JPH0343652U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0343652U JPH0343652U JP10366289U JP10366289U JPH0343652U JP H0343652 U JPH0343652 U JP H0343652U JP 10366289 U JP10366289 U JP 10366289U JP 10366289 U JP10366289 U JP 10366289U JP H0343652 U JPH0343652 U JP H0343652U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- layers
- transparent film
- attached
- reticle
- Prior art date
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- Pending
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Description
第１図１，２は本考案の一実施例によるペリク
ルの断面図と平面図、第２図は従来例によるペリ
クルの断面図である。 図において、１１はフレーム、１１Ａは下側フ
レーム、１１Ｂは中間層で樹脂層、１１Ｃは上側
フレーム、２はニトロセルローズからなる透明膜
、３はレチクル、４は両面テープ、である。
ルの断面図と平面図、第２図は従来例によるペリ
クルの断面図である。 図において、１１はフレーム、１１Ａは下側フ
レーム、１１Ｂは中間層で樹脂層、１１Ｃは上側
フレーム、２はニトロセルローズからなる透明膜
、３はレチクル、４は両面テープ、である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 透明膜とフレームとを有し、 前記透明膜はフレームに貼付されて投影露光用
の光を透過するものであり、 前記フレームは露光領域が中空の枠であつて、
レチクル上に貼付されるものであり、透明膜の貼
付面に平行な２つの層と、これらの層の間に挟ま
れ且つこれらの層より柔軟な材質の中間層とから
なる３層を含む多層構造であることを特徴とする
ペリクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10366289U JPH0343652U (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10366289U JPH0343652U (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0343652U true JPH0343652U (ja) | 1991-04-24 |
Family
ID=31652485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10366289U Pending JPH0343652U (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0343652U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016072149A1 (ja) * | 2014-11-04 | 2016-05-12 | 日本軽金属株式会社 | ペリクル用支持枠および製造方法 |
| KR20220056609A (ko) * | 2020-10-28 | 2022-05-06 | 주식회사 에프에스티 | 극자외선 리소그라피용 펠리클 프레임 및 그 제조방법 |
-
1989
- 1989-09-04 JP JP10366289U patent/JPH0343652U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016072149A1 (ja) * | 2014-11-04 | 2016-05-12 | 日本軽金属株式会社 | ペリクル用支持枠および製造方法 |
| KR20170080582A (ko) * | 2014-11-04 | 2017-07-10 | 니폰게이긴조쿠가부시키가이샤 | 펠리클용 지지 프레임 및 제조 방법 |
| US10642151B2 (en) | 2014-11-04 | 2020-05-05 | Nippon Light Metal Company, Ltd. | Pellicle support frame and production method |
| KR20220056609A (ko) * | 2020-10-28 | 2022-05-06 | 주식회사 에프에스티 | 극자외선 리소그라피용 펠리클 프레임 및 그 제조방법 |