JPH0346544A - 帯状体の自動検査装置 - Google Patents
帯状体の自動検査装置Info
- Publication number
- JPH0346544A JPH0346544A JP18228289A JP18228289A JPH0346544A JP H0346544 A JPH0346544 A JP H0346544A JP 18228289 A JP18228289 A JP 18228289A JP 18228289 A JP18228289 A JP 18228289A JP H0346544 A JPH0346544 A JP H0346544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- strip
- tab tape
- automatic
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Controlling Rewinding, Feeding, Winding, Or Abnormalities Of Webs (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、帯状体の自動検査装置に関し、たとえばＴＡ
Ｂ方式による集積回路（ＩＣ）の実装に用いられるＴＡ
Ｂテープに損傷や欠落したパターン等の暇疵があるか否
かを自動検査するＴＡＢテープ検査装置において特に好
適な帯状体の自動検査装置に関するものである。
Ｂ方式による集積回路（ＩＣ）の実装に用いられるＴＡ
Ｂテープに損傷や欠落したパターン等の暇疵があるか否
かを自動検査するＴＡＢテープ検査装置において特に好
適な帯状体の自動検査装置に関するものである。
′ｒＡＢ （Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂ。
ｎｄｉｎｇ）方式はＩＣチップの実装技術のひとつとし
て知られており、加工精度が高く、−括ボンディングが
可能という特徴故に広く使用されている。このＴＡＢ方
式に用いられるＴＡＢテープ（「フィルムキャリアテー
プ」とも呼ばれる。）は、たとえばボリイ稟ドよりなる
フィルム上にＩＣをボンディングするための銅リードが
形成されたものであり、１つのＩＣがボンディングされ
る１フレームが映画フィルムのコマの如く多数連続して
リールに巻回されている。
て知られており、加工精度が高く、−括ボンディングが
可能という特徴故に広く使用されている。このＴＡＢ方
式に用いられるＴＡＢテープ（「フィルムキャリアテー
プ」とも呼ばれる。）は、たとえばボリイ稟ドよりなる
フィルム上にＩＣをボンディングするための銅リードが
形成されたものであり、１つのＩＣがボンディングされ
る１フレームが映画フィルムのコマの如く多数連続して
リールに巻回されている。
このＴＡＢテープは実際にＩＣをボンディングする前に
、銅リードの損傷や欠落等の暇疵がないかどうかを検査
する必要がある。かかる検査を行うＴＡＢテープ検査装
置としモ、パターンマツチングなどの画像認識技術を用
いて各フレーム毎に自動的に検査を行うＴＡＢテープ検
査装置が知られている（たとえばＴＡＢフィルムキャリ
ア・リード検査システム、ＭＶ−５１００、東し株式会
社製〉。しかし、上記装置による検査結果は認識精度の
問題から場合によっては必ずしも完全なものではないこ
とがあり、作業者がＴＡＢテープを実際に観察して瑕疵
の有無を判断しなければならない場合がある。このため
、通常のＴＡＢテープ検査装置では、自動検査部の後段
にテレビモニタに瑕疵がある部分を映しだすためのテレ
ビカメラを設けるか、或いは瑕疵がある部分を拡大して
直接人間が目視により観察するための顕微鏡を設けてい
る。
、銅リードの損傷や欠落等の暇疵がないかどうかを検査
する必要がある。かかる検査を行うＴＡＢテープ検査装
置としモ、パターンマツチングなどの画像認識技術を用
いて各フレーム毎に自動的に検査を行うＴＡＢテープ検
査装置が知られている（たとえばＴＡＢフィルムキャリ
ア・リード検査システム、ＭＶ−５１００、東し株式会
社製〉。しかし、上記装置による検査結果は認識精度の
問題から場合によっては必ずしも完全なものではないこ
とがあり、作業者がＴＡＢテープを実際に観察して瑕疵
の有無を判断しなければならない場合がある。このため
、通常のＴＡＢテープ検査装置では、自動検査部の後段
にテレビモニタに瑕疵がある部分を映しだすためのテレ
ビカメラを設けるか、或いは瑕疵がある部分を拡大して
直接人間が目視により観察するための顕微鏡を設けてい
る。
しかしながら、テレビカメラは映像をテレビモニタに映
し出すために見易いという利点がある反面、細かい暇疵
を見分けるには解像度が不十分な場合がある。一方、顕
微鏡は瑕疵がある部分を拡大する機能は十分であっても
、目を接眼レンズに当てて観察しなければならず見易さ
の点でテレビモニタよりも劣るという問題点があった。
し出すために見易いという利点がある反面、細かい暇疵
を見分けるには解像度が不十分な場合がある。一方、顕
微鏡は瑕疵がある部分を拡大する機能は十分であっても
、目を接眼レンズに当てて観察しなければならず見易さ
の点でテレビモニタよりも劣るという問題点があった。
本発明は、上記課題を解決することができる帯状体の自
動検査装置を提供することを目的とするものである。
動検査装置を提供することを目的とするものである。
前記の目的を遠戚するための本発明は、帯状体が供給手
段から送出され巻取手段に巻き取られる間に、検査手段
により所定領域毎にその帯状体の瑕疵の有無を検査する
帯状体の自動検査装置において、 前記帯状体を撮像して画像表示手段に撮像信号を送る撮
像手段と、この撮像手段で撮像される前記帯状体を目視
観察するための目視検査手段と、この目視検査手段と前
記撮像手段とを前記検査手段からの情報に基づいて選択
的に前記帯状体上の暇疵の検出された箇所に案内する案
内手段とを設けたことを特徴とするものである。
段から送出され巻取手段に巻き取られる間に、検査手段
により所定領域毎にその帯状体の瑕疵の有無を検査する
帯状体の自動検査装置において、 前記帯状体を撮像して画像表示手段に撮像信号を送る撮
像手段と、この撮像手段で撮像される前記帯状体を目視
観察するための目視検査手段と、この目視検査手段と前
記撮像手段とを前記検査手段からの情報に基づいて選択
的に前記帯状体上の暇疵の検出された箇所に案内する案
内手段とを設けたことを特徴とするものである。
本発明は前記の構成により、撮像手段と顕微鏡とは検査
手段からの情報に基づいて同一の移動手段、たとえばＸ
Ｙテーブルを用いた架台によりＴＡＢテープ上の瑕疵の
検出された箇所に選択的に案内されるので、作業者は、
常時は撮像手段から送られる暇疵部分の映像信号を画像
表示手段、たとえばテレビモニタを介して観察し、必要
に応じて同一の瑕疵部分を、移動手段により撮像手段か
ら顕微鏡に切り替えて直接観察することができる。
手段からの情報に基づいて同一の移動手段、たとえばＸ
Ｙテーブルを用いた架台によりＴＡＢテープ上の瑕疵の
検出された箇所に選択的に案内されるので、作業者は、
常時は撮像手段から送られる暇疵部分の映像信号を画像
表示手段、たとえばテレビモニタを介して観察し、必要
に応じて同一の瑕疵部分を、移動手段により撮像手段か
ら顕微鏡に切り替えて直接観察することができる。
以下に本発明の一実施例を第１図及び第２図を参照して
説明する。第２図は本発明の一実施例であるＴＡＢテー
プ検査装置の基本構成図、第１図はそのベリフィケーシ
ョン部と目視検査部との概略構造図である。第１図及び
第２図において、本装置はＴＡＢテープ（帯状体）３を
供給する供給リール（供給手段）１と、ＴＡＢテープ３
を巻き取る巻取リール（巻取手段〉 １１とを有する。
説明する。第２図は本発明の一実施例であるＴＡＢテー
プ検査装置の基本構成図、第１図はそのベリフィケーシ
ョン部と目視検査部との概略構造図である。第１図及び
第２図において、本装置はＴＡＢテープ（帯状体）３を
供給する供給リール（供給手段）１と、ＴＡＢテープ３
を巻き取る巻取リール（巻取手段〉 １１とを有する。
また、供給リール１と巻取リール１１との間には、位置
検出装ｆｉ２１、自動検査部（検査手段〉３１、ベリフ
ィケーション部４１、目視検査部（目視検査手段）５１
、パンチャ６１及びスプライサ８１等がＴＡＢテープ３
の供給側から順に設けられている。さらに、これらの装
置を手動で操作するための操作部７１も有する。
検出装ｆｉ２１、自動検査部（検査手段〉３１、ベリフ
ィケーション部４１、目視検査部（目視検査手段）５１
、パンチャ６１及びスプライサ８１等がＴＡＢテープ３
の供給側から順に設けられている。さらに、これらの装
置を手動で操作するための操作部７１も有する。
ＴＡＢテープ３がＳ回されている供給リール１には、Ｔ
ＡＢテープどうしの接触による損傷等を防ぐための保護
膜となるインタリーバ５も同時に巻回されている。リー
ル７はこのインタリーバ５をＴＡＢテープ３とは別に巻
き取るためのものである。逆に、検査が終了したＴＡＢ
テープ３を巻取リール１１で巻き取る場合にはり−ル１
７から別のインタリーバ１５が送り出され、再びＴＡＢ
テープ３と共に巻取リール１１に巻回される。
ＡＢテープどうしの接触による損傷等を防ぐための保護
膜となるインタリーバ５も同時に巻回されている。リー
ル７はこのインタリーバ５をＴＡＢテープ３とは別に巻
き取るためのものである。逆に、検査が終了したＴＡＢ
テープ３を巻取リール１１で巻き取る場合にはり−ル１
７から別のインタリーバ１５が送り出され、再びＴＡＢ
テープ３と共に巻取リール１１に巻回される。
位置検出装Ｗ２１は２組の検出器２３・２５を含むもの
であり、検出器２３・２５は両者ともＴＡＢテープ３の
下側の発光手段から光を発し、ＴＡＢテープ３の縁辺に
設けられたスプロケット穴を通過する光をＴＡＢテープ
３の上側の受光手段で受光することによりＴＡＢテープ
３の位置を検出する。検出器２３は現在検査されている
ＴＡＢテープ３のフレームの位置を知るため、及びＴＡ
Ｂテープ３の終端部を検知するために用いられる。
であり、検出器２３・２５は両者ともＴＡＢテープ３の
下側の発光手段から光を発し、ＴＡＢテープ３の縁辺に
設けられたスプロケット穴を通過する光をＴＡＢテープ
３の上側の受光手段で受光することによりＴＡＢテープ
３の位置を検出する。検出器２３は現在検査されている
ＴＡＢテープ３のフレームの位置を知るため、及びＴＡ
Ｂテープ３の終端部を検知するために用いられる。
一方、検出器２５は所定数のフレーム毎に搬送されるＴ
ＡＢテープ３が自動検査部３１の所定位置で停止してい
るか否かを検知し、停止位置にずれがある場合に、位置
を修正するために用いられる。
ＡＢテープ３が自動検査部３１の所定位置で停止してい
るか否かを検知し、停止位置にずれがある場合に、位置
を修正するために用いられる。
検査手段となる自動検査部３工は画像認識技術を用いて
各フレーム毎に損傷やパターンの逸脱等の暇疵について
の検査を自動的に行う部分であり、具体的にはラインセ
ンサカメラ３３により得られたフレーム画像を信号処理
装置３５に送り、この画像と予め記憶した基準となる画
像とのパターンマツチングを行うことで瑕疵の有無を判
断する。
各フレーム毎に損傷やパターンの逸脱等の暇疵について
の検査を自動的に行う部分であり、具体的にはラインセ
ンサカメラ３３により得られたフレーム画像を信号処理
装置３５に送り、この画像と予め記憶した基準となる画
像とのパターンマツチングを行うことで瑕疵の有無を判
断する。
ＴＡＢテープ３上の烟疵があるフレームの位置はこの信
号処理装置３５を介して記憶装置（図示せず）に記憶す
る。この自動検査部３１に接続されているオフライン対
話システム１０１は、自動検査部３１が損傷等を判断す
る基準を任意に変更可能とするものである。−口に損傷
や寸法のずれといってもその態様には種々のものがあり
、実装されるＩＣに要求される精度の違い等によって不
良と判断すべき基準が異なる。したがって、このオフラ
イン対話システム１０１を設けることにより、ＴＡＢテ
ープ３の用途や要求される品質に柔軟に対応することが
できる。
号処理装置３５を介して記憶装置（図示せず）に記憶す
る。この自動検査部３１に接続されているオフライン対
話システム１０１は、自動検査部３１が損傷等を判断す
る基準を任意に変更可能とするものである。−口に損傷
や寸法のずれといってもその態様には種々のものがあり
、実装されるＩＣに要求される精度の違い等によって不
良と判断すべき基準が異なる。したがって、このオフラ
イン対話システム１０１を設けることにより、ＴＡＢテ
ープ３の用途や要求される品質に柔軟に対応することが
できる。
ベリフィケーション部４１は自動検査部３１によって検
査された暇疵のある部分を撮像手段であるテレビカメラ
４５で捉え、テレビモニタ４７に映しだすためのもので
あり、目視検査部５１は同じく瑕疵がある部分を光学的
な顕微鏡５３ （たとえば、実体顕微鏡〉によって拡大
し、直接観察できるようにしたものである。これらは自
動検査部３１によって検出された服疵部分を作業者が実
際に見て確認することができると共に、自動検査部３１
が故障したり、何らかの理由で使用できない場合に作業
者によるＴＡＢテープ３の検査を可能とする。
査された暇疵のある部分を撮像手段であるテレビカメラ
４５で捉え、テレビモニタ４７に映しだすためのもので
あり、目視検査部５１は同じく瑕疵がある部分を光学的
な顕微鏡５３ （たとえば、実体顕微鏡〉によって拡大
し、直接観察できるようにしたものである。これらは自
動検査部３１によって検出された服疵部分を作業者が実
際に見て確認することができると共に、自動検査部３１
が故障したり、何らかの理由で使用できない場合に作業
者によるＴＡＢテープ３の検査を可能とする。
移動手段（案内手段）は、テレビカメラ４５と顕微鏡５
３とが取着された架台９１と、架台９１を移動自在に支
持するｘｙテーブル９３と、架台９１上でテレビカメラ
４５と顕微鏡５３との位置を切り替える切替部（図示せ
ず）とを含むものである。ベリフィケーション部４１の
位置制御部４３は移動手段の制御部をも含むものであり
、自動検査部３１の信号処理語Ｗ３５により検出された
ＴＨ疵部分の位置情報を受は取ると、架台９１をＸＹテ
ーブル９３上で２次元的に移動し、テレビカメラ４５又
は顕微鏡５３の対物レンズを瑞疵部分の位置に合わせる
。また、テレビカメラ４５と顕微鏡５３とは、ＴＡＢテ
ープ３上の同−瑠疵部分を観察するために切替部により
架台９１上で切り替え可能な構造となっている。たとえ
ば第３図（ａ）に示すように瑞疵部分が検出されたＸ点
上にテレビカメラ４５が位置合わせされた状態で、テレ
ビカメラ４５と顕微鏡５３とを同時に摺動して、同図（
ｂ）に示すように顕微鏡５３の対物レンズがＸ点に自動
的に合うように構成されている。
３とが取着された架台９１と、架台９１を移動自在に支
持するｘｙテーブル９３と、架台９１上でテレビカメラ
４５と顕微鏡５３との位置を切り替える切替部（図示せ
ず）とを含むものである。ベリフィケーション部４１の
位置制御部４３は移動手段の制御部をも含むものであり
、自動検査部３１の信号処理語Ｗ３５により検出された
ＴＨ疵部分の位置情報を受は取ると、架台９１をＸＹテ
ーブル９３上で２次元的に移動し、テレビカメラ４５又
は顕微鏡５３の対物レンズを瑞疵部分の位置に合わせる
。また、テレビカメラ４５と顕微鏡５３とは、ＴＡＢテ
ープ３上の同−瑠疵部分を観察するために切替部により
架台９１上で切り替え可能な構造となっている。たとえ
ば第３図（ａ）に示すように瑞疵部分が検出されたＸ点
上にテレビカメラ４５が位置合わせされた状態で、テレ
ビカメラ４５と顕微鏡５３とを同時に摺動して、同図（
ｂ）に示すように顕微鏡５３の対物レンズがＸ点に自動
的に合うように構成されている。
また、図示しないが、テレビカメラ４５と顕微鏡５３と
を９０度又は１８０度回転することにより両者を切り替
えるようにしてもよい。このように移動手段に切替部を
設けることにより、テレビカメラ４５と顕微鏡５３とを
迅速に切り替えることができる。
を９０度又は１８０度回転することにより両者を切り替
えるようにしてもよい。このように移動手段に切替部を
設けることにより、テレビカメラ４５と顕微鏡５３とを
迅速に切り替えることができる。
一般にテレビモニタ４７に映し出される映像は見易いと
いう利点があるが、細かな瑕疵に対して解像度が不十分
な場合がある。一方、光学的な顕微鏡５３は接眼レンズ
に目を当てて見なくてはならないので見にくいが、高い
解像度が得られるという利点がある。本実施例によれば
、作業者は操作部７１のインプットボタン７３によって
テレビカメラ４５と顕微鏡５３とを切り替えることによ
り、ＴＡＢテープ３上の同−服疵部分を、必要に応して
どちらででも自由に観察することができる。
いう利点があるが、細かな瑕疵に対して解像度が不十分
な場合がある。一方、光学的な顕微鏡５３は接眼レンズ
に目を当てて見なくてはならないので見にくいが、高い
解像度が得られるという利点がある。本実施例によれば
、作業者は操作部７１のインプットボタン７３によって
テレビカメラ４５と顕微鏡５３とを切り替えることによ
り、ＴＡＢテープ３上の同−服疵部分を、必要に応して
どちらででも自由に観察することができる。
瑕疵が検出されたフレームにはＩＣは実装されないので
、実質的にそのフレームは不要となる。
、実質的にそのフレームは不要となる。
しかし、瑕疵が連続する多数のフレームに亘って検出さ
れる場合を除き、暇疵のあるフレームは削除せず、ＩＣ
の実装段階でそのフレームを飛ばしてＩＣを実装する。
れる場合を除き、暇疵のあるフレームは削除せず、ＩＣ
の実装段階でそのフレームを飛ばしてＩＣを実装する。
パンチャ６１は自動検査部３１の信号処理装置３５から
堰疵を検出した旨の情報を受は取ると、暇疵のあるフレ
ームがパンチャ６１の位置に移送されるのを待って動作
し、ＴＡＢテープ３に穿孔する。このとき設けられる孔
は人間が肉眼で容易にそれと分かる程度の直径、たとえ
ば５Ｉ１１とする。
堰疵を検出した旨の情報を受は取ると、暇疵のあるフレ
ームがパンチャ６１の位置に移送されるのを待って動作
し、ＴＡＢテープ３に穿孔する。このとき設けられる孔
は人間が肉眼で容易にそれと分かる程度の直径、たとえ
ば５Ｉ１１とする。
また自動検査部３１が単に瑕疵の有無だけでなく暇疵の
種類を特定する機能をも有する場合には、それに応じた
マーキングを行うようにしてもよい。
種類を特定する機能をも有する場合には、それに応じた
マーキングを行うようにしてもよい。
パンチャ６１は、上記のように信号処理装置３５の制御
の下で動作させる代わりに、操作部７１のインプットボ
タン７３によって穿孔を中止させることもできる。この
ようにすれば自動検査部３１が瑕疵と判断した部分であ
っても、作業者がへりフィケーション部４１又は目視検
査部５１で確認した結果、ＩＣの実装が可能であると最
終的に判断した場合には、そのフレームに穿孔すること
を回避できる。この場合にも退疵の種類に応じて、複数
種類のマーキングが可能である。本実施例ではパンチャ
６１を用いたが、肉眼で認識できるものであればその他
のものでもよく、たとえば瑕疵のあるフレームに特別の
文字や記号を付着するこ１ となどが考えられる。
の下で動作させる代わりに、操作部７１のインプットボ
タン７３によって穿孔を中止させることもできる。この
ようにすれば自動検査部３１が瑕疵と判断した部分であ
っても、作業者がへりフィケーション部４１又は目視検
査部５１で確認した結果、ＩＣの実装が可能であると最
終的に判断した場合には、そのフレームに穿孔すること
を回避できる。この場合にも退疵の種類に応じて、複数
種類のマーキングが可能である。本実施例ではパンチャ
６１を用いたが、肉眼で認識できるものであればその他
のものでもよく、たとえば瑕疵のあるフレームに特別の
文字や記号を付着するこ１ となどが考えられる。
スプライサ８１はＴＡＢテープ３の連続するフレームに
亘って瑕疵が多数検出された場合にその連続するいくつ
かのフレームを切除し、その部分の前後を再び接合する
装置である。第４図はこのスプライサ８１の概略斜視図
である。ＴＡＢテープ３に所定数以上のフレーム（たと
えば、ｌＯフレーム以上）に亘って連続して暇疵が検出
されたときは、瑕疵のあるフレームについての情報が自
動検査部３１の信号処理装置３５からスプライサ８１に
送られる。スプライサ８１はこの情報に基づいて連続し
て服疵のある部分を専用のカッタ８３でカットするとと
もに、この切除した部分の前部３ａの端面と後部３ｂの
端面とを第４図に示すように突き合わせてスプライシン
グテープ８５で接合する。この後、成形カッタ８７を第
４図の矢印Ｙ方向に回動して倒すことにより、スプライ
シングテープ８３のＴＡＢテープ３からはみ出した部分
をカントすると同時に、スプライシングテープ８３にス
プロケット孔をあける。このようにし２ て、検査されたＴＡＢテープ３から所定数以上連続して
ＭＴＫがあるフレームを取り除くことができる。
亘って瑕疵が多数検出された場合にその連続するいくつ
かのフレームを切除し、その部分の前後を再び接合する
装置である。第４図はこのスプライサ８１の概略斜視図
である。ＴＡＢテープ３に所定数以上のフレーム（たと
えば、ｌＯフレーム以上）に亘って連続して暇疵が検出
されたときは、瑕疵のあるフレームについての情報が自
動検査部３１の信号処理装置３５からスプライサ８１に
送られる。スプライサ８１はこの情報に基づいて連続し
て服疵のある部分を専用のカッタ８３でカットするとと
もに、この切除した部分の前部３ａの端面と後部３ｂの
端面とを第４図に示すように突き合わせてスプライシン
グテープ８５で接合する。この後、成形カッタ８７を第
４図の矢印Ｙ方向に回動して倒すことにより、スプライ
シングテープ８３のＴＡＢテープ３からはみ出した部分
をカントすると同時に、スプライシングテープ８３にス
プロケット孔をあける。このようにし２ て、検査されたＴＡＢテープ３から所定数以上連続して
ＭＴＫがあるフレームを取り除くことができる。
尚、上記の実施例では、移動手段に切替部を設けた場合
について説明したが、移動手段は切替部を用いずに、架
台とＸＹテーブルとでテレビカメラとＩＪ微鏡とを切り
替えるようにしてもよい。
について説明したが、移動手段は切替部を用いずに、架
台とＸＹテーブルとでテレビカメラとＩＪ微鏡とを切り
替えるようにしてもよい。
また、上記の実施例ではＴＡＢテープの検査装置を例に
して説明したが、本発明は上記実施例に限らず、一般の
長尺状物品の検査装置に広く応用することが可能である
。
して説明したが、本発明は上記実施例に限らず、一般の
長尺状物品の検査装置に広く応用することが可能である
。
以上説明したように本発明によれば、検査手段によって
暇疵が検出された帯状体上の瑕疵部分を、画像表示手段
及び目視検査手段の何れでも観察に適した方を任意に選
択して観察することができるので、作業能率の向上を図
ることができる帯状体の自動検査装置を提供することが
できる。また、本発明によれば、画像表示手段と目視検
査手段とを設けているので、たとえ一方が故障等の理由
で使用不可能となった場合でも、検査ラインを停止する
ことなく瑕疵がある部分を観察することができる帯状体
の自動検査装置を提供することができる。
暇疵が検出された帯状体上の瑕疵部分を、画像表示手段
及び目視検査手段の何れでも観察に適した方を任意に選
択して観察することができるので、作業能率の向上を図
ることができる帯状体の自動検査装置を提供することが
できる。また、本発明によれば、画像表示手段と目視検
査手段とを設けているので、たとえ一方が故障等の理由
で使用不可能となった場合でも、検査ラインを停止する
ことなく瑕疵がある部分を観察することができる帯状体
の自動検査装置を提供することができる。
第１図はべりフィケーション部と目視検査部との概略構
造図、第２図は本発明の一実施例を示す装置の概略構成
図、第３図はテレビカメラと顕微鏡とを切り替えた状態
を示す動作説明図、第４図はスプライサの概略を示す斜
視図である。 １・・・供給リール、３・・・ＴＡＢテープ、５・１５
・・・インタリーバ、 ７・１７・・・リール、１１・・・巻取リール、２１・
・・位置検出装置、２３・２５・・・検出器、３１・・
・自動検査部・ ４１・・・ベリフィケーション部、 ５１・・、目視検査部、５３・・・顕微鏡、６１・・・
パンチャ、７１・・・操作部、８１・・・スプライサ、
９１・・・架台、９３・・・ＸＹテーブル、 ０ オフライン対話システム。
造図、第２図は本発明の一実施例を示す装置の概略構成
図、第３図はテレビカメラと顕微鏡とを切り替えた状態
を示す動作説明図、第４図はスプライサの概略を示す斜
視図である。 １・・・供給リール、３・・・ＴＡＢテープ、５・１５
・・・インタリーバ、 ７・１７・・・リール、１１・・・巻取リール、２１・
・・位置検出装置、２３・２５・・・検出器、３１・・
・自動検査部・ ４１・・・ベリフィケーション部、 ５１・・、目視検査部、５３・・・顕微鏡、６１・・・
パンチャ、７１・・・操作部、８１・・・スプライサ、
９１・・・架台、９３・・・ＸＹテーブル、 ０ オフライン対話システム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 帯状体が供給手段から送出され巻取手段に巻き取られる
間に、検査手段により所定領域毎にその帯状体の瑕疵の
有無を検査する帯状体の自動検査装置において、 前記帯状体を撮像して画像表示手段に撮像信号を送る撮
像手段と、この撮像手段で撮像される前記帯状体を目視
観察するための目視検査手段と、この目視検査手段と前
記撮像手段とを前記検査手段からの情報に基づいて選択
的に前記帯状体上の瑕疵の検出された箇所に案内する案
内手段とを設けたことを特徴とする帯状体の自動検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18228289A JPH0346544A (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | 帯状体の自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18228289A JPH0346544A (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | 帯状体の自動検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0346544A true JPH0346544A (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=16115549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18228289A Pending JPH0346544A (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | 帯状体の自動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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