JPH0343228B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0343228B2 JPH0343228B2 JP59221575A JP22157584A JPH0343228B2 JP H0343228 B2 JPH0343228 B2 JP H0343228B2 JP 59221575 A JP59221575 A JP 59221575A JP 22157584 A JP22157584 A JP 22157584A JP H0343228 B2 JPH0343228 B2 JP H0343228B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- oxide
- silicon nitride
- sintered body
- aluminum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
〔発明の利用分野〕
本発明は窒化珪素焼結体およびその製造方法に
係り、特に、常温における機械的強度に優れ、高
温下における強度低下の少い高密度窒化珪素焼結
体およびその製造方法に関する。 〔発明の背景〕 窒化珪素焼結体は機械的強度、耐熱性、耐食
性、耐熱衝撃性などに優れているため、近年例え
ばガスタービン用部品などの高温構造材料の素材
として注目されている。 Al入りの窒化珪素焼結体は、窒化珪素
（Si3N4）のSi原子の一部をAl原子に、Ｎ原子の
一部をＯ原子で置換した材料であり、一般式とし
てSi6-ZAlZOZN8-Z（Ｏ＜Ｚ＜4.2）で表わされる。 このような高温窒化珪素焼結体を得る方法の一
つとして、特開昭53−14717号公報に示すように、
窒化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム
の複合酸化物からなる第１成分80容量％以上と、
酸化イツトリウム0.1〜10重量％との粉末混合物
を成形し、常圧焼結する方法が提案されている。 しかしこの方法は常圧で焼結するために粒界に
ガラス相を生成させ焼結を促進させている。従つ
て、この焼結体は窒化珪素組成（Si6-ZAlZOZ
N8-Z）とガラス相から構成されている。 しかしながら、従来のこの焼結体ではガラス相
の融点が低いため焼結体の高温強度を劣化させる
という問題点を有していた。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、常圧焼結法によつて常温にお
ける機械的強度に優れ、しかも高温下における強
度低下の低い窒化珪素焼結体およびその製造方法
を提供することにある。 〔発明の概要〕 常圧焼結法による窒化珪素焼結体が高温におい
て強度が低下するという従来の欠点を解消するた
めに、その組成原料粉末に助剤を付加し、種々検
討した結果、窒化珪素粉末に付加する助剤として
酸化エルビウムを用いると高温の機械的強度が優
れた焼結体が得られることを見い出し本発明に至
つた。 すなわち、本発明は、窒化珪素80〜95重量％
に、酸化イツトリウム３〜10重量％と酸化マグネ
シウム３〜10重量％のうちの一種、酸化アルミニ
ウム１〜８重量％および窒化アルミニウム２〜８
重量％を含有してなる組成物に対しエルビウムの
酸化物を１〜９モル％を含有することを特徴とす
る窒化珪素焼結体およびその製造方法である。な
お酸化アルミニウムおよび窒化アルミニウムの代
りに21RAlNポリタイプを用いる場合には１〜10
重量％を必要とする。 以下本発明を詳細に説明する。 本発明では、常圧焼成用窒化珪素組成を求める
ため、窒化珪素に窒化アルミニウム、酸化アルミ
ニウム、酸化イツトリウム（あるいは酸化マグネ
シウム）を付加し更に酸化エルビウムを付加使用
することを必須条件とするものである。これらの
成分を組合せて使用することにより、その相乗効
果として、常温は勿論高温度下においても従来の
ものよりははるかに優れた機械強度を有する常圧
焼結法による窒化珪素焼結体が得られる。ただし
窒化珪素組成を得るために窒化アルミニウムおよ
び酸化アルミニウムの代りに、これと同等の化学
組成にすることができる21RAlNポリタイプに代
表される珪素アルミニウムオキシ窒化物を用いて
も同様な目的を達成できる。また酸化イツトリウ
ムおよび酸化マグネシウムは主として緻密化の目
的で付加してあり、相換性を有する性質のもので
ある。 窒化珪素焼結体の上記の組成範囲に限定した理
由を次に示す。 窒化珪素80〜95重量％ 窒化珪素が80重量％より少いと粒界相の量が多
くなり、高温特性が悪くなる。一方95重量％より
多いと焼結助剤の量が少くなり焼結性が劣化する
ので、窒化珪素は80〜95重量％の範囲とした。 酸化イツトリウム、酸化マグネシウム、酸化ア
ルミニウム、窒化アルミニウムおよび21RAlNポ
リタイプ。 酸化イツトリウム、酸化マグネシウムおよび酸
化アルミニウムの少くとも一方が所定の範囲より
少い量であると、焼結性が悪くなるばかりでな
く、高強度な焼結体が得られなくなる。この範囲
を越えると焼結性は向上するが高温での強度劣化
が激しくなる。また窒化アルミニウムおよび
21RAlNポリタイプを使用する場合には２〜８重
量％および１〜10重量％の範囲以下であると焼結
体の強度が低くなり逆にこの範囲以上にすると焼
結性が阻害される。 一方上述したような窒化珪素に焼結助剤を混合
した窒化珪素組成物に対する酸化エルビウムの量
は１〜９モル％にすることが好ましい。この酸化
エルビウムの量は１モル％以下であるとガラス相
の結晶化の度合が低く高温強度には寄与せず、逆
に９モル％以上であると焼結体内部にボイドを生
じ健全な焼結体が得られない。従来の窒化珪素焼
結体の高温強度の低下の主な原因は粒界に生ずる
耐熱温度の低いガラス相を生ずるためである。こ
のように酸化エルビウムを付加しない組成の焼結
体はＺ＝0.5前後であり、Ｘ線回析ではβ′−窒化
珪素のピークしか観察することができなかつた。
一方、窒化珪素組成粉末に酸化エルビウムを付加
すると、Er4Si2O7のピークもあらわれる。このよ
うに、酸化エルビウムなどの希土類元素の酸化物
を付加することにより高温強度が改善できる理由
は、粒界に生ずる軟化温度の低いガラス相が
Er4Si2N2O7として、その大部分が結晶化し粒界
のガラス量が減少するためと考えられる。 以上のように本発明の高温強度の窒化珪素焼結
体を製造するには、窒化珪素80〜95重量％に酸化
イツトリウム３〜10重量％と酸化マグネシウム３
〜10重量％のうちの一種を、酸化アルミニウム１
〜８重量％および窒化アルミニウム２〜８重量％
を含有してなる窒化珪素組成物に対し１〜９モル
％のエルビウムの酸化物を混合粉砕した後、加圧
成形法により中間成形体を形成し、続いて1600〜
1900℃の温度で常圧焼結することを特徴としてい
る。この製造に際し窒化珪素組成物に対しエルビ
ウムの酸化物を混合粉砕するにはボールミルなど
を用いればよくまた加圧成形の際の圧力は1000
Kg／cm2程度が好ましい。なお、酸化アルミニウム
および窒化アルミニウムの代りに21RAlNポリタ
イプを用いる場合には原料粉末として１〜10重量
％の割合とすることが好ましい。これらの原料混
合粉末の焼結は、1600〜1900℃の温度範囲で常圧
焼結を行うのが好ましい。焼結温度が1600℃より
低いと、充分微密化した焼結体が得られずまた
1900℃を超えると窒化珪素自体の分解が激しくな
り健全な焼結体が得られないようになる。 以上のようにして窒化珪素に上記酸化エルビウ
ム、酸化イツトリウム、酸化マグネシウム、酸化
アルミニウム又は窒化アルミニウム（酸化アルミ
ニウムおよび窒化アルミニウムの代り21RAlNポ
リタイプを使用する場合もある。）を組合わせて
特別割合で調製した混合物を成形し、常圧焼結し
て得られる酸化エルビウム含有の窒化珪素焼結体
は、高密度で機械強度が大きく高温度においても
強度の低下はほとんど認められない。 〔発明の実施例〕 以下本発明の実施例を説明する。 実施例 １ 平均粒径0.6μｍの窒化珪素粉末に平均粒径1μｍ
の酸化アルミニウム粉末と平均粒径1μｍの窒化
アルミニウム粉末と平均粒径3μｍの酸化イツト
リウム粉末を表１に示す割合で調製し、この組成
粉末に対して表１に示す割合で酸化エルビウムを
混合した後、1000Kg／cm2の圧力にて成形し、次に
この成形体を1750℃、１気圧の窒素雰囲気中で５
時間焼結した。この焼結体から３×４×40mmの試
験片を切り出し表面を研摩した後、外スパン30
mm、、内スパン20mm、クロスヘツドスピード0.5
mm／minの条件で４点曲げ試験をし、室温と1200
℃で強度を測定した。その結果を表１に示す。 表１の結果より明らかなように、窒化珪素、酸
化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化イツト
リウム及び酸化エルビウムを所定量含有する本発
明焼結体は室温強度、1200℃強度のいずれも満足
すべき特性のものが得られた。これに対して試料
番号５〜８の焼結体のように、所定範囲内にない
と、室温強度あるいは1200℃強度が本発明品より
も劣ることがわかる。
係り、特に、常温における機械的強度に優れ、高
温下における強度低下の少い高密度窒化珪素焼結
体およびその製造方法に関する。 〔発明の背景〕 窒化珪素焼結体は機械的強度、耐熱性、耐食
性、耐熱衝撃性などに優れているため、近年例え
ばガスタービン用部品などの高温構造材料の素材
として注目されている。 Al入りの窒化珪素焼結体は、窒化珪素
（Si3N4）のSi原子の一部をAl原子に、Ｎ原子の
一部をＯ原子で置換した材料であり、一般式とし
てSi6-ZAlZOZN8-Z（Ｏ＜Ｚ＜4.2）で表わされる。 このような高温窒化珪素焼結体を得る方法の一
つとして、特開昭53−14717号公報に示すように、
窒化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム
の複合酸化物からなる第１成分80容量％以上と、
酸化イツトリウム0.1〜10重量％との粉末混合物
を成形し、常圧焼結する方法が提案されている。 しかしこの方法は常圧で焼結するために粒界に
ガラス相を生成させ焼結を促進させている。従つ
て、この焼結体は窒化珪素組成（Si6-ZAlZOZ
N8-Z）とガラス相から構成されている。 しかしながら、従来のこの焼結体ではガラス相
の融点が低いため焼結体の高温強度を劣化させる
という問題点を有していた。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、常圧焼結法によつて常温にお
ける機械的強度に優れ、しかも高温下における強
度低下の低い窒化珪素焼結体およびその製造方法
を提供することにある。 〔発明の概要〕 常圧焼結法による窒化珪素焼結体が高温におい
て強度が低下するという従来の欠点を解消するた
めに、その組成原料粉末に助剤を付加し、種々検
討した結果、窒化珪素粉末に付加する助剤として
酸化エルビウムを用いると高温の機械的強度が優
れた焼結体が得られることを見い出し本発明に至
つた。 すなわち、本発明は、窒化珪素80〜95重量％
に、酸化イツトリウム３〜10重量％と酸化マグネ
シウム３〜10重量％のうちの一種、酸化アルミニ
ウム１〜８重量％および窒化アルミニウム２〜８
重量％を含有してなる組成物に対しエルビウムの
酸化物を１〜９モル％を含有することを特徴とす
る窒化珪素焼結体およびその製造方法である。な
お酸化アルミニウムおよび窒化アルミニウムの代
りに21RAlNポリタイプを用いる場合には１〜10
重量％を必要とする。 以下本発明を詳細に説明する。 本発明では、常圧焼成用窒化珪素組成を求める
ため、窒化珪素に窒化アルミニウム、酸化アルミ
ニウム、酸化イツトリウム（あるいは酸化マグネ
シウム）を付加し更に酸化エルビウムを付加使用
することを必須条件とするものである。これらの
成分を組合せて使用することにより、その相乗効
果として、常温は勿論高温度下においても従来の
ものよりははるかに優れた機械強度を有する常圧
焼結法による窒化珪素焼結体が得られる。ただし
窒化珪素組成を得るために窒化アルミニウムおよ
び酸化アルミニウムの代りに、これと同等の化学
組成にすることができる21RAlNポリタイプに代
表される珪素アルミニウムオキシ窒化物を用いて
も同様な目的を達成できる。また酸化イツトリウ
ムおよび酸化マグネシウムは主として緻密化の目
的で付加してあり、相換性を有する性質のもので
ある。 窒化珪素焼結体の上記の組成範囲に限定した理
由を次に示す。 窒化珪素80〜95重量％ 窒化珪素が80重量％より少いと粒界相の量が多
くなり、高温特性が悪くなる。一方95重量％より
多いと焼結助剤の量が少くなり焼結性が劣化する
ので、窒化珪素は80〜95重量％の範囲とした。 酸化イツトリウム、酸化マグネシウム、酸化ア
ルミニウム、窒化アルミニウムおよび21RAlNポ
リタイプ。 酸化イツトリウム、酸化マグネシウムおよび酸
化アルミニウムの少くとも一方が所定の範囲より
少い量であると、焼結性が悪くなるばかりでな
く、高強度な焼結体が得られなくなる。この範囲
を越えると焼結性は向上するが高温での強度劣化
が激しくなる。また窒化アルミニウムおよび
21RAlNポリタイプを使用する場合には２〜８重
量％および１〜10重量％の範囲以下であると焼結
体の強度が低くなり逆にこの範囲以上にすると焼
結性が阻害される。 一方上述したような窒化珪素に焼結助剤を混合
した窒化珪素組成物に対する酸化エルビウムの量
は１〜９モル％にすることが好ましい。この酸化
エルビウムの量は１モル％以下であるとガラス相
の結晶化の度合が低く高温強度には寄与せず、逆
に９モル％以上であると焼結体内部にボイドを生
じ健全な焼結体が得られない。従来の窒化珪素焼
結体の高温強度の低下の主な原因は粒界に生ずる
耐熱温度の低いガラス相を生ずるためである。こ
のように酸化エルビウムを付加しない組成の焼結
体はＺ＝0.5前後であり、Ｘ線回析ではβ′−窒化
珪素のピークしか観察することができなかつた。
一方、窒化珪素組成粉末に酸化エルビウムを付加
すると、Er4Si2O7のピークもあらわれる。このよ
うに、酸化エルビウムなどの希土類元素の酸化物
を付加することにより高温強度が改善できる理由
は、粒界に生ずる軟化温度の低いガラス相が
Er4Si2N2O7として、その大部分が結晶化し粒界
のガラス量が減少するためと考えられる。 以上のように本発明の高温強度の窒化珪素焼結
体を製造するには、窒化珪素80〜95重量％に酸化
イツトリウム３〜10重量％と酸化マグネシウム３
〜10重量％のうちの一種を、酸化アルミニウム１
〜８重量％および窒化アルミニウム２〜８重量％
を含有してなる窒化珪素組成物に対し１〜９モル
％のエルビウムの酸化物を混合粉砕した後、加圧
成形法により中間成形体を形成し、続いて1600〜
1900℃の温度で常圧焼結することを特徴としてい
る。この製造に際し窒化珪素組成物に対しエルビ
ウムの酸化物を混合粉砕するにはボールミルなど
を用いればよくまた加圧成形の際の圧力は1000
Kg／cm2程度が好ましい。なお、酸化アルミニウム
および窒化アルミニウムの代りに21RAlNポリタ
イプを用いる場合には原料粉末として１〜10重量
％の割合とすることが好ましい。これらの原料混
合粉末の焼結は、1600〜1900℃の温度範囲で常圧
焼結を行うのが好ましい。焼結温度が1600℃より
低いと、充分微密化した焼結体が得られずまた
1900℃を超えると窒化珪素自体の分解が激しくな
り健全な焼結体が得られないようになる。 以上のようにして窒化珪素に上記酸化エルビウ
ム、酸化イツトリウム、酸化マグネシウム、酸化
アルミニウム又は窒化アルミニウム（酸化アルミ
ニウムおよび窒化アルミニウムの代り21RAlNポ
リタイプを使用する場合もある。）を組合わせて
特別割合で調製した混合物を成形し、常圧焼結し
て得られる酸化エルビウム含有の窒化珪素焼結体
は、高密度で機械強度が大きく高温度においても
強度の低下はほとんど認められない。 〔発明の実施例〕 以下本発明の実施例を説明する。 実施例 １ 平均粒径0.6μｍの窒化珪素粉末に平均粒径1μｍ
の酸化アルミニウム粉末と平均粒径1μｍの窒化
アルミニウム粉末と平均粒径3μｍの酸化イツト
リウム粉末を表１に示す割合で調製し、この組成
粉末に対して表１に示す割合で酸化エルビウムを
混合した後、1000Kg／cm2の圧力にて成形し、次に
この成形体を1750℃、１気圧の窒素雰囲気中で５
時間焼結した。この焼結体から３×４×40mmの試
験片を切り出し表面を研摩した後、外スパン30
mm、、内スパン20mm、クロスヘツドスピード0.5
mm／minの条件で４点曲げ試験をし、室温と1200
℃で強度を測定した。その結果を表１に示す。 表１の結果より明らかなように、窒化珪素、酸
化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化イツト
リウム及び酸化エルビウムを所定量含有する本発
明焼結体は室温強度、1200℃強度のいずれも満足
すべき特性のものが得られた。これに対して試料
番号５〜８の焼結体のように、所定範囲内にない
と、室温強度あるいは1200℃強度が本発明品より
も劣ることがわかる。
【表】
実施例 ２
平均粒径0.6μｍの窒化珪素粉末87.0wt％、平均
粒径1μｍの酸化アルミニウム粉末2.5wt％、平均
粒径1μｍの窒化アルミニウム4.5wt％、酸化マグ
ネシウム6.0wt％のSiAlON組成粉末に対して第
２表に示す割合で酸化エルビウムを混合したの
ち、実施例１と同様の方法で成形、焼結を行つ
た。この焼結体から実施例１と同様に曲げ試験片
を切り出し、室温および1200℃での強度を測定し
た。その結果を第２表に示す。 第２表の結果より明らかなように、窒化珪素、
酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化アグ
ネシウム、酸化エルビウムを所定量含有する本発
明焼結体は室温強度、1200℃強度のいずれも大き
くなつている。これに対して試料番号13，14の焼
結体のように所定の組成範囲外である場合には、
室温強度あるいは1200℃強度が本発明品よりも劣
つている。
粒径1μｍの酸化アルミニウム粉末2.5wt％、平均
粒径1μｍの窒化アルミニウム4.5wt％、酸化マグ
ネシウム6.0wt％のSiAlON組成粉末に対して第
２表に示す割合で酸化エルビウムを混合したの
ち、実施例１と同様の方法で成形、焼結を行つ
た。この焼結体から実施例１と同様に曲げ試験片
を切り出し、室温および1200℃での強度を測定し
た。その結果を第２表に示す。 第２表の結果より明らかなように、窒化珪素、
酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化アグ
ネシウム、酸化エルビウムを所定量含有する本発
明焼結体は室温強度、1200℃強度のいずれも大き
くなつている。これに対して試料番号13，14の焼
結体のように所定の組成範囲外である場合には、
室温強度あるいは1200℃強度が本発明品よりも劣
つている。
【表】
実施例 ３
平均粒径0.6μｍの窒化珪素粉末に平均粒径3μｍ
の酸化イツトリウム粉末と、平均粒径1μｍの
21RAlNポリタイプ粉末とを表２に示す割合で調
製しSiAlON組成とした。この窒化珪素組成粉末
に対して表３に示す割合で酸化エルビウムを混合
したのち、実施例１と同様の方法で成形、焼結を
行つた。この焼結体から実施例１と同様に曲げ試
験片を切り出し、室温および1200℃での強度を測
定した。その結果を第３表に示す。 第３表の結果より明らかなように、窒化珪素、
酸化イツトリウム、21RAlNポリタイプ、酸化エ
ルビウムを所定量含有する本発明焼結体は、室
温、1200℃強度のいずれも優れていることがわか
る。これに対して試料番号19〜22は所定の組成範
囲外である。この場合には、室温あるいは1200℃
での強度が本発明品より劣ることがわかる。
の酸化イツトリウム粉末と、平均粒径1μｍの
21RAlNポリタイプ粉末とを表２に示す割合で調
製しSiAlON組成とした。この窒化珪素組成粉末
に対して表３に示す割合で酸化エルビウムを混合
したのち、実施例１と同様の方法で成形、焼結を
行つた。この焼結体から実施例１と同様に曲げ試
験片を切り出し、室温および1200℃での強度を測
定した。その結果を第３表に示す。 第３表の結果より明らかなように、窒化珪素、
酸化イツトリウム、21RAlNポリタイプ、酸化エ
ルビウムを所定量含有する本発明焼結体は、室
温、1200℃強度のいずれも優れていることがわか
る。これに対して試料番号19〜22は所定の組成範
囲外である。この場合には、室温あるいは1200℃
での強度が本発明品より劣ることがわかる。
【表】
実施例 ４
平均粒径0.6μｍの窒化珪素粉末91.0wt％、平均
粒径3μｍの酸化マグネシウム粉末6.0wt％と
21RAlNポリタイプ3.0wt％からなるサイアロイ
組成粉末に対して第２表に示す割合で酸化エルビ
ウムを混合したのち、実施例１と同様の方法で成
形、焼結し、この焼結体の室温および1200℃での
強度を測定した。その結果を第４表に示す。 第２表より、窒化珪素、酸化マグネシウム、
21RAlNポリタイプ、酸化エルビウムを所定量含
有する本発明焼結体は、この組成範囲外のものよ
り機械強度が優れていることがわかる。
粒径3μｍの酸化マグネシウム粉末6.0wt％と
21RAlNポリタイプ3.0wt％からなるサイアロイ
組成粉末に対して第２表に示す割合で酸化エルビ
ウムを混合したのち、実施例１と同様の方法で成
形、焼結し、この焼結体の室温および1200℃での
強度を測定した。その結果を第４表に示す。 第２表より、窒化珪素、酸化マグネシウム、
21RAlNポリタイプ、酸化エルビウムを所定量含
有する本発明焼結体は、この組成範囲外のものよ
り機械強度が優れていることがわかる。
【表】
以上のように、本発明によれば、室温強度なら
びに高強度に優れた窒化珪素焼結体を常圧焼結に
よつて得ることができるので、信頼性の高いガス
タービン部品のような高温構造材料を低コストで
提供できるという顕著な効果を有する。
びに高強度に優れた窒化珪素焼結体を常圧焼結に
よつて得ることができるので、信頼性の高いガス
タービン部品のような高温構造材料を低コストで
提供できるという顕著な効果を有する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 窒化珪素80〜95重量％に、酸化イツトリウム
３〜10重量％と酸化マグネシウム３〜10重量％の
うちの一種、酸化アルミニウム１〜８重量％およ
び窒化アルミニウム２〜８重量％を含有してなる
組成物に対し、エルビウムの酸化物を１〜９モル
％を含有することを特徴とする窒化珪素焼結体。 ２ 窒化珪素80〜95重量％に、酸化イツトリウム
３〜10重量％と酸化マグネシウム３〜10重量％の
うちの一種、及び21RAlNポリタイプ１〜10重量
％を含有してなる組成物に対し、エルビウムの酸
化物を１〜９モル％を含有することを特徴とする
窒化珪素焼結体。 ３ 窒化珪素80〜95重量％に、酸化イツトリウム
３〜10重量％と酸化マグネシウム３〜10重量％の
うちの一種、酸化アルミニウム１〜８重量％およ
び窒化アルミニウム２〜８重量％を含有してなる
組成物に対し、１〜９モル％のエルビウムの酸化
物を混合し粉砕した後、加圧成形により中間成形
体を形成し、続いて1600〜1900℃の温度で常圧焼
結することを特徴とする窒化珪素焼結体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59221575A JPS61101467A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | 窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59221575A JPS61101467A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | 窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61101467A JPS61101467A (ja) | 1986-05-20 |
| JPH0343228B2 true JPH0343228B2 (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=16768884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59221575A Granted JPS61101467A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | 窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61101467A (ja) |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP59221575A patent/JPS61101467A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61101467A (ja) | 1986-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2842723B2 (ja) | 窒化珪素−炭化珪素質複合焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0455143B2 (ja) | ||
| JPH11314969A (ja) | 高熱伝導性Ｓｉ３Ｎ４焼結体及びその製造方法 | |
| US5017530A (en) | Silicon nitride sintered body and process for preparation thereof | |
| JPS62182163A (ja) | 窒化ケイ素セラミツクス焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0625039B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| US4806510A (en) | Silicon nitride sintered body and method for producing same | |
| JP3454993B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0343228B2 (ja) | ||
| JP3426823B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP3034100B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JPH03141161A (ja) | 複合焼結体 | |
| JPH09157028A (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2684250B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPS6337075B2 (ja) | ||
| JP3662628B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JP2534213B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JP3124867B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH06116045A (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
| JP2746760B2 (ja) | 窒化珪素−炭化珪素質複合焼結体およびその製造方法 | |
| JPS62153170A (ja) | 窒化ケイ素セラミツクス焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0535107B2 (ja) | ||
| JPS6214506B2 (ja) | ||
| JPH0686331B2 (ja) | 高強度サイアロン基焼結体 | |
| KR920000889B1 (ko) | 고강도 β-sialon 소결체 제조 방법 |