒鉛粉の汚れ
による不良品が多く出る。
(2) 黒鉛は表面が柔らかく、研磨による表面の平
滑性を得ることが困難であり、かつ研磨した表
面に傷が付きやすく、再研磨をしばしば行わな
ければならなかつた。
滑性を得ることが困難であり、かつ研磨した表
面に傷が付きやすく、再研磨をしばしば行わな
ければならなかつた。
本発明者は上記の問題点を解決するために、鋭
意研究を行つた結果、治具の材質をガラス状炭素
にすることによつて、極めて効果的に上記の欠点
を解決出来ることを見出して本発明を完成するに
至つた。
意研究を行つた結果、治具の材質をガラス状炭素
にすることによつて、極めて効果的に上記の欠点
を解決出来ることを見出して本発明を完成するに
至つた。
本発明においてガラス状炭素はフリフリルアル
コール樹脂、フエノールホルムアルデヒド樹脂、
アセトン、フルフラール樹脂、フルフリルアルコ
ール・フエノール共縮合などの熱硬化性樹脂を焼
成して得られるものであり、第１表の様な特性を
有するものである。なお、ガラス状炭素はその製
造方法により特に限定されるものではない。
コール樹脂、フエノールホルムアルデヒド樹脂、
アセトン、フルフラール樹脂、フルフリルアルコ
ール・フエノール共縮合などの熱硬化性樹脂を焼
成して得られるものであり、第１表の様な特性を
有するものである。なお、ガラス状炭素はその製
造方法により特に限定されるものではない。
■■■ 亀の甲 ［0005］ ■■■
〔効果〕
本発明において使用するガラス炭素は黒鉛に比
較して、極めて硬度が大きいので、粉末の発生が
極めて少なく、従つてガラスを汚損することがな
く、後工程の洗浄が不要となり、ガラスの汚染に
よる不良が無くなる。またガラス状炭素は表面硬
度が大きいので研磨により優れた平滑な鏡面が得
られる。さらにガラス状炭素の表面は硬度が高く
傷が付き難いので長期間にわたり再研磨の必要が
無い等の優れた効果を有する。
較して、極めて硬度が大きいので、粉末の発生が
極めて少なく、従つてガラスを汚損することがな
く、後工程の洗浄が不要となり、ガラスの汚染に
よる不良が無くなる。またガラス状炭素は表面硬
度が大きいので研磨により優れた平滑な鏡面が得
られる。さらにガラス状炭素の表面は硬度が高く
傷が付き難いので長期間にわたり再研磨の必要が
無い等の優れた効果を有する。
第１図はEPROMを製造する際の治具の使用方
法を示す。図面において、１は本発明のガラス状
炭素製の治具を示す。３はセラミツク板、４はガ
ラス円板、５は治具、６は治具の開孔をそれぞれ
示す。 第２図はセラミツク板にガラスを融着する際の
錘となる治具を示す。図面において、２はガラス
状炭素製の錘を示す。 第３図はセラミツク板にガラス窓を取りつけた
EPROMパツケージを示す。図面において、４は
ガラス、３はセラミツク板をそれぞれ示す。
法を示す。図面において、１は本発明のガラス状
炭素製の治具を示す。３はセラミツク板、４はガ
ラス円板、５は治具、６は治具の開孔をそれぞれ
示す。 第２図はセラミツク板にガラスを融着する際の
錘となる治具を示す。図面において、２はガラス
状炭素製の錘を示す。 第３図はセラミツク板にガラス窓を取りつけた
EPROMパツケージを示す。図面において、４は
ガラス、３はセラミツク板をそれぞれ示す。
Claims (1)
- １ EPROMセラミツクパツケージに紫外線導入
用ガラスを融着するためのガラスに接する治具
が、ガラス状炭素により構成されてなることを特
徴とするEPROMパツケージ製造用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3784785A JPS61198654A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | Ｅｐｒｏｍパツケ−ジ製造用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3784785A JPS61198654A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | Ｅｐｒｏｍパツケ−ジ製造用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61198654A JPS61198654A (ja) | 1986-09-03 |
| JPH0342509B2 true JPH0342509B2 (ja) | 1991-06-27 |
Family
ID=12508926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3784785A Granted JPS61198654A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | Ｅｐｒｏｍパツケ−ジ製造用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61198654A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0829984B2 (ja) * | 1986-08-06 | 1996-03-27 | 東芝セラミックス株式会社 | カ−ボン治具 |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP3784785A patent/JPS61198654A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61198654A (ja) | 1986-09-03 |
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