JPH0342652A - 乾板の露光装置 - Google Patents

乾板の露光装置

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JPH0342652A
JPH0342652A JP1178326A JP17832689A JPH0342652A JP H0342652 A JPH0342652 A JP H0342652A JP 1178326 A JP1178326 A JP 1178326A JP 17832689 A JP17832689 A JP 17832689A JP H0342652 A JPH0342652 A JP H0342652A
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Toshio Yamada
山田 寿男
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Holders For Sensitive Materials And Originals (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要] 乾板の露光装置に関し、 裏面に反射防止用の膜を設けた乾板を用いる必要がなく
、安価なバックコートレスの乾板を用いて鮮明な像を容
易に形成することが可能な露光装置を提供することを目
的とし、 表面に感光層を設けた乾板を支持する支持手段と、当該
感光層を露光するための露光手段とを有した乾板の露光
装置であって、前記支持手段が、前記乾板を透過した光
を吸収する軟質部材を当該乾板の支持部に配した支持台
と、前記軟質部材を前記乾板の裏面に密着させるための
負圧源とを備えてなることを特徴として構成される。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、乾板の露光装置に関し、特にホログラムパタ
ーンなどの微細な像の形成に利用される。
乾板(写真乾板)は、現像などの処理による寸法変化や
変形が極めて少ないので、写真像の正確な大きさ又は高
解像度が要求される工業用の写真感光材料として用いら
れており、乾板による写真像形成の低コスト化及び容易
化が要望されている。
〔従来の技術〕
一般に、露光装置は、表面に感光層を設けたガラス板か
らなる乾板を固定するための支持台と、支持された乾板
の感光層を所望の像に対応させて露光する露光手段とを
主要部として構成されている。
通常、乾板は、感光層を露光手段側に向けて支持台に挟
持部材などによって固定される。つまり、支持台には乾
板の裏面が対向する。
露光手段は、光源、及びレンズやごラーなどの光学部材
を有し、原画像からの透過光又は反射光を乾板に入射さ
せるように構成されるか、又は光源からの光ビームを偏
向して感光層を露光するように構成される。
このような露光装置を用い、特に鮮明な写真像を感光層
に写し込もうとする場合には、乾板の裏面に塗料などか
らなる反射防止用の被膜(バックコート)が設けられる
。これにより、乾板の表面側から入射して感光層及びガ
ラス板を透過した光が、被膜によって吸収され、支持台
の支持面などでの反射光による裏面側からの感光層の露
光が防止されるので、多重露光による像の重なりが無く
なる。
被膜は、通常は、露光後に感光層を現像する以前又は現
像時に除去される。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述のように、従来では、写真像の形成に際し、裏面に
反射防止用の被膜を設けた特別の乾板を用意する必要が
あった。このため、乾板が高価なものとなり、また、反
射防止膜の除去工程が必要であることにより写真像の形
成工程が複雑化するといった問題があった。
本発明は、上述の問題に鑑み、裏面に反射防止用の膜を
設けた乾板を用いる必要がなく、安価なハックコードレ
スの乾板を用いて鮮明な像を容易に形成することが可能
な露光装置を提供することを目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、上述の課題を解決するため、第1図に示すよ
うに、表面に感光層31を設けた乾板3を支持する支持
手段10と、当該感光層31を露光するための露光手段
20とを有した乾板の露光装置1であって、前記支持手
段10が、前記乾板3を透過した光を吸収する軟質部材
12を当該乾板3の支持部11aに配した支持台11と
、前記軟質部材12を前記乾板3の裏面に密着させるた
めの負圧源13とを備えてなることを特徴として構成さ
れる。
(作 用〕 表面に感光層31を設けた乾板3は、支持台11によっ
て、支持台11の支持部11aに配した軟質部材12を
介して支持される。
負圧源13は、吸引により軟質部材12を乾板3の裏面
に密着させる。
露光手段20は、乾板3の感光層31を露光す軟質部材
12は、乾板3を透過した光を吸収する。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。
第1図は本発明に係る露光装置1の要部を模式的に示す
図、第2図は露光手段20の概略の構成を示す図である
。
露光装置1は、ガラス板30の表面に感光層31を設け
た乾板3を支持する支持部10と、乾板3と対向するよ
うに配置され、感光層31を露光するためのレーザービ
ームLBを射出する露光手段20とを有している。
支持部10は、支持面11aに軟質ゴム板12を取り付
けた支持台11、真空ポンプ13、方向制御弁14、加
圧ポンプ15、及び配管部材16゜17.18から構成
されている。支持台11の内部には、支持面11aに開
口部をもつ通気孔11bが設けられている。
軟質ゴム板12は、レーザービームLBの波長帯域の光
を吸収する色及び表面状態の軟質ゴムからなり、この軟
質ゴム板12には、通気孔11bと連通ずる透孔12a
が設けられている。
以上のように構成された露光装置lは、例えば、バーコ
ード読み取り装置に組み込まれるホログラム板ガラスの
作製に用いられる。すなわち、乾板3を露光装置1に装
着して感光層31を露光した後、感光層31を現像する
ことにより、例えば200mmX 260mm角のガラ
ス板30の表面に所定のホログラムパターンを設けたホ
ログラム板ガラスが作製される。
ホログラム板ガラスとなる乾板3の裏面には、反射防止
用の被膜は形成されていない。つまり、乾ヰ反3はハッ
クコートレスである。
乾板3を支持台11に装着するときは、その裏面を支持
台11側に向けて透孔12aを寒くようにセットし、真
空ポンプ13により軟質ゴム板12と乾板3との間隙内
の空気を吸引する。これにより、乾板3の裏面と軟質ゴ
ム板12とが密着し、乾板3が吸着により支持台11に
固定される。
第2図において、露光手段20は、例えば、波長が48
8nmのレーザービームLBを射出するアルゴンガスレ
ーザー21、ビームシャッター22、ξクー23.24
、ハーフミラ−25、及びレンズ2627から構成され
ている。
アルゴンガスレーザー21から射出されたレーザービー
ムLBは、ハーフミラ−25によってビームLBaとビ
ームLBbとに分岐され、各ビームLBa、LBbがそ
れぞれレンズ26.27を介して乾板3に入射するよう
になっている。すなわち、乾板3の感光層31は、2方
向から入射するビームLBa、LBbによって、干渉縞
からなる所定のホログラムパターンが形成されるように
露光される。
このとき、感光層31及びガラス板30を透過して乾板
3の裏面から射出したビームLBa、LBbは、軟質ゴ
ム板12によって吸収される。すなわち、乾板3の裏面
に密着した軟質ゴム板12は、従来において乾板の裏面
に設けられた反射防止膜と同様の作用を奏し、感光N3
1が乾板3の裏面側から露光されるのを防止する。
このように、表面側からのみ入射するビームLBa、L
Bbによって露光された乾板3は、支持台11から取り
外されて現像工程へ送られる。乾板3を取り外すときは
、方向制御弁14の切り替えによって通気孔11bは加
圧ポンプ15と接続され、乾板3と軟質ゴム板12との
間に空気が強制的に流入される。なお、通気孔11bを
大気解放とすることによって、乾板3と軟質ゴム板12
との吸着状態を解除することもできるが、乾板3の取り
外しの迅速化を図る上で、加圧ポンプ15を用いるのが
望ましい。
上述の実施例によると、裏面に反射防止用の被膜を形成
した高価な乾板を用いる必要がない。つまり、乾板3の
作製にあたっては、ガラス板30の表面に感光層31を
形成するだけでよい。また、露光後に被膜を除去する必
要もない。したがって、ホログラム板ガラスのコストダ
ウンを図ることができる。
〔発明の効果〕
本発明によると、裏面に反射防止用の膜を設けた乾板を
用いる必要がなく、安価なバックコートレスの乾板を用
いて鮮明な像を容易に形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る露光装置の要部を模式的に示す図
、 第2図は露光手段の概略の構成を示す図である。 図において、 1は露光装置、 3は乾板、 10は支持部(支持手段)、 11は支持台、 11aは支持面(支持部)、 12は軟質ゴム板(軟質部材) l3は真空ポンプ(負圧源)、 20は露光手段、 31は感光層である。 −e。0 +I +l INの〇− 0 τf

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)表面に感光層(31)を設けた乾板(3)を支持
    する支持手段(10)と、当該感光層(31)を露光す
    るための露光手段(20)とを有した乾板の露光装置(
    1)であって、前記支持手段(10)が、 前記乾板(3)を透過した光を吸収する軟 質部材(12)を当該乾板(3)の支持部 (11a)に配した支持台(11)と、 前記軟質部材(12)を前記乾板(3)の 裏面に密着させるための負圧源(13)と を備えてなる ことを特徴とする乾板の露光装置。
JP1178326A 1989-07-10 1989-07-10 乾板の露光装置 Expired - Fee Related JP2872693B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004319876A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Dainippon Printing Co Ltd 露光機用チャックステージ

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JP2004319876A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Dainippon Printing Co Ltd 露光機用チャックステージ

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