JPH034269U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH034269U JPH034269U JP6416889U JP6416889U JPH034269U JP H034269 U JPH034269 U JP H034269U JP 6416889 U JP6416889 U JP 6416889U JP 6416889 U JP6416889 U JP 6416889U JP H034269 U JPH034269 U JP H034269U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hinge portion
- single crystal
- silicon single
- acceleration sensor
- crystal substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図はこの考案の実施例を示す斜視図、第２
図はそのヒンジ部の断面図、第３図はこの考案の
他の実施例を示す平面図、第４図は第３図の断面
図、第５図は更に他の例を示す平面図、第６図は
第５図の断面図、第７図は更に他の例を示す平面
図、第８図は第７図の断面図、第９図は従来の加
速度センサを示す斜視図、第１０図は従来の加速
度センサの検知すべき加速度と垂直な入力加速度
に対する応答を示す図である。
図はそのヒンジ部の断面図、第３図はこの考案の
他の実施例を示す平面図、第４図は第３図の断面
図、第５図は更に他の例を示す平面図、第６図は
第５図の断面図、第７図は更に他の例を示す平面
図、第８図は第７図の断面図、第９図は従来の加
速度センサを示す斜視図、第１０図は従来の加速
度センサの検知すべき加速度と垂直な入力加速度
に対する応答を示す図である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ２つ以上のシリコン単結晶基板を重ね合わ
せて接合して質量部が構成され、 その質量部の少くとも一枚のシリコン単結晶基
板からその一面に沿つてヒンジ部が一体に延長さ
れ、 そのヒンジ部の延長端は支持部と一体に連結さ
れ、 上記質量部の重心と上記ヒンジ部の重心とが検
知すべき入力軸と垂直なほぼ同一面内にある加速
度センサ。 (2) 上記ヒンジ部のこれが連結された上記シリ
コン単結晶基板の面と共有する面上にピエゾ抵抗
素子が形成されている請求項１記載の加速度セン
サ。 (3) 上記シリコン単結晶基板の接合面に石英薄
膜又は硼珪酸ガラス薄膜が介在されている請求項
１又は２記載の加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6416889U JPH034269U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6416889U JPH034269U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH034269U true JPH034269U (ja) | 1991-01-17 |
Family
ID=31594865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6416889U Pending JPH034269U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH034269U (ja) |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP6416889U patent/JPH034269U/ja active Pending
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