JPH0473828U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0473828U JPH0473828U JP11537390U JP11537390U JPH0473828U JP H0473828 U JPH0473828 U JP H0473828U JP 11537390 U JP11537390 U JP 11537390U JP 11537390 U JP11537390 U JP 11537390U JP H0473828 U JPH0473828 U JP H0473828U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- base
- sensing means
- concentrating
- pressure sensing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図Ａは本考案に係る一実施例の横断面図、
第１図Ｂは本考案に係る一実施例の縦断面図、第
２図は第１図に示した拡散抵抗に生じる引張応力
Ｐｘ，Ｐｙ及び圧縮応力Ｐｚを示した説明図、第
３図は本考案に係る他の実施例、第４図は従来例
の縦断面図である。 ３……シリコン単結晶体（基体）、５……拡散
抵抗（感圧手段）、９……板バネ、１３……剛球
（外圧集中手段）、１７……ゴムシート。
第１図Ｂは本考案に係る一実施例の縦断面図、第
２図は第１図に示した拡散抵抗に生じる引張応力
Ｐｘ，Ｐｙ及び圧縮応力Ｐｚを示した説明図、第
３図は本考案に係る他の実施例、第４図は従来例
の縦断面図である。 ３……シリコン単結晶体（基体）、５……拡散
抵抗（感圧手段）、９……板バネ、１３……剛球
（外圧集中手段）、１７……ゴムシート。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体結晶によつて形成される基体と、 この基体上側に形成され上方から加えられる圧
力の大きさを感知する感圧手段と、 前記基体上
側の感圧手段に対向する位置に配置され加えられ
る外圧によつて生じる応力を当該感圧手段に集中
する断面略円形状の外圧集中手段とを有すること
を特徴とする力学量センサ。 (2) 半導体結晶によつて形成される基体と、 この基体上側に形成され上方から加えられる外
圧の大きさをを感知する感圧手段と、 前記基体上面に感圧手段を中心にして該中心部
から周辺部へ向かつて曲げ剛性が小さくなるよう
に形成され当該感圧手段に外圧を集中する外圧集
中手段と を有することを特徴とする力学量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990115373U JP2530735Y2 (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | 力学量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990115373U JP2530735Y2 (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | 力学量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0473828U true JPH0473828U (ja) | 1992-06-29 |
| JP2530735Y2 JP2530735Y2 (ja) | 1997-03-26 |
Family
ID=31863139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990115373U Expired - Lifetime JP2530735Y2 (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | 力学量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2530735Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4932562U (ja) * | 1972-06-20 | 1974-03-22 | ||
| JPS618348U (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-18 | 三洋電機株式会社 | 大小比較回路 |
| JPS63146734U (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-28 |
-
1990
- 1990-11-05 JP JP1990115373U patent/JP2530735Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4932562U (ja) * | 1972-06-20 | 1974-03-22 | ||
| JPS618348U (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-18 | 三洋電機株式会社 | 大小比較回路 |
| JPS63146734U (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2530735Y2 (ja) | 1997-03-26 |
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