JPH0342676Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案はレジスト塗布装置に関する。

［従来の技術］ この種のレジスト塗布装置は第７図に示すよう
に、レジストビン１内にレジストを、フイルタ２
を通して圧送し、一定量のレジストを半導体装置
製造用ウエーハの表面に滴下し、ウエーハを回転
させつつ塗布するものである。レジストの圧送
は、通常の場合、レジストビン１内に不活性ガス
を圧入して行われるが、以下の説明では、不活性
ガスの圧送用配管の図示は省略してある。

従来、前記レジスト塗布装置では第７図に示す
ように、一端をレジストビン１内に挿入したステ
ンレスパイプ３をビン１のキヤツプ４に固定して
外部へ配管し、該パイプ３とフイルタ２の口金２
ａとの間を継手５…、配管６を用いて結合してい
た。レジストビン１を交換するときには配管途中
の継手５をスパナ７で緩めて取り外すことによつ
て行つていた。

［考案が解決しようとする問題点］ 上述した従来のデイスペンス構造（キヤツプ構
造）は、レジストビン１とフイルタ２とがステン
レスの固定配管で接続され、その間に自由度がな
いため、継手５をスパナ７にて緩める際にキヤツ
プ４のパイプ固定部４ａとフイルタ２の口金２ａ
との部分に負担をかけることになる。そのため、
樹脂製のキヤツプ４に割れが生じたり、フイルタ
２の口金２ａが変形して隙間が生じエアーが入つ
てしまうという不具合が生じていた。

この際の処置として、再度継手を緩め締め直し
をしたり、増す締め等にて対処をするが、この作
業を繰り返しているうち、樹脂の継手のネジ山が
なくなつたりすると言う問題が生じてくる。この
ため、キヤツプの割れについては、キヤツプを、
新品と交換により対処されるが、配管内にエアー
が入ると、配管内部のレジストが硬化したり、ま
た滴下量が不足するため、塗布不良という現象が
発生するという問題が生ずる。

本考案の目的は前記問題点を解消したレジスト
塗布装置を提供することにある。

［考案の従来技術に対する相違点］ 上述した従来のデイスペンス構造に対し、本考
案はレジストビンのキヤツプへのパイプ取付けを
ワンタツチ脱着方式とし、かつ配管自体に自由度
をもたせ、継手に負荷を与えないという独創的内
容を有する。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本考案によるレジス
ト塗布装置においては、レジストビンと、キヤツ
プと、パイプとを有し、レジストビン内のレジス
トを圧送し、その一定量を半導体装置製造用ウエ
ーハの表面に滴下塗布するレジスト塗布装置であ
つて、 レジストビンは、レジストを充填した容器であ
り、キヤツプで施蓋され、 キヤツプは、貫通孔と、凹部と、縦溝と、横溝
とを有し、 貫通孔は、中央軸筒に開口され、レジスト送出
用パイプを気密に挿通するものであり、 凹部は、前記貫通孔に連通してキヤツプの上面
中央に設けられた拡径部分であり、 縦溝は、前記凹部に連通してキヤツプの上面及
び外側面に開口されたパイプ受入れ用の溝であ
り、 横溝は、前記縦溝及び凹部に連通してキヤツプ
の外側面の一定範囲にわたつて周方向に開口され
たパイプ誘導用の溝であり、 パイプは、直線部と水平部とを有し、 直線部は、キヤツプの貫通孔を通してレジスト
ビン内に挿入されるものであり、 水平部は、キヤツプの縦溝を通してレジストビ
ンの外部に配管され、直線部を中心に回動変位さ
せて一部を横溝内に係止させるものであり、直線
部を通して送入されたレジスト液を送出するもの
である。

〔作用〕

パイプ３は、キヤツプ４の縦溝４ｅ内に圧入し
てその直線部３ａをキヤツプ４の貫通孔４ｃより
レジストビン１内に挿入し、次いで縦溝４ｅに連
通する横溝４ｄに沿つて回動させ、その終端で固
定する。脱着するときには、逆の操作で縦溝４ｅ
を通してキヤツプ４からパイプ３を取外すことが
できる。

［実施例］ 以下、本考案の実施例を図により説明する。

（実施例 １） 第１図〜第３図において、レジストビン１のキ
ヤツプ４は樹脂製で、ネジ込みによりビン１に装
着するものである。キヤツプ４は内周に雌ねじ４
ｂを有し、中央軸筒にステンレスパイプ３を気密
に挿通する貫通孔４ｃを設け、上面中央には、前
記貫通孔４ｃに連通して該貫通孔４ｃより大口径
の孔である凹部４ｄが開口されており、さらに該
凹部４ｄに連通してキヤツプ４の上面と外側面と
に開口された縦溝４ｅが設けられている。この縦
溝４ｅは、パイプ３の受入れ溝となるものであ
る。

この縦溝４ｅには、これに連通して横溝４ｆが
設けられている。横溝４ｆは、凹部４ｄとキヤツ
プ４の外側面とに開口して一定範囲にわたり周方
向に延び、その終端に段差部４f′を形成したもの
である。横溝４ｆは、縦溝４ｅ内に受け入れられ
たパイプ３の誘導用の溝であり、段差部４f′は、
パイプ３を横溝４ｆの定位置に係止させる凹所で
ある。縦溝４ｅと横溝４ｆとの組合せにより、Ｌ
型溝Ｍが形成される。キヤツプ４には、ほかに、
レジスト圧送用として不活性ガスの圧入配管が挿
入されるが、その図示は省略する。以下の実施例
も同じである。パイプ３はキヤツプ４の貫通孔４
ｃを通してレジストビン１のレジスト１ａ内に挿
入される直線部３ａと、直線部３ａに対し直角に
折曲された水平部３ｂと、水平部３ｂの先端から
下向きに折曲されその下端に継手５を有する連結
３ｃとからなる。

パイプ３は、その直線部３ａをキヤツプ４の貫
通孔４ｃに通してレジストビン１内に挿入し、そ
の水平部３ｂをキヤツプ４の縦溝４ｅに通して横
溝４ｄまで移動させ、パイプ３の直線部３ａを中
心として水平部３ｂを周方向に回動させ該水平部
３ｂを横溝４ｄに通して固定溝４ｇに嵌合保持す
る。パイプ３をキヤツプ４から取り外すには上記
動作と逆の動作を行う。

キヤツプ４に装着されたパイプ３の連結部３ｃ
とフイルタ２の口金２ａとの間をテフロンチユー
ブなどの可撓管８で結合する。

実施例によれば、レジストビン１とフイルタ２
との間は可撓管８で結合されているため、レジス
トビン，フイルタと配管との連結部分に加わる無
理な力は可撓管８の撓みによつて吸収され、キヤ
ツプ４の割れやフイルタ２の口金２ａの変形等を
引き起こすことはない。さらにパイプ３はＬ型溝
Ｍで嵌合保持されているため、その脱着が容易と
なり、レジストビン１の交換の迅速化を図ること
ができる。

（実施例 ２） 第４図、第５図は本考案の第２の実施例を示す
外観図であり、第６図は断面図である。

第４図は場所的に見てパイプ３を左側に回動固
定することが無理な場合のキヤツプ４でありＬ型
溝Ｍを右側に向けて形成したものである。第５図
はＬ型溝Ｍの固定溝４ｇをなくしたものであり、
振動等のない設備であればこのキヤツプ４でパイ
プ３を十分半固定の状態に維持できる。第６図は
キヤツプ４の断面図であるが、レジストビン１に
取り付ける部分をネジ式からはめ込み式４ｈに変
更したものである。完全なるキヤツプ４の固定を
必要としなければ、このタイプにてワンタツチで
チユーブの取り付けができる利点がある。

［考案の効果］ 以上説明したように本考案はレジストビンのキ
ヤツプへのパイプの固定をワンタツチ式に変更し
たことにより、レジストビンの交換を容易にで
き、しかも配管にかかる負担をなくすことによ
り、継手から生じるリーク等を防止し、滴下量不
足による塗布不良を防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１の実施例を示す斜視図、
第２図、第３図はレジストビンの詳細図、第４
図、第５図は本考案の第２の実施例を示す外観
図、第６図は同断面図、第７図は従来例を示す斜
視図である。 １……レジストビン、２……フイルタ、３……
パイプ、４……キヤツプ、Ｍ……Ｌ型溝、８……
可撓管。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 レジストビンと、キヤツプと、パイプとを有
   し、レジストビン内のレジストを圧送し、その一
   定量を半導体装置製造用ウエーハの表面に滴下塗
   布するレジスト塗布装置であつて、 レジストビンは、レジストを充填した容器であ
   り、キヤツプで施蓋され、 キヤツプは、貫通孔と、凹部と、縦溝と、横溝
   とを有し、 貫通孔は、中央軸筒に開口され、レジスト送出
   用パイプを気密に挿通するものであり、 凹部は、前記貫通孔に連通してキヤツプの上面
   中央に設けられた拡径部分であり、 縦溝は、前記凹部に連通してキヤツプの上面及
   び外側面に開口されたパイプ受入れ用の溝であ
   り、 横溝は、前記縦溝及び凹部に連通してキヤツプ
   の外側面の一定範囲にわたつて周方向に開口され
   たパイプ誘導用の溝であり、 パイプは、直線部と水平部とを有し、 直線部は、キヤツプの貫通孔を通してレジスト
   ビン内に挿入されるものであり、 水平部は、キヤツプの縦溝を通してレジストビ
   ンの外部に配管され、直線部を中心に回動変位さ
   せて一部を横溝内に係止させるものであり、直線
   部を通して送入されたレジスト液を送出するもの
   であることを特徴とするレジスト塗布装置。